JP7163334B2 - slit die - Google Patents

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Description

本発明は、基材に塗液を塗工するスリットダイに関するものである。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a slit die for coating a substrate with a coating liquid.

ロールツーロールで送られる基材に、塗液をダイの吐出口から塗工して電池の極板等を製造することが行われている。基材上に形成される塗工膜の厚さは、例えば電池の場合、電池の充放電量に直接影響を与えることから、基材に塗工する塗工液の膜厚管理は非常に重要となる。つまり、塗液は、基材の幅方向及び送り方向に沿って均一な厚さで塗工される必要がある。 BACKGROUND ART A battery electrode plate or the like is manufactured by applying a coating liquid from a die outlet to a base material fed by roll-to-roll. For example, in the case of batteries, the thickness of the coating film formed on the base material directly affects the charge/discharge capacity of the battery. becomes. That is, the coating liquid needs to be applied with a uniform thickness along the width direction and feed direction of the base material.

特許文献１には、局所的な流速変動を分散させることで塗工スジの発生を抑え、基材上に形成される塗工膜の厚さを均一にする構成が記載されている。 Patent Literature 1 describes a configuration in which the occurrence of coating streaks is suppressed by dispersing local flow velocity fluctuations, and the thickness of a coating film formed on a substrate is made uniform.

特許文献１：特許第６４２５７７６号公報 Patent Document 1: Japanese Patent No. 6425776

しかしながら、特許文献１記載のものは、ダイ内部での塗液に圧力が印加されることで塗液が分離しやすく、また分離した塗液をタンクに戻して再利用されることで塗工膜の品質にも影響を与える恐れがあるという問題があった。 However, in the case of Patent Document 1, the coating liquid is easily separated by applying pressure to the coating liquid inside the die, and the separated coating liquid is returned to the tank and reused to form a coating film. There is a problem that the quality of the product may be affected.

本発明は、上記問題点を解決して、品質がよく厚さが均一な塗工膜を塗工することを課題とする。 An object of the present invention is to solve the above problems and to apply a coating film of good quality and uniform thickness.

上記の課題を解決するために本発明は、塗液を基材に吐出するスリットダイであって、
それぞれが塗液を溜める空間であり、幅方向に設けられた複数のマニホールドと、
前記複数のマニホールドにそれぞれ塗液を供給する複数の塗液供給口と、
前記幅方向に広いスリットを経由して当該複数のマニホールドと繋がり、塗液を基材に対して吐出する一の吐出口と、
前記スリットの高さを構成するために設けられたシムと、を備え、
前記シムは、当該スリットダイの両端部に前記吐出口まで延びる端部突起部を有するとともに、各マニホールド間にそれぞれ各マニホールドよりも前記吐出口方向に延びた中間突起部を有し、
前記中間突起部は、前記吐出口方向に向かって幅が細くなる幅方向テーパ形状を有し、前記幅方向テーパ形状は、階段形状であることを特徴とするスリットダイを提供するものである。 In order to solve the above problems, the present invention provides a slit die for discharging a coating liquid onto a substrate,
A plurality of manifolds provided in the width direction, each of which is a space for storing the coating liquid,
a plurality of coating liquid supply ports that respectively supply coating liquid to the plurality of manifolds;
one ejection port connected to the plurality of manifolds via the wide slit in the width direction and ejecting the coating liquid onto the substrate;
and a shim provided to configure the height of the slit,
The shim has end projections extending to the discharge port at both ends of the slit die, and intermediate projections between the manifolds extending further in the direction of the discharge port than the manifolds ,
The slit die is characterized in that the intermediate protrusion has a width direction tapered shape that tapers in the direction of the discharge port, and the width direction taper shape is a stepped shape .

この構成により、幅方向の吐出量を制御することが可能で、品質がよく厚さが均一な塗工膜を塗工することができる。
また、複数のマニホールドにおける塗液が吐出口手前付近で合流しやすく、安定した塗工膜を塗工することができる。 With this configuration, it is possible to control the discharge amount in the width direction, and to coat a coating film of good quality and uniform thickness.
In addition, the coating liquids in a plurality of manifolds are likely to merge in the vicinity of the discharge port, and a stable coating film can be applied.

前記中間突起部における前記幅方向テーパ形状は、前記マニホールド内から吐出口方向に傾斜が開始する形状である構成としてもよい。 The tapered shape in the width direction of the intermediate protrusion may be a shape in which the inclination starts from within the manifold toward the discharge port.

この構成により、複数のマニホールドにおける塗液が吐出口手前付近でさらに合流しやすく、安定した塗工膜を塗工することができる。 With this configuration, the coating liquids in the plurality of manifolds are more likely to merge in the vicinity of the discharge port, and a stable coating film can be applied.

前記中間突起部は、前記吐出口方向に向かって厚みが薄くなる厚み方向テーパ形状を有している構成としてもよい。The intermediate protruding portion may have a tapered shape in the thickness direction in which the thickness decreases toward the direction of the ejection port.

この構成により、複数のマニホールドにおける塗液が吐出口手前付近でさらに合流しやすくなり、安定した塗工膜を塗工することができる。This configuration makes it easier for the coating liquids in the plurality of manifolds to merge in the vicinity of the ejection port, so that a stable coating film can be applied.

また、上記の課題を解決するために本発明は、塗液を基材に吐出するスリットダイであって、Further, in order to solve the above problems, the present invention provides a slit die for discharging a coating liquid onto a substrate,
それぞれが塗液を溜める空間であり、幅方向に設けられた複数のマニホールドと、 A plurality of manifolds provided in the width direction, each of which is a space for storing the coating liquid,
前記複数のマニホールドにそれぞれ塗液を供給する複数の塗液供給口と、 a plurality of coating liquid supply ports that respectively supply coating liquid to the plurality of manifolds;
前記幅方向に広いスリットを経由して当該複数のマニホールドと繋がり、塗液を基材に対して吐出する一の吐出口と、 one ejection port connected to the plurality of manifolds via the wide slit in the width direction and ejecting the coating liquid onto the substrate;
前記スリットの高さを構成するために設けられたシムと、を備え、 and a shim provided to configure the height of the slit,
前記シムは、当該スリットダイの両端部に前記吐出口まで延びる端部突起部を有するとともに、各マニホールド間にそれぞれ各マニホールドよりも前記吐出口方向に延びた中間突起部を有し、 The shim has end projections extending to the discharge port at both ends of the slit die, and intermediate projections between the manifolds extending further in the direction of the discharge port than the manifolds,
前記中間突起部は、前記吐出口方向に向かって厚みが薄くなる厚み方向テーパ形状を有していることを特徴とするスリットダイを提供するものである。 The slit die is characterized in that the intermediate protrusion has a tapered shape in the thickness direction in which the thickness decreases toward the direction of the discharge port.

この構成により、幅方向の吐出量を制御することが可能で、品質がよく厚さが均一な塗工膜を塗工することができる。With this configuration, it is possible to control the discharge amount in the width direction, and to coat a coating film of good quality and uniform thickness.
また、複数のマニホールドにおける塗液が吐出口手前付近でさらに合流しやすくなり、安定した塗工膜を塗工することができる。In addition, the coating liquids in the plurality of manifolds are more likely to merge in the vicinity of the discharge port, so that a stable coating film can be applied.

各前記マニホールド毎に前記塗液供給口を複数備え、一つの前記マニホールドにおける複数の前記塗液供給口は、供給される塗液の流量の範囲が互いに異なる構成としてもよい。 A plurality of the coating liquid supply ports may be provided for each of the manifolds, and the plurality of the coating liquid supply ports in one of the manifolds may have a different flow rate range of the coating liquid to be supplied.

この構成により、塗液流量の調節範囲を広くすることができ、均一な塗工膜を塗工することができる。 With this configuration, the adjustment range of the coating liquid flow rate can be widened, and a uniform coating film can be applied.

本発明の実施例１におけるスリットダイを説明する図である。It is a figure explaining a slit die in Example 1 of the present invention. 本発明の実施例１におけるａ矢視図である。It is a arrow directional view in Example 1 of this invention. 本発明の実施例１における（ａ）はｂ矢視図で、（ｂ）はシム１５の平面図である。(a) in Example 1 of this invention is a b arrow view, (b) is a top view of the shim 15. FIG. 本発明の実施例２における（ａ）はｂ矢視図で、（ｂ）はシム１１５の平面図である。(a) in Example 2 of the present invention is a b arrow view, and (b) is a plan view of a shim 115. FIG. 本発明の実施例３における（ａ）はｂ矢視図で、（ｂ）はシム２１５の平面図である。(a) in Example 3 of the present invention is a b arrow view, and (b) is a plan view of a shim 215. FIG. 本発明の実施例４における（ａ）はｂ矢視図で、（ｂ）はシム３１５の平面図である。(a) in Example 4 of the present invention is a b arrow view, and (b) is a plan view of a shim 315. FIG. 本発明の実施例５におけるａ矢視図である。It is a arrow directional view in Example 5 of this invention.

本発明の実施例１について、図１～図３を参照して説明する。図１は、本発明の実施例１におけるスリットダイを説明する図である。図２は、本発明の実施例１におけるａ矢視図である。図３は、本発明の実施例１における（ａ）はｂ矢視図で、（ｂ）はシム１５の平面図である。 Embodiment 1 of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 3. FIG. FIG. 1 is a diagram for explaining a slit die in Example 1 of the present invention. FIG. 2 is a view in the direction of arrow a in Embodiment 1 of the present invention. 3A and 3B are plan views of the shim 15 in Embodiment 1 of the present invention.

実施例１におけるスリットダイ１は、ロールツーロールで送られる基材２に、塗液３を塗工するためのものである。塗液３は、基材２の送り方向ＭＤに沿って均一な厚さ（均一な塗工量）で塗工される。なお、基材２の幅方向ＴＤは、基材２の送り方向ＭＤに直交する方向であり、図１におけるＹ軸方向がこれに相当する。 The slit die 1 in Example 1 is for applying a coating liquid 3 to a base material 2 that is sent by roll-to-roll. The coating liquid 3 is applied in a uniform thickness (uniform coating amount) along the feed direction MD of the substrate 2 . The width direction TD of the base material 2 is a direction perpendicular to the feed direction MD of the base material 2, and corresponds to the Y-axis direction in FIG.

スリットダイ１は、基材２の幅方向に沿って長く構成され、このスリットダイ１には供給手段２０から塗液３が供給される。スリットダイ１において、その長手方向（図１におけるＹ軸方向）を幅方向ＴＤという。実施例１においては、スリットダイ１に対向するローラ５が設置されており、スリットダイ１の幅方向とローラ５の回転中心線の方向とは平行である。基材２は、このローラ５に案内され、基材２とスリットダイ１との間隔（隙間）が一定に保たれ、この状態で塗液３の塗工が行われる。 The slit die 1 is elongated along the width direction of the substrate 2 , and the coating liquid 3 is supplied to the slit die 1 from the supply means 20 . In the slit die 1, the longitudinal direction (the Y-axis direction in FIG. 1) is called a width direction TD. In Example 1, a roller 5 is installed facing the slit die 1, and the width direction of the slit die 1 and the direction of the rotation center line of the roller 5 are parallel. The base material 2 is guided by the rollers 5, and the distance (gap) between the base material 2 and the slit die 1 is kept constant.

スリットダイ１は、先細り形状である第一リップ１３ａを有する第一分割体１３と、先細り形状である第二リップ１４ａを有する第二分割体１４とを、これらの間にシム板１５を挟んで、組み合わせた構成からなる。図２は、図１のａ矢視の断面図である。図３（ａ）は、図１のｂ矢視の断面図であり、シム板１５を、図３（ｂ）に示している。スリットダイ１は、その内部に、幅方向に複数の空間からなる複数のマニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）が均等に同じ幅方向の長さを有して３個設けられている。この３個のマニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）と繋がる一のスリット１２とが形成され、また、第一リップ１３ａと第二リップ１４ａとの間には、スリット１２の解放端である一の吐出口４が形成されている。すなわち、３個のマニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）と一の吐出口４とは、スリット１２を経由して繋がっている。 The slit die 1 comprises a first split body 13 having a tapered first lip 13a and a second split body 14 having a tapered second lip 14a with a shim plate 15 interposed therebetween. , consisting of a combined configuration. 2 is a cross-sectional view taken along the arrow a in FIG. 1. FIG. FIG. 3(a) is a cross-sectional view taken along arrow b in FIG. 1, and the shim plate 15 is shown in FIG. 3(b). The slit die 1 is internally provided with three manifolds 11 (11a, 11b, 11c) having a plurality of spaces in the width direction and having the same length in the width direction. One slit 12 connected to these three manifolds 11 (11a, 11b, 11c) is formed, and between the first lip 13a and the second lip 14a, one open end of the slit 12 is formed. A discharge port 4 is formed. That is, the three manifolds 11 ( 11 a , 11 b , 11 c ) and one ejection port 4 are connected via the slit 12 .

この構成により、供給手段２０により供給された塗液３は、先ず３個のマニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）に溜められ、次に、スリット１２を経由して幅広の一の吐出口４から吐出される。 With this configuration, the coating liquid 3 supplied by the supply means 20 is first stored in the three manifolds 11 (11a, 11b, 11c), then passes through the slit 12 and is discharged from the wide discharge port 4. Dispensed.

スリット１２は、３個のマニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）が設けられた幅方向ＴＤに長く形成されており、スリット１２の幅方向寸法は、後述するシム板１５の内寸Ｗ（図３（ｂ）参照）によって決定され、３個のマニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）の各々から流出する塗液３がスリット１２で合流して、幅方向に長い寸法の塗液３を、一の吐出口４から基材２上に塗工することができる。スリット１２の隙間寸法（高さ寸法）は、例えば０．４～１．５ｍｍである。実施例１では、スリット１２の隙間方向が上下方向であり、幅方向が水平方向となる姿勢でスリットダイ１は設置されている。つまり、３個のマニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）とスリット１２とが水平方向に並んで配置される姿勢でスリットダイ１は設置されている。したがって、３個のマニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）に溜められている塗液３をスリット１２および吐出口４を通じて基材２へと流す方向は水平方向となる。 The slit 12 is formed long in the width direction TD in which the three manifolds 11 (11a, 11b, 11c) are provided. (b)), the coating liquid 3 flowing out from each of the three manifolds 11 (11a, 11b, 11c) joins at the slit 12, and the coating liquid 3 having a long dimension in the width direction is It can be applied onto the substrate 2 from the ejection port 4 . The gap dimension (height dimension) of the slit 12 is, for example, 0.4 to 1.5 mm. In Example 1, the slit die 1 is installed in such a posture that the gap direction of the slit 12 is the vertical direction and the width direction is the horizontal direction. That is, the slit die 1 is installed in a posture in which the three manifolds 11 (11a, 11b, 11c) and the slits 12 are horizontally arranged. Therefore, the direction in which the coating liquid 3 stored in the three manifolds 11 (11a, 11b, 11c) flows to the substrate 2 through the slits 12 and the discharge ports 4 is the horizontal direction.

なお、シム板１５の厚さを変更することにより、３個のマニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）内部の圧力（塗工圧力）を調整することができ、この調整によって、様々な特性を有する塗液３で均一な膜厚の塗工を行うことが可能となる。 By changing the thickness of the shim plate 15, the pressure (coating pressure) inside the three manifolds 11 (11a, 11b, 11c) can be adjusted. It is possible to apply the coating liquid 3 with a uniform film thickness.

また、実施例１においては、塗液３が吐出口４を通じて基材２へと流れる方向を水平方向としたが、必ずしもこれに限定されず適宜変更が可能である。例えば、上方向としてもよいし、下方向としてもよく、任意の方向に設定することができる。 Further, in Example 1, the direction in which the coating liquid 3 flows to the substrate 2 through the ejection port 4 is set to be horizontal, but it is not necessarily limited to this and can be changed as appropriate. For example, it may be directed upward or downward, and can be set in any desired direction.

スリットダイ１の幅方向に、３個のマニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）毎に３個の塗液供給口１６（１６ａ、１６ｂ、１６ｃ）が設けられており、この塗液供給口１６（１６ａ、１６ｂ、１６ｃ）は、スリットダイ１の外部から３個のマニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）へ繋がる貫通孔（流入口）からなる。供給手段２０は、この塗液供給口１６（１６ａ、１６ｂ、１６ｃ）に一端部が接続されている流入パイプ２１と、塗液３を貯留しているタンク２２と、このタンク２２内の塗液３を、パイプ２１を通じてスリットダイ１へ供給するためのポンプ２３と、マニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）毎に３個のバルブ２４（２４ａ、２４ｂ、２４ｃ）を有している。以上より、供給手段２０は、バルブ２４（２４ａ、２４ｂ、２４ｃ）で個別に流量制限して、それぞれのマニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）に塗液供給口１６（１６ａ、１６ｂ、１６ｃ）から塗液３を供給することができる。なお、実施例１では、図１に示すように、塗液供給口１６（１６ａ、１６ｂ、１６ｃ）は、マニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）の底部１７（１７ａ、１７ｂ、１７ｃ）と繋がっており、この底部１７（１７ａ、１７ｂ、１７ｃ）からそれぞれのマニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）に塗液３を流入させる構成としている。 In the width direction of the slit die 1, three coating liquid supply ports 16 (16a, 16b, 16c) are provided for every three manifolds 11 (11a, 11b, 11c). 16a, 16b, 16c) consist of through-holes (inflow ports) connected from the outside of the slit die 1 to the three manifolds 11 (11a, 11b, 11c). The supply means 20 includes an inflow pipe 21 having one end connected to the coating liquid supply port 16 (16a, 16b, 16c), a tank 22 storing the coating liquid 3, and the coating liquid in the tank 22. 3 to the slit die 1 through a pipe 21, and three valves 24 (24a, 24b, 24c) for each manifold 11 (11a, 11b, 11c). As described above, the supply means 20 restricts the flow rate individually by the valves 24 (24a, 24b, 24c), and the respective manifolds 11 (11a, 11b, 11c) are supplied with the coating liquid from the coating liquid supply ports 16 (16a, 16b, 16c). A coating liquid 3 can be supplied. In Example 1, as shown in FIG. 1, the coating liquid supply ports 16 (16a, 16b, 16c) are connected to the bottoms 17 (17a, 17b, 17c) of the manifolds 11 (11a, 11b, 11c). The coating liquid 3 is made to flow into each of the manifolds 11 (11a, 11b, 11c) from the bottoms 17 (17a, 17b, 17c).

そして、３個のマニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）は、供給手段２０から供給された塗液３を溜めることができ、３個のマニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）に溜められている塗液３を、スリット１２で合流させて一の吐出口４からロールツーロールで送られる基材２に対して吐出し、この基材２に対して塗液３を連続的に塗工することができる。スリット１２の隙間寸法はその幅方向に一定であり、基材２上に塗工される塗液３の厚さは幅方向に一定となる。 The three manifolds 11 (11a, 11b, 11c) can store the coating liquid 3 supplied from the supply means 20, and the coating liquid stored in the three manifolds 11 (11a, 11b, 11c) can be stored. The liquid 3 is merged at the slit 12 and discharged from one discharge port 4 onto the base material 2 which is fed roll-to-roll, and the coating liquid 3 is continuously applied to the base material 2. can. The gap dimension of the slit 12 is constant in its width direction, and the thickness of the coating liquid 3 applied on the substrate 2 is constant in its width direction.

前述したように、実施例１においては、塗液供給口１６（１６ａ、１６ｂ、１６ｃ）から底部１７（１７ａ、１７ｂ、１７ｃ）を介して、複数のマニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）に塗液３を流入させ、３個のマニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）に溜められた塗液３は、一の吐出口４において合流して吐出される。 As described above, in Example 1, the plurality of manifolds 11 (11a, 11b, 11c) are coated from the coating liquid supply ports 16 (16a, 16b, 16c) through the bottoms 17 (17a, 17b, 17c). The liquid 3 is introduced and the coating liquid 3 accumulated in the three manifolds 11 (11a, 11b, 11c) is merged at one discharge port 4 and discharged.

スリットダイ１において、３個のマニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）を区切っているのは、シム１５である。このシム１５について、詳しく説明する。シム１５は図３（ａ）、（ｂ）に示すように、スリットダイ１の両端部に吐出口４まで延びる端部突起部１８（１８ａ、１８ｂ）を有するとともに、各マニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）間にそれぞれ各マニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）よりも吐出口４方向に延びた中間突起部１９（１９ａ、１９ｂ）を有した櫛歯状の形状を有している。シム１５の幅方向（Ｙ方向）の長さは、スリットダイ１の幅方向の長さとほぼ同じであり、厚さ方向（Ｚ方向）の長さは、スリット１２の高さを規定する長さである。 In the slit die 1, shims 15 separate the three manifolds 11 (11a, 11b, 11c). This shim 15 will be described in detail. As shown in FIGS. 3(a) and 3(b), the shim 15 has end protrusions 18 (18a, 18b) extending to the discharge port 4 at both ends of the slit die 1 and each manifold 11 (11a, 11b). , 11c), and intermediate projections 19 (19a, 19b) extending in the four directions of the ejection ports from the manifolds 11 (11a, 11b, 11c). The length of the shim 15 in the width direction (Y direction) is substantially the same as the length of the slit die 1 in the width direction, and the length in the thickness direction (Z direction) defines the height of the slit 12. is.

端部突起部１８（１８ａ、１８ｂ）のＴＤ方向と直交するＸ方向の長さは、スリットダイ１のＸ方向の長さとほぼ同じである。中間突起部１９（１９ａ、１９ｂ）のＸ方向の長さは、各マニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）よりも吐出口４方向に延び、端部突起部１８（１８ａ、１８ｂ）よりも短く構成されている。また、中間突起部１８（１８ａ、１８ｂ）の吐出口４（Ｘ方向）側の端部は、吐出口４方向と直交する方向に直線的に構成されている。これらの構成により、各マニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）に溜められた塗液３が吐出口４まで到達する前のスリット１２において合流することができ、滑らかで安定した塗工をすることができる。 The length of the end protrusions 18 (18a, 18b) in the X direction perpendicular to the TD direction is substantially the same as the length of the slit die 1 in the X direction. The length in the X direction of the intermediate protrusions 19 (19a, 19b) is longer than the manifolds 11 (11a, 11b, 11c) in the four discharge port directions, and shorter than the end protrusions 18 (18a, 18b). It is Further, the ends of the intermediate projections 18 (18a, 18b) on the ejection port 4 (X direction) side are formed linearly in a direction orthogonal to the ejection port 4 direction. With these configurations, the coating liquid 3 stored in each manifold 11 (11a, 11b, 11c) can join at the slit 12 before reaching the discharge port 4, and smooth and stable coating can be performed. can.

また、中間突起部１９（１９ａ、１９ｂ）があることにより、各マニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）間が区切られて独立した各マニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）を構成している。各マニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）が独立し、それぞれ別のバルブ２４（２４ａ、２４ｂ、２４ｃ）から塗液３を供給することにより、各マニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）からスリット１２へ流れる塗液３の量を制御しやすくできる。また、中間突起部１９（１９ａ、１９ｂ）のＸ方向の長さを端部突起部１８（１８ａ、１８ｂ）よりも短く構成することにより、各マニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）から流出する塗液３が吐出口４に到達する前のスリット１２で合流しやすくできる。これらの構成により、吐出する塗液３の量を幅方向において、顕著に制御することができるとともに、マニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）毎に塗液３の量が不連続に変化することがないため塗工膜に窪みが生じることがなく、塗工した膜厚を一定にすることが可能とすることができる。 The intermediate projections 19 (19a, 19b) separate the manifolds 11 (11a, 11b, 11c) to form independent manifolds 11 (11a, 11b, 11c). Each manifold 11 (11a, 11b, 11c) is independent, and the coating liquid 3 is supplied from each separate valve 24 (24a, 24b, 24c) to the slit 12 from each manifold 11 (11a, 11b, 11c). The amount of flowing coating liquid 3 can be easily controlled. In addition, by making the length of the intermediate projections 19 (19a, 19b) in the X direction shorter than that of the end projections 18 (18a, 18b), the coating flowing out from each manifold 11 (11a, 11b, 11c) is reduced. The liquid 3 can easily merge at the slit 12 before reaching the discharge port 4. - 特許庁With these configurations, the amount of the coating liquid 3 to be discharged can be remarkably controlled in the width direction, and the amount of the coating liquid 3 can be discontinuously changed for each manifold 11 (11a, 11b, 11c). Since there is no dent in the coating film, the coating film thickness can be made constant.

なお、実施例１においては、マニホールドの数を３個とし、それぞれ均等に同じ幅方向の長さを有して設けられた構成としたが、必ずしもこれに限定されず適宜変更が可能である。例えば、マニホールドの数を２個としてもよいし、４個以上としてもよい。また、マニホールド間の長さは均等ではなく、いずれかのマニホールドの幅方向の長さを長く構成するように構成してもよい。つまり、スリットダイ１の幅方向の長さに基づき、膜厚制御が可能になるように、マニホールド数、及び各マニホールドの長さを決めればよい。また、マニホールドの数に基づいて、中間突起部及び塗液供給口の数を決めればよい。 In the first embodiment, the number of manifolds is three, and each of them has the same length in the width direction. For example, the number of manifolds may be two, or four or more. Moreover, the length between the manifolds may not be uniform, and the length in the width direction of one of the manifolds may be configured to be long. In other words, the number of manifolds and the length of each manifold may be determined based on the length of the slit die 1 in the width direction so that the film thickness can be controlled. Also, the number of intermediate protrusions and coating liquid supply ports may be determined based on the number of manifolds.

また、実施例１においては、複数のマニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）に溜められている塗液３をスリット１２および吐出口４を通じて基材２へと流す方向は水平方向としたが、必ずしもこれに限定されず適宜変更が可能である。例えば、垂直方向（上方向又は下方向）としてもよいし、斜め方向としてもよい。 In addition, in Example 1, the direction in which the coating liquid 3 stored in the plurality of manifolds 11 (11a, 11b, 11c) flows to the substrate 2 through the slits 12 and the discharge ports 4 is the horizontal direction. It is not limited to this and can be changed as appropriate. For example, it may be vertical (upward or downward) or oblique.

さらに、実施例１においては、バルブ２４（２４ａ、２４ｂ、２４ｃ）により、各マニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）に流入する塗液３の量を制御するように構成したが、必ずしもこれに限定されず適宜変更が可能である。例えば、バルブ２４（２４ａ、２４ｂ、２４ｃ）に替えて、３個のポンプをそれぞれ各マニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）に接続して流入する塗液３の量を制御するように構成してもよい。 Furthermore, in Embodiment 1, the valves 24 (24a, 24b, 24c) are configured to control the amount of the coating liquid 3 flowing into each manifold 11 (11a, 11b, 11c), but this is not necessarily the case. can be changed as appropriate. For example, in place of the valves 24 (24a, 24b, 24c), three pumps may be connected to the respective manifolds 11 (11a, 11b, 11c) to control the amount of the inflowing coating liquid 3. good too.

また、実施例１におけるスリットダイ１は、固定されており、ローツーロールで搬送される基材２に塗液３を塗工する構成としたが、必ずしもこれに限定されず適宜変更が可能である。例えば、静止している個片の基材にスリットダイ１が移動して塗液３を塗工するように構成してもよい。 In addition, the slit die 1 in Example 1 is fixed and configured to apply the coating liquid 3 to the substrate 2 conveyed by low-to-roll, but it is not necessarily limited to this and can be changed as appropriate. be. For example, the configuration may be such that the slit die 1 is moved to apply the coating liquid 3 to the individual pieces of the base material that are stationary.

このように、実施例１においては、塗液を基材に吐出するスリットダイであって、
それぞれが塗液を溜める空間であり、幅方向に設けられた複数のマニホールドと、
前記複数のマニホールドにそれぞれ塗液を供給する複数の塗液供給口と、
前記幅方向に広いスリットを経由して当該複数のマニホールドと繋がり、塗液を基材に対して吐出する一の吐出口と、
前記スリットの高さを構成するために設けられたシムと、を備え、
前記シムは、当該スリットダイの両端部に前記吐出口まで延びる端部突起部を有するとともに、各マニホールド間にそれぞれ各マニホールドよりも前記吐出口方向に延びた中間突起部を有したことを特徴とするスリットダイにより、幅方向の吐出量を制御することが可能で、品質がよく厚さが均一な塗工膜を塗工することができる。 Thus, in Example 1, the slit die for discharging the coating liquid onto the substrate,
A plurality of manifolds provided in the width direction, each of which is a space for storing the coating liquid,
a plurality of coating liquid supply ports that respectively supply coating liquid to the plurality of manifolds;
one ejection port connected to the plurality of manifolds via the wide slit in the width direction and ejecting the coating liquid onto the substrate;
and a shim provided to configure the height of the slit,
The shim has end projections extending to the discharge port at both ends of the slit die, and intermediate projections between the manifolds extending further in the direction of the discharge port than the manifolds. It is possible to control the discharge amount in the width direction by using a slit die, and it is possible to coat a coating film of good quality and uniform thickness.

本発明の実施例２は、中間突起部が吐出口方向に向かって幅が細くなる幅方向テーパ形状を有している点で、実施例１と異なっている。実施例２について、図４を参照して説明する。図４は、本発明の実施例２における（ａ）はｂ矢視図で、（ｂ）はシム１１５の平面図である。 Example 2 of the present invention differs from Example 1 in that the intermediate protrusion has a widthwise tapered shape in which the width becomes narrower in the direction of the ejection port. A second embodiment will be described with reference to FIG. 4A and 4B are plan views of the shim 115 in Embodiment 2 of the present invention.

実施例２におけるスリットダイ１０１におけるスリット１１５は、図４（ａ）、（ｂ）に示すように、中間突起部１１９（１１９ａ、１１９ｂ）が、マニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）より吐出口４方向においてマニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）よりも吐出口４側から傾斜が開始して幅中心に向かってＹ方向の幅が直線的に細くなる幅方向テーパ形状を有している。これにより、複数のマニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）における塗液３が吐出口４のマニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）側で合流しやすく、安定した塗工膜を塗工することができる。 In the slit 115 of the slit die 101 in Example 2, as shown in FIGS. It has a width direction tapered shape in which the inclination in the direction starts from the discharge port 4 side of the manifold 11 (11a, 11b, 11c) and the width in the Y direction linearly narrows toward the width center. As a result, the coating liquid 3 in the plurality of manifolds 11 (11a, 11b, 11c) easily merges on the manifold 11 (11a, 11b, 11c) side of the discharge port 4, and a stable coating film can be applied. .

なお、実施例２においては、中間突起部１１９（１１９ａ、１１９ｂ）の幅中心に向かって幅が直線的に細くなる幅方向テーパ形状を有している構成としたが、必ずしもこれに限定されず適宜変更が可能である。例えば、中間突起部１１９（１１９ａ、１１９ｂ）の幅中心に向かって幅が曲線的に細くなる幅方向テーパ形状を有している構成としてもよい。 In addition, in Example 2, the configuration is such that the intermediate protrusions 119 (119a, 119b) have a tapered shape in the width direction in which the width linearly narrows toward the center of the width, but the present invention is not necessarily limited to this. It can be changed as appropriate. For example, the intermediate projections 119 (119a, 119b) may have a tapered shape in the width direction in which the width becomes narrower toward the center of the width.

このように、実施例２においては、前記中間突起部は、前記吐出口方向に向かって幅が細くなる幅方向テーパ形状を有していることにより、複数のマニホールドにおける塗液が吐出口手前付近で合流しやすく、安定した塗工膜を塗工することができる。 As described above, in Example 2, the intermediate protrusion has a widthwise tapered shape in which the width becomes narrower in the direction of the ejection port, so that the coating liquid in the plurality of manifolds can reach the vicinity of the ejection port. It is easy to merge at , and a stable coating film can be applied.

本発明の実施例３は、中間突起部における幅方向テーパ形状は、マニホールド内から吐出口方向に傾斜が開始する形状である点で実施例１、２と異なっている。実施例３について図５を参照して説明する。図５は、本発明の実施例３における（ａ）はｂ矢視図で、（ｂ）はシム２１５の平面図である。 Example 3 of the present invention is different from Examples 1 and 2 in that the width direction tapered shape of the intermediate protrusion is a shape that starts to be inclined from within the manifold toward the discharge port. Example 3 will be described with reference to FIG. 5A and 5B are plan views of a shim 215 in Embodiment 3 of the present invention.

実施例３におけるスリットダイ２０１におけるスリット２１５は、図５（ａ）、（ｂ）に示すように、中間突起部２１９（２１９ａ、２１９ｂ）が、マニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）内から吐出口４方向に向かって、幅中心に向かって幅が直線的に細くなる幅方向テーパ形状を有している。これにより、複数のマニホールドにおける塗液が吐出口付近でさらに合流しやすく、安定した塗工膜を塗工することができる。 As shown in FIGS. 5(a) and 5(b), the slit 215 in the slit die 201 in Example 3 has intermediate protrusions 219 (219a, 219b) extending from the manifold 11 (11a, 11b, 11c) to the discharge port. It has a width-direction tapered shape in which the width linearly narrows toward the center of the width in four directions. This makes it easier for the coating liquids in the plurality of manifolds to merge in the vicinity of the discharge ports, so that a stable coating film can be applied.

なお、実施例３においては、中間突起部２１９（２１９ａ、２１９ｂ）の幅が幅中心に向かって直線的に細くなる幅方向テーパ形状を有している構成としたが、必ずしもこれに限定されず適宜変更が可能である。例えば、中間突起部２１９（２１９ａ、２１９ｂ）の幅が幅中心に向かって曲線的に細くなる幅方向テーパ形状を有している構成としてもよい。 In Example 3, the width of the intermediate protrusions 219 (219a, 219b) is configured to have a tapered shape in the width direction in which the width linearly narrows toward the center of the width, but this is not necessarily the case. It can be changed as appropriate. For example, the width of the intermediate protrusions 219 (219a, 219b) may have a tapered shape in the width direction in which the width is curved toward the center of the width.

このように、実施例３においては、中間突起部における幅方向テーパ形状は、マニホールド内から吐出口方向に傾斜が開始する形状であることで、複数のマニホールドにおける塗液が吐出口手前付近でさらに合流しやすく、安定した塗工膜を塗工することができる。 As described above, in Example 3, the tapered shape in the width direction of the intermediate protrusion is a shape in which the inclination starts from within the manifold in the direction of the discharge port, so that the coating liquid in the plurality of manifolds further flows near the discharge port. It is easy to merge and a stable coating film can be applied.

本発明の実施例４は、中間突起部における幅方向テーパ形状は、階段形状である点で実施例１～３と異なっている。実施例４について図６を参照して説明する。図６は、本発明の実施例４における（ａ）はｂ矢視図で、（ｂ）はシム３１５の平面図である。 Example 4 of the present invention differs from Examples 1 to 3 in that the tapered shape in the width direction of the intermediate protrusion is a stepped shape. Example 4 will be described with reference to FIG. 6A and 6B are plan views of a shim 315 in Embodiment 4 of the present invention.

実施例４におけるスリットダイ３０１におけるスリット３１５は、図６（ａ）、（ｂ）に示すように、中間突起部３１９（３１９ａ、３１９ｂ）が、マニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）より吐出口方向においてマニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）よりも吐出口４側から傾斜が開始して幅が幅中心に向かって階段状に細くなる幅方向テーパ形状を有している。これにより、複数のマニホールドの独立性を保ちつつ、塗液が吐出口手前付近で合流しやすく、安定した塗工膜を塗工することができる。 In the slit 315 of the slit die 301 in Example 4, as shown in FIGS. , it has a widthwise tapered shape in which the inclination starts from the discharge port 4 side of the manifold 11 (11a, 11b, 11c) and the width becomes narrower in a stepwise manner toward the width center. As a result, while maintaining the independence of a plurality of manifolds, the coating liquid can easily merge in the vicinity of the discharge port, and a stable coating film can be applied.

なお、実施例４においては、中間突起部３１９（３１９ａ、３１９ｂ）が、マニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）より吐出口方向においてマニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）よりも吐出口４側から傾斜が開始して幅が幅中心に向かって階段状に細くなる幅方向テーパ形状を有しているように構成したが、必ずしもこれに限定されず適宜変更が可能である。例えば、マニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）内、すなわち、中間突起部３１９（３１９ａ、３１９ｂ）の根元から吐出口４方向に向かって、幅中心に向かって幅が階段状に細くなる幅方向テーパ形状を有した構成としてもよい。 In the fourth embodiment, the intermediate protrusions 319 (319a, 319b) are inclined from the outlet port 4 side of the manifold 11 (11a, 11b, 11c) in the outlet direction from the manifold 11 (11a, 11b, 11c). Although it is configured to have a tapered shape in the width direction in which the width starts to taper in a stepwise manner toward the center of the width, it is not necessarily limited to this and can be changed as appropriate. For example, in the manifold 11 (11a, 11b, 11c), that is, from the base of the intermediate protrusion 319 (319a, 319b) toward the discharge port 4 direction, the width is tapered stepwise toward the center of the width. It may be configured to have a shape.

このように、実施例４においては、中間突起部における幅方向テーパ形状は、階段形状であることで、複数のマニホールドの独立性を保ちつつ、塗液が吐出口手前付近で合流しやすく、安定した塗工膜を塗工することができる。 As described above, in Example 4, the tapered shape in the width direction of the intermediate protrusion is a stepped shape, so that the independence of the plurality of manifolds is maintained, and the coating liquid easily merges in the vicinity of the discharge port and is stable. A coated film can be applied.

本発明の実施例５は、中間突起部が吐出口方向に向かって厚みが薄くなる厚み方向テーパ形状を有している点で実施例１～４と異なっている。実施例５について図７を参照して説明する。図７は、本発明の実施例５におけるａ矢視図である。 Example 5 of the present invention differs from Examples 1 to 4 in that the intermediate protrusion has a tapered shape in the thickness direction in which the thickness decreases in the direction of the ejection port. Example 5 will be described with reference to FIG. FIG. 7 is a view in the direction of arrow a in Example 5 of the present invention.

実施例５におけるスリットダイ４０１におけるスリット４１５は、図７に示すように、中間突起部４１９（４１９ａ、４１９ｂ）が、マニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）より吐出口４方向においてマニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）よりも吐出口４側から傾斜を開始してＺ方向の厚みが厚み中心に向かって直線的に薄くなる厚み方向テーパ形状を有している。これにより、複数のマニホールドにおける塗液が吐出口手前付近でさらに合流しやすく、安定した塗工膜を塗工することができる。 In the slit 415 in the slit die 401 in Example 5, as shown in FIG. 11b and 11c), it has a tapered shape in the thickness direction in which the inclination starts from the ejection port 4 side and the thickness in the Z direction becomes linearly thinner toward the center of the thickness. As a result, the coating liquids in the plurality of manifolds are more likely to merge in the vicinity of the discharge port, and a stable coating film can be applied.

なお、実施例５においては、中間突起部４１９（４１９ａ、４１９ｂ）が、マニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）より吐出口方向においてマニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）よりも吐出口４側から傾斜を開始して厚みが厚み中心に向かって直線的に薄くなる幅方向テーパ形状を有しているように構成したが、必ずしもこれに限定されず適宜変更が可能である。例えば、マニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）内、すなわち、中間突起部４１９（４１９ａ、４１９ｂ）の根元から吐出口４方向に向かって、厚みが厚み中心に向かって曲線的に薄くなる厚み方向テーパ形状を有した構成としてもよいし、階段状に薄くなる厚み方向テーパ形状を有した構成としてもよい。 In the fifth embodiment, the intermediate projections 419 (419a, 419b) are inclined from the outlet port 4 side of the manifold 11 (11a, 11b, 11c) in the outlet direction from the manifold 11 (11a, 11b, 11c). , the thickness is tapered linearly toward the center of the thickness. For example, in the manifold 11 (11a, 11b, 11c), that is, from the root of the intermediate protrusion 419 (419a, 419b) toward the ejection port 4 direction, the thickness is tapered in a curve toward the center of the thickness. It may be configured to have a shape, or may be configured to have a tapered shape in the thickness direction in which the thickness is reduced stepwise.

このように、実施例５においては、中間突起部が吐出口方向に向かって厚みが薄くなる厚み方向テーパ形状を有していることで、複数のマニホールドにおける塗液が吐出口手前付近でさらに合流しやすく、安定した塗工膜を塗工することができる。 As described above, in Example 5, the intermediate protrusion has a tapered shape in the thickness direction in which the thickness decreases in the direction of the ejection port, so that the coating liquids in the plurality of manifolds further merge in the vicinity of the ejection port. It is easy to apply, and a stable coating film can be applied.

本発明の実施例６は、マニホールド毎に塗液供給口を複数備え、一つのマニホールドにおける複数の塗液供給口は、供給される塗液の流量の範囲が互いに異なる点で、実施例１～５と異なっている。 Embodiment 6 of the present invention has a plurality of coating liquid supply ports for each manifold, and the plurality of coating liquid supply ports in one manifold has a different flow rate range of the supplied coating liquid. different from 5.

実施例６における図示しないスリットダイは、マニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）毎に塗液供給口を２個備え、それぞれ別のバルブに接続され、互いに異なる塗液の流量を供給できるように構成している。この構成により、塗液流量の調節範囲を広くすることができ、均一な塗工膜を塗工することができる。 The slit die (not shown) in Example 6 has two coating liquid supply ports for each of the manifolds 11 (11a, 11b, 11c), each of which is connected to a different valve and is configured to supply different coating liquid flow rates. is doing. With this configuration, the adjustment range of the coating liquid flow rate can be widened, and a uniform coating film can be applied.

なお、実施例６においては、マニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）毎に塗液供給口を２個備え、それぞれ別のバルブに接続される構成としたが、必ずしもこれに限定されず適宜変更が可能である。例えば、マニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）毎に塗液供給口を２個備え、それぞれ別のポンプに接続される構成としてもよい。 In Example 6, each manifold 11 (11a, 11b, 11c) has two coating liquid supply ports, each of which is connected to a different valve. It is possible. For example, each manifold 11 (11a, 11b, 11c) may be provided with two coating liquid supply ports, each of which may be connected to a different pump.

また、実施例６においては、マニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）毎に塗液供給口を２個備える構成としたが、必ずしもこれに限定されず適宜変更が可能である。例えば、マニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）毎に塗液供給口を３個以上備える構成としてもよい。これにより、さらに、塗液流量の調節範囲を広くすることができる。 In addition, in Example 6, each manifold 11 (11a, 11b, 11c) is provided with two coating liquid supply ports, but the configuration is not necessarily limited to this and can be changed as appropriate. For example, each manifold 11 (11a, 11b, 11c) may be provided with three or more coating liquid supply ports. As a result, it is possible to further widen the adjustment range of the coating liquid flow rate.

このように、実施例６においては、マニホールド毎に塗液供給口を複数備え、一つのマニホールドにおける複数の塗液供給口は、供給される塗液の流量の範囲が互いに異なることで、塗液流量の調節範囲を広くすることができ、均一な塗工膜を塗工することができる。 Thus, in Example 6, a plurality of coating liquid supply ports are provided for each manifold, and the plurality of coating liquid supply ports in one manifold have different flow ranges of the coating liquid to be supplied, so that the coating liquid The control range of the flow rate can be widened, and a uniform coating film can be applied.

本発明は、基材に塗液を塗工するスリットダイに幅広く適用することができる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be widely applied to slit dies for coating a substrate with a coating liquid.

１：スリットダイ ２：基材 ３：塗液 ５：ローラ ４：吐出口 １１：マニホールド１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ） １２：スリット １５：シム １６（１６ａ、１６ｂ、１６ｃ）：塗液供給口 １７（１７ａ、１７ｂ、１７ｃ）：底部 １８（１８ａ、１８ｂ）：端部突起部 １９（１９ａ、１９ｂ、１９ｃ）：中間突起部 ２０：供給手段 ２２：タンク ２３：ポンプ ２４（２４ａ、２４ｂ、２４ｃ）：バルブ １０１：スリットダイ １１５：シム １１９（１１９ａ、１１９ｂ）：中間突起部 ２０１：スリットダイ ２１５：シム ２１９（２１９ａ、２１９ｂ）：中間突起部 ３０１：スリットダイ ３１５：シム ３１９（３１９ａ、３１９ｂ）：中間突起部 1: Slit die 2: Substrate 3: Coating liquid 5: Roller 4: Discharge port 11: Manifold 11 (11a, 11b, 11c) 12: Slit 15: Shim 16 (16a, 16b, 16c): Coating liquid supply port 17 (17a, 17b, 17c): bottom 18 (18a, 18b): end protrusion 19 (19a, 19b, 19c): intermediate protrusion 20: supply means 22: tank 23: pump 24 (24a, 24b, 24c) : valve 101: slit die 115: shim 119 (119a, 119b): intermediate protrusion 201: slit die 215: shim 219 (219a, 219b): intermediate protrusion 301: slit die 315: shim 319 (319a, 319b): Intermediate protrusion

Claims (5)

塗液を基材に吐出するスリットダイであって、
それぞれが塗液を溜める空間であり、幅方向に設けられた複数のマニホールドと、
前記複数のマニホールドにそれぞれ塗液を供給する複数の塗液供給口と、
前記幅方向に広いスリットを経由して当該複数のマニホールドと繋がり、塗液を基材に対して吐出する一の吐出口と、
前記スリットの高さを構成するために設けられたシムと、を備え、
前記シムは、当該スリットダイの両端部に前記吐出口まで延びる端部突起部を有するとともに、各マニホールド間にそれぞれ各マニホールドよりも前記吐出口方向に延びた中間突起部を有し、
前記中間突起部は、前記吐出口方向に向かって幅が細くなる幅方向テーパ形状を有し、前記幅方向テーパ形状は、階段形状であることを特徴とするスリットダイ。 A slit die for ejecting a coating liquid onto a substrate,
A plurality of manifolds provided in the width direction, each of which is a space for storing the coating liquid,
a plurality of coating liquid supply ports that respectively supply coating liquid to the plurality of manifolds;
one ejection port connected to the plurality of manifolds via the wide slit in the width direction and ejecting the coating liquid onto the substrate;
and a shim provided to configure the height of the slit,
The shim has end projections extending to the discharge port at both ends of the slit die, and intermediate projections between the manifolds extending further in the direction of the discharge port than the manifolds ,
The slit die , wherein the intermediate protrusion has a widthwise tapered shape that tapers in width toward the discharge port, and the widthwise tapered shape is a stepped shape . 前記中間突起部における前記幅方向テーパ形状は、前記マニホールド内から吐出口方向に傾斜が開始する形状であることを特徴とする請求項１に記載のスリットダイ。 2. The slit die according to claim 1 , wherein the tapered shape in the width direction of the intermediate protrusion is such that the inclination starts from within the manifold toward the discharge port. 前記中間突起部は、前記吐出口方向に向かって厚みが薄くなる厚み方向テーパ形状を有している請求項１又は２に記載のスリットダイ。 3. The slit die according to claim 1 or 2 , wherein the intermediate protrusion has a thickness-direction tapered shape that decreases in thickness toward the discharge port. 塗液を基材に吐出するスリットダイであって、A slit die for ejecting a coating liquid onto a substrate,
それぞれが塗液を溜める空間であり、幅方向に設けられた複数のマニホールドと、 A plurality of manifolds provided in the width direction, each of which is a space for storing the coating liquid,
前記複数のマニホールドにそれぞれ塗液を供給する複数の塗液供給口と、 a plurality of coating liquid supply ports that respectively supply coating liquid to the plurality of manifolds;
前記幅方向に広いスリットを経由して当該複数のマニホールドと繋がり、塗液を基材に対して吐出する一の吐出口と、 one ejection port connected to the plurality of manifolds via the wide slit in the width direction and ejecting the coating liquid onto the substrate;
前記スリットの高さを構成するために設けられたシムと、を備え、 and a shim provided to configure the height of the slit,
前記シムは、当該スリットダイの両端部に前記吐出口まで延びる端部突起部を有するとともに、各マニホールド間にそれぞれ各マニホールドよりも前記吐出口方向に延びた中間突起部を有し、 The shim has end projections extending to the discharge port at both ends of the slit die, and intermediate projections between the manifolds extending further in the direction of the discharge port than the manifolds,
前記中間突起部は、前記吐出口方向に向かって厚みが薄くなる厚み方向テーパ形状を有していることを特徴とするスリットダイ。 The slit die, wherein the intermediate protrusion has a tapered shape in the thickness direction, the thickness of which decreases in the direction of the discharge port. 前記マニホールド毎に前記塗液供給口を複数備え、
一つの前記マニホールドにおける複数の前記塗液供給口は、供給される塗液の流量の範囲が互いに異なることを特徴とする請求項１～４のいずれかに記載のスリットダイ。 A plurality of the coating liquid supply ports are provided for each of the manifolds,
5. The slit die according to any one of claims 1 to 4 , wherein the plurality of coating liquid supply ports in one manifold have different flow rates of the coating liquid to be supplied.
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