KR20190019054A

KR20190019054A - Applicator and applicator

Info

Publication number: KR20190019054A
Application number: KR1020187032894A
Authority: KR
Inventors: 노부오 호리우치; 사다히코 이토; 키요시 타니노; 소 니시노
Original assignee: 토레 엔지니어링 가부시키가이샤
Priority date: 2016-06-22
Filing date: 2017-05-24
Publication date: 2019-02-26
Also published as: JP2017225930A; CN109311047A; JP6655479B2; TW201801801A; WO2017221621A1

Abstract

도포액이 공급되는 공급구와, 일 방향으로 길게 형성되고 도포액을 토출(吐出)하는 슬릿과, 상기 공급구와 연결되는 상류 측 매니폴드, 및, 상기 슬릿과 연결되는 하류 측 매니폴드를 적어도 포함하고, 상기 일 방향으로 길게 형성되어 있는 복수의 매니폴드와, 이웃하는 상기 매니폴드 사이를 연결하는 상기 일 방향으로 긴 스로틀 유로를 가지고, 상기 공급구는 상기 상류 측 매니폴드와 상기 일 방향의 중앙에 있어서 연결되어 있고, 상기 상류 측 매니폴드의 상기 일 방향에 직교하는 단면에 있어서의 단면적은, 당해 일 방향의 중앙부보다도 상기 일 방향의 단부(端部) 쪽에서 작게 되어 있고, 상기 상류 측 매니폴드와 당해 상류 측 매니폴드의 이웃하는 상기 매니폴드와의 사이를 연결하는 상기 스로틀 유로에서는, 상기 단부에 있어서의 유로 길이가, 상기 중앙부에 있어서의 유로 길이 이상으로 되어 있는, 도포기. A slit for discharging the coating liquid formed in a long direction in the one direction, an upstream side manifold connected to the supply port, and a downstream side manifold connected to the slit, , A plurality of manifolds formed in a long direction in the one direction and a long throttle flow path in the one direction connecting between the adjacent manifolds, and the supply port communicates with the upstream manifold in the center of the one direction And the cross-sectional area of the upstream-side manifold in a cross section perpendicular to the one direction is smaller at the end in the one direction than at the center in the one direction, and the upstream- The length of the flow path at the end portion of the throttle channel, which connects the upstream manifold and the adjacent manifold, And the length of the passage in the central portion is equal to or longer than the length of the passage in the central portion.

Description

Applicator and applicator

도포액을 토출(吐出)하는 도포기, 및, 이 도포기를 구비하고 있는 도포 장치에 관한 것이다.An applicator for discharging a coating liquid, and a coating apparatus provided with the applicator.

유리 기판이나 필름 등의 피도포 부재에 도포액을 도포하기 위한 장치로서, 예를 들어, 특허 문헌 1에 기재된 도포 장치가 알려져 있고, 이 도포 장치는, 도포액을 토출하는 슬릿이 형성되어 있는 도포기를 구비하고 있다. 이 도포 장치는, 상기 도포기 외에, 이 도포기에 도포액을 보내는 송액(送液) 수단과, 도포기와 피도포 부재를 상대적으로 이동시키는 이동 수단을 구비하고 있다. As an apparatus for applying a coating liquid to an object to be coated such as a glass substrate or a film, there is known a coating apparatus disclosed in, for example, Patent Document 1. This coating apparatus is a coating apparatus in which a slit for discharging a coating liquid is formed . This coating apparatus has, in addition to the applicator, a dispensing means for dispensing the dispensing liquid to the dispenser and a moving means for relatively moving the dispenser and the dispensing member.

도포기는 일 방향(이하, Y축 방향이라고 한다)으로 길게 구성되어 있고, 슬릿도 Y축 방향을 따라서 길게 형성되어 있다. 이 도포기에는, 한층 더, 상기 송액 수단으로부터 도포액이 공급되는 공급구와, 이 공급구와 연결되어 있는 Y축 방향으로 긴 매니폴드(캐비티)가 설치되고 있고, 슬릿의 일단(一端) 측(하류 측)이 피도포 부재와 대향하는 토출구가 되어 있고, 슬릿의 타단(他端) 측(상류 측)이 매니폴드와 연결되어 있다. The applicator is elongated in one direction (hereinafter referred to as the Y-axis direction), and the slit is formed long along the Y-axis direction. The applicator is further provided with a supply port through which the coating liquid is supplied from the liquid supply means and a manifold that is long in the Y axis direction connected to the supply port. The one end side of the slit And the other end side (upstream side) of the slit is connected to the manifold.

상기 공급구는 매니폴드와 Y축 방향의 중앙부에서 연결되어 있고, 이 공급구로부터 매니폴드로 공급된 도포액은, Y축 방향의 양측을 향하여 확폭(擴幅)(분산)되고, 매니폴드 내에서 일단 모이고 나서(충만 상태가 되고 나서) 슬릿을 통과하며, 토출구로부터 피도포 부재에 대하여 토출된다. 이 토출의 동작은, 상기 이동 수단에 의하여 도포기와 피도포 부재를 상대적으로 이동시키면서 행하여지고, 이것에 의하여, 피도포 부재에 도막을 형성하는 것이 가능하게 된다. The supply port is connected to the manifold at a central portion in the Y-axis direction. The coating liquid supplied from the supply port to the manifold is widened (spread) toward both sides in the Y-axis direction, And once it is collected (after becoming full), passes through the slit, and is discharged from the discharge port to the object to be coated. This operation of discharging is performed while relatively moving the applicator and the coated member by the moving means, whereby it is possible to form a coated film on the coated member.

일본국 공개특허공보 특개2008-246464호Japanese Patent Application Laid-Open No. 2008-246464

상기대로 공급구는 매니폴드와 Y축 방향의 중앙부와 연결되어 있다. 이 때문에, 특히 매니폴드가 Y축 방향으로 길어지면, 공급구로부터 매니폴드로 유입한 도포액은, Y축 방향의 양 단부(端部)까지 충분히 확폭되지 않는 경우가 있다. 이 경우, 매니폴드의 Y축 방향의 양 단부에서는 도포액이 체류하기 쉬워져, 매니폴드 단부에 있어서의 액 치환성이 나빠진다. 도포기 내에 있어서 액 치환성이 나쁘면, 점성이 높아지거나 열화되거나 하는 등, 도포액이 변성될 우려가 있고, 이것이 원인이 되어 피도포 부재에 형성되는 도막에 악영향을 미치는 일이 있다. The supply port is connected to the manifold and a central portion in the Y-axis direction as described above. Therefore, when the manifold is elongated in the Y-axis direction, the coating liquid flowing into the manifold from the supply port may not sufficiently extend to both end portions in the Y-axis direction. In this case, the coating liquid tends to stagnate at both end portions of the manifold in the Y-axis direction, and the liquid substitution property at the manifold end portion deteriorates. If the liquid substitution property in the applicator is poor, the viscosity of the coating liquid may be increased or deteriorated. In this case, the coating liquid may be denatured. This may cause adverse effects on the coated film formed on the coated member.

그래서, 매니폴드의 형상을 바꾸는 것에 의하여 액 치환성을 향상시키는 것을 생각할 수 있다. 그러나, 매니폴드의 형상을 바꾸면, 그것에 기인하여 매니폴드에 있어서의 도포액의 흐름의 모습이 변화하는 것이 예상된다. 매니폴드에 있어서의 도포액의 흐름의 모습이 변화하면, 이 변화가 슬릿에 있어서의 도포액의 흐름에 영향을 주어, 피도포 부재에 형성되는 도막의 막 두께 정도(精度)를 저하시킬 우려가 있다. 예를 들어, 매니폴드의 Y축 방향의 양 단부에 있어서의 액 치환성을 양화(良化)시키기 위하여, 그 양 단부에 있어서의 유속을 높이기 위한 구성으로 하면, 매니폴드 내의 유속이 변화하는 것에 의하여, 슬릿으로부터 토출되는 도포액의 유량에 영향을 주어, 형성되는 막 두께의 균일성이 손상된다고 하는 문제가 생긴다. Therefore, it is conceivable to improve the liquid substitution property by changing the shape of the manifold. However, if the shape of the manifold is changed, it is expected that the shape of the flow of the coating liquid in the manifold will change. If the shape of the flow of the coating liquid in the manifold is changed, this change affects the flow of the coating liquid in the slit, and there is a fear that the film thickness (accuracy) of the coating film formed on the coated material is lowered have. For example, in order to increase the flow velocity at both ends of the manifold in order to improve the liquid substitution at both end portions in the Y-axis direction, This affects the flow rate of the coating liquid discharged from the slit, which results in a problem that the uniformity of the formed film thickness is impaired.

그래서, 본 발명의 목적은, 도포기의 매니폴드의 단부에 있어서의 액 치환성을 양화시키는 것과 함께, 피도포 부재에 형성되는 도막의 막 두께 정도가 저하하는 것을 막는 것에 있다. It is therefore an object of the present invention to improve the liquid substitution property at the end portion of the manifold of the applicator and to prevent the film thickness of the coating film formed on the coated member from being lowered.

본 발명의 도포기는, 도포액이 공급되는 공급구와, 일 방향으로 길게 형성되고 도포액을 토출하는 슬릿과, 상기 공급구와 연결되는 상류 측 매니폴드, 및, 상기 슬릿과 연결되는 하류 측 매니폴드를 적어도 포함하고, 상기 일 방향으로 길게 형성되어 있는 복수의 매니폴드와, 이웃하는 상기 매니폴드 사이를 연결하는 상기 일 방향으로 긴 스로틀 유로를 가지고, 상기 공급구는 상기 상류 측 매니폴드와 상기 일 방향의 중앙에 있어서 연결되어 있고, 상기 상류 측 매니폴드의 상기 일 방향에 직교하는 단면에 있어서의 단면적은, 당해 일 방향의 중앙부보다도 상기 일 방향의 단부 쪽에서 작게 되어 있고, 상기 상류 측 매니폴드와 당해 상류 측 매니폴드의 이웃하는 상기 매니폴드와의 사이를 연결하는 상기 스로틀 유로에서는, 상기 단부에 있어서의 유로 길이가, 상기 중앙부에 있어서의 유로 길이 이상으로 되어 있다. The applicator of the present invention comprises a supply port for supplying a coating liquid, a slit formed elongated in one direction and discharging a coating liquid, an upstream manifold connected to the supply port, and a downstream manifold connected to the slit And a long throttle channel in the one direction connecting between the plurality of manifolds formed in a long direction in the one direction and the neighboring manifolds, and the supply port is connected to the upstream manifold and the one- Sectional area in a cross section orthogonal to the one direction of the upstream manifold is smaller at an end portion in the one direction than a center portion in the one direction, and the cross- In the throttle channel connecting between the manifold and the adjacent manifold of the side manifold, And the length is equal to or longer than the length of the passage in the central portion.

이 도포기에 의하면, 상류 측 매니폴드의 단면적이 단부에서 작게 되어 있는 것으로부터, 매니폴드 내에서의 도액의 확폭성이 저하하여 버리지만, 매니폴드 단부에 있어서는 단면적이 작기 때문에, 흐르는 도포액이 소량인 유량에서도 유속은 확보되는, 즉 도액 치환성을 양화시키는 것이 가능하다. 일반의 매니폴드가 1단인 도포기에서는, 매니폴드 내에서의 도포액의 확폭성이 저하하면, 슬릿으로부터 토출되는 도포액의 유량이 중앙과 단부에서 달라, 피도포 부재에 형성되는 막 두께의 균일성이 손상된다고 하는 문제가 생기지만, 이 도포기에 의하면, 매니폴드가 다단으로 되는 것으로부터, 공급구로부터 상류 측 매니폴드로 공급된 도포액은, 상류 측 매니폴드에 있어서 확폭(분산)되고, 스로틀 유로를 통과하여 한층 더, 그 이웃하는 매니폴드에 있어서 확폭(분산)되고, 이 매니폴드에 일단 모인다. 그리고, 도포액은 최종적으로 슬릿으로부터 토출된다. 이 때문에, 슬릿으로부터 토출되는 도포액의 토출 상태(유량)를 일 방향 전체 길이에 걸쳐서 가급적으로 일양(一樣)하게 할 수 있어, 피도포 부재에 형성되는 막 두께를 균일하게 하는 것이 가능하게 된다. According to this applicator, since the sectional area of the upstream manifold is reduced at the end portion, the widening property of the coating liquid in the manifold is lowered. However, since the sectional area at the manifold end portion is small, It is possible to ensure the flow velocity even at the flow rate, that is, to improve the liquid substitution property. In the applicator in which the common manifold is one stage, if the widening of the coating liquid in the manifold is lowered, the flow rate of the coating liquid discharged from the slit is different at the center and the end, The coating liquid supplied to the upstream manifold from the supply port is widened (dispersed) in the upstream manifold, and the coating liquid supplied from the supply port to the upstream manifold is widened, (Dispersed) in the adjacent manifold through the throttle channel, and is once gathered in this manifold. Then, the coating liquid is finally discharged from the slit. Therefore, the dispensing state (flow rate) of the coating liquid discharged from the slit can be made uniform as much as possible over the entire length in one direction, and the film thickness formed on the coated member can be made uniform.

덧붙여, 스로틀 유로에서는, 단부에 있어서의 유로 길이가 중앙부에 있어서의 유로 길이 이상으로 되어 있기 때문에, 통과하는 도포액에 있어서 단부와 중앙부에서 흐름의 용이함은 같거나 또는 단부에서는 중앙부와 비교하여 흐르기 어려워진다. 이 때문에, 이 스로틀 유로를 통과한 도포액은 매니폴드에 있어서 확폭을 저해하는 방향으로 흐르기 어려워진다. 즉, 매니폴드에 있어서의 확폭의 작용을 유지할 수 있다. In addition, in the throttle channel, since the channel length at the end portion is equal to or greater than the channel length at the center portion, the ease of flow at the end portion and the center portion of the coating liquid passing therethrough is the same, Loses. As a result, the coating liquid that has passed through the throttle channel is less likely to flow in the direction in which the width of the manifold is inhibited. That is, the effect of the widening in the manifold can be maintained.

덧붙여, 상기 유로 길이는, 상류 측 매니폴드로부터 그 이웃하는 매니폴드로 향하는 방향의 길이이며, 예를 들어, 상류 측 매니폴드를 위, 그 이웃하는 매니폴드를 아래에 배치한 도포기의 경우, 상기 방향은 상하 방향이 된다. Incidentally, the passage length is a length in the direction from the upstream manifold to the adjacent manifold. For example, in the case of the applicator in which the upstream manifold is located above and the neighboring manifold is located below, The direction is the vertical direction.

또한, 상기 스로틀 유로의 상기 단부에 있어서의 유로 길이가, 상기 중앙부에 있어서의 유로 길이와 같은 경우, 스로틀 유로에서는, 통과하는 도포액에 있어서 단부와 중앙부에서 흐름의 용이함은 같아진다. 이 때문에, 매니폴드에 있어서의 확폭의 작용을 유지할 수 있다. When the length of the passage at the end portion of the throttle passage is equal to the length of the passage at the center portion, the ease of flow at the end portion and the central portion of the passage of the coating solution becomes the same. Therefore, the effect of the widening in the manifold can be maintained.

또한, 이 경우에 있어서, 상기 상류 측 매니폴드의 상단(上端)의 높이는 상기 일 방향을 따라서 일정하고, 또한, 당해 상류 측 매니폴드의 높이 방향의 치수는, 상기 일 방향의 전체 길이에 걸쳐서 일정한 것이 바람직하다. In this case, the height of the upper end of the upstream manifold is constant along the one direction, and the dimension of the upstream manifold in the height direction is constant over the entire length in the one direction .

이 경우, 상류 측 매니폴드 및 그 이웃하는 매니폴드에 있어서 도포액이 양측으로 퍼지는 작용(확폭 작용)에 의하여, 이들 매니폴드에 혼입할 우려가 있는 기포를 양 단부에 모으기 쉬워진다. 이 때문에, 이들 매니폴드 각각의 양 단부에 에어를 배출하기 위한 공기 빼기 구멍을 설치하는 것으로, 에어를 도포기 밖으로 배출하기 쉬워진다. In this case, bubbles likely to be mixed in these manifolds are easily collected at both ends by the action (widening action) of spreading the coating liquid on both sides in the upstream manifold and its neighboring manifold. Therefore, by providing air vent holes for discharging air at both ends of each of these manifolds, it is easy to discharge air out of the applicator.

또한, 상기 복수의 매니폴드 각각에 있어서, 상기 일 방향에 직교하는 단면에 있어서의 단면적은, 상기 일 방향의 중앙부보다도 상기 일 방향의 단부 쪽에서 작게 되어 있는 것이 바람직하다. In each of the plurality of manifolds, it is preferable that a cross-sectional area in a cross section orthogonal to the one direction is smaller at an end portion in the one direction than a center portion in the one direction.

이 경우, 복수의 매니폴드 각각에 있어서 단부에 있어서의 액 치환성을 양화시키는 것이 가능하게 된다. In this case, it is possible to quantify the liquid substitution property at the end portion in each of the plurality of manifolds.

또한, 상기 매니폴드는 3개 이상 설치되어 있고, 상기 스로틀 유로가 당해 매니폴드의 수보다도 1개 적은 수에 관하여 설치되어 있는 경우, 당해 스로틀 유로 각각에 있어서, 상기 단부에 있어서의 유로 길이는, 상기 중앙부에 있어서의 유로 길이 이상으로 되어 있는 것이 바람직하다. When the number of the manifolds is three or more and the number of the throttle passages is one less than the number of the manifolds, in each of the throttle passages, It is preferable that the length is equal to or longer than the length of the channel in the central portion.

이 경우, 복수의 스로틀 유로 각각을 통과한 도포액은, 매니폴드에 있어서 확폭을 저해하는 방향으로 흐르기 어려워진다. 덧붙여, 스로틀 유로를 통과하는 도포액에 있어서 단부와 중앙부에서 흐름의 용이함을 같게 하기 위해서는, 상기 단부에 있어서의 유로 길이를, 상기 중앙부에 있어서의 유로 길이와 같게 하면 된다. In this case, the coating liquid that has passed through each of the plurality of throttle channels becomes less likely to flow in the direction in which the width of the manifold is inhibited. In addition, in order to facilitate the flow at the end portion and the central portion in the coating liquid passing through the throttle passage, the length of the passage at the end portion may be equal to the length of the passage at the center portion.

또한, 본 발명의 도포 장치는, 피도포 부재에 대하여 도포액을 토출하는 상기 도포기와, 상기 도포기에 도포액을 보내는 송액 수단과, 상기 도포기와 상기 피도포 부재를 상대적으로 이동시키는 이동 수단을 구비하고 있다. Further, the coating apparatus of the present invention may further comprise: an applicator for discharging the coating liquid to the coated member; a conveying means for conveying the coated liquid to the applicator; and a moving means for relatively moving the applicator and the coated member .

이 도포 장치에 의하면, 도포기의 매니폴드에 있어서의 액 치환성을 양화시키는 것과 함께, 피도포 부재에 형성되는 도막의 막 두께 정도가 저하하는 것을 막는 것이 가능하게 된다. With this coating apparatus, it is possible to improve the liquid substitution property in the manifold of the applicator and to prevent the film thickness of the coating film formed on the coated member from being lowered.

본 발명에 의하면, 도포기가 가지는 매니폴드의 단부에 있어서의 액 치환성을 양화시키는 것과 함께, 피도포 부재에 형성되는 도막의 막 두께 정도가 저하하는 것을 막을 수 있고, 이 피도포 부재를 이용하여 고품질인 제품을 얻는 것이 가능하게 된다. According to the present invention, it is possible to improve the liquid substitution property at the end portion of the manifold of the applicator, prevent the film thickness of the coated film formed on the coated member from being lowered, It becomes possible to obtain a high-quality product.

도 1은 도포 장치의 실시의 일 형태를 도시하는 개략 구성도이다.
도 2는 도포기를 정면으로부터 보았을 경우의 단면도이다.
도 3은 도 2에 도시하는 도포기의 A3 방향으로부터 본 단면도이다.
도 4는 도 2에 도시하는 도포기의 A4 방향으로부터 본 단면도이다.
도 5는 도포기의 변형예를 도시하는 도면이고, 중앙부의 단면도이다.
도 6은 도포기의 변형예를 도시하는 도면이고, 단부의 단면도이다.
도 7은 다른 형태의 도포기를 정면으로부터 보았을 경우의 단면도이다.
도 8은 도 7에 도시하는 도포기의 A8 방향으로부터 본 단면도이다.
도 9는 도 7에 도시하는 도포기의 A9 방향으로부터 본 단면도이다.
도 10은 도포기의 변형예를 도시하는 도면이고, 중앙부의 단면도이다.
도 11은 도포기의 변형예를 도시하는 도면이고, 단부의 단면도이다.
도 12는 도포기를 정면으로부터 보았을 경우의 단면도이다.
도 13은 도 12에 도시하는 도포기의 A12 방향으로부터 본 단면도이다.
도 14는 도 12에 도시하는 도포기의 A14 방향으로부터 본 단면도이다.
도 15는 도포 장치의 단면도이다.BRIEF DESCRIPTION OF DRAWINGS FIG. 1 is a schematic structural view showing one embodiment of a coating device. FIG.
2 is a sectional view when the applicator is viewed from the front.
Fig. 3 is a sectional view of the applicator shown in Fig. 2 as viewed from the A3 direction.
Fig. 4 is a cross-sectional view of the applicator shown in Fig. 2 as seen from A4 direction.
Fig. 5 is a view showing a modified example of the applicator, and is a sectional view of a central portion.
Fig. 6 is a view showing a modified example of the applicator, and is a sectional view of the end portion.
7 is a cross-sectional view of another type of applicator when viewed from the front.
8 is a cross-sectional view of the applicator shown in Fig. 7 as viewed from the A8 direction.
Fig. 9 is a sectional view of the applicator shown in Fig. 7 as seen from the direction A9.
10 is a view showing a modified example of the applicator, and is a cross-sectional view at the center.
Fig. 11 is a view showing a modified example of the applicator, and is a sectional view of an end portion.
12 is a sectional view when the applicator is viewed from the front.
13 is a cross-sectional view of the applicator shown in Fig. 12 as seen from the A12 direction.
Fig. 14 is a sectional view of the applicator shown in Fig. 12 as viewed from the A14 direction.
15 is a sectional view of the application device.

이하, 본 발명의 실시 형태를 도면에 기초하여 설명한다.DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

〔도포 장치의 전체 구성에 관하여〕[Regarding the Overall Configuration of Coating Apparatus]

본 발명의 도포 장치는, 예를 들어 유리제의 기판이나 필름 등의 피도포 부재에 도포액을 도포하기 위한 장치이다. 도 1에 도시하는 형태에서는, 피도포 부재는 직사각형의 기판(W)이며, 도포 장치(1)는, 그 상면(上面)(피도포면)에 도포액을 도포한다. 이 때문에, 도포 장치(1)는, 기판(W)에 대하여 도포액을 토출하는 도포기(10)와, 이 도포기(10)에 도포액을 보내는 송액 수단(30)과, 도포기(10)와 기판(W)을 상대적으로 이동시키는 이동 수단(40)을 구비하고 있다. The coating apparatus of the present invention is an apparatus for coating a coating liquid on a coating member such as a glass substrate or a film. In the embodiment shown in Fig. 1, the coated member is a rectangular substrate W, and the coating unit 1 applies a coating liquid to the upper surface (coated surface) thereof. Therefore, the coating apparatus 1 includes an applicator 10 for discharging a coating liquid to the substrate W, a liquid supply means 30 for supplying a coating liquid to the applicator 10, an applicator 10 And a moving means 40 for relatively moving the substrate W and the substrate W.

도포 장치(1)는, 한층 더, 기판(W)을 실어 보지(保持)하는 스테이지(5)를 구비하고 있다. 도포기(10)는 일 방향으로 길게 구성되어 있고, 이 일 방향과 기판(W)의 폭 방향이 평행하게 되도록 하여, 기판(W)은 스테이지(5) 상에 실린다. 덧붙여, 이하에 있어서, 도포기(10)의 긴쪽 방향(상기 일 방향)을 「Y축 방향」이라고 정의한다. 도포기(10)의 길이는, 기판(W)의 Y축 방향의 치수보다도 크고, 기판(W)의 사이즈에 따라 여러 가지의 것이 있다. 덧붙여, 본 발명은, 도포기(10)(후술하는 슬릿(15))의 Y축 방향의 길이가 1000밀리미터를 넘는 것과 같은 긴 것에 특히 호적(好適)하다. The coating apparatus 1 further includes a stage 5 for holding a substrate W thereon. The applicator 10 is elongated in one direction and the substrate W is placed on the stage 5 so that the one direction and the width direction of the substrate W are parallel. In the following description, the longitudinal direction (the one direction) of the applicator 10 is defined as the " Y-axis direction ". The length of the applicator 10 is larger than the dimension in the Y-axis direction of the substrate W and varies depending on the size of the substrate W. [ In addition, the present invention is particularly favorable to a case where the length in the Y-axis direction of the applicator 10 (slit 15 described later) exceeds 1000 millimeters.

도 1에 도시하는 형태에서는, 이동 수단(40)은 고정 상태에 있는 스테이지(5)에 대하여 도포기(10)를 직선적으로 왕복 이동시킨다. 이 왕복 이동의 방향은, Y축 방향에 직교하는 방향이고, 또한, 기판(W)의 상면(피도포면)에 평행한 방향이다. 이 방향을 「X축 방향」이라고 정의한다. 본 실시 형태에서는, X축 방향 및 Y축 방향은, 각각 수평 방향이다. In the embodiment shown in Fig. 1, the moving means 40 reciprocates the applicator 10 linearly with respect to the stationary stage 5. The direction of the reciprocating movement is a direction orthogonal to the Y-axis direction, and is a direction parallel to the upper surface (the surface to be coated) of the substrate W. [ This direction is defined as " X-axis direction ". In the present embodiment, the X-axis direction and the Y-axis direction are horizontal directions, respectively.

도포기(10)의 X축 방향의 이동을 실현하기 위하여, 이동 수단(40)은, 스테이지(5)에 대하여 X축 방향으로 이동 가능한 갠트리(41)를 가지고 있고, 이 갠트리(41)에 도포기(10)가 탑재되어 있다. 이동 수단(40)은, 도시하지 않지만, 도포기(10)를 상하 방향으로 이동시키는 액추에이터도 구비하고 있고, 이 액추에이터에 의하여 기판(W)에 대한 도포기(10)(후술하는 토출구(16))의 높이 위치를 변경할 수 있다. 이 높이의 방향은, 상기 X축 방향 및 상기 Y축 방향과 직교하는 방향이며, 이 방향을 「Z축 방향」이라고 정의한다. In order to realize the movement of the applicator 10 in the X-axis direction, the moving means 40 has a gantry 41 movable in the X-axis direction with respect to the stage 5, And a machine 10 is mounted. Although not shown, the moving means 40 also includes an actuator for moving the applicator 10 in the up and down direction. The applicator 10 (the discharging port 16 described later) Can be changed. The direction of this height is a direction orthogonal to the X-axis direction and the Y-axis direction, and this direction is defined as a " Z-axis direction ".

송액 수단(30)은, 도포액을 모으는 탱크(31)와, 이 탱크(31)의 도포액을 도포기(10)로 보내는 펌프(32)를 구비하고 있다. 또한, 도포 장치(1)는, 송액 수단(30) 및 이동 수단(40)의 각 동작을 제어하는 제어 장치(7)를 구비하고 있다. 이 제어 장치(7)의 제어에 의하여 도포기(10)로부터 기판(W)으로 도포액을 토출시키는 도포 동작이 행하여진다. The liquid delivering means 30 includes a tank 31 for collecting the application liquid and a pump 32 for sending the application liquid of the tank 31 to the applicator 10. The application device 1 is also provided with a control device 7 for controlling the operations of the liquid supply means 30 and the movement means 40. A coating operation for discharging the coating liquid from the applicator 10 to the substrate W is carried out under the control of the control device 7. [

도 2는, 도포기(10)를 정면으로부터(X축 방향을 따라서) 보았을 경우의 단면도이다. 도 3은, 도 2에 도시하는 도포기(10)의 A3 방향으로부터 본 단면도이다. 이 도포기(10)는, 송액 수단(30)(도 1 참조)으로부터 도포액이 공급되는 공급구(11)와, Y축 방향으로 길게 형성되고 기판(W)에 대하여 도포액을 토출하는 슬릿(15)과, 공급구(11)와 연결되는 제1 매니폴드(상류 측 매니폴드)(12)와, 슬릿(15)과 연결되는 제2 매니폴드(하류 측 매니폴드)(14)와, 이들 이웃하는 매니폴드(12, 14) 사이를 연결하는 Y축 방향으로 긴 스로틀 유로(13)를 가지고 있다. 슬릿(15)의 하단(下端)이 기판(W)과 대향하고 있고 Y축 방향으로 가늘고 긴 토출구(16)가 된다. 2 is a cross-sectional view when the applicator 10 is viewed from the front (along the X-axis direction). Fig. 3 is a sectional view of the applicator 10 shown in Fig. 2 as seen from the A3 direction. The applicator 10 is provided with a supply port 11 through which a coating liquid is supplied from the liquid supply means 30 (see Fig. 1), a slit 22 which is elongated in the Y axis direction and discharges the coating liquid to the substrate W (Upstream manifold) 12 connected to the supply port 11, a second manifold (downstream manifold) 14 connected to the slit 15, and a second manifold And a throttle channel 13 extending in the Y-axis direction connecting the adjacent manifolds 12 and 14. [ The lower end of the slit 15 faces the substrate W and the discharge port 16 is elongated in the Y-axis direction.

이 도포기(10)에 있어서, 공급구(11)는 제1 매니폴드(12)와 Y축 방향의 중앙에 있어서 연결되어 있고(도 2 참조), 이 공급구(11)로부터 제1 매니폴드(12)로 공급된 도포액은, Y축 방향의 양단(兩端)을 향하여 확폭(분산)되고, 제1 매니폴드(12) 내에서 일단 모이고 나서(충만 상태가 되고 나서) 스로틀 유로(13)를 통과한다. 그리고, 스로틀 유로(13)로부터 제2 매니폴드(14)에 공급된 도포액은, 한층 더 Y축 방향의 양측을 향하여 확폭(분산)되고, 제2 매니폴드(14) 내에서 일단 모이고 나서(충만 상태가 되고 나서) 슬릿(15)을 통과하고, 토출구(16)로부터 기판(W)에 대하여 토출된다. 송액 수단(30)(도 1 참조)이 도포기(10)로 도포액을 공급하는 것에 의하여, 도포액이 토출구(16)로부터 토출된다. 송액 수단(30)에 의한 도포액의 공급은, 이동 수단(40)에 의하여 도포기(10)와 기판(W)을 상대적으로 이동시키면서 행하여지고, 이것에 의하여, 기판(W)에 도포액에 의한 도막을 형성하는 것이 가능하게 된다.In this applicator 10, the supply port 11 is connected to the first manifold 12 at the center in the Y-axis direction (see FIG. 2) The coating liquid supplied to the nozzle 12 is widened (spread) toward both ends in the Y-axis direction and is collected in the first manifold 12 (after becoming full) ). The coating liquid supplied from the throttle channel 13 to the second manifold 14 is widened (dispersed) toward both sides in the Y-axis direction and is collected once in the second manifold 14 Passes through the slit 15 and is discharged from the discharge port 16 to the substrate W. [ The coating liquid is discharged from the discharge port 16 by supplying the coating liquid to the applicator 10 by the liquid supply means 30 (see FIG. 1). The supply of the coating liquid by the liquid delivering means 30 is performed while the applicator 10 and the substrate W are relatively moved by the moving means 40 so that the substrate W is supplied with the coating liquid It is possible to form a coating film.

〔도포기(10)의 구성(그 1)〕 [Configuration of Coating Machine 10 (Part 1)]

도 2에 도시하는 바와 같이, 상기대로, 도포기(10)는 Y축 방향으로 길게 구성되어 있고, 제1 매니폴드(12) 및 제2 매니폴드(14) 각각에 관해서도, Y축 방향으로 길게 형성되어 있다. 그리고, 공급구(11)는, 제1 매니폴드(12)와 Y축 방향의 중앙에 있어서 개구(開口)하는 것으로, 공급구(11)와 제1 매니폴드(12)는 연결되어 있다. 2, the applicator 10 is elongated in the Y-axis direction as described above. The first manifold 12 and the second manifold 14 are also elongated in the Y-axis direction Respectively. The supply port 11 is opened at the center of the first manifold 12 in the Y axis direction and the supply port 11 and the first manifold 12 are connected to each other.

도포기(10)(도 3 참조)는, 2개의 분할체(10a, 10b)를 맞추는 것으로 구성되어 있다. 일방(一方)의 분할체(10a)에 Y축 방향으로 긴 오목부(10c-1)가 형성되고, 타방(他方)의 분할체(10b)에 Y축 방향으로 긴 오목부(10d-1)가 형성되어 있으며, 이들 오목부(10c-1, 10d-1)에 의하여 1개의 제1 매니폴드(12)가 구성되어 있다. 또한, 일방의 분할체(10a)에 Y축 방향으로 긴 오목부(10c-2)가 형성되고, 타방의 분할체(10b)에 Y축 방향으로 긴 오목부(10d-2)가 형성되어 있으며, 이들 오목부(10c-2, 10d-2)에 의하여 1개의 제2 매니폴드(14)가 구성되어 있다. The applicator 10 (see Fig. 3) is constituted by aligning the two divided bodies 10a, 10b. A long recess 10c-1 in the Y-axis direction is formed in one of the divided bodies 10a and a recessed portion 10d-1 is formed in the other divided body 10b in the Y- And the first manifold 12 is constituted by these concave portions 10c-1 and 10d-1. A recessed portion 10c-2 extending in the Y-axis direction is formed in the one divided body 10a and a recessed portion 10d-2 formed in the other divided body 10b in the Y-axis direction , And one second manifold 14 is formed by these concave portions 10c-2 and 10d-2.

스로틀 유로(13)는, 이웃하는 제1 매니폴드(12)와 제2 매니폴드(14)와의 사이를 연결하는 유로이며, Y축 방향으로 길고, 또한, X축 방향에 관해서는 매니폴드(12, 14)보다도 좁은 형상을 가지고 있다. 도포액을 토출하는 슬릿(15)에 관해서도, Y축 방향으로 길고, 또한, X축 방향에 관해서는 매니폴드(12, 14)보다도 좁은 형상을 가지고 있다. 본 실시 형태에서는, 제1 매니폴드(12), 스로틀 유로(13), 제2 매니폴드(14) 및 슬릿(15)은, Y축 방향으로 같은 길이로 되어 있다(도 2 참조). The throttle passage 13 is a passage which connects between the adjacent first manifold 12 and the second manifold 14 and is elongated in the Y axis direction and the manifold 12 , 14). The slit 15 for discharging the coating liquid also has a shape that is longer in the Y axis direction and narrower than the manifolds 12 and 14 in the X axis direction. In this embodiment, the first manifold 12, the throttle channel 13, the second manifold 14, and the slit 15 have the same length in the Y axis direction (see Fig. 2).

도 3은, 도포기(10)의 Y축 방향의 중앙부(C)에 있어서의 단면도인 것에 대하여, 도 4는, 도 2에 도시하는 도포기(10)의 A4 방향으로부터 본 단면도이다. 즉, 도 4는 도포기(10)의 Y축 방향의 단부(E)에 있어서의 단면도이다. 도 3 및 도 4에 도시하는 바와 같이, 제1 매니폴드(12)의 Y축 방향에 직교하는 단면에 있어서의 단면적은, Y축 방향의 중앙부(C)(도 3 참조)보다도 Y축 방향의 단부(E)(도 4 참조) 쪽이 작게 되어 있다. 즉, 제1 매니폴드(12)에 관하여, 도 4에 도시하는 Y축 방향 양단 각각에 위치하는 단부(E)의 단면적 S1e는, 도 3에 도시하는 중앙부(C)의 단면적 S1c보다도 작게 되어 있다(S1e<S1c). 3 is a cross-sectional view of the applicator 10 at a central portion C in the Y-axis direction, and Fig. 4 is a cross-sectional view of the applicator 10 seen from the A4 direction shown in Fig. 4 is a cross-sectional view of the applicator 10 at an end portion E in the Y-axis direction. 3 and 4, the sectional area of the first manifold 12 in a cross section perpendicular to the Y-axis direction is smaller than the cross-sectional area of the first manifold 12 in the Y-axis direction (see FIG. 3) The end portion E (see Fig. 4) is smaller. That is, with respect to the first manifold 12, the sectional area S1e of the end portion E positioned at both ends in the Y-axis direction shown in FIG. 4 is smaller than the sectional area S1c of the central portion C shown in FIG. 3 (S1e < S1c).

도 2에 도시하는 바와 같이, 제1 매니폴드(12)의 높이 방향의 치수 H1(즉, Z축 방향의 치수 H1)은, Y축 방향의 전체 길이에 걸쳐서 일정하게 되어 있다. 덧붙여, 제1 매니폴드(12)의 상단(50)의 높이는 Y축 방향을 따라서 일정(수평)하고, 하단(51)의 높이도 Y축 방향을 따라서 일정(수평)하다. 하단(51)은, 제1 매니폴드(12)와 제1 스로틀 유로(13)와의 경계선(능선)이다. 그리고, 제1 매니폴드(12)의 상단(50)을 구성하는 직선과, 하단(51)을 구성하는 직선(상기 경계선)과는 평행하게 되어 있다. 그래서, 제1 매니폴드(12)의 단면적에 관하여 상기 S1e<S1c를 만족시키기 위하여, 도 3 및 도 4에 도시하는 바와 같이, 제1 매니폴드(12)의 단부(E)에 있어서의 X축 방향의 치수(깊이 치수) D1e는, 제1 매니폴드(12)의 중앙부(C)에 있어서의 X축 방향의 치수(깊이 치수) D1c보다도 작게 되어 있다(D1e<D1c). 본 실시 형태에서는, 중앙부(C)로부터 양측의 단부(E) 각각을 향하여 서서히 제1 매니폴드(12)의 X축 방향의 치수가 작아지도록 변화하고 있다. 이것에 의하여, 제1 매니폴드(12)의 단면적은, 중앙부(C)로부터 양측의 단부(E) 각각을 향하여 서서히 작아지도록 변화하는 구성으로 되어 있다. As shown in Fig. 2, the height H1 (that is, the dimension H1 in the Z-axis direction) of the first manifold 12 in the height direction is constant over the entire length in the Y-axis direction. In addition, the height of the upper end 50 of the first manifold 12 is constant (horizontal) along the Y-axis direction and the height of the lower end 51 is constant (horizontal) along the Y-axis direction. The lower end 51 is a boundary line (ridge line) between the first manifold 12 and the first throttle passage 13. The straight line constituting the upper end 50 of the first manifold 12 and the straight line constituting the lower end 51 (the boundary line) are parallel to each other. 3 and 4, in order to satisfy S1e < S1c with respect to the cross sectional area of the first manifold 12, the X axis of the end portion E of the first manifold 12, (Depth dimension) D1e of the first manifold 12 is smaller than the dimension (depth dimension) D1c in the X-axis direction in the central portion C of the first manifold 12 (D1e <D1c). In the present embodiment, the dimension of the first manifold 12 in the X-axis direction is gradually decreased from the center portion C toward the both end portions E on both sides. Thus, the sectional area of the first manifold 12 is changed so as to gradually decrease from the central portion C toward the respective end portions E on both sides.

본 실시 형태에서는, 제2 매니폴드(14)에 관해서도 제1 매니폴드(12)와 마찬가지의 형상으로 되어 있다. 즉, 제2 매니폴드(14)의 Y축 방향에 직교하는 단면에 있어서의 단면적은, Y축 방향의 중앙부(C)(도 3 참조)보다도 Y축 방향의 단부(E)(도 4 참조) 쪽이 작게 되어 있다. 즉, 제2 매니폴드(14)에 관하여, 도 4에 도시하는 Y축 방향 양측 각각에 위치하는 단부(E)의 단면적 S2e는, 중앙부(C)의 단면적 S2c보다도 작게 되어 있다(S2e<S2c). In the present embodiment, the second manifold 14 has the same shape as the first manifold 12. 4) than the central portion C (see Fig. 3) in the Y-axis direction, the cross-sectional area of the second manifold 14 in the Y- Is smaller. That is, with respect to the second manifold 14, the sectional area S2e of the end portion E located on both sides in the Y-axis direction shown in FIG. 4 is smaller than the sectional area S2c of the central portion C (S2e <S2c) .

도 2에 도시하는 바와 같이, 제2 매니폴드(14)의 높이 방향의 치수 H2(즉, Z축 방향의 치수 H2)는, Y축 방향의 전체 길이에 걸쳐서 일정하게 되어 있다. 그래서, 제2 매니폴드(14)의 단면적에 관하여 상기 S2e<S2c를 만족시키기 위하여, 도 3 및 도 4에 도시하는 바와 같이, 제2 매니폴드(14)의 단부(E)에 있어서의 X축 방향의 치수(깊이 치수) D2e는, 제2 매니폴드(14)의 중앙부(C)에 있어서의 X축 방향의 치수(깊이 치수) D2c보다도 작게 되어 있다(D2e<D2c). 본 실시 형태에서는, 중앙부(C)로부터 양측의 단부(E) 각각을 향하여 서서히 제2 매니폴드(14)의 X축 방향의 치수가 작아지도록 변화하고 있다. 이것에 의하여, 제2 매니폴드(14)의 단면적은, 중앙부(C)로부터 양측의 단부(E) 각각을 향하여 서서히 작아지도록 변화하는 구성으로 되어 있다. As shown in Fig. 2, the height H2 (that is, the dimension H2 in the Z-axis direction) of the second manifold 14 is constant over the entire length in the Y-axis direction. 3 and 4, in order to satisfy S2e < S2c with respect to the sectional area of the second manifold 14, the X axis at the end E of the second manifold 14 (Depth dimension) D2e of the second manifold 14 is smaller than the dimension (depth dimension) D2c in the X-axis direction in the central portion C of the second manifold 14 (D2e <D2c). In the present embodiment, the dimension of the second manifold 14 in the X-axis direction is gradually decreased from the central portion C toward the both end portions E on both sides. Thus, the sectional area of the second manifold 14 is changed so as to gradually decrease from the central portion C toward the respective end portions E on both sides.

스로틀 유로(13)는, 제1 매니폴드(12)와, 그 이웃하는 제2 매니폴드와(14)와의 사이를 연결하는 유로이며, 도 2에 있어서, 이 스로틀 유로(13)에서는, 단부(E)에 있어서의 유로 길이 L1e와, 중앙부(C)에 있어서의 유로 길이 L1c가 같게 되어 있다(L1e=L1c). 본 실시 형태에서는, Y축 방향의 전체 길이에 걸쳐서 스로틀 유로(13)의 유로 길이는 일정하게 되어 있다. 덧붙여, 상기 유로 길이(L1e, L1c)는, 상류 측의 제1 매니폴드(12)로부터 제2 매니폴드(14)로 향하는 방향, 즉, Z축 방향의 길이이다. 본 실시 형태의 경우, 제1 매니폴드(12)를 위, 제2 매니폴드(14)를 아래에 배치하고 있는 것으로부터, 이 Z축 방향은 상하 방향이 된다. 또한, 도 3 및 도 4에 도시하는 바와 같이, 스로틀 유로(13)의 X축 방향의 치수(스로틀 유로(13)의 유로 폭)는, Y축 방향을 따라서 일정하다. The throttle channel 13 is a channel for connecting the first manifold 12 and the adjacent second manifold 14 to each other. In the throttle channel 13 shown in Fig. 2, E and the channel length L1c at the center portion C are equal to each other (L1e = L1c). In the present embodiment, the channel length of the throttle channel 13 is constant over the entire length in the Y-axis direction. The flow path lengths L1e and L1c are the direction from the first manifold 12 on the upstream side to the second manifold 14, that is, the length in the Z-axis direction. In the case of the present embodiment, since the second manifold 14 is disposed below the first manifold 12, the Z-axis direction becomes the up-and-down direction. 3 and 4, the dimension of the throttle passage 13 in the X-axis direction (the flow passage width of the throttle passage 13) is constant along the Y-axis direction.

도 2에 있어서, 슬릿(15)에서는, 단부(E)에 있어서의 유로 길이 Me와, 중앙부(C)에 있어서의 유로 길이 Mc가 같게 되어 있다(Me=Mc). 본 실시 형태에서는, Y축 방향의 전체 길이에 걸쳐서 슬릿(15)의 유로 길이는 일정하게 되어 있다. 또한, 도 3 및 도 4에 도시하는 바와 같이, 슬릿(15)의 X축 방향의 치수(슬릿(15)의 유로 폭)는, Y축 방향을 따라서 일정하다. 2, in the slit 15, the channel length Me at the end portion E is equal to the channel length Mc at the center portion C (Me = Mc). In the present embodiment, the channel length of the slit 15 is constant over the entire length in the Y-axis direction. 3 and 4, the dimension of the slit 15 in the X-axis direction (flow path width of the slit 15) is constant along the Y-axis direction.

제2 매니폴드(14)의 상단(52)의 높이는 Y축 방향을 따라서 일정(수평)하고, 하단(53)의 높이도 Y축 방향을 따라서 일정(수평)하다. 덧붙여, 상단(52)은, 제1 스로틀 유로(13)와 제2 매니폴드(14)와의 경계선이 되고, 하단(53)은, 제2 매니폴드(14)와 슬릿(15)과의 경계선(능선)이 된다. 그리고, 상단(52)이 되는 경계선과 하단(53)이 되는 경계선과는 평행이다. The height of the upper end 52 of the second manifold 14 is constant (horizontal) along the Y-axis direction and the height of the lower end 53 is constant (horizontal) along the Y-axis direction. The upper end 52 is a boundary line between the first throttle passage 13 and the second manifold 14 and the lower end 53 is a boundary line between the second manifold 14 and the slit 15 Ridge). The boundary between the upper edge 52 and the lower edge 53 is parallel to the boundary line.

이상과 같이, 도 2 ~ 도 4에 도시하는 도포기(10)에서는, 제1 매니폴드(12)의 Y축 방향에 직교하는 단면에 있어서의 단면적은, Y축 방향의 중앙부(C)보다도 Y축 방향의 단부(E) 쪽에서 작게 되어 있다(S1e<S1c). 이 도포기(10)에 의하면, 제1 매니폴드(12)의 양측의 단부(E) 각각에서 단면적이 작기 때문에, 흐르는 도포액이 소량이어도 유속이 확보되고, 양측의 단부(E) 각각에 있어서의 액 치환성을 양화시키는 것이 가능하게 된다. As described above, in the applicator 10 shown in Figs. 2 to 4, the sectional area in the cross section perpendicular to the Y-axis direction of the first manifold 12 is larger than the cross-sectional area in the Y- (S1e < S1c) at the end E in the axial direction. Since the cross sectional area of each of the end portions E on both sides of the first manifold 12 is small in this applicator 10, even if a small amount of the coating liquid flows, the flow velocity is ensured and in each of the end portions E on both sides It is possible to quantify the liquid substitution property of the liquid.

제1 매니폴드(12)에 있어서, 중앙부(C)와 단부(E)에서 단면적(유로 단면)이 다르면, 매니폴드 내에서의 도포액의 확폭성이 저하하여, 슬릿으로부터 토출되는 도포액의 유량이 중앙과 단부에서 달라, 피도포 부재에 형성되는 막 두께의 균일성이 손상되는 경우가 있지만, 2단의 매니폴드(12, 14)를 가지는 구성으로 되어 있는 것으로부터, 공급구(11)로부터 제1 매니폴드(12)로 공급된 도포액은, 도 2의 화살표 f1로 도시하는 바와 같이, 제1 매니폴드(12)에 있어서 Y축 방향의 양단으로 확폭(분산)되고, 이 제1 매니폴드(12)에 일단 모이고 나서 스로틀 유로(13)를 통과하여 한층 더, 그 이웃하는 제2 매니폴드(14)에 있어서, 도 2의 화살표 f2로 도시하는 바와 같이, Y축 방향의 양측으로 확폭(분산)되고, 도포액은 이 제2 매니폴드(14)에 일단 모이고 나서 슬릿(15)으로부터 토출된다. 이 때문에, 슬릿(15)으로부터 토출되는 도포액의 토출 상태(유량)를, 도 2의 화살표 f3으로 도시하는 바와 같이, Y축 방향 전체 길이에 걸쳐서 가급적으로 일양하게 할 수 있어, 기판(W)에 형성되는 도막의 막 두께 정도가 저하하는 것을 막는 것이 가능하게 된다. If the sectional area (flow path cross-section) is different between the central portion C and the end portion E in the first manifold 12, the widening of the coating liquid in the manifold is reduced and the flow rate of the coating liquid discharged from the slit The uniformity of the film thickness formed on the coated member may be impaired at the center and the end portion. However, since the two-stage manifolds 12 and 14 are provided, The coating liquid supplied to the first manifold 12 is widened (dispersed) at both ends in the Y axis direction in the first manifold 12 as indicated by the arrow f1 in Fig. 2, As shown by an arrow f2 in Fig. 2, in the second manifold 14 adjacent to the second manifold 14 through the throttle channel 13 once gathered in the fold 12, And the coating liquid is once collected in the second manifold 14 and then discharged from the slit 15 It is. Therefore, the discharge state (flow rate) of the coating liquid discharged from the slit 15 can be made as uniform as possible over the entire length in the Y-axis direction as shown by an arrow f3 in Fig. 2, It is possible to prevent the film thickness of the coating film formed on the substrate from decreasing.

또한, 이 도포기(10)의 스로틀 유로(13)에서는, 단부(E)에 있어서의 유로 길이 L1e가, 중앙부(C)에 있어서의 유로 길이 L1c와 같게 되어 있다(L1e=L1c). 특히, 스로틀 유로(13)의 유로 길이는 Y축 방향을 따라서 일정하고, 스로틀 유로(13)의 X축 방향의 치수는 Y축 방향을 따라서 일정하다. 이 때문에, 스로틀 유로(13)에서는, Z축 방향으로 통과하는 도포액에 있어서 단부(E)와 중앙부(C)에서 흐름의 용이함은 같아진다. 이 때문에, 이 스로틀 유로(13)를 통과한 도포액은 제2 매니폴드(14)에 있어서 확폭을 저해하는 방향으로 흐르기 어려워지고, 제2 매니폴드(14)에 있어서의 확폭의 작용(도 2의 화살표 f2로 도시하는 바와 같은 Y축 방향 양측으로 도포액이 향하도록 흐르게 하는 작용)을 유지할 수 있다. 이 결과, 슬릿(15)으로부터 토출되는 도포액의 토출 상태(유량)를, 도 2의 화살표 f3으로 도시하는 바와 같이, Y축 방향 전체 길이에 걸쳐서 가급적으로 일양하게 하는 기능을 높일 수 있다. In the throttle channel 13 of the applicator 10, the channel length L1e at the end E is equal to the channel length L1c at the center C (L1e = L1c). In particular, the channel length of the throttle channel 13 is constant along the Y-axis direction, and the dimension of the throttle channel 13 in the X-axis direction is constant along the Y-axis direction. Therefore, in the throttle passage 13, the easiness of flow is the same at the end portion E and the central portion C in the coating liquid passing in the Z-axis direction. Therefore, the coating liquid that has passed through the throttle channel 13 is less likely to flow in the direction in which the widening width of the second manifold 14 is inhibited, and the widening action of the second manifold 14 The action of causing the coating liquid to flow toward both sides in the Y-axis direction as shown by an arrow f2 in Fig. As a result, the discharge state (flow rate) of the coating liquid discharged from the slit 15 can be enhanced as much as possible over the entire length in the Y-axis direction as shown by an arrow f3 in Fig.

덧붙여, 도시하지 않지만, 스로틀 유로(13)에서는, 단부(E)에 있어서의 유로 길이 L1e가, 중앙부(C)에 있어서의 유로 길이 L1c 이상으로 되어 있으면 되고(L1e≥L1c), 이것에 의하여, 상기와 같은, 스로틀 유로(13)를 통과한 도포액이 제2 매니폴드(14)에 있어서 확폭을 저해하는 방향으로 흐르기 어려워진다. 그 메커니즘은 다음과 같다. Although not shown, in the throttle channel 13, the channel length L1e at the end portion E may be equal to or larger than the channel length L1c at the center portion C (L1e? L1c) The coating liquid that has passed through the throttle channel 13 as described above is less likely to flow in the direction in which the widening width of the second manifold 14 is inhibited. The mechanism is as follows.

즉, L1e≥L1c의 관계와는 반대로, 도 15에 도시하는 바와 같이, 스로틀 유로(13)에 있어서, 중앙부(C)에 있어서의 유로 길이 L1c가, 단부(E)에 있어서의 유로 길이 L1e보다도 크게 되어 있는 경우(L1c＞L1e), 스로틀 유로(13) 내를 Z축 방향으로 흐를 때의 도포액의 저항은, 단부(E)와 비교하여 중앙부(C) 쪽이 커진다. 이 때문에, 이 스로틀 유로(13)에서는, Z축 방향으로 통과하는 도포액에 있어서 중앙부(C)보다도 단부(E) 쪽이 흐르기 쉬워진다. 그러면, 스로틀 유로(13)로부터 제2 매니폴드(14)로 유출되는 도포액은, 중앙부(C)보다도 단부(E)에 있어서 많아지고, 제2 매니폴드(14)에 있어서, 단부(E)로 흘러든 도포액이, 화살표 f12로 도시하는 바와 같이, 중앙부(C)를 향하여 흐르는 성분이 강해져, 도포액의 확폭의 작용을 저하시켜 버린다. 이 경우, 슬릿(15)을 통과하는 도포액은, 중앙부(C)와 비교하여 단부(E)에 있어서 감소하고, 기판(W)에 형성되는 도막이 Y축 방향으로 일정하게 되지 않을 우려가 있다. 15, in the throttle channel 13, the channel length L1c in the central portion C is smaller than the channel length L1e in the end portion E, that is, (L1c> L1e), the resistance of the coating liquid when flowing in the throttle channel 13 in the Z axis direction becomes larger at the central portion C as compared with the end portion E (L1c> L1e). Therefore, in this throttle passage 13, the end portion E of the coating liquid passing through in the Z-axis direction is easier to flow than the central portion C. The coating liquid flowing out from the throttle channel 13 to the second manifold 14 is increased at the end E than at the center C and is gradually increased at the end E of the second manifold 14, The component flowing toward the central portion C becomes stronger as shown by the arrow f12, and the action of the widening of the coating liquid is lowered. In this case, the coating liquid passing through the slit 15 is reduced at the end portion E as compared with the center portion C, and there is a possibility that the coating film formed on the substrate W may not become uniform in the Y-axis direction.

그러나, 상기대로 스로틀 유로(13)의 유로 길이를 L1e≥L1c의 관계로 하면, 제2 매니폴드(14)에 있어서의 확폭의 작용을 유지할 수 있다. 이 결과, 슬릿(15)으로부터 토출되는 도포액의 토출 상태(유량)를, Y축 방향 전체 길이에 걸쳐서 가급적으로 일양하게 하여, Y축 방향으로 균일한 도막을 형성하는 것이 가능하게 된다. However, when the flow path length of the throttling flow path 13 is L1e > = L1c, the effect of the widening in the second manifold 14 can be maintained. As a result, it becomes possible to form a uniform coating film in the Y-axis direction by making the discharge state (flow rate) of the coating liquid discharged from the slit 15 uniform throughout the entire length in the Y-axis direction.

〔도포기(10)(그 1)의 변형예〕 [Modification of Applicator 10 (Part 1)]

도 3 및 도 4에 도시하는 형태에서는, 도포기(10)를 구성하는 분할체(10a, 10b)의 쌍방에 오목부(10c-1, 10c-2 및 10d-1, 10d-2)가 형성되어 있지만, 도 5 및 도 6에 도시하는 바와 같이, 분할체(10a, 10b) 중 어느 일방에만 오목부(10d-1, 10d-2)가 형성되고, 이 오목부(10d-1, 10d-2)에 의하여 제1 매니폴드(12) 및 제2 매니폴드(14)가 구성되어 있어도 무방하다. 그 외의 구성에 관해서는, 도 2 ~ 도 4에 도시하는 형태의 구성과 같고, 여기에서는 설명을 생략한다.3 and 4, concave portions 10c-1, 10c-2 and 10d-1 and 10d-2 are formed on both of the divided bodies 10a and 10b constituting the applicator 10 However, as shown in Figs. 5 and 6, recesses 10d-1 and 10d-2 are formed in only one of the divided bodies 10a and 10b, and the recesses 10d-1 and 10d- 2, the first manifold 12 and the second manifold 14 may be formed. Other configurations are the same as those of the configurations shown in Figs. 2 to 4, and a description thereof is omitted here.

〔도포기(110)의 구성(그 2)〕 [Composition of Applicator 110 (Part 2)]

도 7은, 다른 형태의 도포기(110)를 정면으로부터(X축 방향을 따라서) 보았을 경우의 단면도이다. 도 8은, 도 7에 도시하는 도포기(110)의 A8 방향으로부터 본 단면도이다. 도 9는, 도 7에 도시하는 도포기(110)의 A9 방향으로부터 본 단면도이다. 즉, 도 8은 도포기(110)의 Y축 방향의 중앙부(C)에 있어서의 단면도이며, 도 9는 도포기(110)의 Y축 방향의 단부(E)에 있어서의 단면도이다. 이 도포기(110)는, 송액 수단(30)(도 1 참조)으로부터 도포액이 공급되는 공급구(111)와, Y축 방향으로 길게 형성되고 기판(W)에 대하여 도포액을 토출하는 슬릿(117)과, 3개의 매니폴드(112, 114, 116)를 가지고 있다. 공급구(111)와 연결되는 매니폴드가 제1 매니폴드(112)이고, 그 하류 측에 이웃하는 매니폴드가 제2 매니폴드(114)이고, 그 하류 측에 이웃하며 슬릿(117)과 연결되는 매니폴드가 제3 매니폴드(116)이다. 제1 매니폴드(112)와 제2 매니폴드(114)와의 사이에 제1 스로틀 유로(113)가 설치되어 있고, 제2 매니폴드(114)와 제3 매니폴드(116)와의 사이에 제2 스로틀 유로(115)가 설치되어 있다. 이 도포기(110)는, 3단의 매니폴드(112, 114, 116)와 2단의 스로틀 유로(113, 115)를 가진다. 7 is a cross-sectional view of another applicator 110 viewed from the front (along the X-axis direction). Fig. 8 is a sectional view of the applicator 110 shown in Fig. 7 as seen from the A8 direction. Fig. 9 is a sectional view of the applicator 110 shown in Fig. 7 as viewed from the direction A9. 8 is a cross-sectional view of the applicator 110 at the center C in the Y-axis direction and Fig. 9 is a cross-sectional view at the end E of the applicator 110 in the Y-axis direction. The applicator 110 includes a supply port 111 through which a coating liquid is supplied from the liquid supply means 30 (see FIG. 1), a slit which is formed long in the Y axis direction and discharges the coating liquid to the substrate W (117), and three manifolds (112, 114, 116). The manifold connected to the supply port 111 is the first manifold 112 and the manifold adjacent to the downstream side is the second manifold 114. The downstream manifold 114 is adjacent to the downstream side of the second manifold 114 and connected to the slit 117 The third manifold 116 is the manifold. A first throttle channel 113 is provided between the first manifold 112 and the second manifold 114 and a second throttle channel 113 is provided between the second manifold 114 and the third manifold 116. [ And a throttle passage 115 is provided. The applicator 110 has three stages of manifolds 112, 114, and 116 and two stages of throttle flow paths 113 and 115.

도포기(110)는 Y축 방향으로 길게 구성되어 있고, 매니폴드(112, 114, 116) 각각에 관해서도, Y축 방향으로 길게 형성되어 있다. 공급구(111)는, 제1 매니폴드(112)와 Y축 방향의 중앙에 있어서 개구하는 것으로, 공급구(111)와 제1 매니폴드(112)와는 연결되어 있다. The applicator 110 is elongated in the Y-axis direction and the manifolds 112, 114, and 116 are elongated in the Y-axis direction. The supply port 111 is open at the center of the first manifold 112 in the Y axis direction and is connected to the supply port 111 and the first manifold 112.

제1 스로틀 유로(113)는, 이웃하는 제1 매니폴드(112)와 제2 매니폴드(114)와의 사이를 연결하는 유로이며, Y축 방향으로 길고, 또한, X축 방향에 관해서는 매니폴드(112, 114)보다도 좁은 형상을 가지고 있다. The first throttle passage 113 is a passage that connects between the adjacent first manifold 112 and the second manifold 114 and is elongated in the Y axis direction, (112, 114).

제2 스로틀 유로(115)는, 이웃하는 제2 매니폴드(114)와 제3 매니폴드(116)와의 사이를 연결하는 유로이며, Y축 방향으로 길고, 또한, X축 방향에 관해서는 매니폴드(114, 116)보다도 좁은 형상을 가지고 있다. The second throttle passage 115 is a passage for connecting between the adjacent second manifold 114 and the third manifold 116. The second throttle passage 115 is long in the Y axis direction, (114, 116).

도포액을 토출하는 슬릿(117)에 관해서도, Y축 방향으로 길고, 또한, X축 방향에 관해서는 매니폴드(112, 114, 116)보다도 좁은 형상을 가지고 있다. 본 실시 형태에서는, 매니폴드(112, 114, 116), 스로틀 유로(113, 115) 및 슬릿(117)은, Y축 방향으로 같은 길이로 되어 있다(도 7 참조). The slit 117 for discharging the coating liquid is also long in the Y-axis direction and narrower in the X-axis direction than the manifolds 112, 114, and 116. In this embodiment, the manifolds 112, 114, and 116, the throttle passages 113 and 115, and the slit 117 have the same length in the Y axis direction (see FIG. 7).

도 8 및 도 9에 도시하는 바와 같이, 제1 매니폴드(112)의 Y축 방향에 직교하는 단면에 있어서의 단면적은, Y축 방향의 중앙부(C)(도 8 참조)보다도 Y축 방향의 단부(E)(도 9 참조) 쪽이 작게 되어 있다. 즉, 제1 매니폴드(112)에 관하여, Y축 방향 양측 각각에 위치하는 단부(E)의 단면적 S1e는, 중앙부(C)의 단면적 S1c보다도 작게 되어 있다(S1e<S1c). As shown in Figs. 8 and 9, the sectional area of the first manifold 112 in a cross section perpendicular to the Y-axis direction is smaller than that in the Y-axis direction (see Fig. 8) The end portion E (see Fig. 9) is smaller. That is, with respect to the first manifold 112, the cross-sectional area S1e of the end portion E located on both sides in the Y-axis direction is smaller than the cross-sectional area S1c of the central portion C (S1e <S1c).

도 7에 도시하는 바와 같이, 제1 매니폴드(112)의 높이 방향의 치수 H1(즉, Z축 방향의 치수 H1)는, Y축 방향의 전체 길이에 걸쳐서 일정하게 되어 있다. 덧붙여, 제1 매니폴드(112)의 상단(150)의 높이는 Y축 방향을 따라서 일정(수평)하고, 하단(151)의 높이도 Y축 방향을 따라서 일정(수평)하다. 하단(151)은, 제1 매니폴드(112)와 제1 스로틀 유로(113)와의 경계선(능선)이 된다. 그리고, 제1 매니폴드(112)의 상단(150)을 구성하는 직선과, 하단(151)을 구성하는 직선(상기 경계선)과는 평행하게 되어 있다. 그래서, 단면적에 관하여 상기의 S1e<S1c를 만족시키기 위하여, 도 8 및 도 9에 도시하는 바와 같이, 제1 매니폴드(112)의 단부(E)에 있어서의 X축 방향의 치수(깊이 치수) D1e는, 제1 매니폴드(112)의 중앙부(C)에 있어서의 X축 방향의 치수(깊이 치수) D1c보다도 작게 되어 있다(D1e<D1c). 본 실시 형태에서는, 중앙부(C)로부터 양측의 단부(E) 각각을 향하여 서서히 제1 매니폴드(112)의 X축 방향의 치수가 작아지도록 변화하고 있다. 이것에 의하여, 제1 매니폴드(112)의 단면적은, 중앙부(C)로부터 양측의 단부(E) 각각을 향하여 서서히 작아지도록 변화하는 구성으로 되어 있다. As shown in Fig. 7, the height H1 (that is, the dimension H1 in the Z-axis direction) of the first manifold 112 in the height direction is constant over the entire length in the Y-axis direction. In addition, the height of the upper end 150 of the first manifold 112 is constant (horizontal) along the Y-axis direction and the height of the lower end 151 is constant (horizontal) along the Y-axis direction. The lower end 151 is a boundary line (ridge line) between the first manifold 112 and the first throttle passage 113. [ The straight line constituting the upper end 150 of the first manifold 112 and the straight line constituting the lower end 151 (the boundary line) are parallel to each other. 8 and 9, in order to satisfy the above-described S1e < S1c with respect to the cross-sectional area, the dimension (depth dimension) in the X-axis direction at the end portion E of the first manifold 112, D1e is smaller than the dimension (depth dimension) D1c in the X-axis direction of the central portion C of the first manifold 112 (D1e <D1c). In the present embodiment, the dimension of the first manifold 112 in the X-axis direction is gradually decreased from the central portion C toward the both end portions E on both sides. Thus, the sectional area of the first manifold 112 is changed so as to gradually decrease from the central portion C toward the respective end portions E on both sides.

본 실시 형태에서는, 제2 매니폴드(114) 및 제3 매니폴드(116) 각각에 관해서도 제1 매니폴드(112)와 같은 형상으로 되어 있다. 즉, 제2 매니폴드(114)(제3 매니폴드(116))의 Y축 방향에 직교하는 단면에 있어서의 단면적은, Y축 방향의 중앙부(C)(도 8 참조)보다도 Y축 방향의 단부(E)(도 9 참조) 쪽이 작게 되어 있다. 즉, 제2 매니폴드(114)(제3 매니폴드(116))에 관하여, Y축 방향 양측 각각에 위치하는 단부(E)의 단면적 S2e(S3e)는, 중앙부(C)의 단면적 S2c(S3c)보다도 작게 되어 있다(S2e<S2c, S3e<S3c). In this embodiment, each of the second manifold 114 and the third manifold 116 has the same shape as the first manifold 112. That is, the cross-sectional area of the second manifold 114 (the third manifold 116) in a cross section perpendicular to the Y-axis direction is smaller than the cross-sectional area in the Y-axis direction The end portion E (see Fig. 9) is smaller. That is, with respect to the second manifold 114 (the third manifold 116), the sectional area S2e (S3e) of the end portion E located on both sides in the Y-axis direction is smaller than the sectional area S2c (S3c (S2e < S2c, S3e < S3c).

도 7에 도시하는 바와 같이, 제2 매니폴드(114)의 높이 방향의 치수 H2(즉, Z축 방향의 치수 H2)는, Y축 방향의 전체 길이에 걸쳐서 일정하게 되어 있다. 그래서, 제2 매니폴드(114)의 단면적에 관하여 상기 S2e<S2c를 만족시키기 위하여, 도 8 및 도 9에 도시하는 바와 같이, 제2 매니폴드(114)의 단부(E)에 있어서의 X축 방향의 치수(깊이 치수) D2e는, 제2 매니폴드(114)의 중앙부(C)에 있어서의 X축 방향의 치수(깊이 치수) D2c보다도 작게 되어 있다(D2e<D2c). 본 실시 형태에서는, 중앙부(C)로부터 양측의 단부(E) 각각을 향하여 서서히 제2 매니폴드(114)의 X축 방향의 치수가 작아지도록 변화하고 있다. 이것에 의하여, 제2 매니폴드(114)의 단면적은, 중앙부(C)로부터 양측의 단부(E) 각각을 향하여 서서히 작아지도록 변화하는 구성으로 되어 있다. As shown in Fig. 7, the height H2 (that is, the dimension H2 in the Z-axis direction) of the second manifold 114 is constant over the entire length in the Y-axis direction. 8 and 9, in order to satisfy S2e < S2c with respect to the cross sectional area of the second manifold 114, the X axis at the end portion E of the second manifold 114 (Depth dimension) D2e of the second manifold 114 is smaller than the dimension (depth dimension) D2c in the X-axis direction in the central portion C of the second manifold 114 (D2e <D2c). In the present embodiment, the dimension of the second manifold 114 in the X-axis direction is gradually decreased from the central portion C toward the both end portions E on both sides. Thus, the sectional area of the second manifold 114 is changed so as to gradually decrease from the central portion C toward the respective end portions E on both sides.

또한, 도 7에 도시하는 바와 같이, 제2 매니폴드(114)와 마찬가지로, 제3 매니폴드(116)의 높이 방향의 치수 H3(즉, Z축 방향의 치수 H3)은, Y축 방향의 전체 길이에 걸쳐서 일정하게 되어 있다. 그래서, 제3 매니폴드(116)의 단면적에 관하여 상기 S3e<S3c를 만족시키기 위하여, 도 8 및 도 9에 도시하는 바와 같이, 제3 매니폴드(116)의 단부(E)에 있어서의 X축 방향의 치수(깊이 치수) D3e는, 제3 매니폴드(116)의 중앙부(C)에 있어서의 X축 방향의 치수(깊이 치수) D3c보다도 작게 되어 있다(D3e<D3c). 본 실시 형태에서는, 중앙부(C)로부터 양측의 단부(E) 각각을 향하여 서서히 제3 매니폴드(116)의 X축 방향의 치수가 작아지도록 변화하고 있다. 이것에 의하여, 제3 매니폴드(116)의 단면적은, 중앙부(C)로부터 양측의 단부(E) 각각을 향하여 서서히 작아지도록 변화하는 구성으로 되어 있다. 7, the height H3 (that is, the dimension H3 in the Z-axis direction) of the third manifold 116 in the height direction is the same as the height H3 in the Y- And is constant over the length. 8 and 9, in order to satisfy S3e < S3c with respect to the cross sectional area of the third manifold 116, the X axis at the end portion E of the third manifold 116 (Depth dimension) D3e of the third manifold 116 is smaller than the dimension (depth dimension) D3c in the X-axis direction in the central portion C of the third manifold 116 (D3e <D3c). In the present embodiment, the dimensions of the third manifold 116 in the X-axis direction are gradually decreased from the central portion C toward the both end portions E on both sides. Thus, the sectional area of the third manifold 116 is changed so as to gradually decrease from the central portion C toward the respective end portions E on both sides.

도 7에 있어서, 제1 스로틀 유로(113)에서는, 단부(E)에 있어서의 유로 길이 L1e와, 중앙부(C)에 있어서의 유로 길이 L1c가 같게 되어 있다(L1e=L1c). 본 실시 형태에서는, Y축 방향의 전체 길이에 걸쳐서 제1 스로틀 유로(113)의 유로 길이는 일정하게 되어 있다. 덧붙여, 상기 유로 길이(L1e, L1c)는, 상류 측의 제1 매니폴드(112)로부터, 그 이웃하는 제2 매니폴드(114)로 향하는 방향, 즉, Z축 방향의 길이이다. 또한, 제1 스로틀 유로(113)의 X축 방향의 치수(스로틀 유로(13)의 유로 폭)는, Y축 방향을 따라서 일정하다. In Fig. 7, in the first throttle channel 113, the channel length L1e at the end portion E and the channel length L1c at the center portion C are equal (L1e = L1c). In the present embodiment, the flow path length of the first throttle channel 113 is constant over the entire length in the Y-axis direction. In addition, the flow path lengths L1e and L1c are the direction from the first manifold 112 on the upstream side to the neighboring second manifold 114, that is, the length in the Z axis direction. The dimension of the first throttle passage 113 in the X-axis direction (the flow passage width of the throttle passage 13) is constant along the Y-axis direction.

또한, 제2 스로틀 유로(115)에서는, 단부(E)에 있어서의 유로 길이 L2e와, 중앙부(C)에 있어서의 유로 길이 L2c가 같게 되어 있다(L2e=L2c). 본 실시 형태에서는, Y축 방향의 전체 길이에 걸쳐서 제2 스로틀 유로(115)의 유로 길이는 일정하게 되어 있다. 덧붙여, 상기 유로 길이(L2e, L2c)은, 제2 매니폴드(114)로부터, 그 이웃하는 제3 매니폴드(116)로 향하는 방향, 즉, Z축 방향의 길이이다. 또한, 제2 스로틀 유로(115)의 X축 방향의 치수(스로틀 유로(13)의 유로 폭)는, Y축 방향을 따라서 일정하다. In the second throttle channel 115, the channel length L2e at the end E is equal to the channel length L2c at the center C (L2e = L2c). In the present embodiment, the channel length of the second throttle channel 115 is constant over the entire length in the Y-axis direction. In addition, the flow path lengths L2e and L2c are the direction from the second manifold 114 toward the neighboring third manifold 116, that is, the length in the Z-axis direction. The dimension of the second throttle passage 115 in the X-axis direction (the flow passage width of the throttle passage 13) is constant along the Y-axis direction.

슬릿(117)에서는, 단부(E)에 있어서의 유로 길이 Me와, 중앙부(C)에 있어서의 유로 길이 Mc가 같게 되어 있다(Me=Mc). 본 실시 형태에서는, Y축 방향의 전체 길이에 걸쳐서 슬릿(117)의 유로 길이는 일정하게 되어 있다. 또한, 슬릿(117)의 X축 방향의 치수(슬릿(15)의 유로 폭)는, Y축 방향을 따라서 일정하다. In the slit 117, the channel length Me at the end portion E and the channel length Mc at the center portion C are equal to each other (Me = Mc). In the present embodiment, the channel length of the slit 117 is constant over the entire length in the Y-axis direction. The dimension of the slit 117 in the X-axis direction (flow path width of the slit 15) is constant along the Y-axis direction.

제2 매니폴드(114)의 상단(152)의 높이는 Y축 방향을 따라서 일정(수평)하고, 하단(153)의 높이도 Y축 방향을 따라서 일정(수평)하다. 상단(152)은, 제1 스로틀 유로(113)와 제2 매니폴드(114)와의 경계선(능선)이 되고, 하단(153)은, 제2 매니폴드(114)와 제2 스로틀 유로(115)와의 경계선(능선)이 된다. 상단(152)이 되는 경계선과 하단(153)이 되는 경계선과는 평행이다. The height of the upper end 152 of the second manifold 114 is constant (horizontal) along the Y-axis direction and the height of the lower end 153 is constant (horizontal) along the Y-axis direction. The upper end 152 serves as a boundary line (ridge line) between the first throttle passage 113 and the second manifold 114 and the lower end 153 serves as a boundary line between the second manifold 114 and the second throttle passage 115. [ (Ridge line). The boundary between the upper end 152 and the lower end 153 is parallel.

또한, 제3 매니폴드(116)의 상단(154)의 높이는 Y축 방향을 따라서 일정(수평)하고, 하단(155)의 높이도 Y축 방향을 따라서 일정(수평)하다. 상단(154)은, 제2 스로틀 유로(115)와 제3 매니폴드(116)와의 경계선이 되고, 하단(155)은, 제3 매니폴드(116)와 슬릿(117)과의 경계선(능선)이 된다. 상단(154)이 되는 경계선과 하단(155)이 되는 경계선과는 평행이다. The height of the upper end 154 of the third manifold 116 is constant (horizontal) along the Y-axis direction and the height of the lower end 155 is constant (horizontal) along the Y-axis direction. The upper end 154 is a boundary line between the second throttle passage 115 and the third manifold 116 and the lower end 155 is a boundary line between the third manifold 116 and the slit 117 . The boundary line that is the upper end 154 and the boundary line that is the lower end 155 are parallel.

이상과 같이, 도 7 ~ 도 9에 도시하는 도포기(110)에서는, 제1 매니폴드(112)의 Y축 방향에 직교하는 단면에 있어서의 단면적은, Y축 방향의 중앙부(C)보다도 Y축 방향의 단부(E) 쪽에서 작게 되어 있다(S1e<S1c). 이 도포기(110)에 의하면, 제1 매니폴드(112)의 양측의 단부(E) 각각에서 단면적이 작기 때문에, 흐르는 도포액이 소량이어도 유속이 확보되어, 양측의 단부(E) 각각에 있어서의 액 치환성을 양화시키는 것이 가능하게 된다. As described above, in the applicator 110 shown in Figs. 7 to 9, the sectional area in the cross section perpendicular to the Y-axis direction of the first manifold 112 is larger than the cross-sectional area in the Y- (S1e < S1c) at the end E in the axial direction. Since the cross sectional area of each of the end portions E on both sides of the first manifold 112 is small in this applicator 110, the flow velocity is secured even if a small amount of the coating liquid flows, It is possible to quantify the liquid substitution property of the liquid.

제1 매니폴드(112)에 있어서, 중앙부(C)와 단부(E)에서 단면적(유로 단면)이 다르면, 매니폴드 내에서의 도포액의 확폭성이 저하하고, 슬릿으로부터 토출되는 도포액의 유량이 중앙과 단부에서 달라, 피도포 부재에 형성되는 막 두께의 균일성이 손상되는 경우가 있지만, 3단의 매니폴드(112, 114, 116)를 가지는 구성으로 되어 있는 것으로부터, 공급구(111)로부터 제1 매니폴드(112)로 공급된 도포액은, 도 7의 화살표 f1로 도시하는 바와 같이, 제1 매니폴드(112)에 있어서 Y축 방향의 양측으로 확폭(분산)되고, 이 제1 매니폴드(12)에 일단 모이고 나서 제1 스로틀 유로(113)를 통과하여 한층 더, 그 이웃하는 제2 매니폴드(114)에 있어서, 도 7의 화살표 f2로 도시하는 바와 같이, Y축 방향의 양측으로 확폭(분산)되고, 도포액은 이 제2 매니폴드(114)에 일단 모인다. 그리고, 이 제2 매니폴드(114)로부터 도포액은, 제2 스로틀 유로(115)를 통과하여 한층 더, 그 이웃하는 제3 매니폴드(116)에 있어서, 도 7의 화살표 f3으로 도시하는 바와 같이, Y축 방향의 양측으로 확폭(분산)되고, 도포액은 이 제3 매니폴드(116)에 일단 모이고 나서 슬릿(117)으로부터 토출된다. 이 때문에, 슬릿(117)으로부터 토출되는 도포액의 토출 상태(유량)를, 도 7의 화살표 f4로 도시하는 바와 같이, Y축 방향 전체 길이에 걸쳐서 가급적으로 일양하게 할 수 있어, 기판(W)에 형성되는 도막의 막 두께 정도가 저하하는 것을 막는 것이 가능하게 된다. If the sectional area (flow path cross-section) is different between the central portion C and the end portion E in the first manifold 112, the widening of the coating liquid in the manifold is reduced and the flow rate of the coating liquid discharged from the slit The uniformity of the film thickness formed on the coated member may be impaired at the center and the end portion. However, since the three-stage manifolds 112, 114, and 116 are provided, (Spread) to both sides in the Y-axis direction in the first manifold 112 as shown by an arrow f1 in Fig. 7, and the coating liquid supplied to the first manifold 112 from the first manifold 112 is widened As shown by an arrow f2 in Fig. 7, in the second manifold 114 adjacent to the first manifold 12, after passing through the first throttle channel 113, (Dispersed) on both sides of the second manifold 114, and the coating liquid once collects in the second manifold 114. [ The coating liquid from the second manifold 114 passes through the second throttle passage 115 and further flows into the third manifold 116 adjacent to the second manifold 114 through the second throttle passage 115 as indicated by the arrow f3 (Dispersed) on both sides in the Y-axis direction, and the coating liquid is collected from the third manifold 116 and then discharged from the slit 117. [ Therefore, the discharge state (flow rate) of the coating liquid discharged from the slit 117 can be made as uniform as possible over the entire length in the Y-axis direction as shown by an arrow f4 in Fig. 7, It is possible to prevent the film thickness of the coating film formed on the substrate from decreasing.

또한, 이 도포기(10)의 제1 스로틀 유로(113)에서는, 단부(E)에 있어서의 유로 길이 L1e가, 중앙부(C)에 있어서의 유로 길이 L1c와 같게 되어 있다(L1e=L1c). 특히, 제1 스로틀 유로(113)의 유로 길이는 Y축 방향을 따라서 일정하고, 제1 스로틀 유로(113)의 X축 방향의 치수는 Y축 방향을 따라서 일정하다. 이 때문에, 제1 스로틀 유로(113)에서는, Z축 방향으로 통과하는 도포액에 있어서 단부(E)와 중앙부(C)에서 흐름의 용이함은 같아진다. 이 때문에, 이 스로틀 유로(113)를 통과한 도포액은 제2 매니폴드(114)에 있어서 확폭을 저해하는 방향으로 흐르기 어려워져, 제2 매니폴드(114)에 있어서의 확폭의 작용(도 7의 화살표 f2로 도시하는 바와 같은 Y축 방향 양측으로 도포액이 향하도록 흐르게 하는 작용)을 유지할 수 있다. 나아가, 제2 매니폴드(114)의 하류 측에 제3 매니폴드(116)가 설치되어 있는 것으로부터, 도 7의 화살표 f3으로 도시하는 바와 같이, 이 제3 매니폴드(116)에 있어서도 도포액의 확폭이 행하여지고, 이 결과, 슬릿(117)으로부터 토출되는 도포액의 토출 상태(유량)를, 도 7의 화살표 f4로 도시하는 바와 같이, Y축 방향 전체 길이에 걸쳐서 가급적으로 일양하게 하는 기능을 높일 수 있다. In the first throttle passage 113 of the applicator 10, the passage length L1e at the end portion E is equal to the passage length L1c at the center portion C (L1e = L1c). In particular, the flow path length of the first throttle flow path 113 is constant along the Y axis direction, and the dimension of the first throttle flow path 113 in the X axis direction is constant along the Y axis direction. For this reason, in the first throttle passage 113, the easiness of flow is the same at the end portion E and the central portion C in the coating liquid passing in the Z-axis direction. Therefore, the coating liquid that has passed through the throttle channel 113 becomes less likely to flow in the direction in which the widening width of the second manifold 114 is inhibited, and the widening action of the second manifold 114 The action of causing the coating liquid to flow toward both sides in the Y-axis direction as shown by an arrow f2 in Fig. Further, since the third manifold 116 is provided on the downstream side of the second manifold 114, as shown by an arrow f3 in FIG. 7, even in this third manifold 116, (Flow rate) of the coating liquid discharged from the slit 117 is made uniform as much as possible over the entire length in the Y-axis direction as shown by the arrow f4 in Fig. 7 .

또한, 제2 스로틀 유로(115)에서는, 단부(E)에 있어서의 유로 길이 L2e가, 중앙부(C)에 있어서의 유로 길이 L2c와 같게 되어 있다(L2e=L2c). 특히, 제2 스로틀 유로(115)의 유로 길이는 Y축 방향을 따라서 일정하고, 제2 스로틀 유로(115)의 X축 방향의 치수는 Y축 방향을 따라서 일정하다. 이 때문에, 제2 스로틀 유로(115)에서는, Z축 방향으로 통과하는 도포액에 있어서 단부(E)와 중앙부(C)에서 흐름의 용이함은 같아진다. In the second throttle channel 115, the channel length L2e at the end E is equal to the channel length L2c at the center C (L2e = L2c). In particular, the flow path length of the second throttle flow path 115 is constant along the Y-axis direction, and the dimension of the second throttle flow path 115 in the X-axis direction is constant along the Y-axis direction. For this reason, in the second throttle passage 115, the easiness of flow at the end portion E and the central portion C becomes equal in the coating liquid passing in the Z-axis direction.

덧붙여, 도 2에 도시하는 상기 도포기(10)(그 1)의 경우와 마찬가지로, 이 도 7에 도시하는 도포기(10)(그 2)의 형태에 있어서, 도시하지 않지만, 제1 스로틀 유로(113)에서는, 단부(E)에 있어서의 유로 길이 L1e가, 중앙부(C)에 있어서의 유로 길이 L1c 이상으로 되어 있으면 되고(L1e≥L1c), 이것에 의하여, 상기와 같은, 제1 스로틀 유로(113)를 통과한 도포액이 제2 매니폴드(114)에 있어서 확폭을 저해하는 방향으로 흐르기 어려워진다. 그 메커니즘은, 상기의 도포기(10)(그 1)의 경우에 있어서 설명한 메커니즘과 같고, 여기에서는 생략한다. 또한, 제2 스로틀 유로(115)에서는, 단부(E)에 있어서의 유로 길이 L2e가, 중앙부(C)에 있어서의 유로 길이 L2c 이상으로 되어 있어도 무방하다(L2e≥L2c). Incidentally, in the form of the applicator 10 (2) shown in Fig. 7, as in the case of the applicator 10 (1) shown in Fig. 2, The flow path length L1e at the end portion E should be equal to or greater than the flow path length L1c at the central portion C in the flow path portion 113, The coating liquid that has passed through the first manifold 113 is less likely to flow in the direction in which the width of the second manifold 114 is inhibited. The mechanism is the same as the mechanism described above in the case of the applicator 10 (1), and is omitted here. In the second throttle channel 115, the channel length L2e at the end portion E may be equal to or larger than the channel length L2c at the center portion C (L2e? L2c).

〔도포기(110)(그 2)의 변형예 1〕 [Modification 1 of Coater 110 (2)]

도 8 및 도 9에 도시하는 형태에서는, 도포기(110)를 구성하는 분할체(110a, 110b)의 쌍방에 오목부가 형성되어 있지만, 도 10 및 도 11에 도시하는 바와 같이, 분할체(110a, 110b) 중 어느 일방에만 오목부(110d-1, 110d-2, 110d-3)가 형성되고, 이 오목부(110d-1, 110d-2, 110d-3)에 의하여 제1 매니폴드(112), 제2 매니폴드(114) 및 제3 매니폴드(116)가 구성되어 있어도 무방하다. 그 외의 구성에 관해서는, 도 7 ~ 도 9에 도시하는 형태의 구성과 같고, 여기에서는 설명을 생략한다.8 and 9, concave portions are formed on both of the divided bodies 110a and 110b constituting the applicator 110. However, as shown in Figs. 10 and 11, the divided bodies 110a 110d-2, and 110d-3 are formed on only one of the first manifolds 110a-110d and the first manifolds 110b-1, 110d- ), The second manifold 114, and the third manifold 116 may be configured. Other configurations are the same as those of the configurations shown in Figs. 7 to 9, and a description thereof is omitted here.

〔도포기(110)(그 2)의 변형예 2〕 [Modified Example 2 of Coater 110 (2)]

도 12는, 도포기(110)를 정면으로부터(X축 방향을 따라서) 보았을 경우의 단면도이다. 도 13은, 도 12에 도시하는 도포기(110)의 A13 방향으로부터 본 단면도이다. 도 14는, 도 12에 도시하는 도포기(110)의 A14 방향으로부터 본 단면도이다. 즉, 도 13은 도포기(110)의 Y축 방향의 중앙부(C)에 있어서의 단면도이며, 도 14는 도포기(110)의 Y축 방향의 단부(E)에 있어서의 단면도이다. 이 도포기(110)는, 도 7 내지 도 9에 도시하는 도포기(110)와 마찬가지로, 3단의 매니폴드(112, 114, 116)와 2단의 스로틀 유로(113, 115)를 가지고 있다. 12 is a sectional view when the applicator 110 is viewed from the front (along the X-axis direction). Fig. 13 is a sectional view of the applicator 110 shown in Fig. 12 as viewed from the A13 direction. Fig. 14 is a sectional view of the applicator 110 shown in Fig. 12 as seen from the A14 direction. 13 is a cross-sectional view of the applicator 110 at the center C in the Y-axis direction and Fig. 14 is a cross-sectional view at the end E of the applicator 110 in the Y-axis direction. This applicator 110 has three stages of manifolds 112, 114, and 116 and two stages of throttle flow paths 113 and 115, similar to the applicator 110 shown in Figs. 7 to 9 .

도 12에 도시하는 도포기(110)에 있어서도, 도 7에 도시하는 도포기(110)와 마찬가지로, 제1 매니폴드(112)의 Y축 방향에 직교하는 단면에 있어서의 단면적은, Y축 방향의 중앙부(C)(도 13 참조)보다도 Y축 방향의 단부(E)(도 14 참조) 쪽이 작게 되어 있다. 즉, 제1 매니폴드(112)에 관하여, Y축 방향 양측 각각에 위치하는 단부(E)의 단면적 S1e는, 중앙부(C)의 단면적 S1c보다도 작게 되어 있다(S1e<S1c). In the applicator 110 shown in Fig. 12, as in the applicator 110 shown in Fig. 7, the cross-sectional area of the first manifold 112 in a cross section orthogonal to the Y- The end portion E in the Y-axis direction (see Fig. 14) is smaller than the center portion C (see Fig. That is, with respect to the first manifold 112, the cross-sectional area S1e of the end portion E located on both sides in the Y-axis direction is smaller than the cross-sectional area S1c of the central portion C (S1e <S1c).

도 12에 도시하는 형태에서는, 제1 매니폴드(112)의 높이 방향의 치수 H(즉, Z축 방향의 치수 H)는, Y축 방향의 위치에 따라 변화하고 있다. 구체적으로는, 중앙부(C)로부터 Y축 방향의 양측의 단부(E) 각각을 향하는 것에 따라서, 높이 방향의 치수 H가 커지고 있다. 제1 매니폴드(112)의 상단(150)의 높이는 Y축 방향을 따라서 일정(수평)하지만, 하단(151)의 높이가 중앙부(C)로부터 양측의 단부(E) 각각을 향하여 낮아지고 있다. 하단(151)은, 제1 매니폴드(112)와 제1 스로틀 유로(113)와의 경계선(능선)이 된다. 그래서, 제1 매니폴드(112)의 단면적에 관하여 상기 S1e<S1c를 만족시키기 위하여, 도 13 및 도 14에 도시하는 바와 같이, 제1 매니폴드(112)의 단부(E)에 있어서의 X축 방향의 치수(깊이 치수) D1e는, 제1 매니폴드(112)의 중앙부(C)에 있어서의 X축 방향의 치수(깊이 치수) D1c보다도, 높이 방향의 치수 H(도 12 참조)의 변화의 비율보다도 큰 변화의 비율로, 작게 되어 있다. 본 실시 형태에서는, 중앙부(C)로부터 양측의 단부(E) 각각을 향하여 서서히 제1 매니폴드(112)의 X축 방향 및 Z축 방향 각각의 치수가 변화하고 있고, 이것에 의하여, 제1 매니폴드(112)의 단면적은, 중앙부(C)로부터 양측의 단부(E) 각각을 향하여 서서히 작아지도록 변화하는 구성으로 되어 있다. 12, the dimension H (that is, the dimension H in the Z-axis direction) of the first manifold 112 in the height direction changes in accordance with the position in the Y-axis direction. Concretely, the dimension H in the height direction increases as each end portion E on both sides in the Y-axis direction is directed from the central portion C. The height of the upper end 150 of the first manifold 112 is constant (horizontal) along the Y-axis direction but the height of the lower end 151 is lowered from the central portion C toward each of the end portions E on both sides. The lower end 151 is a boundary line (ridge line) between the first manifold 112 and the first throttle passage 113. [ 13 and 14, in order to satisfy S1e < S1c with respect to the cross sectional area of the first manifold 112, the X axis of the end portion E of the first manifold 112, (Depth dimension) D1e of the first manifold 112 is larger than the dimension D1c in the X-axis direction (depth dimension) D1c in the central portion C of the first manifold 112, The rate of change is larger than the ratio. In the present embodiment, the dimensions of the first manifold 112 in the X-axis direction and the Z-axis direction gradually change from the central portion C toward the respective end portions E on both sides, The cross sectional area of the fold 112 is changed so as to gradually decrease from the central portion C toward each of the both end portions E on both sides.

그리고, 제2 매니폴드(114)(제3 매니폴드(116))의 Y축 방향에 직교하는 단면에 있어서의 단면적에 관해서도, Y축 방향의 중앙부(C)(도 13 참조)보다도 Y축 방향의 단부(E)(도 14 참조) 쪽이 작게 되어 있다. 즉, 제2 매니폴드(114)(제3 매니폴드(116))에 관하여, Y축 방향 양측 각각에 위치하는 단부(E)의 단면적 S2e(S3e)은, 중앙부(C)의 단면적 S2c(S3c)보다도 작게 되어 있다(S2e<S2c, S3e<S3c). The sectional area of the second manifold 114 (the third manifold 116) in a cross section orthogonal to the Y-axis direction is also larger than the center portion C in the Y-axis direction (see FIG. 13) The end portion E (see Fig. 14) is smaller. That is, with respect to the second manifold 114 (the third manifold 116), the sectional area S2e (S3e) of the end portion E located on each side in the Y-axis direction is smaller than the sectional area S2c (S3c (S2e < S2c, S3e < S3c).

도 12에 도시하는 바와 같이, 제1 스로틀 유로(113)에서는, 단부(E)에 있어서의 유로 길이 L1e와, 중앙부(C)에 있어서의 유로 길이 L1c가 같게 되어 있다(L1e=L1c). 본 실시 형태에서는, 제1 매니폴드(112)의 하단(151)은, 중앙부(C)로부터 단부(E)로 향하는 것에 따라서 낮아지도록 경사하고 있는 것으로부터, 상기 L1e=L1c를 확보하기 위하여, 제2 매니폴드(114)의 상단(제1 스로틀 유로(113)와의 경계선)(152)에 관해서도, 중앙부(C)로부터 단부(E)로 향하는 것에 따라서 낮아지도록 경사하고 있다. 이것에 의하여, Y축 방향의 전체 길이에 걸쳐서 제1 스로틀 유로(113)의 유로 길이는 일정하게 되어 있다. 상기 유로 길이(L1e, L1c)는, Z축 방향의 길이이다. As shown in Fig. 12, in the first throttle channel 113, the channel length L1e at the end E and the channel length L1c at the center C are equal (L1e = L1c). In this embodiment, since the lower end 151 of the first manifold 112 is inclined to be lowered from the central portion C toward the end portion E, in order to ensure L1e = L1c, The upper end of the second manifold 114 (the boundary line with the first throttle channel 113) is also inclined so as to be lowered from the central portion C toward the end portion E. [ As a result, the flow path length of the first throttle flow path 113 is constant over the entire length in the Y-axis direction. The channel lengths L1e and L1c are lengths in the Z-axis direction.

또한, 제2 스로틀 유로(115)에서는, 단부(E)에 있어서의 유로 길이 L2e와, 중앙부(C)에 있어서의 유로 길이 L2c가 같게 되어 있다(L2e=L2c). 본 실시 형태에서는, 제2 매니폴드(114)의 하단(제2 스로틀 유로(115)와의 경계선)(153)은, 중앙부(C)로부터 단부(E)로 향하는 것에 따라서 낮아지도록 경사하고 있는 것으로부터, 상기 L2e=L2c를 확보하기 위하여, 제3 매니폴드(116)의 상단(제2 스로틀 유로(115)와의 경계선)(154)에 관해서도, 중앙부(C)로부터 단부(E)로 향하는 것에 따라서 낮아지도록 경사하고 있다. 이것에 의하여, Y축 방향의 전체 길이에 걸쳐서 제2 스로틀 유로(115)의 유로 길이는 일정하게 되어 있다. 상기 유로 길이(L2e, L2c)는, Z축 방향의 길이이다. In the second throttle channel 115, the channel length L2e at the end E is equal to the channel length L2c at the center C (L2e = L2c). In this embodiment, the lower end (the boundary line with the second throttle passage 115) of the second manifold 114 is inclined so as to be lowered from the central portion C toward the end portion E , The upper end of the third manifold 116 (the boundary line with the second throttle channel 115) 154 is lowered toward the end portion E from the central portion C in order to secure L2e = L2c . As a result, the flow path length of the second throttle flow path 115 is constant over the entire length in the Y-axis direction. The channel lengths L2e and L2c are lengths in the Z-axis direction.

〔각 형태의 도포기(10)에 관하여〕 [Regarding each type of applicator 10]

이상과 같이, 상기 각 형태의 도포기(10(110))에서는, 공급구(11)와 연결되는 가장 상류 측에 위치하는 제1 매니폴드(12(112))의 단면적이, 중앙부(C)로부터 단부(E)로 향하여 작아지고 있다. 즉, 제1 매니폴드(12(112))는 중앙부(C)로부터 양측의 단부(E) 각각을 향하여 좁혀진 형상을 가지고 있다. 이것에 의하여, 제1 매니폴드(12(112))의 단부(E)에 있어서의 액 치환성을 양화시키는 것이 가능하게 된다. As described above, the cross section of the first manifold 12 (112) located at the most upstream side connected to the supply port 11 is larger than the cross section of the central portion C in the applicator 10 (110) To the end portion (E). That is, the first manifold 12 (112) has a shape narrowed from the central portion C toward each of the end portions E on both sides. This makes it possible to improve the liquid substitution property at the end portion E of the first manifold 12 (112).

제1 매니폴드(12(112))에 있어서 중앙부(C)와 단부(E)에서 단면적(유로 단면)이 다르면, 각각에 있어서 도포액의 흐름의 모습이 다른 경우가 있지만, 매니폴드가 다단으로 되어 있는 것으로부터, 슬릿(15(117))으로부터 토출되는 도포액의 토출 상태(유량)를 Y축 방향 전체 길이에 걸쳐서 가급적으로 일양하게 할 수 있어, 기판(W)에 형성되는 도막의 막 두께 정도가 저하하는 것을 막는 것이 가능하게 된다. If the cross sectional area (flow path cross-section) of the first manifold 12 (112) is different from that of the central portion C and the end portion E, the flow of the coating liquid may be different in each of the manifolds 12 The discharge state (flow rate) of the coating liquid discharged from the slits 15 (117) can be made as uniform as possible over the entire length in the Y-axis direction, and the film thickness of the coating film formed on the substrate W It is possible to prevent the degree of deterioration from being reduced.

나아가, 스로틀 유로(13)(제1 스로틀 유로(113))에서는, 단부(E)에 있어서의 유로 길이 L1e가 중앙부에 있어서의 유로 길이 L1c 이상(L1e≥L1c)으로 되어 있기 때문에, 통과하는 도포액에 있어서 단부(E)와 중앙부(C)에서 흐름의 용이함은 같거나, 또는, 단부(E)에서는 중앙부(C)와 비교하여 흐르기 어려워진다. 이 때문에, 이 스로틀 유로(13)를 통과한 도포액은 제2 매니폴드(14(114))에 있어서 확폭을 저해하는 방향으로 흐르기 어려워진다. 즉, 제2 매니폴드(14(114))에 있어서의 확폭의 작용을 유지할 수 있다. 이 결과, 슬릿(15(117))으로부터 토출되는 도포액의 토출 상태(유량)를 Y축 방향 전체 길이에 걸쳐서 가급적으로 일양하게 하는 기능을 높일 수 있다. Further, in the throttle channel 13 (first throttle channel 113), since the channel length L1e at the end portion E is equal to or greater than the channel length L1c at the center portion (L1e? L1c) The easiness of flow at the end portion E and the central portion C in the liquid is the same or it is difficult to flow in the end portion E in comparison with the central portion C. Therefore, the coating liquid that has passed through the throttle channel 13 is less likely to flow in the direction in which the width of the second manifold 14 (114) is inhibited. That is, the effect of the widening in the second manifold 14 (114) can be maintained. As a result, the function of making the discharge state (flow rate) of the coating liquid discharged from the slits 15 (117) as uniform as possible over the entire length in the Y-axis direction can be enhanced.

또한, 상기 각 형태에 있어서, 제1 매니폴드(12(112))뿐만 아니라, 다른 매니폴드(14(114, 116)) 각각에 있어서(즉, 모든 매니폴드에 있어서) Y축 방향에 직교하는 단면에 있어서의 단면적이, Y축 방향의 중앙부(C)보다도 Y축 방향의 단부(E) 쪽에서 작게 되어 있다. 이 때문에, 복수의 매니폴드 각각에 있어서 단부(E)에 있어서의 액 치환성을 양화시키는 것이 가능하게 된다. Further, in each of the above-described embodiments, in each of the manifolds 14 (114 and 116) as well as the first manifold 12 (112) (that is, in all the manifolds) Sectional area in the cross section is smaller at the end portion E in the Y-axis direction than at the central portion C in the Y-axis direction. This makes it possible to increase the liquid substitution property at the end portion E of each of the plurality of manifolds.

나아가, 도 7 및 도 12에 도시하는 형태의 경우, 3개의 매니폴드(112, 114, 116)가 설치되어 있고, 이들 매니폴드(112, 114, 116)의 수보다도 1개 적은 2개의 스로틀 유로(113, 115)가 설치되어 있다. 그리고, 이들 스로틀 유로(113, 115) 각각에 있어서, 단부(E)에 있어서의 유로 길이가, 중앙부(C)에 있어서의 유로 길이 이상으로 되어 있다. 이 때문에, 제1 스로틀 유로(113)를 통과한 도포액은, 제2 매니폴드(114)에 있어서 확폭을 저해하는 방향으로 흐르기 어려워지고, 또한, 제2 스로틀 유로(115)를 통과한 도포액은, 제3 매니폴드(116)에 있어서 확폭을 저해하는 방향으로 흐르기 어려워진다. 즉, 제2 매니폴드(114) 및 제3 매니폴드(116) 각각에 있어서의 확폭의 작용을 유지할 수 있다. 이 결과, 슬릿(117)으로부터 토출되는 도포액의 토출 상태(유량)를 Y축 방향 전체 길이에 걸쳐서 가급적으로 일양하게 하는 기능을 높일 수 있다. 7 and 12, three manifolds 112, 114, and 116 are provided, and two throttle passages 112, 114, and 116, which are one less than the number of the manifolds 112, 114, and 116, (113, 115) are provided. In each of the throttle passages 113 and 115, the channel length at the end portion E is equal to or longer than the channel length at the center portion C. Therefore, the coating liquid that has passed through the first throttle passage 113 is less likely to flow in the direction to impede the widening of the second manifold 114, and the coating liquid that has passed through the second throttle passage 115 The third manifold 116 becomes less likely to flow in the direction of impeding the widening. In other words, the widening action of each of the second manifold 114 and the third manifold 116 can be maintained. As a result, the function of making the discharge state (flow rate) of the coating liquid discharged from the slit 117 uniform over the entire length in the Y-axis direction can be enhanced.

또한, 도 2 및 도 7에 도시하는 형태에서는, 제1 매니폴드(12(112))의 상단(50)의 높이가 Y축 방향을 따라서 일정(수평)하고, 또한, 이 제1 매니폴드(12(112))의 높이 방향의 치수 H1는, Y축 방향의 전체 길이에 걸쳐서 일정하게 되어 있다. 그리고, 스로틀 유로(13(113))의 단부(E)에 있어서의 유로 길이 L1e가, 중앙부(C)에 있어서의 유로 길이 L1c와 같다(Y축 방향의 전체 길이에 걸쳐서 같다). 이 구성에 의하면, 제1 매니폴드(12(112))에 있어서 도포액이 양측으로 퍼지는 작용(확폭 작용)에 의하여, 이 매니폴드(12(112))에 혼입되어 있는 기포를 양 단부(E)에 모으기 쉬워진다. 그리고, 상기대로, 스로틀 유로(13(113))의 단부(E)에 있어서의 유로 길이 L1e가, 중앙부(C)에 있어서의 유로 길이 L1c와 같은 것으로부터, 제2 매니폴드(14(114))의 상단(52(152))의 높이가 Y축 방향을 따라서 일정(수평)하게 된다. 따라서, 제2 매니폴드(14(114))에 있어서 도포액이 양측으로 퍼지는 작용(확폭 작용)에 의하여, 이 매니폴드(14(114))에 혼입되어 있는 기포를 양 단부(E)에 모으기 쉬워진다. 2 and 7, the height of the upper end 50 of the first manifold 12 (112) is constant (horizontal) along the Y-axis direction, and the height of the first manifold 12 (112) in the height direction is constant over the entire length in the Y-axis direction. The channel length L1e at the end portion E of the throttle channel 13 (113) is equal to the channel length L1c at the center portion C (the same throughout the entire length in the Y-axis direction). According to this configuration, the bubbles mixed in the manifold 12 (112) can be discharged from both ends E (112) by the action (widening action) of spreading the coating liquid on both sides in the first manifold 12 ). As described above, since the channel length L1e at the end E of the throttle channel 13 (113) is equal to the channel length L1c at the center C, the second manifold 14 (114) (Horizontal) along the Y-axis direction. Therefore, by collecting the bubbles mixed in the manifold 14 (114) onto the both ends E by the action (widening action) of spreading the coating liquid on both sides in the second manifold 14 (114) It gets easier.

이 때문에, 이들 매니폴드(12, 14(112, 114)) 각각의 양 단부(E)에 에어를 배출하기 위한 공기 빼기 구멍을 설치하는 것으로, 에어를 도포기(10(110))의 밖으로 배출하기 쉬워진다. Therefore, by providing air vent holes for discharging air to both end portions E of the respective manifolds 12 and 14 (112 and 114), air is discharged to the outside of the applicator 10 (110) It becomes easier to do.

〔부기〕〔bookkeeping〕

이상대로 개시한 실시 형태는 모든 점으로 예시이며 제한적인 것은 아니다. 즉, 본 발명의 도포기 및 도포 장치는, 도시하는 형태로 한정하지 않고 본 발명의 범위 내에 있어서 다른 형태의 것이어도 무방하다. It is to be understood that the embodiments disclosed herein are illustrative and non-restrictive in all respects. That is, the applicator and the applicator of the present invention are not limited to those shown in the drawings, but may be of other forms within the scope of the present invention.

예를 들어, 상기 각 형태에서는, 모든 매니폴드에 있어서, Y축 방향의 단부(E) 측에서 단면이 좁혀지는 형상으로 하였지만, 이 형상은 적어도 제1 매니폴드(12(112))에 있어서 채용되어 있으면 무방하고, 제2 매니폴드(제3 매니폴드)에서는, Y축 방향을 따라서 단면이 같도록(변화하지 않도록) 하여도 무방하다. For example, in all the manifolds described above, the cross section is narrowed from the end E side in the Y-axis direction in all the manifolds, but this shape is adopted at least in the first manifold 12 (112) And in the second manifold (third manifold), the cross section may be the same (does not change) along the Y-axis direction.

또한, 상기 실시 형태에서는, 이동 수단(40)이, 기판(W)에 대하여 도포기(10)를 이동시키는 경우에 관하여 설명하였지만, 이동 수단(40)은, 도포기(10)와 기판(W)을, 기판(W)의 피도포면에 평행한 방향으로 상대 이동시키는 구성이면 되고, 도시하지 않지만, 고정 상태에 있는 도포기(10)에 대하여 스테이지(5)(기판(W))를 이동시키는 구성이어도 무방하다. Although the moving means 40 moves the applicator 10 with respect to the substrate W in the above embodiment, the moving means 40 can move the applicator 10 and the substrate W (Substrate W) relative to the applicator 10 which is in a fixed state, although not shown in the drawing, to move the stage 5 in a direction parallel to the surface to be coated of the substrate W It may be a configuration.

또한, 상기 실시 형태에서는, 피도포 부재를 매엽상(枚葉狀)의 기판(W)으로 하였지만, 매엽상이 아니라 연속한 부재(롤 to 롤로 보내지는 피도포 부재)로 하여도 무방하다. 이 경우, 스테이지(5)는 생략된다. 또한, 도포 장치(1)가 행하는 도포는, 피도포 부재에 대하여 복수의 도막을 형성하는 간헐 도포여도 무방하다. Further, in the above-described embodiment, the substrate to be coated is a sheet-like substrate W, but it may be a continuous member (a member to be coated to be sent to a roll-to-roll) instead of a sheet. In this case, the stage 5 is omitted. The application by the application device 1 may be intermittent application in which a plurality of coating films are formed on the to-be-coated member.

10: 도포기
11: 공급구
12: 제1 매니폴드(상류 측 매니폴드)
13: 스로틀 유로
14: 제2 매니폴드(상류 측 매니폴드)
15: 슬릿
16: 토출구
30: 송액 수단
40: 이동 수단
50: 상단
51: 하단
52: 상단
53: 하단
111: 공급구
112: 제1 매니폴드(상류 측 매니폴드)
113: 스로틀 유로
114: 제2 매니폴드
115: 스로틀 유로
116: 제3 매니폴드(하류 측 매니폴드)
117: 슬릿
150: 상단
151: 하단
152: 상단
153: 하단
154: 상단
155: 하단
C: 중앙부
E: 단부
L1c: 유로 길이
L2c: 유로 길이
L1e: 유로 길이
L2e: 유로 길이
H1, H2, H3: 높이 치수
W: 기판(피도포 부재)10: Applicator
11: Supply port
12: First manifold (upstream manifold)
13: throttle channel
14: Second manifold (upstream manifold)
15: slit
16:
30: liquid feeding means
40: Moving means
50: Top
51: bottom
52: Top
53: bottom
111: Supply port
112: First manifold (upstream manifold)
113: throttle channel
114: second manifold
115: throttle channel
116: Third manifold (downstream manifold)
117: Slit
150: Top
151: bottom
152: top
153: bottom
154: Top
155: bottom
C: Center
E: End
L1c: length of the channel
L2c: length of the channel
L1e: Length of the channel
L2e: Length of the channel
H1, H2, H3: Height dimension
W: substrate (object to be coated)

Claims

A supply port through which the coating liquid is supplied,
A slit which is elongated in one direction and discharges (discharges) the coating liquid,
A plurality of manifolds each having at least an upstream side manifold connected to the supply port and a downstream side manifold connected to the slit,
The long throttle channel in the one direction connecting between the neighboring manifolds
Lt; / RTI &
Wherein the supply port is connected to the upstream manifold at a center of the one direction,
Sectional area of the upstream-side manifold in a cross section perpendicular to the one direction is smaller at the end in the one direction than at the center in the one direction,
Wherein the passage length in the end portion of the throttle passage connecting between the upstream manifold and the neighboring manifold of the upstream manifold is equal to or longer than the passage length in the middle portion, group.

The method according to claim 1,
Wherein the channel length at the end of the throttle channel is equal to the channel length at the center.

3. The method of claim 2,
Wherein the height of the upper end of the upstream manifold is constant along the one direction and the dimension of the upstream manifold in the height direction is constant over the entire length of the one direction.

4. The method according to any one of claims 1 to 3,
Wherein the cross-sectional area of each of the plurality of manifolds in a cross section orthogonal to the one direction is smaller at the end of the one direction than at the center of the one direction.

5. The method according to any one of claims 1 to 4,
In the case where three or more of the manifolds are provided and the throttle channel is provided with a number smaller than the number of the manifolds by one, Is equal to or longer than the length of the channel in the applicator.

And a moving means for moving the applicator and the coated member relatively to each other, wherein the coating unit is provided with:
Wherein the applicator is the applicator according to any one of claims 1 to 5.