JP2023057618A - Coating nozzle - Google Patents

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和也 丸畠
Kazuya Maruhata
和大 眞鍋
Kazuhiro Manabe
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Abstract

To reduce variations in the discharge quantity of liquid in the longitudinal direction of a coating nozzle.SOLUTION: A coating nozzle includes: a block-shaped nozzle body extending in a longitudinal direction; an introduction port arranged in the nozzle body; and a discharge part arranged in the nozzle body and having a plurality of discharge ports arranged in the longitudinal direction. The nozzle body includes: a plurality of inflow passages 25 being continuous from the introduction port and arranged in the longitudinal direction; a first diffusion part 26 provided with a plurality of inflow openings 261 which are respectively connected to the plurality of inflow passages 25 and arrayed in the longitudinal direction; a plurality of outflow passages 27 which are arrayed in the longitudinal direction and into which liquid in the first diffusion part 26 flows out; and a second diffusion part which is filled with the liquid flowing from the plurality of outflow passages 27 and is connected to the discharge part. With respect to the longitudinal direction, connection positions of the plurality of outflow passages 27 relative to the first diffusion part 26 are different from positions of the plurality of inflow openings 261. This can reduce variations in the discharge quantity of liquid in the longitudinal direction.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、塗布ノズルに関する。 The present invention relates to coating nozzles.

従来、様々な種類の液体の塗布に塗布ノズルが利用されている。例えば、特許文献1では、発泡性溶融体用のノズルが開示されている。当該ノズルでは、複数の発泡性溶融体通路と、複数の発泡性溶融体通路と連通する横分配流路と、横分配流路内に配置された絞り部材と、発泡性溶融体を吐出するためのスロットと、横分配流路とスロットとを連通し、スロットへ向けて断面積が徐々に小さくなる収束部分とが設けられる。絞り部材は、多数の細かい貫通孔が設けられた分散板であり、当該分散板により、横分配流路が第一横分配流路と第二横分配流路とに分けられる。 Conventionally, application nozzles have been used to apply various types of liquids. For example, in US Pat. No. 5,400,000, a nozzle for foamable melts is disclosed. The nozzle includes a plurality of foamable melt passages, a lateral distribution channel communicating with the plurality of foamable melt channels, a throttle member arranged in the lateral distribution channel, and a foamable melt for discharging the foamable melt. and a converging portion communicating between the lateral distribution channel and the slot and gradually decreasing in cross-sectional area toward the slot. The diaphragm member is a distribution plate provided with a large number of fine through holes, and the distribution plate divides the lateral distribution channels into the first lateral distribution channel and the second lateral distribution channel.

特開2009-22867号公報JP 2009-22867 A

ところで、特許文献1のノズル構造では、横分配流路の長手方向に関して、各発泡性溶融体通路と、分散板の一部の貫通孔とが同じ位置に配置されるため、発泡性溶融体通路から供給される液体(溶融体)が、横分配流路内で拡散することなく、当該一部の貫通孔を通過しやすくなる。その結果、長手方向において液体の吐出量のばらつきが生じやすくなる。 By the way, in the nozzle structure of Patent Document 1, each foamable melt passage and a part of the through-hole of the distribution plate are arranged at the same position with respect to the longitudinal direction of the horizontal distribution channel. The liquid (melt) supplied from the through-holes easily passes through the part of the through-holes without diffusing in the lateral distribution channels. As a result, variations in the amount of liquid ejected tend to occur in the longitudinal direction.

本発明は上記課題に鑑みなされたものであり、塗布ノズルの長手方向における液体の吐出量のばらつきを低減することを目的としている。 SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to reduce variations in the amount of liquid ejected in the longitudinal direction of a coating nozzle.

請求項1に記載の発明は、塗布ノズルであって、長手方向に延びるブロック状のノズル本体と、前記ノズル本体に設けられ、外部から供給される液体を前記ノズル本体の内部に導入する導入口と、前記ノズル本体に設けられ、前記長手方向に配列される複数の吐出口を有する、または、前記長手方向に延びる吐出口を有する吐出部とを備え、前記ノズル本体が、前記導入口から連続するとともに、前記長手方向に配列される複数の流入流路と、前記長手方向に延びる空間であり、前記複数の流入流路にそれぞれ接続する複数の流入開口が前記長手方向に配列して設けられ、前記液体が充填される第1拡散部と、前記長手方向に配列されるとともに、前記第1拡散部に接続し、前記第1拡散部内の前記液体を流出させる複数の流出流路と、前記長手方向に延びる空間であり、前記複数の流出流路が接続し、前記複数の流出流路から流入する前記液体が充填されるとともに前記吐出部に接続する第2拡散部とを備え、前記長手方向に関して、前記第1拡散部に対する前記複数の流出流路の接続位置が、前記複数の流入開口の位置と相違する。 The invention according to claim 1 is a coating nozzle comprising a block-shaped nozzle body extending in a longitudinal direction, and an introduction port provided in the nozzle body for introducing a liquid supplied from the outside into the nozzle body. and a discharge portion provided in the nozzle body and having a plurality of discharge ports arranged in the longitudinal direction or having discharge ports extending in the longitudinal direction, wherein the nozzle body is continuous from the introduction port. A plurality of inflow passages arranged in the longitudinal direction and a plurality of inflow openings, which are spaces extending in the longitudinal direction and are respectively connected to the plurality of inflow passages, are arranged in the longitudinal direction. a first diffusion section filled with the liquid; a plurality of outflow channels arranged in the longitudinal direction and connected to the first diffusion section to allow the liquid in the first diffusion section to flow out; a second diffusing portion, which is a space extending in the longitudinal direction, is connected to the plurality of outflow channels, is filled with the liquid flowing in from the plurality of outflow channels, and is connected to the discharge portion; In terms of direction, the connecting positions of the plurality of outflow channels to the first diffusion portion are different from the positions of the plurality of inflow openings.

請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の塗布ノズルであって、各流出流路の前記第1拡散部に対する接続位置と、前記接続位置に最も近接する流入開口との間における前記長手方向の距離が、前記長手方向における前記流入開口の幅よりも大きい。 The invention according to claim 2 is the coating nozzle according to claim 1, wherein the connection position of each outflow channel with respect to the first diffusion part and the inflow opening closest to the connection position are the A longitudinal distance is greater than the width of the inlet opening in the longitudinal direction.

請求項3に記載の発明は、請求項1または2に記載の塗布ノズルであって、前記長手方向に垂直な厚さ方向において前記第1拡散部と前記第2拡散部とが離れており、前記複数の流出流路のそれぞれが、前記厚さ方向に延びるとともに、一端部が前記第2拡散部に接続する流出流路本体と、前記流出流路本体の他端部と前記第1拡散部とを接続する連結孔部とを備え、前記ノズル本体が、前記長手方向に延びるとともに、前記複数の流入流路および前記第1拡散部を形成する溝が側面に設けられた第1ノズルブロックと、前記長手方向に延びるとともに、前記複数の流出流路の流出流路本体、および、前記第2拡散部を形成する溝が側面に設けられた第2ノズルブロックと、前記第1ノズルブロックの前記側面と前記第2ノズルブロックの前記側面との間に配置され、前記複数の流出流路の連結孔部が設けられたシム板とをさらに備える。 The invention according to claim 3 is the coating nozzle according to claim 1 or 2, wherein the first diffusion part and the second diffusion part are separated in a thickness direction perpendicular to the longitudinal direction, Each of the plurality of outflow channels has an outflow channel body extending in the thickness direction and having one end connected to the second diffusion portion, and the other end of the outflow channel body and the first diffusion portion. and a first nozzle block in which the nozzle body extends in the longitudinal direction and grooves forming the plurality of inflow passages and the first diffusion portion are provided on the side surface of the nozzle block. a second nozzle block extending in the longitudinal direction and provided with grooves on the side surfaces thereof for forming the plurality of outflow passage bodies and the second diffusion portion; It further comprises a shim plate disposed between the side surface and the side surface of the second nozzle block and provided with connecting holes for the plurality of outflow passages.

請求項4に記載の発明は、請求項3に記載の塗布ノズルであって、前記吐出部が、前記長手方向に配列される前記複数の吐出口から前記厚さ方向に延びる複数の吐出流路を有し、前記複数の吐出流路が前記第2拡散部と接続し、前記複数の吐出流路と前記第2拡散部とが接続する領域の面積の和が、前記複数の流出流路における連結孔部の流路面積の和よりも小さい。 The invention according to claim 4 is the coating nozzle according to claim 3, wherein the discharge part includes a plurality of discharge channels extending in the thickness direction from the plurality of discharge ports arranged in the longitudinal direction. wherein the plurality of discharge flow paths are connected to the second diffusion section, and the sum of the areas of the regions where the plurality of discharge flow paths and the second diffusion section are connected is equal to It is smaller than the sum of the channel areas of the connecting holes.

請求項5に記載の発明は、請求項4に記載の塗布ノズルであって、各吐出流路と前記第2拡散部とが接続する領域の面積が、前記各吐出流路と前記第2拡散部とが接続する位置における前記長手方向に垂直な前記第2拡散部の断面積よりも小さい。 The invention according to claim 5 is the coating nozzle according to claim 4, wherein the area of the region where each discharge flow path and the second diffusion portion are connected is equal to each of the discharge flow paths and the second diffusion part. smaller than the cross-sectional area of the second diffusion portion perpendicular to the longitudinal direction at the location where the second diffusion portion connects with the second diffusion portion.

請求項6に記載の発明は、請求項1ないし5のいずれか1つに記載の塗布ノズルであって、前記吐出部が、前記複数の吐出口を有し、前記複数の吐出口における開口面積の和が、前記導入口の開口面積よりも小さい。 The invention according to claim 6 is the coating nozzle according to any one of claims 1 to 5, wherein the discharge part has the plurality of discharge ports, and the opening area of the plurality of discharge ports is smaller than the opening area of the inlet.

請求項7に記載の発明は、請求項1ないし6のいずれか1つに記載の塗布ノズルであって、前記長手方向に垂直な厚さ方向において前記ノズル本体の先端に前記吐出部の吐出口が設けられており、前記塗布ノズルが、前記厚さ方向および前記長手方向に垂直な幅方向において、前記ノズル本体の両側に配置されるとともに、噴出口から所定のガスを噴出する一対のガスノズルをさらに備え、前記一対のガスノズルから噴出される前記ガスが、前記吐出口の縁を形成する部位の外面に沿って流れ、前記吐出口から吐出される前記液体に衝突する。 The invention according to claim 7 is the coating nozzle according to any one of claims 1 to 6, wherein a discharge port of the discharge part is provided at a tip of the nozzle body in a thickness direction perpendicular to the longitudinal direction. is provided, and the coating nozzles are arranged on both sides of the nozzle body in the width direction perpendicular to the thickness direction and the longitudinal direction, and a pair of gas nozzles for ejecting a predetermined gas from the ejection port Further, the gas ejected from the pair of gas nozzles flows along the outer surface of the portion forming the edge of the ejection port and collides with the liquid ejected from the ejection port.

請求項8に記載の発明は、請求項1ないし7のいずれか1つに記載の塗布ノズルであって、前記液体の粘度が、1~200mPa・sである。 The invention according to claim 8 is the coating nozzle according to any one of claims 1 to 7, wherein the liquid has a viscosity of 1 to 200 mPa·s.

請求項9に記載の発明は、請求項1ないし8のいずれか1つに記載の塗布ノズルであって、前記複数の流入開口において互いに隣接する2つの流入開口を流入開口対として、各流入開口対の間に位置する流出流路の個数が一定である。 The invention according to claim 9 is the coating nozzle according to any one of claims 1 to 8, wherein two inflow openings adjacent to each other in the plurality of inflow openings are used as an inflow opening pair, and each inflow opening The number of outflow channels located between the pairs is constant.

本発明によれば、塗布ノズルの長手方向における液体の吐出量のばらつきを低減することができる。 According to the present invention, it is possible to reduce variations in the amount of liquid ejected in the longitudinal direction of the coating nozzle.

塗布ノズルを示す断面図である。It is a sectional view showing a coating nozzle. 第1ノズルブロックの側面を示す図である。It is a figure which shows the side surface of a 1st nozzle block. シム板を示す図である。It is a figure which shows a shim board. 第2ノズルブロックの側面を示す図である。It is a figure which shows the side surface of a 2nd nozzle block. 補助ブロックの対向面を示す図である。It is a figure which shows the opposing surface of an auxiliary block. 補助シム板を示す図である。It is a figure which shows an auxiliary shim plate. 気液供給部の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of a gas-liquid supply part. 塗布ノズルの他の例における第1ノズルブロックの側面を示す図である。FIG. 10 is a side view of a first nozzle block in another example of coating nozzles; 塗布ノズルの他の例における第1ノズルブロックの側面を示す図である。FIG. 10 is a side view of a first nozzle block in another example of coating nozzles;

図1は、本発明の一の実施の形態に係る塗布ノズル1を示す断面図である。塗布ノズル1は、外部から供給される所定の液体を吐出して、対象物9上に塗布するものである。当該液体は、例えば、消臭剤等の薬剤や接着剤等である。対象物9は、例えば、不織布やプラスチックフィルム等のシート部材である。塗布ノズル1は、複数の部材の組立体であり、図1では、理解を容易にするため、これらの部材を互いに離して描いている。また、図1では、互いに直交するX方向、Y方向およびZ方向を矢印にて示している。塗布ノズル1の典型的な使用例では、Z方向は鉛直方向であるが、もちろん、Z方向は鉛直方向には限定されない。 FIG. 1 is a sectional view showing a coating nozzle 1 according to one embodiment of the invention. The application nozzle 1 ejects a predetermined liquid supplied from the outside to apply the liquid onto the object 9 . The liquid is, for example, a drug such as a deodorant, an adhesive, or the like. The object 9 is, for example, a sheet member such as nonwoven fabric or plastic film. The coating nozzle 1 is an assembly of a plurality of members, and these members are depicted separately from each other in FIG. 1 for easy understanding. In FIG. 1, arrows indicate the X, Y, and Z directions that are orthogonal to each other. In a typical usage example of the coating nozzle 1, the Z direction is the vertical direction, but of course the Z direction is not limited to the vertical direction.

塗布ノズル1は、ノズル本体2と、一対のガスノズル3とを備える。ノズル本体2は、液体を吐出する液体ノズルであり、第1ノズルブロック21と、第2ノズルブロック22と、シム板23とを備える。第1ノズルブロック21、第2ノズルブロック22およびシム板23を形成する材料は特に限定されないが、例えば金属である。第1ノズルブロック21および第2ノズルブロック22は、図1中のX方向に延びるブロック状の部材である。以下の説明では、図1中のX方向を「長手方向」ともいう。図1の例では、対象物9はXY平面に平行かつY方向に連続する長尺部材であり、長手方向は、対象物9の幅に対応する方向となる。 A coating nozzle 1 includes a nozzle body 2 and a pair of gas nozzles 3 . The nozzle body 2 is a liquid nozzle that ejects liquid, and includes a first nozzle block 21 , a second nozzle block 22 and a shim plate 23 . Materials for forming the first nozzle block 21, the second nozzle block 22, and the shim plate 23 are not particularly limited, but are metals, for example. The first nozzle block 21 and the second nozzle block 22 are block-shaped members extending in the X direction in FIG. In the following description, the X direction in FIG. 1 is also referred to as "longitudinal direction". In the example of FIG. 1 , the object 9 is a long member parallel to the XY plane and continuous in the Y direction, and the longitudinal direction corresponds to the width of the object 9 .

第1ノズルブロック21および第2ノズルブロック22は、Y方向に配列され、両者の間にシム板23が配置される。詳細には、第1ノズルブロック21において、シム板23に対向する側面211(図1中の(-Y)方向を向く側面)は、ZX平面に平行な略平面である。第2ノズルブロック22において、シム板23に対向する側面221(図1中の(+Y)方向を向く側面)は、ZX平面に平行な略平面である。シム板23は、ZX平面に平行な平板部材である。シム板23のX方向およびZ方向の大きさは、第1ノズルブロック21の側面211、および、第2ノズルブロック22の側面221とほぼ同じである。シム板23の両主面は、第1ノズルブロック21の側面211、および、第2ノズルブロック22の側面221にそれぞれ接触する。第1ノズルブロック21、シム板23および第2ノズルブロック22は、例えば、ボルトおよびナットにより互いに固定される。以下の説明では、図1中のY方向およびZ方向をそれぞれ「幅方向」および「厚さ方向」ともいう。 The first nozzle block 21 and the second nozzle block 22 are arranged in the Y direction, and a shim plate 23 is arranged between them. Specifically, in the first nozzle block 21, the side surface 211 facing the shim plate 23 (the side surface facing the (-Y) direction in FIG. 1) is substantially a plane parallel to the ZX plane. In the second nozzle block 22, a side surface 221 facing the shim plate 23 (a side surface facing the (+Y) direction in FIG. 1) is substantially a plane parallel to the ZX plane. The shim plate 23 is a flat plate member parallel to the ZX plane. The dimensions of the shim plate 23 in the X and Z directions are substantially the same as those of the side surface 211 of the first nozzle block 21 and the side surface 221 of the second nozzle block 22 . Both main surfaces of the shim plate 23 contact the side surface 211 of the first nozzle block 21 and the side surface 221 of the second nozzle block 22, respectively. The first nozzle block 21, the shim plate 23 and the second nozzle block 22 are fixed to each other by bolts and nuts, for example. In the following description, the Y direction and Z direction in FIG. 1 are also referred to as "width direction" and "thickness direction", respectively.

図2は、第1ノズルブロック21の側面211を示す図である。第1ノズルブロック21の側面211には、所定形状の溝が形成される。既述のように、側面211には、シム板23が取り付けられ、当該溝はシム板23により覆われる。したがって、ノズル本体2では、当該溝およびシム板23により液体の複数の流路が形成される。以下の説明では、各流路の一部となる図2中の溝の部位を、当該流路と同じ名称で呼ぶものとする。第2ノズルブロック22の側面221に形成される後述の溝の部位についても同様である。 FIG. 2 is a diagram showing a side surface 211 of the first nozzle block 21. As shown in FIG. A groove having a predetermined shape is formed in the side surface 211 of the first nozzle block 21 . As described above, the shim plate 23 is attached to the side surface 211 and the groove is covered with the shim plate 23 . Therefore, in the nozzle body 2 , the grooves and the shim plate 23 form a plurality of liquid flow paths. In the following description, the portion of the groove in FIG. 2, which is part of each channel, will be referred to by the same name as the channel. The same applies to the later-described groove portions formed in the side surface 221 of the second nozzle block 22 .

図2に示すように、第1ノズルブロック21は、第1導入流路241と、第2導入流路242と、複数の流入流路25と、第1拡散部26とを備える。第1導入流路241は、X方向における第1ノズルブロック21の略中央においてY方向に延びており、例えば、その全長に亘って一定の断面積を有する。第1導入流路241は、第1ノズルブロック21を貫通し、第1ノズルブロック21の(+Y)側の面212(図1参照)、および、(-Y)側の側面211において開口する。面212における第1導入流路241の開口は、導入口24である。導入口24は、外部から供給される液体をノズル本体2の内部に導入する。本実施の形態では、後述の気液供給部6(図7参照)から導入口24に所定の液体が供給される。塗布ノズル1では、典型的には1つの導入口24のみが設けられるが、ノズル本体2の設計によっては、複数の導入口24が設けられてもよい。 As shown in FIG. 2 , the first nozzle block 21 includes a first introduction channel 241 , a second introduction channel 242 , multiple inflow channels 25 , and a first diffusion section 26 . The first introduction channel 241 extends in the Y direction at substantially the center of the first nozzle block 21 in the X direction, and has a constant cross-sectional area over its entire length, for example. The first introduction channel 241 passes through the first nozzle block 21 and opens at the (+Y) side surface 212 (see FIG. 1) and the (−Y) side surface 211 of the first nozzle block 21 . An opening of the first introduction channel 241 in the surface 212 is the introduction port 24 . The inlet 24 introduces the liquid supplied from the outside into the nozzle body 2 . In this embodiment, a predetermined liquid is supplied to the introduction port 24 from a gas-liquid supply unit 6 (see FIG. 7), which will be described later. Although the coating nozzle 1 is typically provided with only one inlet 24 , a plurality of inlets 24 may be provided depending on the design of the nozzle body 2 .

第2導入流路242、複数の流入流路25および第1拡散部26は、図2の側面211に設けられた溝およびシム板23により形成される。第2導入流路242、複数の流入流路25および第1拡散部26において、溝の深さ(Y方向の深さ)は、同じであっても、異なっていてもよい。第2導入流路242は、側面211における第1導入流路241の開口からX方向の両側に延びる第1部位243と、第1部位243の各端部から(-Z)方向に延びる第2部位244と、第2部位244の先端からX方向の両側に延びる第3部位245とを備える。 The second introduction channel 242, the plurality of inflow channels 25, and the first diffusion portion 26 are formed by grooves and the shim plate 23 provided on the side surface 211 of FIG. The groove depth (depth in the Y direction) may be the same or different in the second introduction channel 242 , the plurality of inflow channels 25 , and the first diffusion portion 26 . The second introduction channel 242 includes a first portion 243 extending on both sides in the X direction from the opening of the first introduction channel 241 in the side surface 211, and second portions 243 extending in the (−Z) direction from each end of the first portion 243. A portion 244 and a third portion 245 extending from the tip of the second portion 244 to both sides in the X direction.

複数の流入流路25は、それぞれZ方向に延びるとともに、X方向に配列される。複数の流入流路25は、互いに略平行であり、X方向の幅も略同じである。各流入流路25の(+Z)側の端部は、第2導入流路242の第3部位245の端部に接続される。ノズル本体2では、第2導入流路242および複数の流入流路25により、いわゆる、トーナメント状の流路が形成される。図2の例では、第1導入流路241の位置におけるX方向に垂直な面に関して、第2導入流路242および複数の流入流路25は対称な形状となっている(第1拡散部26も同様)。流入流路25の個数は、例えば、2以上の偶数個であり、好ましくは、4個以上である。流入流路25の個数は、奇数個であってもよい。流入流路25の個数は、例えば、16個以下である。第1導入流路241の開口から複数の流入流路25の(-Z)側の端部(後述の流入開口261)に至る複数の流路の抵抗は、略同じであり、導入口24に供給される液体の複数の流入流路25における流量は、略同じである。 The plurality of inflow channels 25 each extend in the Z direction and are arranged in the X direction. The plurality of inflow channels 25 are substantially parallel to each other and have substantially the same width in the X direction. The (+Z) side end of each inflow channel 25 is connected to the end of the third portion 245 of the second introduction channel 242 . In the nozzle body 2 , a so-called tournament-like channel is formed by the second introduction channel 242 and the plurality of inflow channels 25 . In the example of FIG. 2, the second introduction channel 242 and the plurality of inflow channels 25 have a symmetrical shape with respect to the plane perpendicular to the X direction at the position of the first introduction channel 241 (the first diffusion portion 26 as well). The number of inflow channels 25 is, for example, an even number of 2 or more, preferably 4 or more. The number of inflow channels 25 may be an odd number. The number of inflow channels 25 is, for example, 16 or less. The plurality of flow paths from the opening of the first introduction flow path 241 to the (−Z) side ends of the plurality of inflow flow paths 25 (inflow openings 261 to be described later) have substantially the same resistance. The flow rate of the supplied liquid in the plurality of inflow channels 25 is substantially the same.

第1拡散部26は、X方向に延びる空間である。図2の例では、Z方向における第1拡散部26の幅は、X方向における各流入流路25の幅よりも大きい。第1拡散部26には、複数の流入開口261がX方向に配列して設けられる。複数の流入開口261は、複数の流入流路25にそれぞれ接続する。換言すると、複数の流入開口261は、複数の流入流路25における第1拡散部26側の開口である。複数の流入流路25を流れる液体は、複数の流入開口261を介して第1拡散部26に流入する。これにより、第1拡散部26内に液体が充填される。 The first diffusion portion 26 is a space extending in the X direction. In the example of FIG. 2, the width of the first diffusion portion 26 in the Z direction is greater than the width of each inflow channel 25 in the X direction. A plurality of inflow openings 261 are arranged in the X direction in the first diffusion part 26 . The plurality of inflow openings 261 are connected to the plurality of inflow channels 25 respectively. In other words, the plurality of inflow openings 261 are the openings of the plurality of inflow channels 25 on the first diffusion portion 26 side. Liquid flowing through the plurality of inflow channels 25 flows into the first diffusion section 26 through the plurality of inflow openings 261 . As a result, the first diffusion portion 26 is filled with the liquid.

図3は、シム板23を示す図である。シム板23は、複数の連結孔部271と、吐出部29とを備える。吐出部29は、シム板23の(-Z)側の端部に設けられ、複数の連結孔部271は、吐出部29から(+Z)方向に離れて設けられる。吐出部29の詳細については後述する。複数の連結孔部271のそれぞれは、貫通孔であり、X方向に一定のピッチにて配列される。複数の連結孔部271は、略同じ直径を有する。各連結孔部271の直径は、例えば、流入開口261(図2参照)のX方向における幅よりも小さい。図2および図3では、連結孔部271を実際よりも大きく描いている(他の図において同様)。 FIG. 3 is a diagram showing the shim plate 23. As shown in FIG. The shim plate 23 has a plurality of connecting holes 271 and a discharge portion 29 . The discharge portion 29 is provided at the end of the shim plate 23 on the (-Z) side, and the plurality of connection holes 271 are provided away from the discharge portion 29 in the (+Z) direction. Details of the ejection portion 29 will be described later. Each of the plurality of connecting holes 271 is a through hole and arranged at a constant pitch in the X direction. The plurality of connecting holes 271 have approximately the same diameter. The diameter of each connecting hole portion 271 is, for example, smaller than the width in the X direction of the inflow opening 261 (see FIG. 2). In FIGS. 2 and 3, the connecting hole portion 271 is depicted larger than it actually is (the same applies to other drawings).

図2中に二点鎖線にて示すように、Y方向に沿って見た場合に、複数の連結孔部271は、第1拡散部26に重なる。第1拡散部26内の液体は、複数の連結孔部271から流出可能である。実際には、連結孔部271の流路面積(すなわち、液体が流れる方向に垂直な断面積であり、ここでは、Y方向に沿って見た連結孔部271の面積)は小さいため、第1拡散部26から連結孔部271を介して流出する液体の量が制限される。連結孔部271の個数は、例えば、流入流路25の個数よりも多く、好ましくは、流入流路25の個数の2倍以上である。連結孔部271の個数は、例えば、流入流路25の個数の4倍以下である。各連結孔部271は、後述の流出流路27の一端である。 As indicated by the two-dot chain line in FIG. 2, the plurality of connecting holes 271 overlap the first diffusion portion 26 when viewed along the Y direction. The liquid in the first diffusion portion 26 can flow out from the plurality of connecting holes 271 . Actually, since the channel area of the connecting hole portion 271 (that is, the cross-sectional area perpendicular to the direction in which the liquid flows, here, the area of the connecting hole portion 271 as seen along the Y direction) is small, the first The amount of liquid flowing out from the diffusion portion 26 through the connecting hole portion 271 is restricted. The number of connecting holes 271 is, for example, greater than the number of inflow channels 25 , preferably twice or more than the number of inflow channels 25 . The number of connecting holes 271 is, for example, four times or less the number of inflow channels 25 . Each connecting hole portion 271 is one end of an outflow channel 27 which will be described later.

ここで、図2を参照して、第1拡散部26における流入流路25と連結孔部271との位置関係について説明する。ノズル本体2では、各流入流路25の延長線上に、いずれの連結孔部271も存在せず、X方向に関して、各連結孔部271の存在範囲は、いずれの流入開口261の存在範囲とも重ならない。このように、X方向に関して複数の連結孔部271の位置(すなわち、流出流路27の接続位置)が、複数の流入開口261の位置と相違する。例えば、各連結孔部271の位置と、当該位置に最も近接する流入開口261の位置との間におけるX方向の距離(中心間距離)は、X方向における流入開口261の幅よりも大きい。当該距離は、好ましくは、1.2mm以上であり、より好ましくは、4.8mm以上である。X方向に関して複数の連結孔部271の位置が、複数の流入開口261の位置と相違する(好ましくは、離れている)ことにより、複数の流入流路25から第1拡散部26に流入した液体は、直ぐには連結孔部271から流出せず、第1拡散部26の内面に衝突してX方向に広がる。これにより、連結孔部271からの流出前に、第1拡散部26内において液体をX方向に適切に拡散させることが可能となる。 Here, the positional relationship between the inflow channel 25 and the connecting hole portion 271 in the first diffusion portion 26 will be described with reference to FIG. In the nozzle body 2, none of the connecting holes 271 exist on the extension line of each inflow channel 25, and the range of existence of each connecting hole 271 overlaps the range of existence of any of the inflow openings 261 with respect to the X direction. not. In this manner, the positions of the plurality of connecting holes 271 (that is, the connection positions of the outflow flow paths 27) in the X direction are different from the positions of the plurality of inflow openings 261. As shown in FIG. For example, the distance in the X direction (center-to-center distance) between the position of each connecting hole 271 and the position of the inflow opening 261 closest thereto is greater than the width of the inflow opening 261 in the X direction. The distance is preferably 1.2 mm or more, more preferably 4.8 mm or more. The positions of the plurality of connecting holes 271 in the X direction are different from (preferably separated from) the positions of the plurality of inflow openings 261, so that the liquid flowing into the first diffusion portion 26 from the plurality of inflow channels 25 does not immediately flow out of the connecting hole portion 271, but collides with the inner surface of the first diffusion portion 26 and spreads in the X direction. As a result, the liquid can be appropriately diffused in the X direction within the first diffusion portion 26 before flowing out from the connecting hole portion 271 .

流入開口261から第1拡散部26への液体の流入方向は、ほぼ(-Z)方向であり、第1拡散部26から連結孔部271への液体の流出方向(図1参照)は、ほぼ(-Y)方向である。このように、第1拡散部26への液体の流入方向と、第1拡散部26からの液体の流出方向とが略直交することにより、第1拡散部26内において液体をX方向により確実に拡散させることが可能となる。 The inflow direction of the liquid from the inflow opening 261 to the first diffusing portion 26 is approximately the (−Z) direction, and the outflow direction of the liquid from the first diffusing portion 26 to the connecting hole portion 271 (see FIG. 1) is approximately (−Y) direction. In this manner, the inflow direction of the liquid into the first diffusing section 26 and the outflow direction of the liquid from the first diffusing section 26 are substantially perpendicular to each other. It can be diffused.

図4は、第2ノズルブロック22の側面221を示す図である。第2ノズルブロック22の側面221には、第1ノズルブロック21の側面211とは異なる形状の溝が形成される。第2ノズルブロック22は、複数の流出流路本体272と、第2拡散部28とを備える。複数の流出流路本体272および第2拡散部28は、側面221に設けられた溝およびシム板23により形成される。複数の流出流路本体272および第2拡散部28において、溝の深さ(Y方向の深さ)は、同じであっても、異なっていてもよい。複数の流出流路本体272は、それぞれZ方向に延びるとともに、X方向に配列される。複数の流出流路本体272は、互いに略平行であり、X方向の幅も略同じである。Y方向に沿って見た場合に、複数の流出流路本体272の(+Z)側の端部は、複数の連結孔部271(図4中に二点鎖線にて示す。)とそれぞれ重なる。 FIG. 4 is a diagram showing a side surface 221 of the second nozzle block 22. As shown in FIG. A groove having a shape different from that of the side surface 211 of the first nozzle block 21 is formed in the side surface 221 of the second nozzle block 22 . The second nozzle block 22 includes a plurality of outflow channel bodies 272 and a second diffusion portion 28 . A plurality of outflow channel main bodies 272 and second diffusion portions 28 are formed by grooves provided on the side surface 221 and the shim plate 23 . The groove depths (depths in the Y direction) may be the same or different in the plurality of outflow channel main bodies 272 and the second diffusion portions 28 . The plurality of outflow channel bodies 272 each extend in the Z direction and are arranged in the X direction. The plurality of outflow channel main bodies 272 are substantially parallel to each other and have substantially the same width in the X direction. When viewed along the Y direction, the (+Z) side ends of the plurality of outflow channel main bodies 272 overlap with the plurality of connecting holes 271 (indicated by chain double-dashed lines in FIG. 4).

第2拡散部28は、X方向に延びる空間である。Z方向における第2拡散部28の幅は、第1拡散部26と同じであっても、異なっていてもよい。第2拡散部28には、複数の流出流路本体272の(-Z)側の端部が接続される。第1拡散部26から複数の連結孔部271を介して流出した液体は、複数の流出流路本体272を通過して第2拡散部28に流入する。これにより、第2拡散部28内に液体が充填される。 The second diffusion portion 28 is a space extending in the X direction. The width of the second diffusion portion 28 in the Z direction may be the same as or different from that of the first diffusion portion 26 . The (−Z) side ends of the plurality of outflow channel main bodies 272 are connected to the second diffusion portion 28 . The liquid flowing out from the first diffusing portion 26 through the plurality of connecting holes 271 passes through the plurality of outflow channel main bodies 272 and flows into the second diffusing portion 28 . As a result, the second diffusion portion 28 is filled with the liquid.

ここで、互いに接続する連結孔部271および流出流路本体272の組合せを「流出流路27」と呼ぶと、ノズル本体2では、複数の流出流路27が、X方向に配列される。また、複数の流出流路27の両端部が、Z方向に離れた第1拡散部26および第2拡散部28に接続される。複数の流出流路27は、第1拡散部26内の液体を流出させ、第2拡散部28内に流入させる。複数の流出流路27における流路抵抗は、略同じであり、複数の流出流路27における液体の流量も、略同じである。 Here, when the combination of the connecting hole portion 271 and the outflow channel main body 272 that are connected to each other is called "outflow channel 27", in the nozzle body 2, the plurality of outflow channels 27 are arranged in the X direction. Both ends of the plurality of outflow channels 27 are connected to a first diffusion portion 26 and a second diffusion portion 28 separated in the Z direction. The plurality of outflow channels 27 cause the liquid in the first diffusion section 26 to flow out and into the second diffusion section 28 . The plurality of outflow flow paths 27 have substantially the same flow path resistance, and the plurality of outflow flow paths 27 have substantially the same liquid flow rate.

図3のシム板23において吐出部29((-Z)側の端部)には、Z方向に延びる複数のスリット孔が、X方向に一定の間隔にて形成される。換言すると、吐出部29には、櫛歯状の部位が設けられる。既述のように、シム板23の両主面には、第1ノズルブロック21および第2ノズルブロック22が取り付けられ、第1ノズルブロック21の側面211および第2ノズルブロック22の側面221により、スリット孔のY方向の両側が覆われる。これにより、それぞれがZ方向に延びる複数の吐出流路291が形成される。以下の説明では、吐出流路291の一部となる図3中のスリット孔についても、吐出流路291と呼ぶ。図3では、X方向における吐出流路291の幅を実際よりも大きく、かつ、吐出流路291の個数を実際よりも少なく描いている。 A plurality of slit holes extending in the Z direction are formed at regular intervals in the X direction in the shim plate 23 of FIG. In other words, the ejection portion 29 is provided with a comb-like portion. As described above, the first nozzle block 21 and the second nozzle block 22 are attached to both main surfaces of the shim plate 23, and the side surface 211 of the first nozzle block 21 and the side surface 221 of the second nozzle block 22 Both sides of the slit hole in the Y direction are covered. Thereby, a plurality of discharge flow paths 291 each extending in the Z direction are formed. In the following description, the slit holes in FIG. In FIG. 3, the width of the discharge flow paths 291 in the X direction is drawn larger than the actual width, and the number of the discharge flow paths 291 is drawn smaller than the actual number.

図3中に二点鎖線にて示すように、Y方向に沿って見た場合に、第2拡散部28は、複数の吐出流路291の(+Z)側の端部に重なる。すなわち、複数の吐出流路291は、第2拡散部28に接続する。複数の吐出流路291の他方の端部((-Z)側の端部)は、外部に向かって開口する吐出口290である。ノズル本体2の(-Z)側の端部では、複数の吐出口290がX方向に一定のピッチにて配列される。第2拡散部28に充填された液体は、複数の吐出流路291を介して複数の吐出口290から(-Z)方向に吐出される。図1の例では、Y方向に連続的に移動する対象物9上に、当該液体が吐出される。ノズル本体2では、各吐出流路291が、吐出口290からZ方向に延びていると捉えることも可能である。典型的には、吐出口290(吐出流路291)の個数は流出流路27の個数よりも十分に多い。 As indicated by the two-dot chain line in FIG. 3 , the second diffusing portion 28 overlaps the (+Z) side ends of the plurality of discharge flow paths 291 when viewed along the Y direction. That is, the plurality of discharge channels 291 are connected to the second diffusion section 28 . The other end (the end on the (-Z) side) of the plurality of discharge channels 291 is a discharge port 290 that opens outward. At the (-Z) end of the nozzle body 2, a plurality of ejection openings 290 are arranged at a constant pitch in the X direction. The liquid filled in the second diffusion portion 28 is discharged in the (−Z) direction from a plurality of discharge ports 290 via a plurality of discharge flow paths 291 . In the example of FIG. 1, the liquid is ejected onto the object 9 continuously moving in the Y direction. In the nozzle body 2, it is also possible to consider that each discharge flow path 291 extends from the discharge port 290 in the Z direction. Typically, the number of discharge ports 290 (discharge flow paths 291 ) is sufficiently larger than the number of outflow flow paths 27 .

図1に示すように、一対のガスノズル3は、Y方向におけるノズル本体2の両側にそれぞれ配置され、所定のガス(例えば、空気)を噴出する。(+Y)側のガスノズル3および(-Y)側のガスノズル3のそれぞれは、補助ブロック31と、補助シム板32とを備える。補助ブロック31および補助シム板32を形成する材料は特に限定されないが、例えば金属である。補助ブロック31は、図1中のX方向に延びるブロック状の部材である。 As shown in FIG. 1, a pair of gas nozzles 3 are arranged on both sides of the nozzle body 2 in the Y direction, and eject a predetermined gas (for example, air). Each of the (+Y) side gas nozzle 3 and the (−Y) side gas nozzle 3 includes an auxiliary block 31 and an auxiliary shim plate 32 . The material forming the auxiliary block 31 and the auxiliary shim plate 32 is not particularly limited, but is metal, for example. The auxiliary block 31 is a block-shaped member extending in the X direction in FIG.

既述のように、第1ノズルブロック21および第2ノズルブロック22のそれぞれでは、側面211,221の(-Z)側の端部211a,221aにおいて複数の吐出口290の縁が形成される。当該端部211a,221aは、塗布ノズル1において最も(-Z)側の部位、すなわち、図1中の最も下側の部位となる。第1ノズルブロック21では、端部211aから(+Y)側に向かうに従って(+Z)側に傾斜する傾斜面213が設けられる。(+Y)側のガスノズル3では、補助ブロック31が傾斜面213に略平行な対向面311を有する。対向面311と傾斜面213との間に補助シム板32を挟んだ状態で、補助ブロック31が第1ノズルブロック21に対してボルト等により取り付けられる。 As described above, in each of the first nozzle block 21 and the second nozzle block 22, edges of a plurality of ejection ports 290 are formed at the (−Z) side ends 211a and 221a of the side surfaces 211 and 221, respectively. The end portions 211a and 221a are the most (-Z) side portions of the coating nozzle 1, that is, the lowest portion in FIG. The first nozzle block 21 is provided with an inclined surface 213 that is inclined toward the (+Z) side from the end portion 211a toward the (+Y) side. In the (+Y) side gas nozzle 3 , the auxiliary block 31 has a facing surface 311 substantially parallel to the inclined surface 213 . The auxiliary block 31 is attached to the first nozzle block 21 with bolts or the like with the auxiliary shim plate 32 sandwiched between the facing surface 311 and the inclined surface 213 .

上記と同様に、第2ノズルブロック22では、端部221aから(-Y)側に向かうに従って(+Z)側に傾斜する傾斜面223が設けられる。(-Y)側のガスノズル3では、補助ブロック31が傾斜面223に略平行な対向面311を有する。対向面311と傾斜面223との間に補助シム板32を挟んだ状態で、補助ブロック31が第2ノズルブロック22に対してボルト等により取り付けられる。 Similarly to the above, the second nozzle block 22 is provided with an inclined surface 223 that inclines toward the (+Z) side from the end 221a toward the (−Y) side. In the (−Y) side gas nozzle 3 , the auxiliary block 31 has a facing surface 311 substantially parallel to the inclined surface 223 . The auxiliary block 31 is attached to the second nozzle block 22 with bolts or the like with the auxiliary shim plate 32 sandwiched between the facing surface 311 and the inclined surface 223 .

図5は、(+Y)側のガスノズル3における補助ブロック31の対向面311を示す図であり、対向面311に垂直な方向から見た様子を示している。図6は、(+Y)側のガスノズル3における補助シム板32を示す図であり、補助シム板32に垂直な方向から見た様子を示している。ノズル本体2に取り付けられた状態では、補助ブロック31の対向面311および補助シム板32は、ZX平面に対して傾斜する。図5および図6中の上側の部位は、図1の塗布ノズル1において(+Z)側に位置する部位である。以下、図5および図6を参照して、(+Y)側のガスノズル3の構造について説明するが、(-Y)側のガスノズル3の構造も同様である。 FIG. 5 is a view showing the facing surface 311 of the auxiliary block 31 in the gas nozzle 3 on the (+Y) side, and shows a state seen from a direction perpendicular to the facing surface 311. As shown in FIG. FIG. 6 is a diagram showing the auxiliary shim plate 32 in the gas nozzle 3 on the (+Y) side, showing a state seen from a direction perpendicular to the auxiliary shim plate 32 . When attached to the nozzle body 2, the facing surface 311 of the auxiliary block 31 and the auxiliary shim plate 32 are inclined with respect to the ZX plane. The upper portion in FIGS. 5 and 6 is the portion located on the (+Z) side of the coating nozzle 1 in FIG. The structure of the (+Y) side gas nozzle 3 will be described below with reference to FIGS. 5 and 6, but the structure of the (−Y) side gas nozzle 3 is the same.

図5に示すように、補助ブロック31の対向面311には、X方向に延びるガス供給溝312が形成される。図1に示すように、補助ブロック31の内部には、X方向に延びるガス導入流路313が設けられており、ガス供給溝312はガス導入流路313に接続する。図6中における補助シム板32の下側の部位では、X方向の両端部を除く部分が切り欠かれている。すなわち、補助シム板32の下側の部位には、上側に向かって窪む凹部321が形成される。 As shown in FIG. 5, a gas supply groove 312 extending in the X direction is formed in the facing surface 311 of the auxiliary block 31 . As shown in FIG. 1 , a gas introduction channel 313 extending in the X direction is provided inside the auxiliary block 31 , and the gas supply groove 312 is connected to the gas introduction channel 313 . The lower portion of the auxiliary shim plate 32 in FIG. 6 is notched except for both ends in the X direction. That is, a concave portion 321 that is recessed upward is formed in the lower portion of the auxiliary shim plate 32 .

既述のように、補助シム板32は、第1ノズルブロック21の傾斜面213と補助ブロック31の対向面311とに挟まれ、両者により、補助シム板32に垂直な方向における凹部321の両側が覆われる。したがって、図1のガスノズル3では、後述の気液供給部6からガス導入流路313に導入されたガスが、ガス供給溝312を介して凹部321内に供給され、凹部321の(-Z)側の開口である噴出口322から噴出される。塗布ノズル1では、最も(+X)側の吐出口290から最も(-X)側の吐出口290までの範囲を含むように、噴出口322がX方向に広がっている。補助シム板32の厚さは、ノズル本体2のシム板23の厚さよりも大きいため、X方向に垂直な方向における噴出口322の幅は、吐出口290のY方向の幅よりも大きい。 As described above, the auxiliary shim plate 32 is sandwiched between the inclined surface 213 of the first nozzle block 21 and the opposing surface 311 of the auxiliary block 31, and both sides of the recess 321 in the direction perpendicular to the auxiliary shim plate 32 is covered. Therefore, in the gas nozzle 3 of FIG. 1, the gas introduced into the gas introduction passage 313 from the gas-liquid supply unit 6 described later is supplied into the recess 321 through the gas supply groove 312, and the (-Z) of the recess 321 is supplied. It is ejected from the ejection port 322 which is an opening on the side. In the coating nozzle 1, the ejection port 322 extends in the X direction so as to include the range from the ejection port 290 closest to the (+X) side to the ejection port 290 closest to the (−X) side. Since the thickness of the auxiliary shim plate 32 is greater than the thickness of the shim plate 23 of the nozzle body 2, the width of the ejection port 322 in the direction perpendicular to the X direction is greater than the width of the ejection port 290 in the Y direction.

図1の例では、(+Y)側のガスノズル3における噴出口322は、第1ノズルブロック21の側面211の(-Z)側の端部211aよりも(+Z)側に位置する。当該噴出口322から噴出されるガスは、傾斜面213に沿って当該端部211aに向かって流れ、複数の吐出口290から吐出される液体に衝突する。(-Y)側のガスノズル3における噴出口322は、第2ノズルブロック22の側面221の(-Z)側の端部221aよりも(+Z)側に位置する。当該噴出口322から噴出されるガスは、傾斜面213に沿って当該端部221aに向かって流れ、複数の吐出口290から吐出される液体に衝突する。このように、複数の吐出口290から吐出される液体に対してY方向の両側からガスが衝突する。 In the example of FIG. 1 , the ejection port 322 of the gas nozzle 3 on the (+Y) side is located on the (+Z) side of the (−Z) side end 211 a of the side surface 211 of the first nozzle block 21 . The gas ejected from the ejection port 322 flows along the inclined surface 213 toward the end portion 211 a and collides with the liquid ejected from the plurality of ejection ports 290 . The ejection port 322 of the (−Y) side gas nozzle 3 is located on the (+Z) side of the (−Z) side end 221 a of the side surface 221 of the second nozzle block 22 . The gas ejected from the ejection port 322 flows along the inclined surface 213 toward the end portion 221 a and collides with the liquid ejected from the plurality of ejection ports 290 . Thus, the gas collides with the liquid ejected from the plurality of ejection ports 290 from both sides in the Y direction.

図7は、気液供給部6の構成を示す図である。気液供給部6では、圧縮空気の供給源61から減圧弁62を介して液体タンク63内に圧縮空気が供給される。本実施の形態では、液体タンク63内には低粘度の液体が貯溜される。当該液体の粘度は、例えば1~200mPa・sであり、好ましくは1~50mPa・sである。液体タンク63には、液体供給ライン64の一端が接続されており、液体タンク63内への圧縮空気の供給により、液体供給ライン64に当該液体が圧送される。液体供給ライン64には、圧縮空気を利用するエアオペレートバルブ641、および、流量調整弁642が設けられる。液体供給ライン64の他端は、塗布ノズル1の導入口24(図1参照)に接続される。 FIG. 7 is a diagram showing the configuration of the gas-liquid supply unit 6. As shown in FIG. In the gas-liquid supply unit 6 , compressed air is supplied from a compressed air supply source 61 into the liquid tank 63 via a pressure reducing valve 62 . In this embodiment, the liquid tank 63 stores a low-viscosity liquid. The viscosity of the liquid is, for example, 1 to 200 mPa·s, preferably 1 to 50 mPa·s. One end of a liquid supply line 64 is connected to the liquid tank 63 , and the liquid is pumped to the liquid supply line 64 by supplying compressed air into the liquid tank 63 . The liquid supply line 64 is provided with an air operated valve 641 using compressed air and a flow control valve 642 . The other end of the liquid supply line 64 is connected to the introduction port 24 (see FIG. 1) of the coating nozzle 1 .

塗布ノズル1から液体を吐出する際には、エアオペレートバルブ641が開かれ、液体供給ライン64に圧送された液体が、導入口24に供給される。このとき、流量調整弁642により当該液体の塗布ノズル1への供給流量が調整される。当該液体は、図1の塗布ノズル1の第1導入流路241、第2導入流路242、複数の流入流路25、第1拡散部26、複数の流出流路27、および、第2拡散部28を順に通過して、吐出部29の複数の吐出口290から吐出される。液体の吐出を停止する際には、エアオペレートバルブ641が閉じられる。 When the liquid is discharged from the application nozzle 1 , the air operated valve 641 is opened and the liquid pressure-fed to the liquid supply line 64 is supplied to the inlet 24 . At this time, the supply flow rate of the liquid to the coating nozzle 1 is adjusted by the flow rate adjustment valve 642 . The liquid flows through the first inlet channel 241, the second inlet channel 242, the plurality of inlet channels 25, the first diffusion section 26, the plurality of outlet channels 27, and the second diffusion channel 241 of the coating nozzle 1 of FIG. It passes through the portions 28 in order and is discharged from the plurality of discharge ports 290 of the discharge portion 29 . When stopping liquid ejection, the air operated valve 641 is closed.

また、図7の気液供給部6では、一端がガス供給源66(圧縮空気の供給源61であってもよい。)に接続されたガス供給ライン67が設けられる。ガス供給ライン67の他端は、複数の分岐ラインに分岐しており、図1に示す一対のガスノズル3のガス導入流路313に接続される。ガス供給源66からガス供給ライン67に供給されたガスは、ガス導入流路313およびガス供給溝312を介して凹部321内に導かれ、噴出口322から噴出される。上記塗布ノズル1および気液供給部6は、塗工装置として対象物9への液体の塗布に利用される。 The gas-liquid supply unit 6 of FIG. 7 is provided with a gas supply line 67 having one end connected to a gas supply source 66 (which may be the compressed air supply source 61). The other end of the gas supply line 67 is branched into a plurality of branch lines and connected to the gas introduction passages 313 of the pair of gas nozzles 3 shown in FIG. Gas supplied from the gas supply source 66 to the gas supply line 67 is guided into the recess 321 through the gas introduction passage 313 and the gas supply groove 312 and ejected from the ejection port 322 . The coating nozzle 1 and the gas-liquid supply unit 6 are used as a coating device to apply the liquid to the object 9 .

塗布ノズル1におけるシム板23の厚さを0.02~0.05mmとし、補助シム板32の厚さを0.1mmとして、吐出量10~40g/minにて液体の吐出試験を行った。このとき、液体の粘度を1mPa・sとし、液体の導入圧力を0.034MPaとし、ガスの供給圧力を0.1MPaとした。吐出試験では、液体の対象物9への付着状態が良好となり、周囲への飛散も適切に抑制された。 A liquid ejection test was conducted with the thickness of the shim plate 23 of the coating nozzle 1 set to 0.02 to 0.05 mm, the thickness of the auxiliary shim plate 32 set to 0.1 mm, and the ejection amount of 10 to 40 g/min. At this time, the liquid viscosity was set to 1 mPa·s, the liquid introduction pressure was set to 0.034 MPa, and the gas supply pressure was set to 0.1 MPa. In the ejection test, the state of adhesion of the liquid to the target object 9 was improved, and scattering to the surroundings was appropriately suppressed.

以上に説明したように、塗布ノズル1は、長手方向(上記では、X方向)に延びるブロック状のノズル本体2と、ノズル本体2に設けられる導入口24と、ノズル本体2に設けられ、長手方向に配列される複数の吐出口290を有する吐出部29とを備える。ノズル本体2は、導入口24から連続するとともに、長手方向に配列される複数の流入流路25と、複数の流入流路25にそれぞれ接続する複数の流入開口261が長手方向に配列して設けられる第1拡散部26と、長手方向に配列されるとともに、第1拡散部26内の液体を流出させる複数の流出流路27と、複数の流出流路27から流入する液体が充填されるとともに吐出部29に接続する第2拡散部28とを備える。長手方向に関して、第1拡散部26に対する複数の流出流路27の接続位置が、複数の流入開口261の位置と相違する。これにより、複数の流入開口261から流入する液体を、第1拡散部26において適切に拡散させることができ、長手方向における液体の吐出量のばらつき(上記の例では、複数の吐出口290からの液体の吐出量のばらつき)を低減することができる。 As described above, the coating nozzle 1 includes a block-shaped nozzle body 2 extending in the longitudinal direction (the X direction in the above description), an inlet 24 provided in the nozzle body 2, and an inlet 24 provided in the nozzle body 2. and an ejection portion 29 having a plurality of ejection ports 290 arranged in a direction. The nozzle body 2 is provided with a plurality of inflow passages 25 continuous from the inlet 24 and arranged in the longitudinal direction, and a plurality of inflow openings 261 respectively connected to the plurality of inflow passages 25 arranged in the longitudinal direction. a plurality of outflow channels 27 that are arranged in the longitudinal direction and that allow the liquid in the first diffusion part 26 to flow out; and a second diffusion portion 28 connected to the discharge portion 29 . With respect to the longitudinal direction, the connection positions of the plurality of outflow channels 27 to the first diffusion portion 26 are different from the positions of the plurality of inflow openings 261 . As a result, the liquid flowing in from the plurality of inflow openings 261 can be appropriately diffused in the first diffusing portion 26, and the variation in the discharge amount of the liquid in the longitudinal direction (in the above example, the discharge from the plurality of discharge openings 290 can be reduced). variation in the amount of liquid ejected) can be reduced.

好ましくは、各流出流路27の第1拡散部26に対する接続位置と、当該接続位置に最も近接する流入開口261との間における長手方向の距離が、長手方向における流入開口261の幅よりも大きい。これにより、複数の流入開口261から流入する液体を、第1拡散部26においてより確実に拡散させることができる。 Preferably, the longitudinal distance between the connection position of each outflow channel 27 to the first diffusion part 26 and the inflow opening 261 closest to the connection position is greater than the width of the inflow opening 261 in the longitudinal direction. . Thereby, the liquid flowing in from the plurality of inflow openings 261 can be more reliably diffused in the first diffusion section 26 .

好ましくは、長手方向に垂直な厚さ方向において第1拡散部26と第2拡散部28とが離れる。また、複数の流出流路27のそれぞれが、厚さ方向に延びるとともに、一端部が第2拡散部28に接続する流出流路本体272と、流出流路本体272の他端部と第1拡散部26とを接続する連結孔部271とを備える。これにより、各流出流路27を流れる液体の流量を適切に制限することができ、一部の流出流路27において液体の流量が大きくなることをより確実に抑制することができる。その結果、長手方向における液体の吐出量のばらつきをより確実に低減することができる。 Preferably, the first diffusion portion 26 and the second diffusion portion 28 are separated in the thickness direction perpendicular to the longitudinal direction. Each of the plurality of outflow channels 27 includes an outflow channel main body 272 extending in the thickness direction and having one end connected to the second diffusion portion 28, and the other end of the outflow channel main body 272 and the first diffusion and a connecting hole portion 271 that connects with the portion 26 . As a result, the flow rate of liquid flowing through each outflow channel 27 can be appropriately restricted, and an increase in the flow rate of liquid in some of the outflow channels 27 can be more reliably suppressed. As a result, it is possible to more reliably reduce variations in the amount of liquid ejected in the longitudinal direction.

好ましくは、ノズル本体2が、第1ノズルブロック21と、第2ノズルブロック22と、シム板23とを備える。第1ノズルブロック21の側面211には、複数の流入流路25および第1拡散部26を形成する溝が設けられる。第2ノズルブロック22の側面221には、複数の流出流路27の流出流路本体272、および、第2拡散部28を形成する溝が設けられる。シム板23は、第1ノズルブロック21の側面211と第2ノズルブロック22の側面221との間に配置され、複数の流出流路27の連結孔部271が設けられる。これにより、塗布ノズル1を容易に製造することができる。 Preferably, the nozzle body 2 comprises a first nozzle block 21 , a second nozzle block 22 and a shim plate 23 . A side surface 211 of the first nozzle block 21 is provided with grooves that form a plurality of inflow channels 25 and first diffusion portions 26 . The side surface 221 of the second nozzle block 22 is provided with grooves forming the outflow channel bodies 272 of the plurality of outflow channels 27 and the second diffusion portion 28 . The shim plate 23 is arranged between the side surface 211 of the first nozzle block 21 and the side surface 221 of the second nozzle block 22 , and is provided with connecting holes 271 for the plurality of outflow flow paths 27 . Thereby, the coating nozzle 1 can be manufactured easily.

好ましくは、長手方向に垂直な厚さ方向においてノズル本体2の先端に吐出部29の吐出口290が設けられる。また、塗布ノズル1が、厚さ方向および長手方向に垂直な幅方向において、ノズル本体2の両側に配置されるとともに、噴出口322から所定のガスを噴出する一対のガスノズル3をさらに備える。一対のガスノズル3から噴出されるガスは、吐出口290の縁を形成する部位の外面に沿って流れ、吐出口290から吐出される液体に衝突する。これにより、表面張力によりノズル本体2の先端に付着(滞留)した液体を適切に剥離させるとともに、吐出口290から吐出される液体の幅方向への広がりを抑えることができる。なお、塗布ノズル1の設計によっては、一対のガスノズル3から噴出されるガスが、吐出口290から吐出される液体に衝突しなくてもよい。 Preferably, the ejection port 290 of the ejection portion 29 is provided at the tip of the nozzle body 2 in the thickness direction perpendicular to the longitudinal direction. Further, the coating nozzle 1 is arranged on both sides of the nozzle body 2 in the width direction perpendicular to the thickness direction and the longitudinal direction, and further includes a pair of gas nozzles 3 for ejecting a predetermined gas from the ejection port 322 . The gas ejected from the pair of gas nozzles 3 flows along the outer surface of the portion forming the edge of the ejection port 290 and collides with the liquid ejected from the ejection port 290 . As a result, the liquid adhering (accumulating) at the tip of the nozzle body 2 can be properly peeled off by the surface tension, and the spread of the liquid discharged from the discharge port 290 in the width direction can be suppressed. Note that the gas ejected from the pair of gas nozzles 3 may not collide with the liquid ejected from the ejection port 290 depending on the design of the coating nozzle 1 .

次に、塗布ノズル1の各位置における流路の面積の好ましい関係について述べる。まず、塗布ノズル1における液体の出口の面積は、液体の入口の面積よりも小さい、すなわち、複数の吐出口290の開口面積の和は、導入口24の開口面積よりも小さいことが好ましい。図1および図3の例では、各吐出口290の開口面積は、第1ノズルブロック21の側面211と第2ノズルブロック22の側面221との間のY方向の距離(すなわち、シム板23の厚さ)と、吐出流路291のX方向の幅とを掛けた値となる。また、導入口24の開口面積は、Y方向に垂直な第1導入流路241の断面積である。 Next, a preferable relationship between the areas of the flow passages at each position of the coating nozzle 1 will be described. First, the area of the liquid outlet in the coating nozzle 1 is preferably smaller than the area of the liquid inlet. 1 and 3, the opening area of each ejection port 290 is the distance in the Y direction between the side surface 211 of the first nozzle block 21 and the side surface 221 of the second nozzle block 22 (that is, the distance of the shim plate 23). thickness) and the width of the discharge channel 291 in the X direction. Also, the opening area of the introduction port 24 is the cross-sectional area of the first introduction channel 241 perpendicular to the Y direction.

塗布ノズル1では、複数の吐出口290の開口面積の和が、導入口24の開口面積よりも小さいことにより、ノズル本体2内に液体を適切に充填して、液体の圧力を安定させることができ、複数の吐出口290から吐出される液体の吐出量のばらつきをより確実に低減することができる。複数の吐出口290の開口面積の和の、導入口24の開口面積に対する比率は、例えば2~10%であり、好ましくは5~7%である。塗布ノズル1では、シム板23の厚さを小さくすることにより、吐出口290の開口面積を容易に小さくすることが可能となる。 In the coating nozzle 1, since the sum of the opening areas of the plurality of discharge ports 290 is smaller than the opening area of the introduction port 24, the nozzle body 2 can be appropriately filled with the liquid, and the pressure of the liquid can be stabilized. It is possible to more reliably reduce variations in the amount of liquid ejected from the plurality of ejection ports 290 . The ratio of the sum of the opening areas of the plurality of discharge ports 290 to the opening area of the introduction port 24 is, for example, 2 to 10%, preferably 5 to 7%. In the coating nozzle 1, by reducing the thickness of the shim plate 23, the opening area of the ejection port 290 can be easily reduced.

また、各吐出流路291と第2拡散部28とが接続する領域の面積は、当該吐出流路291と第2拡散部28とが接続する位置における長手方向に垂直な第2拡散部28の断面積よりも小さいことが好ましい。これにより、第2拡散部28において液体を長手方向に適切に拡散させて、液体の圧力を安定させることができ、複数の吐出口290から吐出される液体の吐出量のばらつきをより確実に低減することができる。図3の例では、各吐出流路291と第2拡散部28とが接続する領域の面積は、Y方向に沿って見た場合に、第2拡散部28と吐出流路291とが重なる領域の面積であり、第2拡散部28のZ方向の幅と吐出流路291のX方向の幅とを掛けた値となる。 In addition, the area of the region where each discharge channel 291 and the second diffusion portion 28 are connected is equal to the area of the second diffusion portion 28 perpendicular to the longitudinal direction at the position where the discharge channel 291 and the second diffusion portion 28 are connected. It is preferably smaller than the cross-sectional area. As a result, the liquid can be appropriately diffused in the longitudinal direction in the second diffusing portion 28, the pressure of the liquid can be stabilized, and variations in the amount of liquid ejected from the plurality of ejection ports 290 can be more reliably reduced. can do. In the example of FIG. 3, the area of the region where each discharge channel 291 and the second diffusion portion 28 are connected is the area where the second diffusion portion 28 and the discharge channel 291 overlap when viewed along the Y direction. , which is the product of the width of the second diffusion portion 28 in the Z direction and the width of the discharge flow path 291 in the X direction.

さらに、複数の吐出流路291と第2拡散部28とが接続する領域の面積の和は、複数の流出流路27における連結孔部271の流路面積の和よりも小さいことが好ましい。これにより、第2拡散部28内に液体を適切に充填して、液体の圧力を安定させることができ、複数の吐出口290から吐出される液体の吐出量のばらつきをより確実に低減することができる。 Furthermore, the sum of the areas where the plurality of discharge channels 291 and the second diffusion portion 28 are connected is preferably smaller than the sum of the channel areas of the connecting holes 271 in the plurality of outflow channels 27 . As a result, the second diffusion portion 28 can be appropriately filled with the liquid, the pressure of the liquid can be stabilized, and variations in the amount of liquid ejected from the plurality of ejection ports 290 can be more reliably reduced. can be done.

なお、複数の流出流路27における連結孔部271の流路面積の和は、導入口24の開口面積よりも、大きくても、小さくてもよいが、第1拡散部26内に液体を適切に充填して、第1拡散部26から上流側における液体の圧力を安定させるには、連結孔部271の流路面積の和は、導入口24の開口面積よりも小さいことが好ましい。流路の面積に係る上記関係は、塗布ノズル1の好ましい形態において満たされるものであり、塗布ノズル1の用途や利用する液体の種類等によっては、上記関係が満たされなくてもよい。 Note that the sum of the channel areas of the connecting holes 271 in the plurality of outflow channels 27 may be larger or smaller than the opening area of the inlet 24 , but the liquid can be properly supplied to the first diffusion part 26 . In order to stabilize the pressure of the liquid on the upstream side from the first diffusing portion 26 , the sum of the channel areas of the connecting holes 271 is preferably smaller than the opening area of the inlet 24 . The above relationship regarding the area of the flow path is satisfied in a preferred form of the coating nozzle 1, and depending on the application of the coating nozzle 1, the type of liquid to be used, etc., the above relationship may not be satisfied.

図8は、塗布ノズル1の他の例における第1ノズルブロック21の側面211を示す図である。図8の第1ノズルブロック21では、X方向において複数の流入開口261(および複数の流入流路25)が一定の間隔で配置される。すなわち、複数の流入開口261において互いに隣接する2つの流入開口261を流入開口対として、当該2つの流入開口261間の距離が、複数の流入開口対において等しい。また、X方向に関して、当該2つの流入開口261の間に位置する連結孔部271の個数が、複数の流入開口対において等しい。このように、各流入開口対の間に位置する流出流路27の個数が一定であることにより、図8の第1ノズルブロック21を有する塗布ノズル1では、長手方向(X方向)における液体の吐出量のばらつきをさらに低減することができる。図8の例では、さらに、各連結孔部271と、当該連結孔部271に最も近接する流入開口261との間における長手方向の距離が、複数の連結孔部271において一定である。これにより、長手方向における液体の吐出量のばらつきをより一層低減することができる。 FIG. 8 is a diagram showing a side surface 211 of the first nozzle block 21 in another example of the coating nozzle 1. FIG. In the first nozzle block 21 of FIG. 8, a plurality of inflow openings 261 (and a plurality of inflow channels 25) are arranged at regular intervals in the X direction. That is, two inflow openings 261 adjacent to each other in the plurality of inflow openings 261 are defined as an inflow opening pair, and the distance between the two inflow openings 261 is equal in the plurality of inflow opening pairs. In addition, the number of connecting holes 271 positioned between the two inflow openings 261 in the X direction is the same for the plurality of inflow opening pairs. Since the number of outflow channels 27 positioned between each pair of inflow openings is constant in this manner, the coating nozzle 1 having the first nozzle block 21 in FIG. Variation in ejection amount can be further reduced. Further, in the example of FIG. 8 , the longitudinal distance between each connecting hole 271 and the inflow opening 261 closest to the connecting hole 271 is constant in the plurality of connecting holes 271 . As a result, variations in the amount of liquid ejected in the longitudinal direction can be further reduced.

上記塗布ノズル1では様々な変形が可能である。 Various modifications are possible for the coating nozzle 1 described above.

上記実施の形態では、第1ノズルブロック21に第1拡散部26が設けられ、第2ノズルブロック22に第2拡散部28が設けられるが、例えば、図9に示すように、第1ノズルブロック21に第1拡散部26および第2拡散部28が設けられてもよい。図9の例では、それぞれが厚さ方向(Z方向)に延びる複数の流出流路27が、第1拡散部26と第2拡散部28との間において長手方向(X方向)に配列される。図9では、シム板23に設けられる複数の吐出流路291を二点鎖線にて示している。図9の第1ノズルブロック21を有する塗布ノズル1においても、長手方向に関して、第1拡散部26に対する複数の流出流路27の接続位置が、複数の流入開口261の位置と相違することにより、長手方向における液体の吐出量のばらつきを低減することが可能となる。 In the above embodiment, the first nozzle block 21 is provided with the first diffusion portion 26, and the second nozzle block 22 is provided with the second diffusion portion 28. For example, as shown in FIG. 21 may be provided with a first diffusion portion 26 and a second diffusion portion 28 . In the example of FIG. 9, a plurality of outflow channels 27 each extending in the thickness direction (Z direction) are arranged in the longitudinal direction (X direction) between the first diffusion portion 26 and the second diffusion portion 28. . In FIG. 9, a plurality of discharge flow paths 291 provided in the shim plate 23 are indicated by two-dot chain lines. Also in the coating nozzle 1 having the first nozzle block 21 of FIG. It is possible to reduce variations in the amount of liquid ejected in the longitudinal direction.

ノズル本体2は、必ずしも、第1ノズルブロック21、第2ノズルブロック22およびシム板23により構成される必要はない。例えば、図9の第1ノズルブロック21を有する塗布ノズル1において、第1ノズルブロック21の側面211または第2ノズルブロック22の側面221に、吐出流路291となる溝が設けられ、シム板23が省略されてもよい。 The nozzle body 2 does not necessarily have to be composed of the first nozzle block 21 , the second nozzle block 22 and the shim plate 23 . For example, in the coating nozzle 1 having the first nozzle block 21 of FIG. may be omitted.

吐出部29は、長手方向に延びる1つの吐出口を有するものであってもよい。この場合でも、長手方向に関して、第1拡散部26に対する複数の流出流路27の接続位置が、複数の流入開口261の位置と相違する塗布ノズル1では、長手方向における液体の吐出量のばらつきを低減することができる。 The discharge part 29 may have one discharge port extending in the longitudinal direction. Even in this case, in the application nozzle 1 in which the connection positions of the plurality of outflow channels 27 to the first diffusion portion 26 are different from the positions of the plurality of inflow openings 261 in the longitudinal direction, variations in the discharge amount of the liquid in the longitudinal direction can be reduced. can be reduced.

塗布ノズル1から吐出される液体は、低粘度の液体には限定されず、比較的高い粘度の液体が吐出されてもよい。一方、塗布ノズル1において、仮に、長手方向に関して第1拡散部に対する流出流路の接続位置が流入開口の位置と同じである場合、粘度が1~200mPa・sである低粘度の液体は、第1拡散部に流入して直ぐに、当該流出流路から流出しやすくなる。すなわち、低粘度の液体は、第1拡散部において拡散しにくく、長手方向における液体の吐出量のばらつきが顕著に生じやすい。したがって、塗布ノズル1は、水を多く含む液体等、粘度が1~200mPa・sである液体の吐出に特に適しているといえる。 The liquid ejected from the coating nozzle 1 is not limited to low-viscosity liquid, and relatively high-viscosity liquid may be ejected. On the other hand, in the coating nozzle 1, if the connection position of the outflow channel with respect to the first diffusion part in the longitudinal direction is the same as the position of the inflow opening, a low-viscosity liquid with a viscosity of 1 to 200 mPa·s will Immediately after flowing into the 1 diffusion part, it becomes easy to flow out of the outflow channel. That is, the low-viscosity liquid is difficult to diffuse in the first diffusion portion, and the discharge amount of the liquid tends to vary significantly in the longitudinal direction. Therefore, it can be said that the coating nozzle 1 is particularly suitable for ejecting a liquid having a viscosity of 1 to 200 mPa·s, such as a liquid containing a large amount of water.

上記塗布ノズル1では、一対のガスノズル3を設けることにより、カーテンスプレー方式にて液体を吐出することが可能であるが、塗布ノズル1の設計によっては、1つのガスノズル3のみが設けられてもよい。また、ガスノズル3が省略され、コーター方式にて液体が吐出されてもよい。 By providing a pair of gas nozzles 3 in the coating nozzle 1, it is possible to eject the liquid by a curtain spray method, but depending on the design of the coating nozzle 1, only one gas nozzle 3 may be provided. . Moreover, the gas nozzle 3 may be omitted and the liquid may be discharged by a coater method.

吐出する液体の種類によっては、塗布ノズル1にヒータが設けられてもよい。更にガス供給ライン67にヒータが設けられてもよい。例えば、図1の第1ノズルブロック21において側面211と傾斜面213との間に長手方向(X方向)に延びる孔部が形成され、当該孔部内に棒状のヒータが設けられる。もちろん、第1ノズルブロック21のヒータに代えて、または、第1ノズルブロック21のヒータと共に、第2ノズルブロック22にヒータが設けられてもよい。 A heater may be provided in the coating nozzle 1 depending on the type of liquid to be discharged. Furthermore, a heater may be provided in the gas supply line 67 . For example, in the first nozzle block 21 of FIG. 1, a hole extending in the longitudinal direction (X direction) is formed between the side surface 211 and the inclined surface 213, and a rod-shaped heater is provided in the hole. Of course, a heater may be provided in the second nozzle block 22 instead of the heater in the first nozzle block 21 or together with the heater in the first nozzle block 21 .

塗布ノズル1により液体が塗布される対象物9は、シート部材以外の様々な部材であってもよい。 The object 9 onto which the liquid is applied by the application nozzle 1 may be various members other than the sheet member.

上記実施の形態および各変形例における構成は、相互に矛盾しない限り適宜組み合わされてよい。 The configurations in the above embodiment and each modified example may be combined as appropriate as long as they do not contradict each other.

1 塗布ノズル
2 ノズル本体
3 ガスノズル
21 第1ノズルブロック
22 第2ノズルブロック
23 シム板
24 導入口
25 流入流路
26 第1拡散部
27 流出流路
28 第2拡散部
29 吐出部
211,221 (ノズルブロックの)側面
213,223 (ノズルブロックの)傾斜面
261 流入開口
271 連結孔部
272 流出流路本体
290 吐出口
291 吐出流路
322 噴出口
1 coating nozzle 2 nozzle main body 3 gas nozzle 21 first nozzle block 22 second nozzle block 23 shim plate 24 inlet 25 inflow channel 26 first diffusion part 27 outflow channel 28 second diffusion part 29 discharge part 211, 221 (nozzle Sides 213, 223 of block 213, 223 Inclined surface (of nozzle block) 261 Inflow opening 271 Connection hole 272 Outflow channel body 290 Discharge port 291 Discharge channel 322 Jet port

Claims (9)

塗布ノズルであって、
長手方向に延びるブロック状のノズル本体と、
前記ノズル本体に設けられ、外部から供給される液体を前記ノズル本体の内部に導入する導入口と、
前記ノズル本体に設けられ、前記長手方向に配列される複数の吐出口を有する、または、前記長手方向に延びる吐出口を有する吐出部と、
を備え、
前記ノズル本体が、
前記導入口から連続するとともに、前記長手方向に配列される複数の流入流路と、
前記長手方向に延びる空間であり、前記複数の流入流路にそれぞれ接続する複数の流入開口が前記長手方向に配列して設けられ、前記液体が充填される第1拡散部と、
前記長手方向に配列されるとともに、前記第1拡散部に接続し、前記第1拡散部内の前記液体を流出させる複数の流出流路と、
前記長手方向に延びる空間であり、前記複数の流出流路が接続し、前記複数の流出流路から流入する前記液体が充填されるとともに前記吐出部に接続する第2拡散部と、
を備え、
前記長手方向に関して、前記第1拡散部に対する前記複数の流出流路の接続位置が、前記複数の流入開口の位置と相違することを特徴とする塗布ノズル。
A coating nozzle,
a longitudinally extending block-shaped nozzle body;
an introduction port provided in the nozzle body for introducing a liquid supplied from the outside into the nozzle body;
a discharge portion provided in the nozzle body and having a plurality of discharge ports arranged in the longitudinal direction or having discharge ports extending in the longitudinal direction;
with
The nozzle body is
a plurality of inflow channels continuous from the inlet and arranged in the longitudinal direction;
a first diffusing portion, which is a space extending in the longitudinal direction, is provided with a plurality of inflow openings arranged in the longitudinal direction and connected to the plurality of inflow channels, and is filled with the liquid;
a plurality of outflow channels arranged in the longitudinal direction and connected to the first diffusion section to allow the liquid in the first diffusion section to flow out;
a second diffusion portion, which is a space extending in the longitudinal direction, is connected to the plurality of outflow channels, is filled with the liquid flowing in from the plurality of outflow channels, and is connected to the discharge portion;
with
A coating nozzle, wherein a connection position of the plurality of outflow channels with respect to the first diffusion portion is different from a position of the plurality of inflow openings with respect to the longitudinal direction.
請求項1に記載の塗布ノズルであって、
各流出流路の前記第1拡散部に対する接続位置と、前記接続位置に最も近接する流入開口との間における前記長手方向の距離が、前記長手方向における前記流入開口の幅よりも大きいことを特徴とする塗布ノズル。
The coating nozzle according to claim 1,
The longitudinal distance between the connection position of each outflow channel with respect to the first diffusion part and the inflow opening closest to the connection position is greater than the width of the inflow opening in the longitudinal direction. and a coating nozzle.
請求項1または2に記載の塗布ノズルであって、
前記長手方向に垂直な厚さ方向において前記第1拡散部と前記第2拡散部とが離れており、
前記複数の流出流路のそれぞれが、
前記厚さ方向に延びるとともに、一端部が前記第2拡散部に接続する流出流路本体と、
前記流出流路本体の他端部と前記第1拡散部とを接続する連結孔部と、
を備え、
前記ノズル本体が、
前記長手方向に延びるとともに、前記複数の流入流路および前記第1拡散部を形成する溝が側面に設けられた第1ノズルブロックと、
前記長手方向に延びるとともに、前記複数の流出流路の流出流路本体、および、前記第2拡散部を形成する溝が側面に設けられた第2ノズルブロックと、
前記第1ノズルブロックの前記側面と前記第2ノズルブロックの前記側面との間に配置され、前記複数の流出流路の連結孔部が設けられたシム板と、
をさらに備えることを特徴とする塗布ノズル。
The coating nozzle according to claim 1 or 2,
the first diffusion portion and the second diffusion portion are separated in a thickness direction perpendicular to the longitudinal direction;
each of the plurality of outflow channels,
an outflow channel body extending in the thickness direction and having one end connected to the second diffusion portion;
a connecting hole portion connecting the other end portion of the outflow channel body and the first diffusion portion;
with
The nozzle body is
a first nozzle block extending in the longitudinal direction and having a side surface provided with grooves forming the plurality of inflow channels and the first diffusion section;
a second nozzle block extending in the longitudinal direction and having a side surface provided with an outflow channel main body of the plurality of outflow channels and a groove forming the second diffusion portion;
a shim plate disposed between the side surface of the first nozzle block and the side surface of the second nozzle block and provided with connecting holes for the plurality of outflow flow paths;
A coating nozzle, further comprising:
請求項3に記載の塗布ノズルであって、
前記吐出部が、前記長手方向に配列される前記複数の吐出口から前記厚さ方向に延びる複数の吐出流路を有し、
前記複数の吐出流路が前記第2拡散部と接続し、
前記複数の吐出流路と前記第2拡散部とが接続する領域の面積の和が、前記複数の流出流路における連結孔部の流路面積の和よりも小さいことを特徴とする塗布ノズル。
The coating nozzle according to claim 3,
the ejection portion has a plurality of ejection passages extending in the thickness direction from the plurality of ejection ports arranged in the longitudinal direction;
the plurality of discharge channels are connected to the second diffusion section;
A coating nozzle according to claim 1, wherein the sum of areas where said plurality of discharge flow paths and said second diffusion section are connected is smaller than the sum of flow path areas of connecting holes in said plurality of outflow flow paths.
請求項4に記載の塗布ノズルであって、
各吐出流路と前記第2拡散部とが接続する領域の面積が、前記各吐出流路と前記第2拡散部とが接続する位置における前記長手方向に垂直な前記第2拡散部の断面積よりも小さいことを特徴とする塗布ノズル。
The coating nozzle according to claim 4,
The area of the region where each discharge flow path and the second diffusion section are connected is the cross-sectional area of the second diffusion section perpendicular to the longitudinal direction at the position where each discharge flow path and the second diffusion section are connected. A coating nozzle characterized by being smaller than.
請求項1ないし5のいずれか1つに記載の塗布ノズルであって、
前記吐出部が、前記複数の吐出口を有し、
前記複数の吐出口における開口面積の和が、前記導入口の開口面積よりも小さいことを特徴とする塗布ノズル。
The coating nozzle according to any one of claims 1 to 5,
the ejection section has the plurality of ejection ports,
A coating nozzle, wherein the sum of the opening areas of the plurality of ejection ports is smaller than the opening area of the introduction port.
請求項1ないし6のいずれか1つに記載の塗布ノズルであって、
前記長手方向に垂直な厚さ方向において前記ノズル本体の先端に前記吐出部の吐出口が設けられており、
前記塗布ノズルが、
前記厚さ方向および前記長手方向に垂直な幅方向において、前記ノズル本体の両側に配置されるとともに、噴出口から所定のガスを噴出する一対のガスノズルをさらに備え、
前記一対のガスノズルから噴出される前記ガスが、前記吐出口の縁を形成する部位の外面に沿って流れ、前記吐出口から吐出される前記液体に衝突することを特徴とする塗布ノズル。
The coating nozzle according to any one of claims 1 to 6,
A discharge port of the discharge unit is provided at a tip of the nozzle body in a thickness direction perpendicular to the longitudinal direction,
The coating nozzle is
further comprising a pair of gas nozzles arranged on both sides of the nozzle body in the width direction perpendicular to the thickness direction and the longitudinal direction and ejecting a predetermined gas from ejection ports;
A coating nozzle, wherein the gas ejected from the pair of gas nozzles flows along the outer surface of a portion forming the edge of the ejection port and collides with the liquid ejected from the ejection port.
請求項1ないし7のいずれか1つに記載の塗布ノズルであって、
前記液体の粘度が、1~200mPa・sであることを特徴とする塗布ノズル。
The coating nozzle according to any one of claims 1 to 7,
The coating nozzle, wherein the liquid has a viscosity of 1 to 200 mPa·s.
請求項1ないし8のいずれか1つに記載の塗布ノズルであって、
前記複数の流入開口において互いに隣接する2つの流入開口を流入開口対として、各流入開口対の間に位置する流出流路の個数が一定であることを特徴とする塗布ノズル。
The coating nozzle according to any one of claims 1 to 8,
A coating nozzle, wherein two adjacent inflow openings among the plurality of inflow openings are defined as inflow opening pairs, and the number of outflow flow paths positioned between each inflow opening pair is constant.
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