JP7158004B2 - ガス濃度測定装置およびガス濃度連続測定方法 - Google Patents
ガス濃度測定装置およびガス濃度連続測定方法 Download PDFInfo
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上述したガス濃度測定装置において、前記支持具が、前記レーザー装置から出射される前記パルスレーザー光の光軸と、前記検出装置の受光光学系の光軸とがなす角度が80~100°となる位置で、前記レーザー装置と前記検出装置とを保持して固定するように構成することができる。
上述したガス濃度測定装置において、前記検出装置の受光光学系は、前記被照射空間と前記光センサとを結ぶ直線上、かつ、前記被照射空間で焦点が合焦する位置に配置され、前記被照射空間で発生したラマン散乱光を集光する集光光学系を有するように構成することができる。
上述したガス濃度測定装置において、前記検出装置は、前記被照射空間と前記光センサとを結ぶ直線上にピンホールを有するように構成することができる。
上述したガス濃度測定装置において、前記検出装置は、前記ピンホールよりも前記被照射空間側に集光光学系を有し、前記集光光学系の焦点位置に前記ピンホールが配置されるように構成することができる。
上述したガス濃度測定装置において、前記ピンホールの開口径または設置位置を変えることで、測定対象ガスの濃度を測定する空間分解能を調整可能なように構成することができる。
上述したガス濃度測定装置において、測定対象ガスの濃度を500Hz超の周波数で連続測定可能なように構成することができる。
上述したガス濃度測定装置において、測定対象ガスを数ミリメートル単位で測定可能なように構成することができる。
10…レーザー装置
11…レーザー光源
12…ビームエキスパンダー
20…光検出装置
21…集光光学系
22…ピンホール
23…凸レンズ
24…ラマン分光用エッジフィルタ
25…バンドパスフィルタ
26…光センサ
27…フィルタホイール
30…測定装置
Claims (10)
- パルスレーザー光を出射する発振器を備えたレーザー装置と、
被照射空間の測定対象ガスからのラマン散乱光を検出する光センサを備えた検出装置と、を備え、
前記レーザー装置から出射される前記パルスレーザー光の光軸と、前記検出装置の受光光学系の光軸とが交差するように、前記レーザー装置と前記検出装置とを離して配置したバイスタティックライダータイプの構成を有し、
前記レーザー装置から出射される前記パルスレーザー光の光軸と、前記検出装置の受光光学系の光軸とがなす角度が70~110°となる位置で、前記レーザー装置と前記検出装置とを保持して固定する支持具を有するガス濃度測定装置。 - 前記支持具が、前記レーザー装置から出射される前記パルスレーザー光の光軸と、前記検出装置の受光光学系の光軸とがなす角度が80~100°となる位置で、前記レーザー装置と前記検出装置とを保持して固定する、請求項1に記載のガス濃度測定装置。
- 前記検出装置の受光光学系は、前記被照射空間と前記光センサとを結ぶ直線上、かつ、前記被照射空間で焦点が合焦する位置に配置され、前記被照射空間で発生したラマン散乱光を集光する集光光学系を有する、請求項1または2に記載のガス濃度測定装置。
- 前記検出装置は、前記被照射空間と前記光センサとを結ぶ直線上にピンホールを有する、請求項1ないし3のいずれかに記載のガス濃度測定装置。
- 前記検出装置は、前記ピンホールよりも前記被照射空間側に集光光学系を有し、
前記集光光学系の焦点位置に前記ピンホールが配置される、請求項4に記載のガス濃度測定装置。 - 前記ピンホールの開口径または設置位置を変えることで、測定対象ガスの濃度を測定する空間分解能を調整可能な、請求項4に記載のガス濃度測定装置。
- 測定対象ガスの濃度を500Hz超の周波数で連続測定可能な、請求項1ないし6のいずれかに記載のガス濃度測定装置。
- 測定対象ガスを数センチメートル以下の空間分解能で測定可能な、請求項1ないし7のいずれかに記載のガス濃度測定装置。
- 測定対象ガスを数ミリメートル単位で測定可能な、請求項8に記載のガス濃度測定装置。
- レーザー装置からパルスレーザー光を被照射空間に出射し、
前記レーザー光の光軸と交差する光軸を有する光センサを備えた検出装置により被照射空間の測定対象ガスからのラマン散乱光を検出する、ガス濃度連続測定方法であって、
前記レーザー装置から出射される前記パルスレーザー光の光軸と、前記検出装置の受光光学系の光軸とがなす角度が70~110°となる位置で、前記レーザー装置と前記検出装置とを保持して固定する支持具を提供し、
前記パルスレーザー光の光軸と前記検出装置の受光光学系の光軸とがなす角度が70~110°となる位置で、前記レーザー装置から前記パルスレーザー光を被照射空間に出射して前記被照射空間の測定対象ガスからのラマン散乱光に基づいてガス濃度を連続測定する、ガス濃度連続測定方法。
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