JP7157768B2 - 鎖状粒子分散液の製造方法および鎖状粒子の分散液 - Google Patents
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Description
例えば、半導体集積回路は、シリコンウエハー等の基材上に配線層間膜(絶縁膜)を成膜し、その配線層間膜上に金属配線用の溝をパターニングしている。これに、スパッタリング法などによって窒化タンタル(TaN)等のバリアメタル層を必要に応じて形成し、次いで金属配線用の銅を化学蒸着(CVD)法等により成膜する。バリアメタル層を設ける場合には、層間絶縁膜への銅や不純物などの拡散や侵食に伴う絶縁性の低下などを防止することができ、また層間絶縁膜と銅の接着性を高めることができる。
次いで、溝以外に成膜された不要な銅及びバリアメタル(犠牲層ということがある)を化学機械研磨(CMP)法により研磨して除去するとともに上部表面を可能な限り平坦化して、溝内にのみ金属膜を残して銅の配線・回路パターンを形成する。
(1)分散液調製工程:アンモニアの存在下、アルコキシシランを加水分解して、高純度なシリカ粒子を含む分散液を調製する。
(2)アンモニア除去工程:この分散液からアンモニアを除去し、分散液に含まれるシリカに対するアンモニアの量を0.3質量%以下とする。
(3)水熱処理工程:アンモニア除去工程後に分散液を150℃以上250℃未満の温度で水熱処理して、シリカ粒子を鎖状に連結させる。なお、この工程で用いられる分散液のシリカ濃度は、12質量%以上である。
このような鎖状粒子を用いて研磨材を作製すると、平均連結数が多いほど、研磨速度が速くなる傾向がある。このため、平均連結数は7以上が好ましく、10以上が更に好ましい。平均連結数の上限は、鎖状粒子が液中で分散している状態が維持できれば特に制限されない。その上限値は、一次粒子の粒子径にもよるが、例えば、30程度である。
また、分散液には、(平均連結数±1)個の一次粒子が連結した鎖状粒子が50%以上存在することが好ましい。この割合は、連結個数の分布を反映している。この割合が高いほど、より均一な連結個数を有するため、より均質な研磨が可能となる。この割合は、70%以上、80%以上、90%以上、100%と、高いほど好ましい。
[分散液調製工程]
ここでは、原料であるアルコキシシランを、アンモニアの存在下で加水分解してシリカ粒子を形成させ、シリカ粒子を含んだ分散液を調製する。アルコキシシランは、1種類でも2種類以上でもよい。また、テトラメトキシシラン(TMOS)やテトラエトキシシラン(TEOS)等のアルキル鎖が短いものが好ましい。これは、加水分解速度が速く、緻密化が進みやすく、炭素含有量の少ないシリカ粒子が得られる傾向にあるからである。
(方法I)水、有機溶媒及び触媒(アンモニア)を含む敷液に対して、アルコキシシラン及び有機溶媒の混合溶液を添加する方法。
(方法II)実質的に有機溶媒からなる液に対して、アルコキシシランを含有する液Aと、触媒及び水を含有する液Bとを同時に添加する方法。ここで、液Aは有機溶媒を含んでいても良い。「実質的に有機溶媒からなる」とは、有機溶媒の製造過程から不可避的に含まれる不純物等は含まれ得るが、それ以外は含まないことを意味し、例えば、有機溶媒が99質量%以上であり、好ましくは99.5質量%以上である。
アルコキシシランの加水分解は、通常、常圧下で、使用する溶媒の沸点以下の温度で行われる。
本工程では、分散液からアンモニアを除去し、分散液に含まれるシリカに対するアンモニアの量(以下、本発明に関しては、単にアンモニア量と称す)を0.3質量%以下とする。水熱処理工程前にアンモニアを所定量以下に低減させる重要な工程である。
例えば、加熱処理や減圧処理等は、分散液の液相中にアンモニアを排出でき、これと同時に、限外膜処理等で除去しにくい粒子表面に吸着しているアンモニアも、分散液の液相中に拡散できる。具体的には、限外濾過膜やイオン交換樹脂等を用いて、液相中からアンモニアを除去した後、加熱処理と減圧処理の少なくとも一方の処理により、粒子内部に残存するアンモニアを分散液の液相中に排出し、この液相中に排出されたアンモニアを限外濾過膜やイオン交換樹脂等を用いて除去する。
本工程では、アンモニアが除去されたシリカ粒子の分散液を150℃以上250℃未満で水熱処理する。この水熱処理によって、シリカ粒子(一次粒子)を連結させる。水熱温度が150℃未満では、一次粒子の連結が十分に進まず鎖状粒子とならない。逆に、250℃以上では、一次粒子の連結は進むものの、制御できない程に連結が進んでしまい、所望の均一な鎖状粒子が得られにくい。また、場合によっては、分散液がゲル化してしまう。水熱処理温度は、170~230℃が好ましく、180~220℃がより好ましい。鎖状粒子を構成する一次粒子の平均粒子径は、分散液調製工程で得られた分散液中のシリカ粒子の平均粒子径とほぼ同一となる。
水熱処理はシリカ濃度12質量%以上の分散液に対して行う必要がある。そのため、アンモニア除去工程の後で、分散液のシリカ濃度が12質量%未満の場合には、水熱処理時にシリカ濃度が12質量%以上になるように調整する(シリカ濃度調整工程)。例えば、水熱処理工程前に、シリカ濃度を12質量%以上に調整する。12質量%未満であると、アンモニア量及び水熱処理条件を最適にしても、所望の鎖状粒子が得られない。なお、水熱処理を施す分散液のシリカ濃度は、15質量%以上が好ましく、20質量%以上がより好ましい。また、その上限は特に制限されず、例えば40質量%でも問題はない。
また、水熱処理の時間は、粒子の連結が制御できれば特に制限されない。ただし、処理時間が短すぎると、粒子の連結が十分に進まず、鎖状粒子とならないおそれがある。鎖状粒子になったとしても、粒子の連結の制御は困難である。処理時間が長すぎると、粒子の連結は進むものの制御できない程に連結が進んでしまい、所望の均一な鎖状粒子が得られにくい。また、分散液がゲル化するおそれがある。そのため、処理時間は、水熱処理を行う際の温度や圧力にもよるが、例えば、1~24時間が好ましく、3~15時間がより好ましい。
ところで、水熱処理後であれば、アンモニアが添加されても本発明による鎖状粒子分散液は、安定性が損なわれない。例えば、研磨材への加工等、必要に応じて、アンモニアを添加できる。すなわち、アンモニア量が、分散液中のシリカに対して0.3質量%を超えても構わない。
ところで、水熱処理後であれば、必要に応じて、鎖状粒子分散液に水やアンモニア等を添加してもよい。すなわち、シリカ濃度が12質量%未満となっても構わない。逆に、安定性を損なわない範囲で、更に濃縮してもよい。
[実施例1]
〈鎖状シリカ粒子分散液の製造〉
はじめに、水とメタノールの混合溶媒(水/メタノールの質量比2/8)2450gにテトラエトキシシラン(多摩化学工業(株)製 エチルシリケート28、SiO2として28質量%)を532.5g溶解した混合溶液を用意する。純水139.1gとメタノール169.9gの混合溶媒を60℃に保持し、これに前述の混合溶液2982.5gと濃度0.25質量%のアンモニア水596.4gを同時に20時間かけて添加した。添加終了後、さらにこの温度で3時間熟成した。その後、限外濾過膜で未反応のテトラエトキシシラン、メタノール、アンモニアを除去した。
その後、200℃のオートクレーブ中で10時間、水熱処理を行い、鎖状シリカ粒子を含む、固形分濃度20質量%の分散液を得た。なお、図1に示した電子顕微鏡写真は本実施例で得られた鎖状粒子を撮影したものである。各工程の処理条件、及びシリカ粒子又は分散液の性状、並びに製造された鎖状シリカ粒子の性状を表1に示す。各性状は以下の方法で測定した。
シリカ粒子の電子顕微鏡写真を撮影し、任意の100個の粒子について、各粒子の面積を求め、その面積から円相当径を求めた。その円相当径の平均値をシリカ粒子の平均粒子径とした。
(2)シリカ粒子(一次粒子)のアスペクト比
走査型電子顕微鏡で粒子を観察する。ここで、1個の粒子について、粒子に接するように長方形で囲んだ時、長辺をb、短辺をaとする。この短辺aと長辺bとの比(b/a;ただしb≧a)を100個の粒子について測定し、その平均値をアスペクト比とした。
(3)シリカ粒子(一次粒子)の変動係数(CV値)
変動係数は、「(標準偏差/平均粒子径)×100」で表される。これは、シリカ粒子の平均粒子径の測定方法に基づき算出される。
(4)シリカ粒子の平均連結数
走査型電子顕微鏡で粒子を観察し、100個の粒子について連結数(連結した一次粒子の個数)を確認し、その平均値をシリカ粒子の平均連結数とした。このとき、連結していない一次粒子が確認された場合には、その連結数を1とした。
(5)シリカ粒子の連結粒子割合
走査型電子顕微鏡で粒子を観察し、100個の粒子について連結数を確認し、2個以上連結している粒子(鎖状粒子)の割合を求めた。
(6)シリカ濃度
分散液のサンプル5gを150℃で1時間乾燥させ、乾燥前後の質量からシリカ濃度を算出した。
分散液に20質量%NaOH水溶液を加えて、シリカ粒子を溶かしながら蒸留した。出てきたアンモニアを0.05モル/Lの硫酸で捕集し、0.1NのNaOHで滴定して、消費された硫酸量を求め、液中に含まれる全アンモニア量を求めた。
日立工機株式会社製の小型超遠心機CS150GXLを用いて、分散液を設定温度10℃、1,370,000rpm(1,000,000G)で30分遠心処理した。この処理液の上澄み中に存在するシリカ粒子以外の「珪素を含む化合物」(未反応物)を、株式会社島津製作所製のICP発光分析装置ICPS-8100でSiとして測定した。この測定値から、分散液中のSiO2濃度に換算した。
鎖状シリカ粒子分散液500gに、濃度30質量%の過酸化水素水333g、蓚酸アンモニウム5gおよび水162gを混合し、シリカ濃度10質量%、過酸化水素10質量%、蓚酸アンモニウム0.5質量%の研磨材を調製した。この研磨材を用いて研磨試験を行った。
研磨用基板を研磨装置(ナノファクター(株)製 NF300)にセットし、基板加重5psi、テーブル回転速度50rpm、スピンドル速度60rpmで、研磨材を60ml/分の速度で絶縁膜上の犠牲層(厚さ0.2μm)が無くなるまで研磨を行った。このときの研磨時間は92秒であった。研磨速度を表1に示す。
[実施例2]
水熱処理前のシリカに対するアンモニア量を0.08質量%に変更した以外は実施例1と同様にして、鎖状粒子分散液を製造した。
水熱処理前のシリカに対するアンモニア量を0.1質量%に変更した以外は実施例1と同様にして、鎖状粒子分散液を製造した。
水熱処理前のシリカに対するアンモニア量を0.3質量%に変更した以外は実施例1と同様にして、鎖状粒子分散液を製造した。
水熱処理温度を150℃に変更した以外は実施例1と同様にして、鎖状粒子分散液を製造した。
水熱処理時の分散液のシリカ濃度を12質量%に変更した以外は実施例1と同様にして水熱処理まで行い、その後20質量%に濃縮して、鎖状粒子分散液を製造した。
水熱処理前のシリカに対するアンモニア量を0.03質量%に変更した以外は実施例1と同様にして、鎖状粒子分散液を製造した。
水熱処理時の分散液のシリカ濃度を15質量%に変更した以外は実施例1と同様にして水熱処理まで行った。その後濃縮して、20質量%の鎖状粒子分散液を製造した。
水熱処理時の分散液のシリカ濃度を40質量%に変更した以外は実施例1と同様にして、シリカ濃度40質量%の鎖状粒子分散液を製造した。また、この鎖状粒子分散液を250g用いた以外は実施例1と同様にして研磨材を調製した。
水熱処理温度を170℃に変更した以外は実施例1と同様にして、鎖状粒子分散液を製造した。
水熱処理温度を180℃に変更した以外は実施例1と同様にして、鎖状粒子分散液を製造した。
水熱処理温度を220℃に変更した以外は実施例1と同様にして、鎖状粒子分散液を製造した。
水熱処理温度を230℃に変更した以外は実施例1と同様にして、鎖状粒子分散液を製造した。
水熱処理温度を245℃に変更した以外は実施例1と同様にして、鎖状粒子分散液を製造した。
水熱処理時間を1時間に変更した以外は実施例1と同様にして、鎖状粒子分散液を製造した。
水熱処理時間を3時間に変更した以外は実施例1と同様にして、鎖状粒子分散液を製造した。
水熱処理時間を15時間に変更した以外は実施例1と同様にして、鎖状粒子分散液を製造した。
水熱処理時間を24時間に変更した以外は実施例1と同様にして、鎖状粒子分散液を製造した。
水熱処理前に減圧濃縮を行わずにシリカに対するアンモニア量を0.90質量%とし、分散液のシリカ濃度を1質量%とし、水熱処理温度を300℃にした以外は実施例1と同様にして、鎖状粒子分散液を製造した。
比較例1において、シリカに対するアンモニア量を1.5質量%とし、水熱処理温度を200℃とした以外は同様にして分散液を製造した。得られた分散液中のシリカ粒子は球状であった。
水熱処理前に減圧濃縮を行わずにシリカに対するアンモニア量を0.90質量%とした以外は実施例1と同様にして、分散液を製造した。この分散液はゲル化したため、研磨材の評価は行わなかった。
水熱処理温度を250℃とした以外は実施例1と同様にして、分散液を製造した。この分散液はゲル化したため、研磨材の評価は行わなかった。
水熱処理時の分散液のシリカ濃度を10質量%に変更した以外は実施例1と同様にして水熱処理まで行い、その後20質量%に濃縮して、分散液を製造した。得られた分散液中のシリカ粒子は球状であった。
Claims (6)
- アンモニアの存在下、アルコキシシランを加水分解して、シリカ粒子を含む分散液を調製する分散液調製工程と、
前記分散液のアンモニアを除去して、アンモニア量を前記分散液に含まれるシリカに対して0.3質量%以下にするアンモニア除去工程と、
前記アンモニア除去工程の後、前記分散液を、シリカ濃度が12質量%以上の状態で、150℃以上250℃未満で水熱処理する水熱処理工程と、を有することを特徴とする鎖状粒子分散液の製造方法。 - 前記アンモニア除去工程において、加熱処理と減圧処理の少なくとも一方により前記分散液からアンモニアを除去することを特徴とする請求項1に記載の鎖状粒子分散液の製造方法。
- 前記水熱処理工程により作製される鎖状粒子は、平均連結数が7以上であることを特徴とする請求項1又は2に記載の鎖状粒子分散液の製造方法。
- 前記シリカ粒子の平均粒子径が5~300nmであることを特徴とする請求項1に記載の鎖状粒子分散液の製造方法。
- 連結数が「平均連結数±1」である鎖状粒子が50%以上存在することを特徴とする請求項1に記載の鎖状粒子分散液の製造方法。
- シリカ粒子以外の珪素を含む化合物の含有量が200ppm以下であることを特徴とする請求項1に記載の鎖状粒子分散液の製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017251910 | 2017-12-27 | ||
JP2017251910 | 2017-12-27 | ||
PCT/JP2018/048128 WO2019131874A1 (ja) | 2017-12-27 | 2018-12-27 | 鎖状粒子分散液の製造方法および鎖状粒子の分散液 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2019131874A1 JPWO2019131874A1 (ja) | 2020-12-24 |
JP7157768B2 true JP7157768B2 (ja) | 2022-10-20 |
Family
ID=67063744
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019562162A Active JP7157768B2 (ja) | 2017-12-27 | 2018-12-27 | 鎖状粒子分散液の製造方法および鎖状粒子の分散液 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11613683B2 (ja) |
JP (1) | JP7157768B2 (ja) |
KR (1) | KR102651365B1 (ja) |
TW (1) | TWI777011B (ja) |
WO (1) | WO2019131874A1 (ja) |
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---|---|---|---|---|
JP7351697B2 (ja) * | 2019-09-30 | 2023-09-27 | 日揮触媒化成株式会社 | シリカ粒子分散液及びその製造方法 |
TW202122517A (zh) * | 2019-12-03 | 2021-06-16 | 日商Jsr股份有限公司 | 化學機械研磨用組成物及化學機械研磨方法 |
JP2021147267A (ja) * | 2020-03-18 | 2021-09-27 | 三菱ケミカル株式会社 | シリカ粒子の製造方法、シリカゾルの製造方法、研磨方法、半導体ウェハの製造方法及び半導体デバイスの製造方法 |
JP2022091234A (ja) * | 2020-12-09 | 2022-06-21 | 日揮触媒化成株式会社 | 異形シリカ系微粒子分散液およびその製造方法 |
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JPWO2023068152A1 (ja) * | 2021-10-18 | 2023-04-27 | ||
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CN115893427B (zh) * | 2022-12-07 | 2023-12-29 | 北京航天赛德科技发展有限公司 | 一种具有棒状结构的氧化硅材料及其合成方法与应用 |
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JP4278020B2 (ja) | 2001-10-30 | 2009-06-10 | 日揮触媒化成株式会社 | 研磨用粒子および研磨材の製造方法 |
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-
2018
- 2018-12-26 TW TW107147236A patent/TWI777011B/zh active
- 2018-12-27 US US16/955,290 patent/US11613683B2/en active Active
- 2018-12-27 JP JP2019562162A patent/JP7157768B2/ja active Active
- 2018-12-27 WO PCT/JP2018/048128 patent/WO2019131874A1/ja active Application Filing
- 2018-12-27 KR KR1020207017983A patent/KR102651365B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005186435A (ja) | 2003-12-25 | 2005-07-14 | Catalysts & Chem Ind Co Ltd | ハードコート膜付基材および該ハードコート膜形成用塗布液 |
JP2015029965A (ja) | 2013-08-05 | 2015-02-16 | 日揮触媒化成株式会社 | 水処理用撥水性透明被膜付基材およびその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20200392385A1 (en) | 2020-12-17 |
TW201934485A (zh) | 2019-09-01 |
US11613683B2 (en) | 2023-03-28 |
KR102651365B1 (ko) | 2024-03-26 |
JPWO2019131874A1 (ja) | 2020-12-24 |
KR20200101925A (ko) | 2020-08-28 |
WO2019131874A1 (ja) | 2019-07-04 |
TWI777011B (zh) | 2022-09-11 |
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