JP7126419B2 - 動力伝達装置 - Google Patents

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Description

本発明は動力伝達装置に関する。
駆動源としてのエンジンやモータからトランスミッション側に動力を伝達する装置として、特許文献1に示された動力伝達装置が提供されている。この特許文献1の装置は、第1フライホイールと、中間部材と、第2フライホイールと、を有している。中間部材は第1フライホイールに対して相対回転可能に配置され、第2フライホイールは中間部材に対して相対回転可能に配置されている。また、第1フライホイールと中間部材とは第1ダンパによって回転方向に弾性的に連結され、中間部材と第2フライホイールとは第2ダンパによって回転方向に弾性的に連結されている。
そして、第1フライホイールに入力された動力は、第1ダンパ、中間部材、第2ダンパ、第2フライホイールの経路で伝達され、第2フライホイールに装着されたクラッチ装置に入力される。また、動力が伝達される際に、第1ダンパ及び第2ダンパによって、回転変動による振動が減衰される。
特開2007-247723号公報
特許文献1の動力伝達装置では、中間部材は、外周側に形成された2つの支持部と、複数の保持部と、を有している。支持部は外周側スプリングを支持し、保持部は内周側スプリングを保持している。また、内周側スプリングは、出力回転体の収容部(窓部)に収容され、出力回転体は第2フライホイールに固定されている。
以上のように、中間部材は、出力回転体に収容された内周側スプリングを介して、出力回転体及び第2フライホイールに支持されている。
しかし、以上のような中間部材の支持構造では、中間部材を安定した姿勢で支持することは困難である。中間部材の姿勢が不安定であると、安定した振動減衰性能が得られず、また中間部材が他の部材と干渉するおそれがある。
本発明の課題は、2つのダンパ部の間に設けられた中間部材を確実に支持し、装置の作動中における中間部材の姿勢を常に安定させることにある。
(1)本発明に係る動力伝達装置は、第1回転部材と、第2回転部材と、第1ダンパ部と、第2ダンパ部と、中間部材と、軸受と、を備えている。第2回転部材は、第1回転部材と相対回転可能に配置されている。第1ダンパ部は第1回転部材との間で動力を伝達する。第2ダンパ部は第2回転部材との間で動力を伝達する。中間部材は第1ダンパ部と第2ダンパ部とを連結する。軸受は第1回転部材に対して中間部材を回転自在に支持する。
この装置では、例えば、第1回転部材に入力された動力は、第1ダンパ部→中間部材→第2ダンパ部→第2回転部材の経路で伝達される。そして、各ダンパ部の作動によって振動が減衰される。
ここでは、中間部材が第1回転部材に対して軸受によって支持されている。このため、中間部材が径方向において確実に支持され、中間部材の作動中の姿勢が安定する。したがって、振動減衰性能の低下や、中間部材が他の部材に衝突する等の不具合を避けることができる。
また、中間部材は第1回転部材に回転自在に支持されているので、第1回転部材を入力側(すなわちエンジン側)に連結した場合、エンジン側の軸方向の振れに対して中間部材は第1回転部材とともに軸方向に振れることになる。このため、振れによる第1回転部材と中間部材との干渉を考慮する必要がなく、装置の軸方向距離をより短くすることができる。
(2)好ましくは、第1回転部材は内周端部に支持部を有し、中間部材は、第1回転部材と軸方向に対向して配置され、内周端部が軸受を介して支持部に支持されている。
ここでは、中間部材は第1回転部材と軸方向に対向して配置され、その内周端部が第1回転部材に支持されている。このため、中間部材の外周部にイナーシャ部を設けて、中間部材の慣性量を大きくでき、振動減衰性能をより向上することができる。
(3)好ましくは、支持部は中間部材側に延びる筒状部を有し、軸受は筒状部の外周面に設けられている。この場合は、第1回転部材に対して軸受を容易に装着することができる。
(4)好ましくは、支持部は、第1回転部材の内周端部に固定された、第1回転部材とは別部材である。この場合は、第1回転部材及び支持部を歩留まりよく製造することができる。
(5)好ましくは、第1回転部材は内部にチャンバを有し、第1ダンパ部はチャンバの内部に配置され、第2ダンパ部及び中間部材はチャンバの外部に配置されている。また、好ましくは、中間部材は、第1伝達部材と、第2伝達部材と、連結部材と、を有している。第1伝達部材は第1ダンパ部との間で動力を伝達する。第2伝達部材は第2ダンパ部との間で動力を伝達する。連結部材は第1伝達部材と第2伝達部材とを連結する。そして、軸受は第1回転部材に対して第2伝達部材を回転自在に支持する。
ここでは、例えばチャンバの内部に粘性流体を封入することにより、第1ダンパ部を構成する部材を十分に潤滑することができ、部材の摩耗を抑えることができる。また、中間部材はチャンバの外部に配置されているので、中間部材の慣性量を大きく確保することができ、振動減衰性能をより向上することができる。
(6)好ましくは、第2ダンパ部は複数の第2弾性部材を有している。また、好ましくは、第2伝達部材は、第1保持部材と、第2保持部材と、を有している。第1保持部材は、第2回転部材の軸方向の第1側に配置され、第2弾性部材を保持する第1保持部を有する。第2保持部材は、第2回転部材の軸方向の第2側に第1保持部材と対向して配置され、第1保持部材に固定され、第1保持部ととともに第2弾性部材を保持する第2保持部を有する。そして、軸受は第1回転部材に対して第2保持部材を回転自在に支持する。
ここでは、第2伝達部材は第1保持部材及び第2保持部材を有している。第1保持部材及び第2保持部材は、第2回転部材を挟んで軸方向に対向して配置されている。このため、装置全体の軸方向寸法を抑えることができる。
また、軸受は、第1保持部材が固定された第2保持部材を支持しているので、支持構造が簡単になる。
(7)好ましくは、第1ダンパ部は複数の第1弾性部材を有している。また、好ましくは、第1伝達部材は、円板状の本体部と、複数の係合部と、を有している。複数の係合部は、本体部から径方向外方に突出してチャンバ内に進入し、複数の第1弾性部材との間で動力を伝達する。そして、連結部材は、第1回転部材の軸方向の第1側の側面に沿って径方向外方に延び、内周端部が第1伝達部材の本体部に連結された円板状のプレートであり、外周部にイナーシャ部を有する。
ここでは、連結部材は第1回転部材の側面に沿って延び、イナーシャ部を有しているので、軸方向の寸法を抑えながら、慣性量を大きくすることができる。
(8)好ましくは、チャンバ内部の空間をシールするシール部をさらに備えている。
この場合は、チャンバ内にグリス等の粘性流体を封入することができ、粘性流体による潤滑によって部材の摩耗を抑えることができる。
以上のような本発明では、2つのダンパ部の間に設けられた中間部材を確実に支持することができる。したがって、中間部材の姿勢は常に安定する。
本発明の一実施形態による動力伝達装置の断面構成図。 図1の装置の正面図。 図1の装置の分解斜視図。 図1の拡大部分図。 本発明の他の実施形態を示す断面部分図。
[全体構成]
図1に、本発明の一実施形態による動力伝達装置10の断面を示している。また、図2は、図1の一部の部材を取り外して示す正面図である。また、図3は、動力伝達装置10の分解図である。この図3においては、一部の構成を省略している。
図1において、動力伝達装置10の右側には駆動源(例えばエンジン)が配置され、左側にはトランスミッション等の機構が配置される。以下、図1の右側を「エンジン側」(軸方向第2側)、左側を「トランスミッション側」(軸方向第1側)と記載する。また、本装置をハイブリッド車両に搭載した場合は、モータが左側(すなわち、出力側)に配置される。なお、図1のO-O線が回転中心線である。
動力伝達装置10は、入力側の第1回転部材1と、出力側の第2回転部材2と、動力伝達経路において第1回転部材1と第2回転部材2との間に配置されたダンパ機構3と、を備えている。
[第1回転部材1]
第1回転部材1は、駆動源からの動力が入力され、第1プレート11及び第2プレート12を有している。
第1プレート11は、中心部に開口11aを有する円板状に形成されている。内周部には複数の孔11bが形成されており、この孔11bに装着されるボルト(図示せず)によって、エンジン側の部材に固定される。第1プレート11の外周部には、エンジン側に突出する2つの収容部11cが形成されている。また、2つの収容部11cの間には、係合部11dが形成されている。
第2プレート12は、環状部12aと、外周筒状部12bと、を有している。環状部12aは、第1プレート11の外周部に軸方向に対向して配置され、それぞれ2つの収容部12c及び係合部12dを有している。収容部12cは、第1プレート11の収容部11cと対向して配置されており、トランスミッション側に突出して形成されている。また、係合部12dは、第1プレート11の係合部11dと対向して配置されている。外周筒状部12bは、環状部12aの外周端からエンジン側に延びて形成されている。そして、外周筒状部12bの先端部が、第1プレート11の外周端部に溶接により固定されている。なお、外周筒状部12bの外周面には、リングギア13が固定されている。
以上のような構成により、第1回転部材1の内部には、第1プレート11の外周部と第2プレート12(環状部12a及び外周筒状部12b)とによって囲まれたチャンバCが形成されている。このチャンバCの内部には、グリス等の粘性流体が封入されている。
[第2回転部材2]
第2回転部材2は第1回転部材1と相対回転可能である。第2回転部材2は、軸方向において第1回転部材1とほぼ同じ位置に配置されている。すなわち、第2回転部材2は第1回転部材1と径方向において重なるように配置されている。第2回転部材2はハブ15及びフランジ16を有している。
ハブ15は、筒状に形成され、先端部が第1プレート11の中心部の開口11aにまで延びている。ハブ15の内周面にはスプライン孔15aが形成されており、このスプライン孔15aにトランスミッション側の部材(図示せず)が係合する。
フランジ16は、ハブ15の外周面から径方向外方に延びており、円板状に形成されている。図2及び図3に示すように、フランジ16には4つの収容部16aが形成されている。各収容部16aは軸方向に貫通する開口である。
[ダンパ機構3]
ダンパ機構3は、第1回転部材1と第2回転部材2とを回転方向に弾性的に連結している。ダンパ機構3は、第1ダンパ部21と、第2ダンパ部22と、中間部材23と、を有している。
<第1ダンパ部21>
第1ダンパ部21は、第1回転部材1のチャンバC内部に配置され、第1回転部材1との間で動力を伝達する。すなわち、第1ダンパ部21は湿式タイプのダンパである。図2に示すように、第1ダンパ部21は2つの弾性ユニット24を有している。各弾性ユニット24は、5つの外周側スプリング26(第1弾性部材の一例)と、4つの中間シート27と、2つの端部シート28と、を有している。
5つの外周側スプリング26は円周方向に並べて配置されている。4つの中間シート27は隣接する外周側スプリング26の円周方向間に配置されている。2つの端部シート28は弾性ユニット24の円周方向の端部に配置されている。そして、2つの端部シート28は、第1プレート11及び第2プレート12の係合部11d,12dに当接している。したがって、第1回転部材1から係合部11d,12dを介して各弾性ユニット24に動力が伝達される。
<第2ダンパ部22>
第2ダンパ部22はチャンバCの外部に配置された乾式タイプのダンパである。第2ダンパ部22は、図2に示すように4つの内周側スプリング30(第2弾性部材の一例)と、ヒステリシストルク発生機構31と、を有している。4つの内周側スプリング30は円周方向に並べて配置され、並列的に作動する。内周側スプリング30は、フランジ16に形成された収容部16aに、例えば圧縮された状態で収容されている。ヒステリシストルク発生機構31は、周知の構造と同様であり、摩擦部材や付勢部材としてのコーンスプリング等を有している。ヒステリシストルク発生機構31の詳細についてはここでは省略する。
<中間部材23>
中間部材23は、第1ダンパ部21と第2ダンパ部22とを連結する部材である。中間部材23は、図3及び図4に示すように、第1伝達部材35と、連結部材36と、第2伝達部材37と、を有している。なお、図4は図1の一部を拡大して示したものである。
-第1伝達部材35-
第1伝達部材35は第1ダンパ部21との間で動力を伝達する。図3に示すように、第1伝達部材35は、環状の本体部35aと、2つの係合部35bと、を有している。本体部35aの内周端部35cは、他の部分に比較して厚みが薄くなっており、この内周端部35cに、複数の連結用の孔35dが形成されている。また、2つの係合部35bは、本体部35aから径方向外方に突出し、チャンバC内に進入している。そして、2つの係合部35bは、端部シート28と係合する。これにより、弾性ユニット24に入力された動力は、端部シート28及び係合部35bを介して第1伝達部材35に伝達される。
図1に示すように、第1伝達部材35の本体部35aの軸方向両側にはシール部40が設けられている。より詳細には、図4に拡大して示すように、第1プレート11と本体部35aとの間、及び第2プレート12と本体部35aとの間には、それぞれ摩擦部材41及びコーンスプリング42が設けられている。摩擦部材41は、コーンスプリング42によって対応するプレート11,12の側面に押圧されている。これにより、チャンバC内の粘性流体が、外部に流出するのが防止されている。
-連結部材36-
連結部材36は、第1回転部材1のトランスミッション側に配置され、第1伝達部材35と第2伝達部材37とを連結する。連結部材36は、円板部36aと、固定部36bと、イナーシャ部36cと、を有している。
円板部36aは、第1回転部材1を構成する第2プレート12の側面に沿って径方向外方に延びている。固定部36bは、円板部36aの内周端部に形成され、円板部36aからエンジン側にオフセットされている。そして、固定部36bは、第1伝達部材35の内周端部の厚みの薄い部分35cに、リベット44により固定されている。イナーシャ部36cは、円板部36aの外周端部に、エンジン側に突出するように形成されている。イナーシャ部36cは、環状に形成され、軸方向の厚みが円板部36aに比較して厚い。そして、イナーシャ部36cは、第2プレート12の外周筒状部12bの外周面を、リングギア13が装着された部分を除いて覆うように配置されている。なお、イナーシャ部36cには、複数の固定用のねじ孔36dが形成されている。
-第2伝達部材37-
第2伝達部材37は第2ダンパ部22との間で動力を伝達する。第2伝達部材37は、第1保持プレート51(第1保持部材)と、第2保持プレート52(第2保持部材)と、を有している。
第1保持プレート51は、第2回転部材2のトランスミッション側で、かつ連結部材36のトランスミッション側に配置されている。第1保持プレート51は、径方向の中間部から外周部にかけて、連結部材36の側面に沿って延びている。そして、第1保持プレート51の外周端部は、連結部材36のイナーシャ部36cに、ボルト(図示せず)によって固定されている。第1保持プレート51の内周部には、4つの第1保持部51cが形成されている。第1保持部51cは、第2回転部材2の収容部16aと対向するように配置されている。第1保持部51cは、第2回転部材2の収容部16aに収容された内周側スプリング30を保持している。
第2保持プレート52は、第2回転部材2のエンジン側に第1保持プレート51と軸方向に対向して配置されている。第2保持プレート52は、円板部52aと、4つの連結部52bと、を有している。円板部52aには、4つの第2保持部52cが形成されている。第2保持部52cは、収容部16a及び第1保持部51cと対向するように配置されている。そして、第2保持部52cは、第1保持部51cとともに内周側スプリング30を保持しており、これにより、内周側スプリング30は、径方向及び軸方向への移動が規制されている。連結部52bは、円板部52aから外周側に突出して形成され、リベット53によって第1保持プレート51に固定されている。
[中間部材23の支持構造]
図1、図3、及び図4に示すように、第1回転部材1の内周端部には、支持部材55が装着されている。支持部材55は、環状の部材であり、固定部55aと、内周側支持部55bと、を有している。
固定部55aは、ボルトによって第1回転部材1の内周端部に固定されている。内周側支持部55bは、固定部55aの内周端部からトランスミッション側に延び、筒状に形成されている。
一方、第2保持プレート52の内周端部には外周側支持部52dが形成されている。外周側支持部52dは、第2保持プレート52の内周端部をエンジン側に延ばして形成されたものである。外周側支持部52dは、支持部材55の内周側支持部55bと径方向に対向している。
そして、外周側支持部52dと内周側支持部55bとの間に、軸受としてのブッシュ56が設けられている。これにより、外周側支持部52dはブッシュ56を介して内周側支持部55bに回転自在に支持されている。すなわち、第2保持プレート52を含む中間部材23は、支持部材55が固定された第1回転部材1に対して、径方向に位置決めされ、回転自在に支持されている。このため、装置の作動中において、中間部材23の姿勢を常に安定させることができる。
なお、ブッシュ56のトランスミッション側の端部は、径方向外方に折り曲げられ、この折り曲げられた部分56aが、第2回転部材2のフランジ16と第2保持プレート52との軸方向間に挟まれている。このため、ブッシュ56の軸方向の移動が規制されている。
[軸方向寸法を短縮するための構成]
本装置は、以下の構成によって、軸方向寸法の短縮化が実現されている。
(1)連結部材36が第2プレート12の側面に沿うように配置され、第1保持プレート51が連結部材36の側面に沿うように配置されている。
(2)第1伝達部材35の内周端部35cの厚みを薄くし、この部分35cに連結部材36の固定部36bを固定している。
(3)内周側スプリング30は、外周側スプリング26と軸方向にずれた位置において、第1伝達部材35の径方向内方に配置されている。そして、内周側スプリング30は、第1伝達部材35と軸方向において重なる位置に配置されている。
以上のような構成において、連結部材36の内周端部に複数の切欠36e(図3及び図4参照)を形成し、この切欠36e内に第2保持プレート52の第2保持部52cが進入している。すなわち、第2保持プレート52を第1伝達部材35側に近づけても、第2保持プレート52が、第1伝達部材35に固定された連結部材36の固定部36bに干渉しないように構成し、中間部材23の全体の軸方向寸法を抑えている。
(4)連結部材36の径方向中間部に開口36fを形成し、この開口36f内に第2保持プレート52の連結部52b及びリベット53が進入している。すなわち、第2保持プレート52を連結部材36に近づけても両者が干渉しないように構成し、中間部材23の全体の軸方向寸法を抑えている。
(5)図3に示すように、連結部材36のイナーシャ部36cには、複数の凹部36gが形成されている。凹部36gは、イナーシャ部36cの表面(トランスミッション側の端面)からエンジン側に凹むように形成されている。また、第1保持プレート51の外周端部の一部51gが、この凹部36gにはまり込むように、エンジン側にオフセットされている。そして、この第1保持プレート51のオフセットされた部分51gがイナーシャ部36cの凹部36gにボルトにより固定されている。したがって、ボルトの頭部が、トランスミッション側に突出せず、装置全体の軸方向寸法が抑えられている。
[動作]
第1回転部材1に動力が入力されると、動力は、第1プレート11及び第2プレート12の係合部11d,12dから端部シート28を介して外周側スプリング26に伝達される。外周側スプリング26の端部には、第1伝達部材35の係合部35bも係合しているので、外周側スプリング26に伝達された動力は、第1伝達部材35に伝達され、さらに連結部材36を介して第2伝達部材37の第1保持プレート51及び第2保持プレート52に伝達される。
第1保持プレート51の第1保持部51c及び第2保持プレート52の第2保持部52cには、内周側スプリング30が係合しており、かつ内周側スプリング30の端部は第2回転部材2の収容部16aの端面に当接している。したがって、第1保持プレート51及び第2保持プレート52から内周側スプリング30に伝達された動力は、第2回転部材2に伝達される。そして、動力は、第2回転部材2のハブ15のスプライン孔15aに係合するトランスミッション側の部材に出力される。
以上のような動力伝達の際に、外周側スプリング26及び内周側スプリング30が伸縮する。このとき、中間シート27及び端部シート28と、第1プレート11及び第2プレート12(すなわち、チャンバの内周面)と、の間で相対回転が生じる。また、第1保持プレート51及び第2保持プレート52と、第2回転部材2と、の間で相対回転が生じる。したがって、これらの部材の間で、摩擦抵抗、すなわちヒステリシストルクが発生する。また、チャンバCの内部を粘性流体が流通することによるヒステリシストルクも発生する。
以上のような作動によって、回転変動による振動を減衰することができる。特に、本実施形態の構成では、連結部材36を含む中間部材23の慣性量を大きく確保することができるので、従来装置に比較して振動減衰性能が向上する。また、第2回転部材2の出力側にモータが搭載されているようなハイブリッド車両に本装置を適用した場合は、振動減衰性能がより向上する。
また、中間部材23は、ブッシュ56によって、支持部材55が固定された第1回転部材1に対して、径方向に位置決めされ、回転自在に支持されている。このため、装置の作動中において、中間部材23の姿勢を常に安定させることができる。
さらに、第1ダンパ部21は内部に粘性流体を有するチャンバCに配置されているので、各部材を十分に潤滑することができ、第1ダンパ部21を構成する部材の摩耗を抑えることができる。
一方で、チャンバCの外部に第2ダンパ部22を配置しているので、チャンバCを大きくすることなく、捩り特性の広捩り角度化を実現することができる。
[他の実施形態]
本発明は以上のような実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形又は修正が可能である。
(a)前記実施形態では、中間部材23を第1回転部材1に支持する軸受としてブッシュ56を採用したが、図5に示すように、ボールベアリング60を採用してもよい。
この実施形態では、前記実施形態と同様に、第1回転部材1の内周端部に支持部材55が固定され、支持部材55は、固定部55aと、内周側支持部55bと、を有している。また、第2保持プレート52の内周端部には外周側支持部52dが形成されている。そして、第2保持プレート52の外周側支持部52dと、支持部材55の内周側支持部55bとの間に、ボールベアリング60が設けられている。
これにより、第2保持プレート52を含む中間部材23は、支持部材55が固定された第1回転部材1に対して、径方向に位置決めされ、回転自在に支持されている。
(b)前記実施形態では、第1回転部材1の第1プレート11に、第1プレート11とは別部材の支持部材55を固定したが、第1プレートと支持部材とを一体で形成してもよい。
(c)ダンパ部を構成するスプリングの個数や配置については、前記実施形態に限定されない。種々の変形が可能である。
1 第1回転部材
2 第2回転部材
3 ダンパ機構
21 第1ダンパ部
22 第2ダンパ部
23 中間部材
26 外周側スプリング
30 内周側スプリング
35 第1伝達部材
35a 本体部
35b 係合部
36 連結部材
37 第2伝達部材
40 シール部
51 第1保持プレート
51c 第1保持部
52 第2保持プレート
52c 第2保持部
55 支持部材
55b 内周側支持部(筒状部)
56 ブッシュ(軸受)
C チャンバ

Claims (8)

  1. 第1回転部材と、
    前記第1回転部材と相対回転可能に配置された第2回転部材と、
    前記第1回転部材との間で動力を伝達する第1ダンパ部と、
    複数の第2弾性部材を有し、前記第2回転部材との間で動力を伝達する第2ダンパ部と、
    前記第1ダンパ部との間で動力を伝達する第1伝達部材と、前記第2ダンパ部との間で動力を伝達する第2伝達部材と、前記第1伝達部材と前記第2伝達部材とを連結する連結部材と、を有する中間部材と、
    前記第1回転部材に対して前記中間部材を回転自在に支持する軸受と、
    を備え、
    前記第2伝達部材は、前記第2弾性部材を保持する第1保持部材と、前記第2回転部材を挟んで前記第1保持部材と軸方向に対向して配置され前記第1保持部材ととともに前記第2弾性部材を保持する2保持部材と、を有し、
    前記軸受は前記第1回転部材に対して前記第2保持部材を回転自在に支持する、
    動力伝達装置。
  2. 前記第1回転部材は内周端部に支持部を有し、
    前記中間部材は、前記第1回転部材と軸方向に対向して配置され、内周端部が前記軸受を介して前記支持部に支持されている、
    請求項1に記載の動力伝達装置。
  3. 前記支持部は前記中間部材側に延びる筒状部を有し、
    前記軸受は前記筒状部の外周面に設けられている、
    請求項2に記載の動力伝達装置。
  4. 前記支持部は、前記第1回転部材の内周端部に固定された、前記第1回転部材とは別部材である、請求項2又は3に記載の動力伝達装置。
  5. 前記第1回転部材は内部にチャンバを有し、
    前記第1ダンパ部は前記チャンバの内部に配置され、
    前記第2ダンパ部及び前記中間部材は前記チャンバの外部に配置されている、
    請求項1から4のいずれかに記載の動力伝達装置。
  6. 前記第1保持部材は、前記第2弾性部材を保持する第1保持部を有し、
    前記第2保持部材は、前記第1保持部ととともに前記第2弾性部材を保持する第2保持部を有する、
    請求項5に記載の動力伝達装置。
  7. 前記第1ダンパ部は複数の第1弾性部材を有し、
    前記第1伝達部材は、
    円板状の本体部と、
    前記本体部から径方向外方に突出して前記チャンバ内に進入し、複数の前記第1弾性部材との間で動力を伝達する複数の係合部と、
    を有し、
    前記連結部材は、前記第1回転部材の軸方向の第1側の側面に沿って径方向外方に延び、内周端部が前記第1伝達部材の本体部に連結された円板状のプレートであり、外周部にイナーシャ部を有する、
    請求項5又は6に記載の動力伝達装置。
  8. 前記チャンバ内部の空間をシールするシール部をさらに備えた、請求項5から7のいずれかに記載の動力伝達装置。
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