JP7121485B2 - 相変化検出装置 - Google Patents
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Description
本発明に係る相変化検出装置は、開口部を有する容器に注入された液体内容物の液相から固相への相変化または固相から液相への相変化の少なくともいずれかを検出する相変化検出装置であって、前記容器の前記開口部に露出した前記液体内容物の表面を検出面として、前記開口部の上方から前記検出面に向けて出射光を照射し、前記検出面からの反射光を受光するセンサ部と、前記容器の振動に応じた前記反射光の光強度の変化に基づいて、前記液体内容物の前記検出面における前記相変化を検出する相変化検出部と、を有し、前記センサ部は、前記出射光を出射する光源及び前記反射光を受光する受光部を含む光センサと、前記出射光の方向を変化させ、前記検出面上の所定領域を走査するように前記出射光を照射する走査部と、を含むことを特徴とする。
10 センサ部
11A,11B 光センサ
12 振動部
13 相変化検出回路
14 受信部
15 制御部
20 光源
21 集光レンズ
22 集光レンズ
23 受光素子
24-1 偏光ビームスプリッタ
24-2 偏光ビームスプリッタ
25 モニタ
26 フィードバック回路
27 S波用受光素子
28 P波用受光素子
29 演算回路
30 光センサ
31 走査回路
32 光学素子
33 制御電圧供給部
Claims (10)
- 開口部を有する容器に注入された液体内容物の液相から固相への相変化または固相から液相への相変化の少なくともいずれかを検出する相変化検出装置であって、
前記容器の前記開口部に露出した前記液体内容物の表面を検出面として、前記開口部の上方から前記検出面に向けて出射光を照射し、前記検出面からの反射光を受光するセンサ部と、
前記容器の振動に応じた前記反射光の光強度の変化に基づいて、前記液体内容物の前記検出面における前記相変化を検出する相変化検出部と、を有し、
前記センサ部は、複数の光センサを含み、
前記複数の光センサは、前記検出面上の異なる検出位置に前記出射光を照射して前記反射光を受光し、
前記相変化検出部は、前記複数の光センサの各々が受光した前記反射光の光強度の変化に基づいて、前記異なる検出位置の各々における前記液体内容物の前記相変化を検出するものであり、
前記複数の光センサの各々は、
前記出射光を出射する光源と、
前記出射光を第1の偏光方向を有する第1の出射光及び第2の偏光方向を有する第2の出射光に分離する第1のスプリッタと、
前記第1の出射光が前記検出面で反射した光を前記第1の偏光方向を有する第1の反射光及び前記第2の偏光方向を有する第2の反射光に分離する第2のスプリッタと、
前記第1の反射光を受光する第1の受光素子と、
前記第2の反射光を受光する第2の受光素子と、
前記第1の反射光及び前記第2の反射光の光強度に基づいて、前記反射光の光強度を算出する演算回路と、を有することを特徴とする相変化検出装置。 - 前記容器が振動を開始したことを示す振動開始信号を受信する受信部を有し、
前記相変化検出部は、前記振動開始信号に応答して、前記液体内容物の前記相変化を検出することを特徴とする請求項1に記載の相変化検出装置。 - 前記容器を振動させる振動部を有し、
前記受信部は、前記振動部から前記振動開始信号を受信することを特徴とする請求項2に記載の相変化検出装置。 - 前記センサ部は、前記検出面に対して略垂直方向に前記出射光を照射することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の相変化検出装置。
- 前記複数の光センサの各々は、
前記出射光を出射する光源と、
前記検出面からの前記反射光を受光する受光素子と、
を有し、
前記光源及び前記受光素子は、前記出射光の入射角及び前記反射光の反射角が鋭角となる位置に配置されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の相変化検出装置。 - 前記演算回路は、前記第1の反射光の光強度及び前記第2の反射光の光強度の差分又は比に基づいて前記反射光の光強度を算出することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の相変化検出装置。
- 開口部を有する容器に注入された液体内容物の液相から固相への相変化または固相から液相への相変化の少なくともいずれかを検出する相変化検出装置であって、
前記容器の前記開口部に露出した前記液体内容物の表面を検出面として、前記開口部の上方から前記検出面に向けて出射光を照射し、前記検出面からの反射光を受光するセンサ部と、
前記容器の振動に応じた前記反射光の光強度の変化に基づいて、前記液体内容物の前記検出面における前記相変化を検出する相変化検出部と、を有し、
前記センサ部は、
前記出射光を出射する光源及び前記反射光を受光する受光部を含む光センサと、
前記出射光の方向を変化させ、前記検出面上の所定領域を走査するように前記出射光を照射する走査部と、を含むことを特徴とする相変化検出装置。 - 前記容器が振動を開始したことを示す振動開始信号を受信する受信部を有し、
前記相変化検出部は、前記振動開始信号に応答して、前記液体内容物の前記相変化を検出することを特徴とする請求項7に記載の相変化検出装置。 - 前記容器を振動させる振動部を有し、
前記受信部は、前記振動部から前記振動開始信号を受信することを特徴とする請求項8に記載の相変化検出装置。 - 前記走査部は、制御電圧の印加を受け、前記制御電圧の電圧レベルに応じて前記出射光の方向を変化させる結晶光学素子を含むことを特徴とする請求項7乃至9のいずれか1項に記載の相変化検出装置。
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