KR101539946B1 - 통합형 형상 측정장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 통합형 형상 측정장치에 관한 것으로서, 반사형 간섭계 유닛과, 투과형 간섭계 유닛과, 광검출부를 포함한다. 반사형 간섭계 유닛은 제1광원부와 반사형 간섭계를 구비하고, 반사형 간섭계는 제1광원부에서 발생된 광을 측정대상물과 기준미러로 전달하여 측정대상물에서 반사된 광과 기준미러에서의 기준광을 이용하여 간섭무늬를 생성한다. 투과형 간섭계 유닛은 단색광을 발생하는 제2광원부와 투과형 간섭계를 구비하고, 투과형 간섭계는 제2광원부에서 발생된 광을 분할하여 일부는 측정대상물을 투과시키고 나머지 일부는 측정대상물을 투과시키지 않으며 측정대상물을 투과한 광과 측정대상물을 투과하지 않은 광을 이용하여 간섭무늬를 생성한다. 광검출부는 측정대상물의 상측에 배치되고, 반사형 간섭계 유닛 또는 투과형 간섭계 유닛에 의해 생성되는 간섭무늬를 검출한다. 통합형 형상 측정장치에서는 측정대상물의 광투과성에 따라 반사형 간섭계 유닛 또는 투과형 간섭계 유닛 중 어느 하나가 선택적으로 이용된다.

Description

통합형 형상 측정장치{INTEGRATED SHAPE MEASURING APPARATUS}

본 발명은 통합형 형상 측정장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반사형 간섭계와 투과형 간섭계가 하나의 장치에 통합된 통합형 형상 측정장치에 관한 것이다.

간섭계(Interferometer)란 검사하고자 하는 물체의 표면 및 기준면에 광을 조사시킨 후 반사 또는 투과되는 두 종류의 빛으로부터 간섭무늬를 형성하고, 이 간섭무늬를 측정 및 해석하여 물체 표면의 형상에 대한 정보를 얻는 장치이다.

이러한 간섭계는 측정대상물의 형상을 용이하게 얻을 수 있으므로 산업분야에서 널리 활용되고 있으며, 특히 최근의 산업계 전 분야에 걸친 급속한 기술 발전은 반도체, MEMS, 평판 디스플레이, 광부품 등의 분야에서 미세 가공을 필요로 하며, 현재는 나노 단위의 초정밀 제조 기술이 필요한 단계로 진입하고 있고, 필요한 가공의 형상도 단순한 패턴에서 복잡한 형상으로 변화하고 있으며, 이에 따라 미세형상을 측정하는 기술의 중요성은 더욱 부각되고 있다.

이와 같은 간섭계를 이용한 간섭법으로는 위상천이 간섭법(PSI:Phase Shifting Interferometry)과 백색광 주사 간섭법(White-light Scanning Interferometry)이 주로 이용되고 있다. 이 중 위상천이 간섭법은 간섭상의 한 파장 내에서 적절한 구동 간격으로 위상을 천이시켜 기준 위상을 구하고 이를 높이로 복원하는 방법이다.

이와 같은 위상천이 간섭계를 이용하는 종래의 형상 측정장치는 측정대상물의 광투과성에 따라 광부품들이 다르게 구성되고 배치되는 것이 일반적이다. 즉, 측정대상물의 광투과성이 낮아 측정대상물에 입사되는 광의 대부분을 반사시키는 측정대상물의 경우, 측정대상물에서 반사된 광을 이용하여 간섭무늬를 생성할 수 있는 반사형 간섭계를 이용하여 측정대상물의 형상을 측정하였고, 측정대상물의 광투과성이 높아 측정대상물에 입사되는 광의 대부분을 투과시키는 측정대상물의 경우, 측정대상물을 투과한 광을 이용하여 간섭무늬를 생성할 수 있는 투과형 간섭계를 이용하여 측정대상물의 형상을 측정하였다.

측정대상물의 종류에 따라 서로 다른 간섭계를 이용해야 하는 경우, 장치들을 구매하는 비용이 증가하고, 각 장치들에 대하여 유지보수하는 시간과 노력이 소요되는 문제점이 있었다. 또한, 비용절감을 고려하여 어느 한 타입의 간섭계만을 보유하는 경우 다양한 측정대상물에 대하여 최적의 형상을 측정하기가 곤란한 문제점이 있었다.

따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 반사형 간섭계와 투과형 간섭계를 하나의 장치에 통합하고, 측정대상물의 광투과성에 따라 어느 하나를 선택적으로 이용함으로써, 다양한 측정대상물에 대하여 호환성 있게 측정할 수 있고, 최적의 결과를 얻을 수 있는 간섭계를 선택할 수 있어 측정 정밀도를 향상시킬 수 있는 통합형 형상 측정장치를 제공함에 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 통합형 형상 측정장치는, 제1광원부와, 상기 제1광원부에서 발생된 광을 측정대상물과 기준미러로 전달하여 측정대상물에서 반사된 광과 상기 기준미러에서의 기준광을 이용하여 간섭무늬를 생성하는 반사형 간섭계를 구비하는 반사형 간섭계 유닛; 단색광을 발생하는 제2광원부와, 상기 제2광원부에서 발생된 광을 분할하여 일부는 측정대상물을 투과시키고 나머지 일부는 측정대상물을 투과시키지 않으며 측정대상물을 투과한 광과 측정대상물을 투과하지 않은 광을 이용하여 간섭무늬를 생성하는 투과형 간섭계를 구비하는 투과형 간섭계 유닛; 측정대상물의 상측에 배치되고, 상기 반사형 간섭계 유닛 또는 상기 투과형 간섭계 유닛에 의해 생성되는 간섭무늬를 검출하는 광검출부; 상기 기준미러를 측정대상물과 상기 광검출부 사이의 측정 광경로에 위치시키거나 또는 상기 기준미러를 상기 측정 광경로로부터 이탈시키는 위치변환부; 및 상기 제1광원부의 온오프 신호 및 상기 제2광원부의 온오프 신호를 전달받으며, 상기 제1광원부의 온 신호가 전달되면 상기 기준미러가 상기 측정 광경로에 위치하고 상기 제2광원부의 온 신호가 전달되면 상기 기준미러가 상기 측정 광경로로부터 이탈되도록 상기 위치변환부를 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 통합형 형상 측정장치에 있어서, 구체적으로는, 상기 투과형 간섭계는, 상기 제2광원부로부터 발생된 광을 분할하는 광분할기; 측정대상물의 하측에 배치되고, 상기 광분할기에 의해 분할된 광 중 일부가 입사되며, 입사된 광을 측정대상물을 투과시켜 상기 광검출부 측으로 전달하는 반사미러; 및 측정대상물의 상측에 상하 방향으로 이동 가능하게 설치되고, 상기 광분할기에 의해 분할된 광 중 나머지 일부가 입사되며, 입사된 광을 측정대상물을 투과시키지 않고 상기 광검출부 측으로 전달하는 위상천이미러;를 포함하며, 상기 반사미러에 의해 전달된 광과 상기 위상천이미러에 의해 전달된 광에 의해 간섭무늬가 생성된다.

삭제

본 발명에 따른 통합형 형상 측정장치에 있어서, 구체적으로는, 상기 제1광원부는, 백색광을 발생하는 백색광원과, 단색광을 발생하는 단색광원을 포함하고, 상기 백색광원과 상기 단색광원 중 어느 하나에서 발생된 광이 선택적으로 이용된다.

본 발명에 따른 통합형 형상 측정장치에 있어서, 구체적으로는, 상기 백색광원과 상기 단색광원 중 어느 하나에서 발생된 광이 상기 반사형 간섭계로 전달되도록, 상기 제1광원부를 왕복이동시키는 광원이동부;를 더 포함한다.

본 발명에 따른 통합형 형상 측정장치에 있어서, 구체적으로는, 상기 반사형 간섭계 유닛과 상기 투과형 간섭계 유닛은, 상기 광검출부를 사이에 두고 상기 광검출부의 양측에 각각 배치된다.

본 발명의 통합형 형상 측정장치에 따르면, 다양한 측정대상물에 대하여 호환성 있게 측정할 수 있고, 최적의 결과를 얻을 수 있는 간섭계를 선택할 수 있어 측정 정밀도를 향상시킬 수 있다.

또한, 본 발명의 통합형 형상 측정장치에 따르면, 수동조작으로 인한 장치의 오작동을 방지할 수 있다.

또한, 본 발명의 통합형 형상 측정장치에 따르면, 장치의 활용 가능한 옵션을 늘릴 수 있다.

또한, 본 발명의 통합형 형상 측정장치에 따르면, 통합형 형상 측정장치 내의 공간활용도를 향상시킬 수 있고, 전체 장치의 크기를 줄일 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 통합형 형상 측정장치를 개략적으로 도시한 도면이고,
도 2는 도 1의 통합형 형상 측정장치에서 반사형 간섭계 유닛에 의한 광경로를 도시한 도면이고,
도 3은 도 1의 통합형 형상 측정장치에서 투과형 간섭계 유닛에 의한 광경로를 도시한 도면이고,
도 4는 도 1의 통합형 형상 측정장치의 광원이동부를 설명하기 위한 도면이다.

이하, 본 발명에 따른 통합형 형상 측정장치의 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 통합형 형상 측정장치를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 2는 도 1의 통합형 형상 측정장치에서 반사형 간섭계 유닛에 의한 광경로를 도시한 도면이고, 도 3은 도 1의 통합형 형상 측정장치에서 투과형 간섭계 유닛에 의한 광경로를 도시한 도면이고, 도 4는 도 1의 통합형 형상 측정장치의 광원이동부를 설명하기 위한 도면이다.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 실시예에 따른 통합형 형상 측정장치(100)는 반사형 간섭계와 투과형 간섭계가 하나의 장치에 통합된 것으로서, 반사형 간섭계 유닛(110)과, 투과형 간섭계 유닛(120)과, 메인 광분할기(130)와, 광검출부(140)와, 위치변환부와, 제어부(150)를 포함한다.

상기 반사형 간섭계 유닛(110)은 제1광원부(111)와, 반사형 간섭계를 구비한다.

제1광원부(111)는 백색광을 발생하는 백색광원(111a)과, 단색광을 발생하는 단색광원(111b)을 포함하고, 백색광원(111a)과 단색광원(111b) 중 어느 하나에서 발생된 광이 선택적으로 이용된다. 예를 들어, 백색광원(111a)으로는 할로겐 램프, LED 등이 이용될 수 있으며, 단색광원(111b)으로는 다이오드 레이저 등이 이용될 수 있다.

도 2 및 도 4를 참조하면, 제1광원부(111)에는 제1광원부(111)를 왕복이동시키는 광원이동부(미도시)가 설치되며, 광원이동부는 제1광원부(111)를 직선왕복이동 또는 회전왕복이동시키면서 백색광원(111a)과 단색광원(111b) 중 어느 하나에서 발생된 광이 후술할 반사형 간섭계로 전달되도록 한다. 광원이동부로는 모터 등이 이용될 수 있다.

반사형 간섭계는 제1광원부(111)에서 발생된 광을 측정대상물(10)과 기준미러(112)로 전달하여, 측정대상물(10)에서 반사된 광과 기준미러(112)에서의 기준광을 이용하여 간섭무늬를 생성한다. 본 실시예의 반사형 간섭계는 제1집광렌즈(113)와, 제1광분할기(114)와, 기준미러(112)를 포함한다.

도 2를 참조하면, 제1집광렌즈(113)는 측정대상물(10)에 광을 집속시키기 위한 것으로서, 제1광원부(111)에서 발생된 광은 제1집광렌즈(113)를 통과하여 제1광분할기(114) 측으로 진행한다.

제1광분할기(114)는 제1집광렌즈(113)를 통과한 광을 반사시키거나 투과시킨다. 제1광분할기(114)에 의해 반사된 광은 기준미러(112)로 조사되고, 제1광분할기(114)를 투과한 광은 측정대상물(10)에 조사된 후 측정대상물(10)에서 다시 반사된다.

기준미러(112)는 측정대상물(10)에 의해 반사되는 광과 광경로차가 나는 기준광을 생성하기 위한 것으로서, 제1집광렌즈(113)와 제1광분할기(114) 사이에 배치된다. 기준미러(112)는 제1광분할기(114)로부터 입사되는 광을 다시 제1광분할기(114) 측으로 반사시킨다.

측정대상물(10)에서 반사된 광과 기준미러(112)에 의해 생성된 기준광은 간섭무늬를 생성하며, 광검출부(140)를 이용하여 이러한 간섭무늬를 검출할 수 있다.

제1집광렌즈(113)와, 제1광분할기(114)와, 기준미러(112)를 상하 방향으로 미소 간격 이동하면서 간섭무늬를 획득하기 위한 구동부가 설치될 수 있다. 제1집광렌즈(113)와, 제1광분할기(114)와, 기준미러(112)를 상하 방향을 따라 수십 nm 간격으로 이동하면서 광검출기(140)를 통해 강한 간섭신호가 검출되는 위치를 찾게 된다.

상기 투과형 간섭계 유닛(120)은 제2광원부(121)와, 투과형 간섭계를 구비한다.

제2광원부(121)는 단색광을 발생하며, 제2광원부(121)로는 다이오드 레이저 등이 이용될 수 있다.

투과형 간섭계는 제2광원부(121)에서 발생된 광을 분할하여 일부는 측정대상물(10)을 투과시키고 나머지 일부는 측정대상물(10)을 투과시키지 않으며, 측정대상물(10)을 투과한 광과 측정대상물(10)을 투과하지 않은 광을 이용하여 간섭무늬를 생성한다. 본 실시예의 투과형 간섭계는 광분할기(122)와, 반사미러(123)와, 위상천이미러(124)를 포함한다.

도 3을 참조하면, 광분할기(122)는 제2광원부(121)로부터 발생된 광을 2개로 분할한다. 분할된 광 중 일부는 광분할기(122)를 투과하여 반사미러(123) 측으로 전달되고, 분할된 광 중 나머지 일부는 광분할기(122)에서 반사되어 위상천이미러(124) 측으로 전달된다.

반사미러(123)는 광분할기(122)에 의해 분할된 광 중 일부가 입사되며, 입사된 광을 측정대상물(10)을 투과시켜 광검출부(140) 측으로 전달한다. 광검출부(140)는 측정대상물(10)의 상측에 배치되고 반사미러(123)에 의해 전달된 광은 광투과성 측정대상물(10)을 투과해야 하므로, 본 실시예의 반사미러(123)는 측정대상물(10)의 하측에 배치되는 것이 특징이다.

위상천이미러(124)는 광분할기(122)에 의해 분할된 광 중 나머지 일부가 입사되며, 입사된 광을 측정대상물(10)을 투과시키지 않고 광검출부(140) 측으로 전달한다. 위상천이미러(124)에는 압전소자와 같은 구동수단이 설치되어 위상천이미러(124)는 상하 방향으로 이동 가능하다. 위상천이미러(124)를 상하 방향으로 이동시키면서 위상천이미러(124)에 의해 전달되는 광의 위상을 적절한 간격으로 천이시킬 수 있다.

광검출부(140)는 측정대상물(10)의 상측에 배치되고 위상천이미러(124)에 의해 전달된 광은 광투과성 측정대상물(10)을 투과하지 않아야 하므로, 본 실시예의 위상천이미러(124)는 측정대상물(10)의 상측에 배치되는 것이 특징이다.

반사미러(123)에 의해 전달된 광과 위상천이미러(124)에 의해 전달된 광은 간섭무늬를 생성하며, 광검출부(140)를 이용하여 이러한 간섭무늬를 검출할 수 있다.

상기 메인 광분할기(130)는 반사형 간섭계 유닛(110) 또는 투과형 간섭계 유닛(120)과 함께 사용될 수 있다.

도 2를 참조하면, 반사형 간섭계 유닛(110)과 함께 사용되는 경우의 메인 광분할기(130)는 제1광원부(111)에서 발생된 광을 측정대상물(10)과 기준미러(112)로 전달하고, 측정대상물(10)과 기준미러(112)로부터 반사되는 광들을 광검출부(140)로 전달한다.

도 3을 참조하면, 투과형 간섭계 유닛(120)과 함께 사용되는 경우의 메인 광분할기(130)는 제2광원부(121)에서 발생된 후 반사미러(123)에 입사되고 측정대상물(10)을 투과한 광과, 위상천이미러(124)에 입사되고 측정대상물(10)을 투과하지 않은 광을 광검출부(140)로 전달한다.

상기 광검출부(140)는 반사형 간섭계 유닛(110) 또는 투과형 간섭계 유닛(120)에 의해 생성되는 간섭무늬를 검출하며, 측정대상물(10)의 상측에 배치된다.

일반적으로 광검출기(140)로는 측정하고자 하는 영역에 적합한 화소 개수를 가지는 CCD(charge coupled device) 카메라가 이용된다. 광검출기(140)의 전방에는 메인 광분할기(130)로부터 입사되는 간섭광을 집속시키기 위한 집광렌즈(141)가 배치될 수 있다.

반사형 간섭계 유닛(110)과 투과형 간섭계 유닛(120)은 광검출부(140)를 사이에 두고 광검출부(140)의 양측에 각각 배치된다. 위와 같이 배치함으로써, 통합형 형상 측정장치(100) 내의 공간활용도를 향상시킬 수 있고, 전체 장치의 크기를 줄일 수 있다.

상기 위치변환부(미도시)는 기준미러(112)를 측정대상물(10)과 광검출부(140) 사이의 측정 광경로(PA)에 위치시키거나(도 2 참조) 또는 기준미러(112)를 측정 광경로(PA)로부터 이탈시킨다(도 3 참조). 위치변환부는 기준미러(112)가 설치된 경통을 직선왕복이동시거나 또는 회전왕복이동시킬 수 있는 모터 등이 이용될 수 있다.

상기 제어부(150)는 제1광원부(111)의 온오프 신호 및 제2광원부(121)의 온오프 신호를 전달받아 위치변환부를 제어한다. 제1광원부(111)의 온 신호가 전달되면 기준미러(112)가 측정 광경로(PA)에 위치하도록 기준미러(112)가 설치된 경통을 이동시킨다. 또한, 제2광원부(121)의 온 신호가 전달되면 기준미러(112)가 측정 광경로(PA)로부터 이탈되도록 기준미러(112)가 설치된 경통을 이동시킨다.

즉, 반사형 간섭계 유닛(110)을 이용하여 반사형 측정대상물(10)의 형상을 측정하는 경우에만 기준미러(112)가 측정대상물(10)과 광검출부(140) 사이의 측정 광경로(PA)에 위치하도록 제어부(150)는 위치변환부를 제어한다. 투과형 간섭계 유닛(120)을 이용하여 투과형 측정대상물(10)의 형상을 측정하는 경우에 기준미러(112)가 측정 광경로(PA)로부터 이탈되며, 측정대상물(10)을 투과한 광을 콜리메이팅하는 콜리메이팅 렌즈(125)가 측정 광경로(PA)에 위치할 수 있다.

본 발명의 통합형 형상 측정장치(100)는 측정대상물(10)의 광투과성에 따라 반사형 간섭계 유닛(110) 또는 투과형 간섭계 유닛(120) 중 어느 하나를 선택적으로 이용하는 것을 특징으로 한다.

즉, 측정대상물(10)의 광투과성이 낮은 반사형 측정대상물의 경우, 제1광원부(111)의 광을 이용하여 간섭무늬를 생성할 수 있는 반사형 간섭계 유닛(110)을 이용하여 측정대상물(10)의 형상을 측정하고, 측정대상물(10)의 광투과성이 높은 투과형 측정대상물의 경우, 제2광원부(121)의 광을 이용하여 간섭무늬를 생성할 수 있는 투과형 간섭계 유닛(120)을 이용하여 측정대상물(10)의 형상을 측정한다.

상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 통합형 형상 측정장치는, 반사형 간섭계와 투과형 간섭계를 하나의 장치에 통합하고, 측정대상물의 광투과성에 따라 어느 하나를 선택적으로 이용함으로써, 다양한 측정대상물에 대하여 호환성 있게 측정할 수 있고, 최적의 결과를 얻을 수 있는 간섭계를 선택할 수 있어 측정 정밀도를 향상시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있다.

또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 통합형 형상 측정장치는, 광원부의 온오프 신호를 전달받아 기준미러의 위치를 제어함으로써, 수동조작으로 인한 장치의 오작동을 방지할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.

또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 통합형 형상 측정장치는, 반사형 간섭계 유닛의 광원을 백색광 또는 단색광을 선택적으로 이용함으로써, 장치의 활용 가능한 옵션을 늘릴 수 있는 효과를 얻을 수 있다.

또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 통합형 형상 측정장치는, 반사형 간섭계 유닛과 투과형 간섭계 유닛을 광검출부의 양측에 각각 배치함으로써, 통합형 형상 측정장치 내의 공간활용도를 향상시킬 수 있고, 전체 장치의 크기를 줄일 수 있는 효과를 얻을 수 있다.

본 발명의 권리범위는 상술한 실시예 및 변형례에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.

100 : 통합형 형상 측정장치
110 : 반사형 간섭계 유닛
120 : 투과형 간섭계 유닛
130 : 메인 광분할기
140 : 광검출부

Claims (6)

1. 제1광원부와, 상기 제1광원부에서 발생된 광을 측정대상물과 기준미러로 전달하여 측정대상물에서 반사된 광과 상기 기준미러에서의 기준광을 이용하여 간섭무늬를 생성하는 반사형 간섭계를 구비하는 반사형 간섭계 유닛;
   단색광을 발생하는 제2광원부와, 상기 제2광원부에서 발생된 광을 분할하여 일부는 측정대상물을 투과시키고 나머지 일부는 측정대상물을 투과시키지 않으며 측정대상물을 투과한 광과 측정대상물을 투과하지 않은 광을 이용하여 간섭무늬를 생성하는 투과형 간섭계를 구비하는 투과형 간섭계 유닛;
   측정대상물의 상측에 배치되고, 상기 반사형 간섭계 유닛 또는 상기 투과형 간섭계 유닛에 의해 생성되는 간섭무늬를 검출하는 광검출부;
   상기 기준미러를 측정대상물과 상기 광검출부 사이의 측정 광경로에 위치시키거나 또는 상기 기준미러를 상기 측정 광경로로부터 이탈시키는 위치변환부; 및
   상기 제1광원부의 온오프 신호 및 상기 제2광원부의 온오프 신호를 전달받으며, 상기 제1광원부의 온 신호가 전달되면 상기 기준미러가 상기 측정 광경로에 위치하고 상기 제2광원부의 온 신호가 전달되면 상기 기준미러가 상기 측정 광경로로부터 이탈되도록 상기 위치변환부를 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 통합형 형상 측정장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 투과형 간섭계는,
   상기 제2광원부로부터 발생된 광을 분할하는 광분할기;
   측정대상물의 하측에 배치되고, 상기 광분할기에 의해 분할된 광 중 일부가 입사되며, 입사된 광을 측정대상물을 투과시켜 상기 광검출부 측으로 전달하는 반사미러; 및
   측정대상물의 상측에 상하 방향으로 이동 가능하게 설치되고, 상기 광분할기에 의해 분할된 광 중 나머지 일부가 입사되며, 입사된 광을 측정대상물을 투과시키지 않고 상기 광검출부 측으로 전달하는 위상천이미러;를 포함하며,
   상기 반사미러에 의해 전달된 광과 상기 위상천이미러에 의해 전달된 광에 의해 간섭무늬가 생성되는 것을 특징으로 하는 통합형 형상 측정장치.
3. 삭제
4. 제1항에 있어서,
   상기 제1광원부는, 백색광을 발생하는 백색광원과, 단색광을 발생하는 단색광원을 포함하고,
   상기 백색광원과 상기 단색광원 중 어느 하나에서 발생된 광이 선택적으로 이용되는 것을 특징으로 하는 통합형 형상 측정장치.
5. 제4항에 있어서,
   상기 백색광원과 상기 단색광원 중 어느 하나에서 발생된 광이 상기 반사형 간섭계로 전달되도록, 상기 제1광원부를 왕복이동시키는 광원이동부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 통합형 형상 측정장치.
6. 제1항에 있어서,
   상기 반사형 간섭계 유닛과 상기 투과형 간섭계 유닛은, 상기 광검출부를 사이에 두고 상기 광검출부의 양측에 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 통합형 형상 측정장치.

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