JP7116623B2 - 電子デバイスの製造に用いる通気性シート - Google Patents
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Description
本願発明は、これら従来の技術に鑑みなされたものであり、プリンテッドエレクトロニクス技術を実施するに当たって、複数回の印刷を要する多層印刷技術においても、取り扱いが容易であり、高精度な回路形成が高い歩留りで実現可能な通気性シートを提供することを目的とする。
非通気性基材に接するための不織布層と、吸着ステージに接するメッシュ状素材からなる支持層とが積層されてなる通気性シートであって、
この通気性シートの上述した不織布層側から平面視した周縁に、前述した支持層の外縁から所定幅で目止めされ、かつ、この支持層の表面及び裏面に露出して被着した非通気性粘着部が設けられてなることを特徴としている。
15:非通気性貼着部、17:固定用テープ、19:重畳部、21:吸着ステージ、
25:非通気性粘着部、a:支持層の一辺長、b:不織布層の一辺長、
c:非通気性貼着部の幅、c’:非通気性粘着部の幅、d:重畳部の幅。
Claims (3)
- 非通気性基材に接するための不織布層と、吸着ステージに接するメッシュ状素材からなる支持層とが積層されてなる通気性シートであって、
該通気性シートの前記不織布層側から平面視した周縁には、前記支持層の外縁から所定幅で目止めされ、かつ該支持層の表面及び裏面に露出して被着した非通気性粘着部が設けられてなることを特徴とする通気性シート。 - 前記非通気性粘着部と前記不織布層とが平面視で重なる重畳部を設けたことを特徴とする請求項1に記載の通気性シート。
- 前記非通気性粘着部が複数領域に分割配置されてなることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の通気性シート。
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