JP7113109B2 - 蒸着用マスク - Google Patents
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Description
法が多く用いられている。この蒸着マスク法では、ガラス等の透明材質からなる基板上の
所望の位置に有機発光物質を蒸着形成するために、基板の蒸着部位に対応する箇所を除去
穿孔した蒸着マスクが使用される。
た状態で設置し、蒸着が実行される。ただし、蒸着に際しては蒸着装置内を蒸着可能な環
境とするために一般に加熱がなされることから、蒸着マスクとガラス基板の熱変形状態が
異なる場合、蒸着マスクと基板との相対位置関係が変化し、形成される発光層の要求され
る精度を満足できなくなるという問題がある。
素材又は低熱膨張係数の素材からなる補強用の枠体が装着されたマスク構造を採用するこ
とで、被蒸着基板とは熱膨張係数が異なる素材製のマスク本体を用いても、マスク本体が
被蒸着基板と同等の熱膨張係数を有する枠体の膨張に追随して形状変化する、あるいは低
熱膨張係数を有する枠体に抑制されて形状変化しない状態となり、蒸着装置内での昇温時
における被蒸着基板に対するマスク本体の整合精度を担保でき、被蒸着基板上に発光層を
高精度に形成できる蒸着マスクが提案されている。
れるものがある。
るマスクと基板の相対変形を抑え、蒸着形成物の位置精度の著しい悪化を防止することが
できる。
らに抑えることが求められている。しかしながら、従来のマスク本体と枠体との組合せ構
造の場合、補強用の枠体も薄くすることが必要であることから、こうした薄型の枠体によ
る高強度化には限界があり、マスク本体側の応力の影響によるわずかな変形も回避できる
ような剛性を枠体のみで確保することはできなかった。このため、従来のマスク構造では
、高精度化に伴い厳しくなる許容範囲にマスク本体の変位を収めることが難しく、蒸着形
成物の位置ずれによる歩留まりの悪化が避けられないという課題を有していた。
るマスク本体と、マスク本体と一体に配設される枠体とを備える蒸着マスクにおいて、前
記枠体が、マスク本体と連結一体化される保持枠部と、当該保持枠部と一体に配設される
補強枠部とを有するものである。
、これを補強する補強枠部を配設し、マスク本体の応力に対する枠体の剛性を高めること
により、マスク本体各部の本来あるべき位置からのずれを抑えた状態で、蒸着装置に固定
設置して、マスクと被蒸着基板との整合状態を確保でき、被蒸着基板の適切な位置に精度
よく蒸着が行える。
補強枠部との境界部分に、貫通孔もしくは凹部の少なくともいずれかが規則的もしくは不
規則的に複数線状に並んだ配置とされる、又は、溝が線状に連続する配置とされる、切離
し用加工部が設けられるものである。
用加工部を設けて、補強枠部を保持枠部から切り離す際の加工対象位置とすることにより
、蒸着装置側への枠体保持枠部及びマスク本体の位置決め、固定の後など、補強枠部によ
る枠体の剛性確保が不要となった場合に、補強枠部の保持枠部からの切り離し加工が無理
なく容易に行え、蒸着装置による蒸着工程にスムーズに移行できると共に、枠体として残
る保持枠部の形状や保持枠部によるマスク本体の補強状態に影響を与えずに補強枠部を切
り離すことができ、その後の蒸着工程を問題なく進められる。
し内方に収縮しようとする応力を残存させた状態で枠体の保持枠部と一体化されてなり、
前記枠体が、前記応力に基づく力が枠体に加わった状態を仮定して枠体各部の予想変形量
をあらかじめ算出されてなり、前記切離し用加工部が、前記枠体の切離し用加工部を設け
る箇所における前記予想変形量が大きくなるほど、当該箇所で前記貫通孔、凹部、又は溝
として除去される部分の大きさの、除去されない残部に対する割合をより小さくする形状
に設定されるものである。
の予想変形量をあらかじめ見積もられたものとされ、この枠体の切離し用加工部における
除去部分を、マスク本体の応力による枠体の予想変形量が大きくなる箇所では、除去され
ない残部に対する除去部分の割合を小さくする一方、マスク本体の応力による枠体の予想
変形量が小さくなる箇所では、除去されない残部に対する除去部分の割合を大きくするよ
うに設定して、切離し用加工部を枠体各部位の変形可能性に応じて除去部分を増減調整し
た形状とすることにより、マスク本体の応力で枠体の変形が大きく見込める箇所では、切
離し用加工部における凹部等の除去部分の割合を小さくして枠体の強度を十分に確保する
一方、枠体におけるマスク本体の応力が加わりにくい箇所では、切離し用加工部の除去部
分の割合を大きくして、適切な強度を確保しつつ補強枠部切離し加工の際の加工能率を高
められ、補強枠部の速やかな切り離しを可能にして蒸着工程へスムーズに移行できる。
持枠部と補強枠部との境界部分で線状に連続配置される溝と、当該溝内に溝連続方向へ所
定間隔をなす配置で複数穿設される貫通孔との組合せ形状とされ、当該貫通孔が、貫通孔
における溝の連続する方向の端部に鋭角の切欠き部を設けられるものである。
造とすると共に、貫通孔を溝の連続方向へ一部延出させて鋭角の切欠き部を生じさせるこ
とにより、切り離し用加工部を切断加工して枠体の補強枠部を切り離す際に、切欠き部を
起点として切り離し用加工部に沿って切断面が無理なく生成されることとなり、保持枠部
側にバリ等が残りにくく、蒸着工程に付随する諸作業に悪影響を及ぼさない。
された位置に蒸着マスクを設置する蒸着マスクの設置方法において、前記蒸着マスクが、
独立した多数の蒸着通孔を所定パターンで設けられる複数のマスク本体に対し、マスク本
体の外周縁と一体に連結可能な保持枠部、及び当該保持枠部の外側を連続的に取り巻く配
置で保持枠部と一体に配設される補強枠部をそれぞれ有する枠体を、マスク本体の外側を
取り囲むように配置して製造されたものとされ、前記蒸着装置における蒸着マスク支持用
のフレームに、蒸着マスクの枠体における保持枠部を一体に固定し、前記フレームに固定
された状態における枠体の保持枠部に対し、補強枠部を切離して除去するものである。
変形しにくくした枠体と複数のマスク本体を連結した蒸着マスクを、蒸着装置のフレーム
に枠体の保持枠部を固定することで、蒸着装置に支持された状態を得られることにより、
枠体でマスク本体の変形を抑えた状態を維持したまま蒸着装置に蒸着マスクを設置でき、
マスク本体の変位を防いでマスクと被蒸着基板の整合状態を確保し、蒸着の精度を高めて
蒸着製品の歩留まりを向上させられる。また、枠体の蒸着装置への固定後に補強枠部を保
持枠部から切離すことで、補強枠部が蒸着マスクの固定支持以降の工程の障害にならず、
蒸着装置による蒸着を問題なく進められる。
るものとされ、蒸着マスクの完成状態で、枠体及びマスク本体各位置における矩形状の枠
体外周各辺と平行な二方向の変位を測定する第一の工程と、所定箇所の内向きの変位があ
らかじめ設定された許容範囲に収まらない場合は、最大の変位が生じた箇所の外側にあた
る枠体外周部に、最大変位の向きと平行な外向きの所定の引張り力を、前記箇所の変位が
前記許容範囲に収まるような大きさの力として加える第二の工程と、引張り力を加えた状
態であらためて枠体及びマスク本体各位置の前記二方向の変位を測定する第三の工程と、
当該測定後、新たに内向きの変位が前記許容範囲に収まらない箇所が生じた場合は、引張
り力を加えている状態をそのまま維持しつつ、新たに最大の変位が生じた箇所の外側にあ
たる枠体外周部に、新たな最大変位の向きと平行な外向きの所定の引張り力を、前記箇所
の変位が前記許容範囲に収まるような大きさの力としてさらに加える第四の工程と、既に
引張り力を加えている枠体外周部の内側にあたるいずれかの箇所で、後からの他の引張り
力付加に伴って、外向きの変位があらかじめ設定された許容範囲に収まらない状態を測定
した場合は、前記箇所の変位が許容範囲に収まるように、前記箇所の外側の枠体外周部に
加える引張り力を小さくする調整を行う第五の工程とを含み、前記第三ないし第五の各工
程を、枠体及びマスク本体各位置における測定変位が許容範囲に収まるまで繰り返し行い
、変位が許容範囲に収まった蒸着マスクの枠体における保持枠部を、枠体に引張り力を付
加したまま前記フレームに固定し、固定後に枠体への引張り力の付加を解除するものであ
る。
体の所定箇所に対し、外部から引張り力を加えて、変位を許容範囲に収める工程を、枠体
及びマスク本体のいずれの位置でも変位が許容範囲に収まる状態となるまで繰り返し、変
位が許容範囲に収まった枠体及びマスク本体の状態をそのままにして枠体の保持枠部をフ
レームに固定し、蒸発マスクを蒸発装置に設置した状態としてから、枠体に加えた引張り
力を解放することにより、蒸発マスクにおける、枠体の変形を伴うマスク本体の正しい位
置からのずれを、外力の付加で枠体ごと変形を抑える手法で確実に防ぎながら、枠体をフ
レームに固定して、蒸着マスクの蒸着装置への適切な設置状態を確保でき、蒸着に係る精
度をさらに向上させられる。
製の複数のマスク本体と、マスク本体の外側を取り囲んで配置される金属製の枠体とから
なる、蒸着マスクの製造方法において、母型上の複数の所定位置に金属の電鋳で前記マス
ク本体に対応する一次電着層を形成する第1の電鋳工程と、前記枠体にあらかじめ設けら
れた複数の開口内に前記一次電着層が位置するように位置合わせしながら、母型上に枠体
を配置する枠体配設工程と、前記枠体に対し所定の除去加工を行って、貫通孔もしくは凹
部の少なくともいずれかが規則的もしくは不規則的に複数線状に並んだ配置とされる、又
は、溝が線状に連続する配置とされる、切離し用加工部を枠体に設ける枠体加工工程と、
前記枠体の一部又は全部の表面から前記一次電着層の外周縁表面にまたがる所定範囲に、
電鋳で金属層を形成し、当該金属層を介して枠体と一次電着層とを離れないよう一体に連
結する第2の電鋳工程と、前記母型から一体の一次電着層、枠体及び金属層を剥離する剥
離工程とを含むものである。
の一次電着層の周囲に位置するように枠体を配置し、さらに枠体表面から一次電着層の外
周縁表面にまたがる所定範囲にこれら枠体と一次電着層とを連結するための金属層を形成
する過程の中で、枠体に対し所定の除去加工により切離し用加工部を設けることにより、
母型から一次電着層、枠体及び金属層を一体に剥離して蒸着マスクを得た状態で、枠体に
切離し用加工部を境界として、内側のマスク本体を一体に保持する領域と、外側の枠体全
体を補強する領域とを設定でき、枠体の切離し用加工部より外側の領域を十分大きくすれ
ば、マスク本体の応力に基づいてマスク本体から枠体に加わる力に対する枠体の剛性を高
められることとなり、マスク本体各部の本来あるべき位置からのずれを抑えた状態で、蒸
着マスクを蒸着装置に固定設置して、マスクと被蒸着基板との整合状態を確保でき、被蒸
着基板の適切な位置に精度よく蒸着が行える。また、蒸着装置側への蒸着マスクの固定設
置後、枠体の切離し用加工部より外側の領域による枠体の剛性確保が不要となった場合に
、切離し用加工部で切り離し加工を行うことで枠体の外側領域部分を無理なく容易に切り
離せ、蒸着装置による蒸着工程にスムーズに移行できると共に、枠体として残る内側領域
部分の形状やこれによるマスク本体の保持状態に影響を与えずに外側領域部分を切り離す
ことができ、その後の蒸着工程を問題なく進められる。
以下、本発明の第1の実施形態に係る蒸着マスクを図1ないし図12に基づいて説明す
る。本実施形態においては、有機EL素子用蒸着マスクに適用した例について説明する。
で設けられる複数のマスク本体2と、マスク本体2の外側を取り囲んで配置される枠体3
とを備える構成である。
属を素材として、電鋳によりシート状に形成され、蒸着物質を通す独立した多数の蒸着通
孔8を所定パターンで設けられる構成である。
により形成される金属層7を介して枠体3と一体に接合される外周縁2bとを含むもので
ある。パターン形成領域2aでは、多数の蒸着通孔8が発光層形成用の蒸着パターン9を
形成している。
μmに設定した。各蒸着通孔8は、例えば平面視で前後の長さ寸法が70μm、左右幅寸
法が170~200μmの四角形状を有しており、これら蒸着通孔8は、前後方向に直線
的に並ぶ複数個の通孔群を列とし、複数個の列が左右方向に並列状に配設されたマトリク
ス状の蒸着パターン9を構成している。
本体2の補強用としてマスク本体2の外周に配置され、金属層7を介してマスク本体2と
連結一体化される構成である。詳細には、枠体3は、マスク本体2の外周縁と連結一体化
される保持枠部4と、この保持枠部4の外側を連続的に取り巻く配置で保持枠部4と一体
に配設される補強枠部5とを有するものである。
るいはニッケル-鉄-コバルト合金であるスーパーインバー材等のような材質で形成され
る。そして、枠体3は、電鋳により形成された金属層7により、マスク本体2のパターン
形成領域2aの外周縁2bと互いに離れないよう連結一体化される。
が極めて小さいことで、蒸着工程における熱影響によるマスク本体2の寸法変化を良好に
抑制できる。すなわち、マスク本体2が、例えばニッケルなどの、熱膨張係数が被蒸着基
板(図示を省略)である一般ガラスの熱膨張係数に比べて大きいものである場合のように
、蒸着時の高温による熱膨張率の違いから、常温下で蒸着マスク1を被蒸着基板に整合さ
せた際の、基板に対する通孔位置と、実際の蒸着時における蒸着物質の蒸着位置との間に
ずれが生じることもなく、マスク本体2を保持する枠体3の熱膨張係数が小さい特徴によ
り、昇温時におけるマスク本体2の膨張に起因する寸法変化、形状変化をよく抑えて、常
温時における整合精度を蒸着時の昇温時にも良好に保つことができる。
ガラスやセラミックのようなものを用いることもできる。この場合、これら材料の少なく
とも表面に導電性を付与させることとなる。
の矩形枠形状に形成され、6枚のマスク本体2を一枚の枠体3で保持している。すなわち
、枠体3は、その板面上に6つの開口3aが整列配置されており、各開口3aに一枚のマ
スク本体2が装着される。枠体3のうち、補強枠部5のある幅広の外周部分における幅は
、例えば約60mmとされ、そのうち保持枠部4の幅は約10mm、補強枠部5の幅は約
50mmに設定される。また、枠体3の厚み寸法は、例えば0.1~5.0mm程度とし
、本実施形態においては1.0mmに設定した。
と複数の貫通孔3dとを組み合わせた形状の切離し用加工部3bが設けられる。切離し用
加工部3bの幅は、例えば、約2mmに設定される。
れる溝3cと、この溝3c内に溝連続方向へ所定間隔をなす配置で複数穿設される貫通孔
3dとの組合せ形状とされる。このうち貫通孔3dは、この貫通孔における溝3cの連続
する方向の端部に鋭角の切欠き部3eを設けられる。
位置から保持枠部4寄り又は補強枠部5寄りにずらすように設定するのが好ましく、マス
ク本体2側の保持枠部4寄りにずらすのがさらに好ましい。
で不要部分を除去することにより設けることもできる。
なお、切離し用加工部3bは、貫通孔3dを切欠き部3eのある断面形状とするものに
限られるものではなく、単純な四角形や円形断面の貫通孔としてもよい。また、切離し用
加工部3bは、溝3cと貫通孔3dとを組み合わせた形状の他、貫通孔が所定間隔で併設
されない溝が、線状に連続する配置として設けられる構成としてもかまわない。この他、
切離し用加工部3bは、貫通孔もしくは凹部の少なくともいずれかが規則的もしくは不規
則的に複数線状に並んだ配置として設けられる構成とすることもできる。
工程に供され、マスク本体となる一次電着層15の形成後、この一次電着層15の周囲に
位置するように母型10上に配置されるが、この他、未加工の枠体3を母型10上に配置
し、それ以降の製造工程における途中段階で、枠体3に切離し用加工部3bを設けるよう
にすることもできる。
次パターンレジスト14が設けられた後、母型10上に電着金属の電鋳により一次電着層
15を形成され、この一次電着層15を囲むように枠体3を配置され、さらに、一次電着
層15のパターン形成領域2a対応部分を覆う二次パターンレジスト18を形成された後
、枠体3の表面と一次電着層15の外周縁2b表面とを覆うように電鋳により金属層7を
形成されて、この金属層7を介して一次電着層15と枠体3とを離れないよう一体に連結
された状態で、これら一体の一次電着層15、枠体3及び金属層7と母型10とを分離す
ることで製造されるものである。
や真ちゅう、鋼等の導電性を有する材質で形成され、蒸着マスクの製造工程で分離される
まで、マスク本体2をなす一次電着層15他を支持するものであり、蒸着マスク製造工程
の各段階で、表面側に一次パターンレジスト14、一次電着層15、二次パターンレジス
ト18、及び金属層7が形成される。一次電着層15や金属層7の形成の際には、この母
型10を介した通電がなされることで、母型10表面のレジストに覆われない通電可能な
部分に電鋳により一次電着層15又は金属層7が形成されることとなる。
ケル-鉄合金)、SUS430等の低熱膨張係数の素材とすることもできる。この他、母
型は、ガラス板や樹脂板など絶縁性基板の表面にクロムやチタンなどの導電性を有する金
属からなる金属膜を形成したものでもかまわない。
(B)参照)、母型10がこれらから分離除去される(図9(C)参照)。母型10がス
テンレス材の場合には、力を加えて蒸着マスク側から物理的に引き剥がして除去する方法
を用いるのが好ましく、また、母型10が他の金属材の場合、薬液を用いて溶解除去する
エッチングの方法を用いるのが好ましい。エッチングの場合、母型10は溶解するが一次
電着層15や枠体3、金属層7をなす材質が冒されないような選択エッチング性を有する
エッチング液を用いることとなる。
からなり、母型10上の一次パターンレジスト14のない部分に、電鋳で形成される構成
である。蒸着マスク1において、一次電着層15は、被蒸着基板における発光層等の蒸着
対象箇所に対応する蒸着通孔8を除いた、被蒸着基板の表面を覆うマスク本体2をなすも
のとして形成されることとなる。
溶解性を備えた絶縁性材で形成され、母型10上にあらかじめ設定される一次電着層15
の非配置部分に対応させて配設され、一次電着層15の形成後には除去されるものである
(図6、図7参照)。
され、感光性レジスト、例えば、ネガタイプの感光性ドライフィルムレジストを、母型1
0に所定の厚さ、例えば約20μmの厚さとなるようにして配設し、蒸着マスク1のマス
ク本体2位置、すなわち、一次電着層15の配置位置に対応する所定パターンのマスクフ
ィルム12を載せた状態で、紫外線照射による露光での硬化、非照射部分のレジストを除
去する現像等の処理を経て、一次電着層15の非配置部分に対応させた形状で形成される
。
を備えた絶縁性材で形成され、あらかじめ設定される金属層7の非配置部分に対応させて
配設され、金属層7の形成後には除去されるものである(図8、図9参照)。
ト、例えばネガタイプの感光性ドライフィルムレジストを、母型10及び既に配置された
一次電着層15上に所定の厚さ、例えば約15μmの厚さとなるようにして配設し、蒸着
マスク1の金属層7及び枠体3位置に対応する所定パターンのマスクフィルム17を載せ
た状態で、紫外線照射による露光での硬化、非照射部分の感光性材料を除去する現像等の
処理を経て、金属層7の非配置部分(マスク本体2のパターン形成領域2a)に対応させ
た形状で形成される。
金等からなり、母型10及び既に配置された一次電着層15及び枠体3上の、二次パター
ンレジスト18が配設されず露出した部分に、電鋳で形成される構成である。
ン形成領域の外周縁2bに係るマスク本体2の上面に電鋳により積層される。詳しくは、
金属層7は、マスク本体2におけるパターン形成領域2aの外周縁2bの上面と、枠体3
の上面及びパターン形成領域2a側の側面と、マスク本体2と枠体3との間隙部分に形成
されており、これでパターン形成領域2aの外周縁2bと枠体3の開口周縁とを離れない
よう一体に連結する。
形成するようにできるが、後の切離し用加工部3bでの切断により、枠体3の補強枠部5
は分離除去されることから、金属層7は、保持枠部4の表面のみに形成するようにしても
よい。
する。
蒸着マスクの製造工程については、まず、母型10上にあらかじめ設定される、マスク
本体2の蒸着通孔8、すなわち一次電着層15の非配置部分、に対応させて、母型10に
レジスト層11を配設する(図6参照)。具体的には、母型10の表面側に、例えば、ネ
ガタイプの感光性ドライフィルムレジストを、形成する一次電着層15の高さに対応する
所定厚さ(例えば約20μm)に合わせて一ないし数枚積層し、熱圧着によりレジスト層
11を形成する(図6(A)参照)。
ど、一次電着層15の配置位置に対応する所定パターンのマスクフィルム(ガラスマスク
)12を密着させた後、紫外線照射による露光での硬化(図6(B)、(C)参照)、マ
スクされていた非照射部分のレジストを除去する現像、乾燥、といった各処理を行う。こ
うして、一次電着層15の非配置部分に対応させた一次パターンレジスト14を母型10
上に形成する(図7(A)参照)。
フィー法その他の任意の方法で形成することができ、その形成方法は上記に限定されるも
のではない。
れ、一次パターンレジスト14の厚さの範囲内で、母型10の一次パターンレジスト14
で覆われていない表面(露出領域)に、ニッケル合金等の電着金属の電鋳により、例えば
20μm厚の、マスク本体2となる一次電着層15を形成する(図7(B)参照)。
をなす独立した多数の蒸着通孔8を設けられたマスク本体2となる一次電着層15が得ら
れる(図7(C)参照)。
体に、レジスト層16を配設する。具体的には、母型10の表面側に、例えば、ネガタイ
プの感光性ドライフィルムレジストを、あらかじめ設定された所定厚さ(例えば約15μ
m)に合わせて一ないし数枚積層し、熱圧着によりレジスト層16を形成する(図8(A
)参照)。
形成領域2aに対応する透光孔17aを有するマスクフィルム17を密着させた後、紫外
線照射による露光で硬化させる処理を行う(図8(B)、(C)参照)。これにより、パ
ターン形成領域2aに対応する部分が露光されたレジスト層16a、それ以外の部分が未
露光のレジスト層16bとなる。
囲むように位置合せして母型10上に配置する(図8(C)参照)。
ここでの枠体3は、未露光のレジスト層16bの粘着性により、母型10上に容易に動
かないよう仮固定できる。
って、パターン形成領域を覆う二次パターンレジスト18を形成する(図9(A)参照)
。なお、枠体3の下側に存在する未露光のレジスト層16bは、表面に現れていないこと
で除去されず、母型10上に残って枠体3を固定する役割を続けて果たすこととなる。
係る表面に露出する一次電着層15の上面、枠体3と一次電着層15との間で表面に露出
する母型10の表面、及び枠体3の表面上に、電着金属の電鋳により金属層7を形成する
(図9(B)参照)。この金属層7により一次電着層15と枠体3とを離れないよう一体
に連結できる。
電着層15の上面や、一次電着層15と枠体3との間で表面に露出する母型10表面にお
ける厚さが30μmとなるように形成される。一方、枠体3の表面での金属層7の厚さは
15μmとなる。この厚さの差異は、金属層7が母型10の表面から順次積層されて、未
露光のレジスト層16bの高さ寸法を超えて枠体3に達してはじめて、枠体3が母型10
と導通状態となり、枠体3の表面への金属層7の形成が開始することによるものである。
枠体3及び金属層7を剥離する(図9(C)参照)。さらに、二次パターンレジスト18
及び枠体3の下側に存在する未露光のレジスト層16bを除去することで、蒸着マスク1
の製造が完了となる。
し内方に収縮する方向の応力Fを生じる状態とされる構成である。
詳細には、母型10に対し熱膨張係数の大きい材質で電鋳により一次電着層15を形成
することで、電鋳を行う常温より温度の高い環境で一次電着層15は母型を上回る線膨張
状態で母型表面に形成され、母型10上では変形を規制されていることで、常温の環境で
は母型10より多く収縮しようとするものの収縮が生じず、一次電着層15には内方に収
縮する方向の応力が生じる。
形成されていることから、金属層7の形成で一次電着層15と枠体3とを連結した状態で
も、一次電着層15は内方に収縮する方向の応力を内在させたままである。このため、一
体の一次電着層15と枠体3を母型10から分離すると、一次電着層15、すなわちマス
ク本体2は、枠体3に対し内方に収縮しようとし、枠体3に内向きの引張り力を作用させ
ることとなる。
上記のように、マスク本体2が枠体3に対し内方に収縮する方向の応力を発生させる状
態で形成されていることで、マスク本体2からは枠体3を変形させようとする力が加わる
。ここで、枠体3は保持枠部4の外側に補強枠部5を一体に配置した構成を有し、枠体3
における内側のマスク本体2を保持する保持枠部4に対し、補強枠部5が外側から補強す
る構造となっている。これにより、マスク本体2の応力に起因して枠体3を変形させよう
とする力に対する枠体3の剛性は高められ、力を受けた枠体3が大きく変形することはな
い。そして、枠体3が変形しにくいことで、マスク本体2の変形も起こりにくい状態とな
る。
行う蒸着装置に対し、蒸着可能に設置する。設置に際しては、まず、蒸着マスク1を、蒸
着装置に蒸着マスク支持用として設けられるフレーム50に対し適切に位置決めしてから
固定する(図10、図11参照)。フレーム50は、例えば、インバー材など低熱膨張係
数の材質からなる枠状部材であり、その厚さを10~25mmとして形成される。
この固定は、蒸着マスク1の枠体3における保持枠部4を、フレーム50にスポット溶
接などの溶接により強固に且つ蒸着時の熱に耐えうる状態で一体化することでなされる。
ーム50に対し行う他、フレーム50を蒸着装置から取り外し可能な場合は、蒸発装置外
に取り出して取り扱いやすくしたフレーム50に対し行うこともできる。
ム50に固定した状態で、保持枠部4はフレーム50に対しずれたり変形したりせず完全
に一体化し、保持枠部4内側に連結されて保持されるマスク本体2も、応力で変形するよ
うなことはなく、フレーム50に対する位置関係を維持できる。なお、フレーム50は、
枠形状の中間部を横断するバー51を設けたものであってもよい(図13、図14参照)
。この場合、蒸着マスク1をフレーム50に固定した状態で、蒸着マスク1の自重による
中央部分の撓みを抑えることができる。バー51は、フレーム50に対し縦、横、斜めの
いずれの向きでもよく、また格子状に組み合わせるなど、どのように設けてもよいが、マ
スク本体2に重なると蒸着の障害となるため、枠体3と重なるように設ける。このバー5
1は、フレーム50に当初から一体化させた状態としてフレーム50と同時に形成してよ
いが、フレーム50とは独立に形成されたものをフレーム50に後から取り付けて一体に
組み合わせるようにすることもできる。また、バー51は、例えば、インバー材やセラミ
ックなどの低熱膨張係数の材質で形成され、厚さを5~8mmとされるものであるが、こ
のバー51の材質については、フレーム50と同じものと、フレーム50とは異なるもの
とのいずれを採用してもかまわない。
担保する、すなわち、保持枠部4をその外側の補強枠部5で補強する構成をそのまま維持
する必要がなくなる。蒸着の工程において、蒸着マスク1は小さい方が都合がよいことか
ら、補強目的で残す必要がなく、不要部分となった補強枠部5については、保持枠部4と
の境界に設けられた切離し用加工部3bで切断し、保持枠部4から分離除去する(図12
参照)。
強枠部5を保持枠部4から切り離す際の加工対象位置とすることで、切り離し加工が無理
なく容易に行えると共に、枠体として残る保持枠部4の形状や保持枠部4によるマスク本
体2の保持状態に影響を与えずに補強枠部5を切り離すことができ、蒸着装置による蒸着
工程にスムーズに移行できる。
cの連続方向へ所定間隔で複数穿設される貫通孔3dとの組合せ形状とされると共に、貫
通孔3dには鋭角の切欠き部3eを設けた構造となっている。このため、この切離し用加
工部3bを切断加工して補強枠部5を切り離す際に、切欠き部3eを起点として切離し用
加工部3bに沿って切断面が無理なく生成され、保持枠部4側にバリ等が残りにくく、蒸
着工程に付随する諸作業に悪影響を及ぼさないようにできる。
持する保持枠部4に対し、これを外側から補強する補強枠部5を配設し、マスク本体2の
応力に基づいてマスク本体2から枠体3に加わる力に対する枠体3の剛性を高めることか
ら、マスク本体2各部の本来あるべき位置からのずれを抑えた状態で、蒸着装置に固定設
置して、マスクと被蒸着基板との整合状態を確保でき、被蒸着基板の適切な位置に精度よ
く蒸着が行える。
蒸着装置のフレーム50に溶接等で固定して、蒸着装置への設置状態を得られることから
、枠体3でマスク本体2の変形を抑えた状態を維持したまま蒸着装置に蒸着マスク1を設
置でき、マスク本体2の変位を防いでマスクと被蒸着基板の整合状態を確実なものとして
、蒸着の精度を高められ、蒸着形成物の歩留まりを向上させられる。また、枠体3の蒸着
装置への固定後に補強枠部5を保持枠部4から切離すことで、補強枠部5が蒸着マスク1
の固定以降の工程の障害にならず、蒸着装置による蒸着を問題なく進められる。
凹部、又は溝として除去される部分の大きさの、除去されない残部に対する割合をより小さくする形状に設定する構成とすることもできる。
増減調整した形状とする、すなわち、切離し用加工部3bにおける除去部分を、マスク本
体2の応力に基づいて枠体3に加わる力による枠体3の変形量が大きくなる箇所では、除
去されない残部に対する除去部分の割合を小さくする一方、枠体の変形量が小さくなる箇
所では、除去されない残部に対する除去部分の割合を大きくするように設定することで、
枠体3の変形が大きく見込める箇所では、切離し用加工部3bにおける凹部等の除去部分
の割合を小さくして枠体3の強度を十分に確保する一方、枠体3の変形を予想しにくい箇
所では、切離し用加工部3bの除去部分の割合を大きくして、適切な強度を確保しつつ切
離し加工の際の加工能率を高められ、補強枠部5の速やかな切り離しを可能にして蒸着工
程へスムーズに移行できることとなる。
本体2の応力に基づく力の影響を受けやすい、枠体各辺のうち矩形状のマスク本体2の各
辺に沿う縁部中間位置近傍の切離し用加工部3bでは、貫通孔、凹部、又は溝として除去
される部分をできるだけ少なくして、除去されない部分の割合を大きくし、除去部分によ
る剛性低下を最小限とし、実際の変形を起こりにくくすることができる。一方、剛性大で
マスク本体2の応力に基づく力の影響を受けにくい、枠体3の各枠辺が交わるコーナー部
分近傍の切離し用加工部3bでは、貫通孔、凹部、又は溝として除去される部分の大きさ
の、除去されない残部に対する割合を増やして、切り離し加工の際の手間を少なくするこ
とができる。
接するように金属層7を形成して、金属層7で一次電着層15と枠体3の一体化を図る構
成としているが、これに限らず、枠体配置の前に、一次電着層15を枠体配設位置に及ぶ
ように形成すると共に、枠体3を下側の一次電着層15に対し接着剤を介在させつつ載置
して、一次電着層15と枠体3とを接着で一体化する構成とすることもでき、一次電着層
、すなわちマスク本体2と、枠体3との一体化を簡略に実行でき、マスクの製造能率の向
上が図れる。なお、マスク本体2の表面と枠体3の表面を覆うように金属層7を形成する
ことで、マスク本体2と枠体3の接合状態をより好ましいものにできる。特に、接着剤の
表面(側部)を金属層7で覆うことで、洗浄処理や昇温に起因する接着剤の変質を効果的
に防ぐことができ、マスク本体2と枠体3との接合状態を長期にわたり維持できる。
た後、枠体3表面に金属層7を形成するようにしているが、これに限らず、電鋳で金属層
7を形成する前に、枠体上面の一部又は全部にレジストを配設して、金属層7を枠体上面
全体には形成せず、必要な部位以外は金属層7を枠体上面の一部にのみ設けたり、省略し
たりして、枠体3表面に応力緩和部を設けた構成とすることもできる。
ることで、金属層に仮に内部応力が発生しても枠体3全体ではなく部分的、断片的に作用
するものとなり、枠体3が変形などの悪影響を受けにくく、平面形状を確保できる。
後、一次電着層には特に表面処理を行うことなく、金属層7を形成するようにしているが
、これに限らず、一次電着層15が形成された後、レジスト層16を形成する前の段階で
、一次電着層15の金属層7を重ねて配設する予定の所定範囲に対して酸浸漬や電解処理
等の活性化処理を施すこともできる。
7との間の接合強度の大幅な向上を図れることとなる。また、活性化処理の代わりに、一
次電着層15の所定範囲に対して、ストライクニッケルや無光沢ニッケル等の薄層を形成
してもよい。これによっても、一次電着層15の薄層形成部分とその上の金属層7との接
合強度の向上を図ることができる。
属層7とが重なる箇所は単純に平面同士で接触する構成とされているが、この他、一次電
着層15(マスク本体2)におけるパターン形成領域2aの外周縁2bの全周にわたって
多数個の貫通孔又は凹部を設けて、一次電着層15の外周縁2b上に形成する金属層7に
ついては、前記貫通孔又は凹部を埋めて金属層7が外周縁2bに一部食い込む状態に形成
する構成とすることもできる。
上面に加えて、外周縁2bの各貫通孔又は凹部内に存在して、一次電着層15の外周縁2
bとの接合強度をより大きなものとする。これにより、金属層7を介して、マスク本体2
と枠体3とをより強固に連結一体化できることとなり、枠体3に対するマスク本体2の不
用意な脱落や位置ずれを確実に抑えられ、蒸着精度及び蒸着形成物の再現精度の向上を図
ることができる。
前記第1の実施形態における蒸着マスクの製造においては、枠体3を母型10上に配置
する工程で、あらかじめ切離し用加工部3bが設けられた枠体3を用いるようにしている
が、この他、第2の実施形態として、図16に示すように、枠体3を母型10上に配置し
た後、マスク製造の一工程として、枠体3に切離し用加工部3bを設けるようにすること
もできる。
枠体3をエッチング液に浸漬して溶解させる方法を用いることができる。このエッチング
の場合、枠体3は溶解するが母型10など枠体以外の部位の材質が冒されないような選択
エッチング性を有するエッチング液を用いたり、除去加工対象となる枠体所定範囲を除く
部位に対して、マスキング材19を配設する(図16(B)参照)。
ストを熱圧着等により配設し、このレジストに対し、除去部分へのマスク配置、紫外線照
射による露光での硬化、現像等の処理を行い、マスキング材19を硬化形成する。この他
、マスキング材としては、エッチング液への耐性を有した保護フィルムを、エッチングの
対象としない部位を覆うように配設したりするようにしてもよい。
キング材19で覆われていない枠体3表面側の一部が露出した部分をエッチングで所定深
さまで溶解、除去する(図16(C)参照)。このエッチングで枠体3の一部を除去した
部位が、枠体3の他の部分より薄肉で切断しやすい切離し用加工部3bとなる。
グ材19を所定の除去剤で溶解させてそれぞれ除去すると、枠体3や一次電着層15が露
出して、金属層を電鋳で形成可能な状態となり、この後は前記第1の実施形態同様、電鋳
で金属層を形成する工程以降が進行することとなる。
した枠体3に対し、機械加工やレーザ加工で不要部分の除去加工を行って、切離し用加工
部3bを設けるようにすることもできる。
る一次電着層15を形成し、この一次電着層15の周囲に位置するように枠体3を配置し
、さらに枠体3表面から一次電着層15の外周縁2b表面にまたがる所定範囲に、これら
枠体3と一次電着層15とを連結するための金属層7を形成する過程の中で、枠体3に対
し所定の除去加工により切離し用加工部3bを設けることから、母型10から一体に剥離
された一次電着層15、枠体3及び金属層7が蒸着マスク1をなす状態では、枠体3に切
離し用加工部3bを境界として、マスク本体2を一体に保持する内側の領域(保持枠部4
)と、枠体全体を補強しつつ不要時には切離し可能な外側の領域(補強枠部5)とを生じ
させることができ、枠体3の切離し用加工部3bより外側の補強枠部5を十分大きくして
、マスク本体2の応力に対する枠体3の剛性を高められ、マスク本体各部の本来あるべき
位置からのずれを抑えた状態で、蒸着マスク1を蒸着装置に固定設置して、マスクと被蒸
着基板との整合状態を確保でき、被蒸着基板の適切な位置に精度よく蒸着が行える。
側の補強枠部5による枠体3の剛性確保が不要となった場合に、切離し用加工部3bで切
り離し加工を行うことで補強枠部5を無理なく容易に切り離せ、蒸着装置による蒸着工程
にスムーズに移行できると共に、枠体3として残る保持枠部5の形状やこれによるマスク
本体2の保持状態に影響を与えずに補強枠部5を切り離すことができ、その後の蒸着工程
を問題なく進められる。
前記第1の実施形態における蒸着マスク1の蒸着装置への設置においては、蒸着マスク
の製造完了後、蒸着マスク1をそのまま蒸着装置のフレーム50に固定するようにして、
蒸着装置に蒸着マスクを設置するようにしているが、この他、第3の実施形態として、図
17ないし図24に示すように、蒸着マスク1における枠体3の外周各部に引張り力を付
加して、枠体3及びマスク本体2の変位を許容範囲に収めた上で蒸着装置に設置するよう
にすることもできる。
態同様、マスク本体2が枠体3に対し内方に収縮する方向の応力を発生させる状態で形成
されていることで、マスク本体2からは枠体3を変形させようとする力が加わる。ここで
、枠体3は保持枠部4の外側に補強枠部5を一体に配置した構成を有し、枠体3における
内側のマスク本体2を保持する保持枠部4に対し、補強枠部5が外側から補強する構造と
なっている。これにより、マスク本体2の応力に起因して枠体3を変形させようとする力
に対する枠体3の剛性は高められ、力を受けた枠体3が大きく変形することはない。そし
て、枠体3が変形しにくいことで、マスク本体2の変形も起こりにくい状態となる。
できない上、フレーム50への固定の際の取り扱いの関係上、補強枠部5の大きさにも一
定の制限があることから、枠体3の剛性強化には限度があり、枠体3の変形を完全に抑え
ることはできない。
し、枠体3と一体のマスク本体2の収縮する変形を許容した状態となって、結果としてマ
スク本体2のわずかな変形を抑えられないことがある。この時、蒸着形成物の寸法精度条
件が厳しく、マスク本体2の位置ずれに係る許容範囲が小さい場合は、マスク本体2の所
定箇所で許容範囲を超える変位が生じることとなり、蒸着形成物の歩留まり悪化につなが
るおそれがある。
て枠体3を変形させようとする力に対抗する力を枠体3に加えて、枠体3の変位を許容範
囲に収め、この枠体3の変位が許容範囲に収まった状態をそのまま維持しつつ、枠体3の
保持枠部4をフレーム50に固定する工程を採用する。これにより、枠体3の変形を抑え
、同時に枠体3の変形を伴うようなマスク本体2の正しい位置からのずれも抑えられるこ
ととなる。
態からの変位を測定し、変位が大きく生じた位置の外側となる枠体3の外周所定箇所に対
し、外部から引張り力を加えて、変位を許容範囲に収める一連の工程を、枠体3及びマス
ク本体2のいずれの位置でも変位が許容範囲に収まる状態となるまで繰り返し行う。そし
て、引張り力付加で変位が許容範囲に収まった枠体3及びマスク本体2の状態を維持した
まま、枠体3の保持枠部4をフレーム50に固定する。その後、枠体3に加えた引張り力
を解放する、といった手順となる。なお、枠体外周における引張り力を加える位置として
は、枠体内側の格子状部分の外側(延長線上)となる枠体外周位置を除いた位置を対象と
する。これは、枠体外周部のうち枠体内側の格子状部分の外側にあたる箇所は、格子状部
分との結合で剛性が高く、マスク本体の応力に基づく変形がそもそも生じにくいことと、
仮に変形が生じた場合に外部から引張り力を加えても、変形を相殺するような逆向きの変
形を与えにくいことによる。
矩形状の枠体外周各辺と平行な二方向の変位を測定する。そして、第二の工程として、所
定箇所の内向きの変位があらかじめ設定された許容範囲に収まらない場合は、最大の変位
が生じた箇所の外側にあたる枠体3の外周部に、最大変位の向きと平行な外向きの所定の
引張り力を、前記箇所の変位が前記許容範囲に収まるような大きさの力として加える。
位置の前記二方向の変位を測定する。この測定後、第四の工程として、新たに内向きの変
位が前記許容範囲に収まらない箇所が生じた場合は、引張り力を加えている状態をそのま
ま維持しつつ、新たに最大の変位が生じた箇所の外側にあたる枠体外周部に、新たな最大
変位の向きと平行な外向きの所定の引張り力を、前記箇所の変位が前記許容範囲に収まる
ような大きさの力としてさらに加える。
かの箇所で、後からの他の引張り力付加に伴って、外向きの変位があらかじめ設定された
許容範囲に収まらない状態を測定した場合は、前記箇所の変位が許容範囲に収まるように
、前記箇所の外側の枠体外周部に加える引張り力を小さくする調整を行う。
変位が許容範囲に収まるまで繰り返し行うこととなる。
で最大変位として枠体3の縦方向(y軸方向)に-6.1μm、すなわち枠体内方に6.
1μmの変位が測定により確認されている(図17参照)。この変位は許容範囲(±1μ
m以内)に収まらないことから、最大変位が生じた位置Aのy軸方向の外側にあたる枠体
3の外周部(上辺中央と下辺中央)に、最大変位の向きと平行なy軸方向で枠体の外方と
なる各方向へ40Nの引張り力を加える(図18参照)。
定を行うと、依然として、マスク本体2の位置Aで最大変位として枠体3のy軸方向に-
3.0μmの変位が確認されている(図18参照)。この変位は許容範囲に収まらないこ
とから、前記同様に位置Aのy軸方向の外側にあたる枠体3の外周部(上辺中央と下辺中
央)の計二箇所に、y軸方向で枠体の外方となる各方向へ、位置Aの変位が許容範囲に収
まるような大きさの力として、80Nの引張り力を加える(図19参照)。
たに、マスク本体2の位置Bで最大変位として枠体3の横方向(x軸方向)に-2.4μ
m、すなわち枠体内方に2.4μmの変位が確認された(図19参照)。この変位は許容
範囲に収まらないことから、先のy軸方向の引張り力(80N)もそのまま付加した状態
を維持したままで、最大変位が生じた位置Bのx軸方向の外側にあたる枠体3の外周部(
左辺中央付近の二箇所と右辺中央付近の二箇所)の計四箇所に、最大変位の向きと平行な
x軸方向で枠体の外方となる各方向へ、位置Bの変位が許容範囲に収まるような大きさの
力として、40Nの引張り力をそれぞれ加える(図20参照)。
定を行うと、新たに、マスク本体2の位置Cで最大変位として枠体3のy軸方向に-1.
5μm、すなわち枠体内方に1.5μmの変位が確認された(図20参照)。この変位は
許容範囲に収まらないことから、先のy軸方向の引張り力(80N)やx軸方向の引張り
力(40N)もそのまま付加した状態を維持したままで、最大変位が生じた位置Cのy軸
方向の外側にあたる枠体3の外周部(上辺中央から少し離れた二箇所と下辺中央から少し
離れた二箇所)の計四箇所に、最大変位の向きと平行なy軸方向で枠体の外方となる各方
向へ、位置Cの変位が許容範囲に収まるような大きさの力として、20Nの引張り力をそ
れぞれ加える(図21参照)。
定を行うと、新たに、マスク本体2の位置Dで最大変位として枠体3のy軸方向に+1.
1μm、すなわち枠体外方に1.1μmの変位が確認された(図21参照)。この変位は
許容範囲に収まらないことから、先のx軸方向の引張り力(40N)をそのまま付加した
状態を維持したままで、最大変位が生じた位置Dのy軸方向の外側にあたる枠体3の外周
部(上辺中央と下辺中央)の二箇所で、先にy軸方向で枠体の外方となる各方向へ加えて
いた引張り力(80N)を60Nまで小さくすると共に、枠体3の外周部(上辺中央から
少し離れた二箇所と下辺中央から少し離れた二箇所)の計四箇所で、先にy軸方向で枠体
の外方となる各方向へそれぞれ加えていた引張り力(20N)を30Nまで大きくし(図
22参照)、位置Dの変位が許容範囲に収まるようにする。
置の変位の測定を行うと、新たに、マスク本体2の位置Eで最大変位として枠体3のx軸
方向に-1.1μm、すなわち枠体内方に1.1μmの変位が確認された(図22参照)
。この変位は許容範囲に収まらないことから、先のy軸方向の引張り力(60N、30N
)やx軸方向の引張り力(40N)もそのまま付加した状態を維持したままで、最大変位
が生じた位置Eのx軸方向の外側にあたる枠体3の外周部(左辺中央から少し離れた二箇
所と右辺中央から少し離れた二箇所)の計四箇所に、最大変位の向きと平行なx軸方向で
枠体の外方となる各方向へ、20Nの引張り力をそれぞれ加える(図23参照)。
定を行うと、新たに、マスク本体2の位置Fで最大変位として枠体3のy軸方向に-1.
2μm、すなわち枠体内方に1.2μmの変位が確認された(図23参照)。この変位は
許容範囲に収まらないことから、先のy軸方向の引張り力(80N)やx軸方向の引張り
力(40N、20N)をそのまま付加した状態を維持したままで、最大変位が生じた位置
Fのy軸方向の外側にあたる枠体3の外周部(上辺中央から少し離れた二箇所と下辺中央
から少し離れた二箇所)の計四箇所で、先にy軸方向で枠体の外方となる各方向へ加えて
いた引張り力(30N)を20Nまで小さくし(図24参照)、位置Fの変位が許容範囲
に収まるようにする。
変位の測定を行うと、枠体3及びマスク本体2の最大変位としては位置Gにおいてx軸方
向に-0.8μm、すなわち枠体内方への0.8μmの変位が確認された(図24参照)
。この変位は許容範囲に収まることから、測定と引張り力の付加、調整の工程の繰り返し
は終了となる。
3における保持枠部4を、枠体3に引張り力を付加したまま、蒸着装置内又は蒸着装置の
外に位置させたフレーム50に固定する。保持枠部4をフレーム50に固定して、枠体3
と共にマスク本体2がずれなく適正な位置に保持される状態が得られた後、枠体3に対す
る引張り力の付加を解除すると共に、前記第1の実施形態同様、枠体3の補強枠部5を、
保持枠部4との境界に設けられた切離し用加工部3bで切断し、保持枠部4から分離除去
する。フレーム50が蒸着装置内の場合はこの状態で、また、フレーム50が蒸着装置の
外の場合はフレーム50及び蒸着マスク1を蒸着装置内に据え付けると、蒸着マスク1の
設置工程完了となる。
本体2の応力によって変形が大きく生じ得る枠体3の所定箇所に対し、外部から引張り力
を加えて、変位を許容範囲に収める工程を、枠体3のいずれの位置でも変位が許容範囲に
収まる状態となるまで繰り返し、変位が許容範囲に収まった枠体3の状態をそのままにし
て枠体3の保持枠部4をフレーム50に固定し、蒸発マスク1を蒸発装置に設置した状態
としてから、枠体3に加えた引張り力を解放することにより、蒸発マスク1における、枠
体3の変形を伴うマスク本体2の正しい位置からのずれを、外力の付加で枠体3ごと変形
を抑える手法で確実に防ぎながら、枠体3をフレーム50に固定して、蒸着マスク1の蒸
着装置への適切な設置状態を確保でき、蒸着に係る精度をさらに向上させられる。
2 マスク本体
2a パターン形成領域
2b 外周縁
3 枠体
3a 開口
3b 切離し用加工部
3c 溝
3d 貫通孔
3e 切欠き部
4 保持枠部
5 補強枠部
7 金属層
8 蒸着通孔
9 蒸着パターン
10 母型
11 レジスト層
12 マスクフィルム
13 薄肉部
14 一次パターンレジスト
15 一次電着層
16 レジスト層
17 マスクフィルム
18 二次パターンレジスト
19 マスキング材
50 フレーム
51 バー
Claims (3)
- 独立した多数の蒸着通孔を所定パターンで設けられるマスク本体と、マスク本体と一体に配設される枠体とを備える蒸着マスクにおいて、
当該蒸着マスクの支持用として設けられるフレームを有し、
前記フレームは、当該フレームの中間部を横断するようにバーを設けており、
前記枠体は、前記マスク本体と連結一体化される保持枠部と、当該保持枠部と一体に配設される補強枠部とを有し、当該補強枠部が前記保持枠部から分離除去でき、
前記保持枠部と前記フレームとを固定しており、
前記バーは、前記保持枠部と重なるように設けていることを特徴とする蒸着マスク。 - 前記枠体は、切離し用加工部を設けていることを特徴とする請求項1に記載の蒸着マスク。
- 前記切離し用加工部は、前記保持枠部と前記補強枠部との境界部分に設けていることを特徴とする請求項2に記載の蒸着マスク。
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