JP7110671B2 - 厚膜抵抗体用組成物、厚膜抵抗体用ペースト、及び厚膜抵抗体 - Google Patents
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Description
HOT-TCR(ppm/℃)=(R125-R25)/R25/(100)×106
厚膜抵抗体では、COLD-TCRとHOT―TCRとの両者を0に近づけることが求められている。
特許文献4によれば、ガラスの塩基度がルテニウム複合酸化物の塩基度に近いことで、ルテニウム複合酸化物の分解抑制効果が大きいとされている。また、ガラス中に所定の結晶相を析出させることによって導電ネットワークを形成できるとされている。
鉛成分を含まない酸化ルテニウム粉末と、鉛を含まないガラスとを含む厚膜抵抗体用組成物であって、
前記酸化ルテニウム粉末は、X線回折法により測定した(110)面のピークから算出した結晶子径D1が25nm以上80nm以下であり、
比表面積から算出した比表面積径D2が25nm以上114nm以下であり、
かつ前記結晶子径D1(nm)と前記比表面積径D2(nm)との比が、下記の式(1)を満たし、
0.70≦D1/D2≦1.00 ・・・(1)
前記ガラスは、SiO2とB2O3とRO(RはCa、Sr、及びBaから選択された1種類以上元素)とを含み、SiO2とB2O3とROとの合計を100質量部とした場合にSiO2を10質量部以上50質量部以下、B2O3を8質量部以上30質量部以下、ROを40質量部以上65質量部以下の割合で含有する厚膜抵抗体用組成物を提供する。
[厚膜抵抗体用組成物]
本実施形態の厚膜抵抗体用組成物は、鉛成分を含まない酸化ルテニウム粉末と、鉛成分を含まないガラスとを含むことができる。
一方、ガラスは、SiO2とB2O3とRO(RはCa、Sr、及びBaから選択された1種類以上の元素)とを含むことができる。そして、SiO2とB2O3とROとの合計を100質量部とした場合にSiO2を10質量部以上50質量部以下、B2O3を8質量部以上30質量部以下、ROを40質量部以上65質量部以下の割合で含有することができる。
(酸化ルテニウム粉末)
鉛を含有しない厚膜抵抗体用組成物では、抵抗温度係数がプラスに大きい導電粒子であるルテニウム酸鉛(Pb2Ru2O6.5)を用いることができないため、抵抗温度係数がプラスになりやすい導電粉末とガラスの組み合わせが重要となる。
式(2)中、KはScherrer定数であり、0.9を用いることができる。
本実施形態では、酸化ルテニウムの密度を7.05g/cm3として、式(3)によって算出した比表面積径を25nm以上114nm以下とすることができる
酸化ルテニウム粉末の結晶子径D1を25nm以上とすることで、厚膜抵抗体の抵抗温度係数がマイナスになることを抑制できる。また、酸化ルテニウム粉末の結晶子径D1を80nm以下とすることで耐電圧特性を高めることが可能になる。
湿式法により酸化ルテニウム水和物を合成する酸化ルテニウム水和物生成工程。
溶液中の、酸化ルテニウム水和物を分離回収する酸化ルテニウム水和物回収工程。
酸化ルテニウム水和物を乾燥する乾燥工程。
酸化ルテニウム水和物を熱処理する熱処理工程。
(ガラス)
本実施形態の厚膜抵抗体用組成物は、鉛成分を含まないガラス(ガラス粉末)を含有することができる。なお、鉛成分を含まないガラスとは、鉛を意図して添加していないことを意味し、鉛の含有量が0であることを意味する。ただし、製造工程等で不純物成分、不可避成分として混入することを排除するものではない。
(厚膜抵抗体用組成物の組成について)
本実施形態の厚膜抵抗体用組成物に含まれる酸化ルテニウム粉末と、ガラスとの混合比は特に限定されるものではない。例えば所望する抵抗値等によって、酸化ルテニウム粉末とガラスの混合比率を変更できる。酸化ルテニウム粉末の質量:ガラスの質量は、例えば5:95以上50:50以下とすることができる。すなわち、酸化ルテニウム粉末とガラスとのうち、酸化ルテニウム粉末の割合を、5質量%以上50質量%以下とすることが好ましい。
[厚膜抵抗体用ペースト]
本実施形態の厚膜抵抗体用ペーストの一構成例について説明する。
[厚膜抵抗体]
本実施形態の厚膜抵抗体の一構成例について説明する。
(評価方法)
まず、以下の実施例、比較例において、用いた酸化ルテニウム粉末の評価方法について説明する。
1.酸化ルテニウム粉末の評価
酸化ルテニウム粉末の形状・物性を評価するために、X線回折法による結晶子径の算出、およびBET法による比表面積径の算出を行った。
(1)結晶子径
結晶子径はX線回折パターンのピークの広がりより算出できる。ここではX線回折によって得られたルチル型構造のピークをKα1、Kα2に波形分離した後、測定機器の光学系による広がりを補正したKα1のピークの広がりとして半価幅を測定し、Scherrerの式より算出した。
なお、式(2)中、KはScherrer定数であり、0.9を用いることができる。
(2)比表面積径
比表面積径は比表面積と密度より算出できる。比表面積は測定が簡単にできるBET1点法を用いた。比表面積径をD2(nm)、密度をρ(g/cm3)、比表面積をS(m2/g)とし、粉末を真球とみなすと、以下の式(3)に示す関係式が成り立つ。このD2によって算出される粒径を比表面積径とする。
本実施形態では、酸化ルテニウムの密度を7.05g/cm3とした。
2.ガラスの評価
ガラス粉末A~Hを用意し、後述する実施例、比較例において厚膜抵抗体用組成物等の作成を行った。
(50%体積累計粒度)
ガラス粉末はすべて50%体積累計粒度が1.3μm以上1.5μm以下となるようにボールミルにて粉砕した。ここで、50%体積累計粒度は、レーザー回折を利用した粒度分布計により測定した。
(軟化点)
ガラス粉末の軟化点は、ガラス粉末を示差熱分析法(TG-DTA)にて大気中で毎分10℃昇温、加熱し、得られた示差熱曲線の最も低温側の示差熱曲線の減少が発現する温度よりも高温側の次の示差熱曲線が減少するピークの温度とした。
3.厚膜抵抗体の評価
得られた厚膜抵抗体について、膜厚、面積抵抗値、25℃から-55℃までの抵抗温度係数(COLD-TCR)、25℃から125℃までの抵抗温度係数(HOT-TCR)を評価した。なお、表1中ではCOLD-TCRをC-TCR、HOT-TCRをH-TCRと記載している。
(1)膜厚
膜厚は、各実施例、比較例において同様にして作製した5個の厚膜抵抗体について、触針の厚さ粗さ計(東京精密社製 型番:サーフコム480B)により膜厚を測定し、測定した値を平均することで算出した。
(2)面積抵抗値
また、面積抵抗値は、各実施例、比較例において同様にして作製した25個の厚膜抵抗
体の抵抗値をデジタルマルチメーター(KEITHLEY社製、2001番)で測定した値を平均することで、算出した。
(3)抵抗温度係数
抵抗温度係数の測定に当たっては、各実施例、比較例において同様にして作製した5個の厚膜抵抗体について、-55℃、25℃、125℃にそれぞれ15分保持してからそれぞれ抵抗値を測定し、-55℃での抵抗値をR-55、25℃での抵抗値をR25、125℃での抵抗値をR125とした。そして、以下の式(4)、式(5)によって、各厚膜抵抗体について、各温度域での抵抗温度係数を計算した。次いで、算出した各温度域での抵抗温度係数の5個の厚膜抵抗体の平均を計算し、各実施例、比較例で得られた厚膜抵抗体の各温度域での抵抗温度係数(COLD-TCR、HOT-TCR)とした。いずれも単位はppm/℃になる。抵抗温度係数は0に近いことが望ましく、抵抗温度係数≦±100ppm/℃であることが優れた抵抗体の目安とされている。
HOT-TCR=(R125-R25)/R25/(100)×106 ・・・(5)
[実施例1]
表1に示すように、酸化ルテニウム粉末aを18質量部と、ガラス粉末Aを82質量部とを混合し、厚膜抵抗体用組成物を調製した。なお、酸化ルテニウム粒子とガラス粉末との比率は得られる厚膜抵抗体の面積抵抗値がおよそ100kΩとなるように調整した。また、酸化ルテニウム粉末aの特性、及びガラス粉末Aが含有する各成分については表2、表3にそれぞれ示す。
[実施例2~実施例12]
酸化ルテニウム粉末と、ガラス粉末とについて表1に示したものを用い、表1に示した割合で混合して厚膜抵抗体用組成物を調製した点以外は実施例1と同様にして、厚膜抵抗体用組成物、厚膜抵抗体用ペースト、厚膜抵抗体を作製した。
[比較例1~比較例9]
酸化ルテニウム粉末と、ガラス粉末とについて表1に示したものを用い、表1に示した割合で混合して厚膜抵抗体用組成物を調製した点以外は実施例1と同様にして、厚膜抵抗体用組成物、厚膜抵抗体用ペースト、厚膜抵抗体を作製した。
Claims (5)
- 鉛成分を含まない酸化ルテニウム粉末と、鉛成分を含まないガラスとを含む厚膜抵抗体用組成物であって、
前記酸化ルテニウム粉末は、X線回折法により測定した(110)面のピークから算出した結晶子径D1が25nm以上80nm以下であり、
比表面積から算出した比表面積径D2が25nm以上114nm以下であり、
かつ前記結晶子径D1(nm)と前記比表面積径D2(nm)との比が、下記の式(1)を満たし、
0.70≦D1/D2≦1.00 ・・・(1)
前記ガラスは、SiO2とB2O3とRO(RはCa、Sr、及びBaから選択された1種類以上の元素)とを含み、SiO2とB2O3とROとの合計を100質量部とした場合にSiO2を10質量部以上50質量部以下、B2O3を8質量部以上30質量部以下、ROを40質量部以上65質量部以下の割合で含有する厚膜抵抗体用組成物。 - 前記酸化ルテニウム粉末と前記ガラスとのうち、前記酸化ルテニウム粉末の割合が5質量%以上50質量%以下である請求項1に記載の厚膜抵抗体用組成物。
- 前記ガラスは、50%体積累計粒度が5μm以下である請求項1または請求項2に記載の厚膜抵抗体用組成物。
- 請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の厚膜抵抗体用組成物と、有機ビヒクルとを含む厚膜抵抗体用ペースト。
- 請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の厚膜抵抗体用組成物を含む厚膜抵抗体。
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