JP7107082B2 - モニタリングシステム - Google Patents
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Description
前記電子部品が、圧電デバイスであって、前記設置される箇所が、前記圧電デバイスを構成する圧電片に電極を形成するクリーンルームに配置された前記圧電片を洗浄する洗浄機内であり、前記センサが、前記洗浄機内のパーティクルを測定するパーティクルセンサであり、前記データロガーは、前記パーティクルセンサによって測定される測定値と予め定められている閾値とを比較して、その比較結果に応じた制御信号を出力して、前記洗浄機の稼働、停止を制御する。
前記電子部品が、圧電デバイスであって、前記設置される箇所が、前記圧電デバイスを構成する圧電片のベベル加工を行う加工室内であり、前記センサは、前記加工室内の湿度を測定する湿度センサであり、前記データロガーは、前記湿度センサによって測定される測定値と予め定められている閾値とを比較して、その比較結果に応じた制御信号を出力して、前記加工室内に純水を霧状に噴霧するための圧縮窒素を供給する圧縮窒素配管に設けられた電磁弁の開閉を制御する。
前記データサーバ及び前記クライアント端末は、第1のネットワークに接続され、前記第1のネットワークは、ゲートウェイを介して閉域ネットワークである第2のネットワークに接続され、前記データロガーは、前記第1のネットワーク及び前記第2のネットワークの少なくともいずれか一方のネットワークに接続される。
図1は、本発明のモニタリングシステムの基本的な構成を説明するための一実施形態に係る概略構成図である。この実施形態のモニタリングシステムは、電子部品の製造ラインにおける製造現場の環境データや製造装置の設定パラメータに関するデータをモニタリングするものである。
図3は、温湿度をモニタリングして湿度を制御するシステムの概略構成図であり、図1に対応する部分には、同一の参照符号を付す。
i-Fi_Low」を表示してステップS15に移る(ステップS18)。
図7は、パーティクル(清浄度)をモニタリングして、装置の稼働、停止を制御するモニタリングシステムの概略構成図であり、図1に対応する部分には、同一の参照符号を付す。
図9は、参考例としての圧力をモニタリングするモニタリングシステムの概略構成図であり、図1に対応する部分には、同一の参照符号を付す。
本発明は、以下のような形態で実施することもできる。
2 第2拠点
3,3a,3b,3c 第3拠点
4~7,46,47,56~59,66 データロガー
8 データサーバ
9 クライアント端末
10~13,48,49,51,60,61 警告灯
16,19 ネットワーク
20,21 ゲートウェイ
24 データロガー本体
25 温湿度センサ
26 パーティクルセンサ
27 圧力センサ
28 電圧センサ
37~40 スプレーガン
43,44 電磁弁
53 洗浄機
62 搭載装置
Claims (6)
- 複数のセンサが接続可能であって、接続された前記センサによって測定される測定データを送信するデータロガーと、
前記データロガーから送信される前記測定データを受信して記憶部に格納するデータサーバと、
前記データサーバの前記記憶部に格納されている前記測定データを閲覧可能なクライアント端末とを備え、
前記センサは、電子部品の製造ラインに設置されると共に、前記設置される箇所の環境を示す環境データを測定するものであり、
前記データロガー、前記データサーバ及び前記クライアント端末が、ネットワークを介して接続されるものであり、
前記電子部品が、圧電デバイスであって、前記設置される箇所が、前記圧電デバイスを構成する圧電片に電極を形成するクリーンルームに配置された前記圧電片を洗浄する洗浄機内であり、
前記センサが、前記洗浄機内のパーティクルを測定するパーティクルセンサであり、
前記データロガーは、前記パーティクルセンサによって測定される測定値と予め定められている閾値とを比較して、その比較結果に応じた制御信号を出力して、前記洗浄機の稼働、停止を制御する、
ことを特徴とするモニタリングシステム。 - 複数のセンサが接続可能であって、接続された前記センサによって測定される測定データを送信するデータロガーと、
前記データロガーから送信される前記測定データを受信して記憶部に格納するデータサーバと、
前記データサーバの前記記憶部に格納されている前記測定データを閲覧可能なクライアント端末とを備え、
前記センサは、電子部品の製造ラインに設置されると共に、前記設置される箇所の環境を示す環境データを測定するものであり、
前記データロガー、前記データサーバ及び前記クライアント端末が、ネットワークを介して接続されるものであり、
前記電子部品が、圧電デバイスであって、前記設置される箇所が、前記圧電デバイスを構成する圧電片のベベル加工を行う加工室内であり、
前記センサは、前記加工室内の湿度を測定する湿度センサであり、
前記データロガーは、前記湿度センサによって測定される測定値と予め定められている閾値とを比較して、その比較結果に応じた制御信号を出力して、前記加工室内に純水を霧状に噴霧するための圧縮窒素を供給する圧縮窒素配管に設けられた電磁弁の開閉を制御する、
ことを特徴とするモニタリングシステム。 - 複数のセンサが接続可能であって、接続された前記センサによって測定される測定データを送信するデータロガーと、
前記データロガーから送信される前記測定データを受信して記憶部に格納するデータサーバと、
前記データサーバの前記記憶部に格納されている前記測定データを閲覧可能なクライアント端末とを備え、
前記センサは、電子部品の製造ラインに設置されると共に、前記設置される箇所の環境を示す環境データを測定するものであり、
前記データロガー、前記データサーバ及び前記クライアント端末が、ネットワークを介して接続されるものであり、
前記データサーバ及び前記クライアント端末は、第1のネットワークに接続され、
前記第1のネットワークは、ゲートウェイを介して閉域ネットワークである第2のネットワークに接続され、
前記データロガーは、前記第1のネットワーク及び前記第2のネットワークの少なくともいずれか一方のネットワークに接続される、
ことを特徴とするモニタリングシステム。 - 前記データロガーは、前記少なくともいずれか一方のネットワークに、無線通信可能に接続される、
請求項3に記載のモニタリングシステム。 - 前記データロガーは、前記センサによって測定される測定データを、予め設定された時間間隔で前記データサーバに送信する、
請求項1ないし4のいずれか一項に記載のモニタリングシステム。 - 前記ネットワークに接続される警告手段を備え、
前記データサーバは、前記記憶部に格納される前記測定データを監視して、前記測定データの値が、予め定めた管理範囲を超えたか否かを判定するものであり、
前記警告手段は、前記データサーバの前記判定の結果に基づいて、前記測定データの値が、前記管理範囲を超えたときに警告するものである、
請求項1ないし5のいずれか一項に記載のモニタリングシステム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2018148441A JP7107082B2 (ja) | 2018-08-07 | 2018-08-07 | モニタリングシステム |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2018148441A JP7107082B2 (ja) | 2018-08-07 | 2018-08-07 | モニタリングシステム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020024549A JP2020024549A (ja) | 2020-02-13 |
JP7107082B2 true JP7107082B2 (ja) | 2022-07-27 |
Family
ID=69618745
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2018148441A Active JP7107082B2 (ja) | 2018-08-07 | 2018-08-07 | モニタリングシステム |
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JP (1) | JP7107082B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002009567A (ja) | 2000-06-26 | 2002-01-11 | Hamamatsu Photonics Kk | 圧電振動デバイスの製造方法 |
JP2005136326A (ja) | 2003-10-31 | 2005-05-26 | Nikon Corp | 装置状態予測装置及び方法、並びに露光装置管理システム |
JP2013065286A (ja) | 2011-08-26 | 2013-04-11 | Omron Corp | 電力量表示装置、電力量表示システム、電力量表示方法、制御プログラムおよび記録媒体 |
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2018
- 2018-08-07 JP JP2018148441A patent/JP7107082B2/ja active Active
Patent Citations (3)
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JP2013065286A (ja) | 2011-08-26 | 2013-04-11 | Omron Corp | 電力量表示装置、電力量表示システム、電力量表示方法、制御プログラムおよび記録媒体 |
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