JP7163660B2 - データロガー - Google Patents
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Description
更に、本発明のデータロガー本体は、パーティクルセンサによって測定される測定データの値と予め定められている閾値とを比較して、その比較結果に応じた制御信号を出力して、クリーンルーム内に設置される洗浄機の稼働、停止を制御することができる。
図1は、本発明の一実施形態に係るデータロガーを備えるモニタリングシステムの概略構成図である。
図4は、本発明の参考例に係るデータロガーを備え、パーティクル及び温湿度をモニタリングして湿度を制御するシステムの概略構成図であり、図1に対応する部分には、同一の参照符号を付す。
i-Fi_Low」を表示してステップS15に移る(ステップS18)。
本発明は、以下のような形態で実施することもできる。
2,2a 第2拠点
4 洗浄機
6 ネットワーク
8~11,44,45 データロガー
14 データサーバ
17 クライアント端末
18 データロガー本体
19 パーティクルセンサ
20 温湿度センサ
37~40 スプレーガン
41,42 電磁弁
Claims (4)
- データロガー本体と、該データロガー本体に着脱可能なパーティクルセンサとを備えるデータロガーであって、
前記データロガー本体は、装着された前記パーティクルセンサによって測定される測定データを、ネットワークを介して予め設定された時間間隔で送信するものであり、
前記パーティクルセンサは、圧電デバイスを構成する圧電片に電極を形成するクリーンルーム内の、前記圧電片を洗浄する洗浄機内に設置されると共に、前記洗浄機内のパーティクルを測定するものであり、
前記データロガー本体は、前記パーティクルセンサによって測定される前記測定データの値と予め定められている閾値とを比較して、その比較結果に応じた制御信号を出力し、前記洗浄機の稼働、停止を制御する、
ことを特徴とするデータロガー。 - 前記データロガー本体は、前記パーティクルセンサ、及び、該パーティクルセンサ以外の他のセンサを、デイジーチェーン接続可能である、
請求項1に記載のデータロガー。 - 前記他のセンサが、温度センサ及び湿度センサの少なくともいずれか一方のセンサである、
請求項2に記載のデータロガー。 - 前記データロガー本体は、前記ネットワークに無線通信可能に接続される、
請求項1ないし3のいずれか一項に記載のデータロガー。
Priority Applications (1)
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JP2018148442A JP7163660B2 (ja) | 2018-08-07 | 2018-08-07 | データロガー |
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JP2018148442A JP7163660B2 (ja) | 2018-08-07 | 2018-08-07 | データロガー |
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JP2020024128A JP2020024128A (ja) | 2020-02-13 |
JP7163660B2 true JP7163660B2 (ja) | 2022-11-01 |
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Family Applications (1)
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JP2018148442A Active JP7163660B2 (ja) | 2018-08-07 | 2018-08-07 | データロガー |
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JP (1) | JP7163660B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000019095A (ja) | 1998-06-30 | 2000-01-21 | Nec Kyushu Ltd | クリーンルームの清浄度測定装置およびクリーンルームの清浄度測定方法 |
JP2013011460A (ja) | 2011-06-28 | 2013-01-17 | Seiko Instruments Inc | センサネットワークシステム |
US20160063833A1 (en) | 2014-09-03 | 2016-03-03 | Oberon, Inc. | Environmental Sensor Device with Alarms |
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Patent Citations (3)
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JP2013011460A (ja) | 2011-06-28 | 2013-01-17 | Seiko Instruments Inc | センサネットワークシステム |
US20160063833A1 (en) | 2014-09-03 | 2016-03-03 | Oberon, Inc. | Environmental Sensor Device with Alarms |
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