JP2020024549A - モニタリングシステム - Google Patents
モニタリングシステム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020024549A JP2020024549A JP2018148441A JP2018148441A JP2020024549A JP 2020024549 A JP2020024549 A JP 2020024549A JP 2018148441 A JP2018148441 A JP 2018148441A JP 2018148441 A JP2018148441 A JP 2018148441A JP 2020024549 A JP2020024549 A JP 2020024549A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- data
- measurement data
- monitoring system
- network
- logger
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
Landscapes
- Recording Measured Values (AREA)
- General Factory Administration (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
Description
図1は、本発明のモニタリングシステムの基本的な構成を説明するための一実施形態に係る概略構成図である。この実施形態のモニタリングシステムは、電子部品の製造ラインにおける製造現場の環境データや製造装置の設定パラメータに関するデータをモニタリングするものである。
図3は、温湿度をモニタリングして湿度を制御するシステムの概略構成図であり、図1に対応する部分には、同一の参照符号を付す。
i−Fi_Low」を表示してステップS15に移る(ステップS18)。
図7は、パーティクル(清浄度)をモニタリングして、装置の稼働、停止を制御するモニタリングシステムの概略構成図であり、図1に対応する部分には、同一の参照符号を付す。
図9は、圧力をモニタリングするモニタリングシステムの概略構成図であり、図1に対応する部分には、同一の参照符号を付す。
本発明は、以下のような形態で実施することもできる。
2 第2拠点
3,3a,3b,3c 第3拠点
4〜7,46,47,56〜59,66 データロガー
8 データサーバ
9 クライアント端末
10〜13,48,49,51,60,61 警告灯
16,19 ネットワーク
20,21 ゲートウェイ
24 データロガー本体
25 温湿度センサ
26 パーティクルセンサ
27 圧力センサ
28 電圧センサ
37〜40 スプレーガン
43,44 電磁弁
53 洗浄機
62 搭載装置
Claims (11)
- 複数のセンサが接続可能であって、接続された前記センサによって測定される測定データを送信するデータロガーと、
前記データロガーから送信される前記測定データを受信して記憶部に格納するデータサーバと、
前記データサーバの前記記憶部に格納されている前記測定データを閲覧可能なクライアント端末とを備え、
前記センサは、電子部品の製造ラインに設置されると共に、前記設置される箇所の環境を示す環境データを測定するものであり、
前記データロガー、前記データサーバ及び前記クライアント端末が、ネットワークを介して接続される、
ことを特徴とするモニタリングシステム。 - 複数のセンサが接続可能であって、接続された前記センサによって測定される測定データを送信するデータロガーと、
前記データロガーから送信される前記測定データを受信して記憶部に格納するデータサーバと、
前記データサーバの前記記憶部に格納されている前記測定データを閲覧可能なクライアント端末とを備え、
前記センサは、電子部品の製造ラインにおける製造装置の設定パラメータに関するデータを測定するものであり、
前記データロガー、前記データサーバ及び前記クライアント端末が、ネットワークを介して接続される、
ことを特徴とするモニタリングシステム。 - 前記環境データは、前記設置される箇所の温度、湿度、及び、パーティクルの少なくともいずれか一つの測定データである、
請求項1に記載のモニタリングシステム。 - 前記電子部品が、圧電デバイスであって、前記設置される箇所が、前記圧電デバイスを構成する圧電片に電極を形成するクリーンルーム内であり、
前記センサが、前記クリーンルーム内のパーティクルを測定するパーティクルセンサである、
請求項1または3に記載のモニタリングシステム。 - 前記電子部品が、圧電デバイスであって、前記設置される箇所が、前記圧電デバイスを構成する圧電片のベベル加工を行う加工室内であり、
前記センサは、前記加工室内の湿度を測定する、
請求項1または3に記載のモニタリングシステム。 - 前記電子部品が、圧電デバイスであって、前記製造装置が、前記圧電デバイスを構成する圧電振動片を、該圧電振動片を収容するベースに、接着剤によって接合させて搭載する搭載装置であり、
前記設定パラメータが、前記搭載装置の前記接着剤を吐出する接着剤吐出部の吐出条件を示す設定値であり、
前記センサは、前記接着剤吐出部の前記接着剤の吐出圧力を測定する、
請求項2に記載のモニタリングシステム。 - 前記データサーバ及び前記クライアント端末は、第1のネットワークに接続され、
前記第1のネットワークは、ゲートウェイを介して閉域ネットワークである第2のネットワークに接続され、
前記データロガーは、前記第1のネットワーク及び前記第2のネットワークの少なくともいずれか一方のネットワークに接続される、
請求項1ないし6のいずれか一項に記載のモニタリングシステム。 - 前記データロガーは、前記少なくともいずれか一方のネットワークに、無線通信可能に接続される、
請求項7に記載のモニタリングシステム。 - 前記データロガーは、前記センサによって測定される測定データを、予め設定された時間間隔で前記データサーバに送信する、
請求項1ないし8のいずれか一項に記載のモニタリングシステム。 - 前記データロガーは、前記センサによって測定される前記測定データの値と予め定められている閾値とを比較して、その比較結果に応じた制御信号を出力する、
請求項1ないし9のいずれか一項に記載のモニタリングシステム。 - 前記ネットワークに接続される警告手段を備え、
前記データサーバは、前記記憶部に格納される前記測定データを監視して、前記測定データの値が、予め定めた管理範囲を超えたか否かを判定するものであり、
前記警告手段は、前記データサーバの前記判定の結果に基づいて、前記測定データの値が、前記管理範囲を超えたときに警告するものである、
請求項1ないし10のいずれか一項に記載のモニタリングシステム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018148441A JP7107082B2 (ja) | 2018-08-07 | 2018-08-07 | モニタリングシステム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018148441A JP7107082B2 (ja) | 2018-08-07 | 2018-08-07 | モニタリングシステム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020024549A true JP2020024549A (ja) | 2020-02-13 |
JP7107082B2 JP7107082B2 (ja) | 2022-07-27 |
Family
ID=69618745
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018148441A Active JP7107082B2 (ja) | 2018-08-07 | 2018-08-07 | モニタリングシステム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7107082B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002009567A (ja) * | 2000-06-26 | 2002-01-11 | Hamamatsu Photonics Kk | 圧電振動デバイスの製造方法 |
JP2005136326A (ja) * | 2003-10-31 | 2005-05-26 | Nikon Corp | 装置状態予測装置及び方法、並びに露光装置管理システム |
JP2013065286A (ja) * | 2011-08-26 | 2013-04-11 | Omron Corp | 電力量表示装置、電力量表示システム、電力量表示方法、制御プログラムおよび記録媒体 |
-
2018
- 2018-08-07 JP JP2018148441A patent/JP7107082B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002009567A (ja) * | 2000-06-26 | 2002-01-11 | Hamamatsu Photonics Kk | 圧電振動デバイスの製造方法 |
JP2005136326A (ja) * | 2003-10-31 | 2005-05-26 | Nikon Corp | 装置状態予測装置及び方法、並びに露光装置管理システム |
JP2013065286A (ja) * | 2011-08-26 | 2013-04-11 | Omron Corp | 電力量表示装置、電力量表示システム、電力量表示方法、制御プログラムおよび記録媒体 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7107082B2 (ja) | 2022-07-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9302213B2 (en) | Pre-filtration and maintenance sensing for explosion-proof enclosures | |
US9805460B2 (en) | Systems and methods for assessing a facility based on audio/visual delta analysis | |
JP2001196361A (ja) | プロセス排気ガスモニタ装置及び方法、半導体製造装置、及び半導体製造装置管理システム及び方法 | |
KR20190034217A (ko) | 곡물 조제 기계의 제어 장치 | |
CN114930159A (zh) | 连续的粉尘堆积监控系统 | |
WO2014136121A1 (en) | Vibrating screen panel health monitoring system | |
KR20120116313A (ko) | 산업용 로봇의 고장 징후 감지장치 및 고장징후 측정방법 | |
CN210775144U (zh) | 半导体检测机台 | |
JP7107082B2 (ja) | モニタリングシステム | |
US20060132321A1 (en) | Universal equipment process monitor | |
JPH1116798A (ja) | 製造装置の処理データ監視システム | |
KR102040834B1 (ko) | 스마트 필터 관리 시스템 | |
JP7163660B2 (ja) | データロガー | |
CN103472807A (zh) | 一种起爆药连续化自动化生产监控系统 | |
TWI435490B (zh) | Field machine | |
KR100800333B1 (ko) | 자동제어를 이용한 국소청정의 환경제어시스템 | |
KR101883672B1 (ko) | 안전 모니터링이 가능한 hmi 시스템 | |
US8224499B1 (en) | Remote annunciator | |
JP2014513355A (ja) | プロセス制御設備の完全性を特徴付けるための方法と装置 | |
KR101486015B1 (ko) | 덕트 무게 실시간 모니터링 시스템 | |
KR20040101457A (ko) | 액체 화학 물질 공급을 원격으로 모니터링 하는 시스템 | |
JP6321527B2 (ja) | ファンフィルタユニットを備えた空気清浄装置 | |
JP2007147519A (ja) | 粒子計数装置及び粒子計数システム | |
WO2007065075A1 (en) | System and method for wirelessly monitoring equipment in a collision center | |
KR20200038344A (ko) | 스마트 팬 컨트롤러 및 그를 포함하는 제어 시스템 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210224 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211214 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20211215 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220210 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220614 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220627 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7107082 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |