CN102759905B - 用于表征过程控制设施完整性的方法和装置 - Google Patents

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Abstract

一种用于表征过程控制设施完整性的方法和装置。在过程工厂中，接收来自阀体的第一系列阻抗测量。存储第一系列阻抗测量。接收来自阀体的第二系列阻抗测量。存储来自阀体的第二系列阻抗测量。将第一系列阻抗测量与第二系列阻抗测量进行比较。如果第一系列阻抗测量偏离第二系列阻抗测量，则产生阀体的完整性损失的指示。

Description

用于表征过程控制设施完整性的方法和装置
技术领域
本公开内容总地涉及过程工厂，更具体地涉及监视过程工厂组件的完整性。
发明内容
根据一个示例性方面，一种用于指示阀体完整性损失的方法包括：接收第一系列阻抗测量；存储第一系列阻抗测量；接收第二系列阻抗测量；存储第二系列阻抗测量；将第一系列阻抗测量与第二系列阻抗测量进行比较，如果第一系列阻抗测量偏离第二系列阻抗测量，则产生指示。
根据另一个示例性方面，一种指示阀体完整性损失的方法包括通过使用多个频率的多个电信号来接收阻抗测量。根据又一个示例性方面，一种方法接收在大体上在30KHz到400KHz范围内的频率上执行的阻抗测量。根据示例性方面，所述频率施加于接合到阀体的与封闭构件邻近的外表面的PZT传感器。
附图说明
图1是具有分布式控制和维护网络的、在其中可实现故障检测和隔离系统的过程工厂的示例性框图，所述分布式控制和维护网络包括一个或多个操作者和维护工作站、控制器、现场设备和支持设施；
图2是实现检测阀体的完整性的变化的方法的统计数据收集和分析块的框图；
图3是阀体的截面图，该截面图描绘可从其接收阻抗测量的PZT传感器的可能的位置。
具体实施方式
现在参照图1，在其中可实现故障检测和隔离系统的示例性过程工厂10包括通过一个或多个通讯网络与支持设施互连在一起的一些控制和维护系统。具体地讲，图1的过程工厂10包括一个或多个过程控制系统12和14。过程控制系统12可以是诸如PROVOX或RS3系统的传统过程控制系统或者任何其它控制系统，所述其它控制系统包括与控制器12B和输入/输出(I/O)卡12C连接的操作者接口12A，I/O卡12C又与各种现场设备连接，所述现场设备诸如模拟和高速可寻址远程发射机现场设备15。可以是分布式过程控制系统的过程控制系统14包括一个或多个操作者接口14A，操作者接口14A通过诸如以太网总线的总线与一个或多个分布式控制器14B连接。控制器14B可以是例如由德克萨斯州奥斯丁的艾默生过程管理出售的DeltaVTM控制器或者任何其它期望类型的控制器。控制器14B通过I/O设备连接至一个或多个现场设备16，现场设备16例如或Fieldbus现场设备或者任何其它智能或非智能现场设备，所述任何其它智能或非智能现场设备包括例如使用 AS-Interface和CAN协议中的任何一个的那些现场设备。众所周知，现场设备16可将与过程变量以及其它设备信息相关的模拟或数字信息提供给控制器14B。操作者接口14A可存储并执行过程控制器操作者可用于控制过程操作的工具，包括例如控制优化程序、诊断专家、神经网络、调谐器等。
更进一步，维护系统可连接至过程控制系统12和14或者其中的各个设备以执行维护和监视动作，所述维护系统诸如执行AMS应用程序或任何其它设备监视和通讯应用程序的计算机。例如，维护计算机18可通过任何期望的通讯线路或网络(包括无线或手持设备网络)连接至控制器12B和/或设备15，以与设备15进行通讯，在一些实例中，重构或执行设备15上的其它维护动作。类似地，诸如AMS应用程序的维护应用程序17和19可安装在与分布式过程控制系统14相关联的用户接口14A中的一个或多个中，并被这些用户接口14A执行，以执行维护和监视功能，包括与设备16的工作状态相关的数据收集。
过程工厂10还包括各种旋转设施20，诸如涡轮、电机等，这些旋转设施20通过一些永久的或临时的通讯链路(诸如总线、无线通讯系统或者连接至设施20以获取读数、然后被移除的手持设备)连接至维护计算机22。维护计算机22可存储并执行已知的由例如CSI(艾默生过程管理公司)提供的监视和诊断应用程序23或者用于对旋转设施20的操作状态进行诊断、监视和优化的其它任何已知应用程序。维护人员通常使用应用程序23来维护和监督工厂10中的旋转设施20的性能，以确定旋转设施20的问题，并确定旋转设施20什么时候必须被修复或更换以及旋转设备20是否必须被修复或更换。在一些情况下，外来顾问或服务组织可临时获取或测量与设施20相关的数据，并可使用该数据来执行对于设施20的分析，以检测影响设施20的疑难问题、不良性能或其它问题。在这些情况下，运行分析的计算机可不通过任何通讯线路连接至系统10的其余部分，或者可仅临时连接至系统10的其余部分。
类似地，具有与工厂10相关联的发电和配电设施25的发电和配电系统24通过例如总线连接至另一个计算机26，所述另一个计算机26运行并监督工厂10内的发电和配电设施25的操作。计算机26可执行已知的功率控制和诊断应用程序27，诸如由例如Liebert和ASCO或其它公司提供的那些应用程序，以控制和维护发电和配电设施25。再次，在许多情况下，外来顾问或服务组织可使用临时获取或测量与设施25相关的数据的服务应用程序，并使用该数据来执行对设施25的分析，以检测影响设施25的疑难问题、不良性能或其它问题。在这些情况下，运行分析的计算机(诸如计算机26)可不通过任何通讯线路连接至系统10的其余部分，或者可仅临时连接至系统10的其余部分。
如图1所示，计算机系统30通过对统计特征数据使用主成分分析(PCA)来实现故障检测和隔离(FDI)系统35的至少一部分。统计特征数据可包括，但不限于，统计度量，诸如，均值、均值变化、中值、中值变化、标准偏差、标准偏差变化、方差、偏度、尖峰值、均方根(RMS)、变化率、范围、最小值、最大值等。具体地讲，计算机系统30存储并执行配置和数据收集应用程序(CDCA)38、一个或多个查看或接口应用程序40、PCA模块42和故障检测模块44，PCA模块42可包括统计处理块并提供多变量统计分析。系统30还存储统计过程监视数据库43，统计过程监视数据库43存储在过程内在某些设备内产生的统计特征数据。一般来讲，配置和数据收集应用程序38配置一些统计数据收集和分析块(图1中未显示)，并与这些统计数据收集和分析块中的每个通讯，从而从这些块中的每个收集用其执行故障检测和隔离的统计特征数据(或者在一些情况下，原始过程变量数据)，所述统计数据收集和分析块位于现场设备15、16、控制器12B、14B、旋转设施20或者其支持计算机22、发电设施25或者其支持计算机26和过程工厂10内的任何其它期望设备和设施中。配置和数据收集应用程序38可通过硬连线的总线45与工厂10内的计算机或设备中的每个通讯地连接，或者，可替换地，可通过任何其它期望的通讯连接与工厂10内的计算机或设备中的每个连接，所述通讯连接包括例如无线连接、使用OPC的专用连接、间歇连接等，所述间歇连接诸如依赖于手持设备收集数据的连接。同样，配置和数据收集应用程序38可通过LAN或公共连接获得与过程工厂10内的现场设备和设施相关的数据，这样的数据由例如第三方服务提供商收集，所述公共连接诸如互联网、电话连接等(图1中示为互联网连接46)。此外，配置和数据收集应用程序38可通过各种技术和/或协议与工厂10中的计算机/设备通讯地连接，所述协议包括例如以太网、Modbus、HTML、XML、专有技术/协议等。因此，虽然本文描述了使用OPC将配置和数据收集应用程序38与工厂10中的计算机/设备通讯地连接的特定示例，但是本领域技术人员将认识到也可使用将配置和数据收集应用程序38与工厂10中的计算机/设备连接的各种其它方法。收集的数据可以是与已知正常的或已知异常的过程状况相关联的参考数据或者过程状况对于其是未知的监视数据。配置和数据收集应用程序38通常可将收集的数据存储在数据库43中。
虽然过程工厂10被显示为包括FDI系统35，但是应该理解，FDI系统35不限于现存故障或其它异常状况的检测，而是还可预测异常状况的发生，其示例在以下进一步公开。这样，FDI系统35可作为故障检测和隔离的一部分被用于检测过程内的现存故障和其它异常状况，并可作为异常状况预防的一部分被用于预测过程内的故障和其它异常状况的发生。例如，故障检测模块44可被用于检测如本文所述的现存的异常状况和预测的异常状况。
此外，虽然PCA主要作为可被利用的多变量统计分析技术公开，但是应该理解，PCA仅作为示例被提供，并且为了更好地理解所利用的故障检测和异常状况预防方法，对PCA进行了说明。同样，还可利用其它多变量统计分析技术，包括，但不限于，偏最小二乘算法(PLS)、主成分回归(PCR)、判别分析和规范变量分析(CVA)。可根据被检测的异常状况利用不同的多变量统计分析技术。例如，尽管PCA可被用于检测和预测异常状况这二者，但是PCA可被用于检测异常状况的发生，而PLS和/或PCR可被用于预测异常状况的发生。这样，FDI系统35可包括用于不同的多变量分析技术的附加模块，和/或PCA模块42可用PLS模块、PCR模块、判别分析模块、CVA模块或者任何其它多变量统计分析模块来替换。
再次参照图1，一旦配置和数据收集应用程序38收集了统计特征(或原始过程变量)数据，PCA模块42就可进行多变量统计分析，以以几种方式之一处理数据。PCA模块42可将收集的统计特征数据用作与正常状况和一种或多种异常状况相关联的参考数据，以确定与多于一种过程状况相关联的主成分，并形成与组合的状况相关联的负荷矩阵。可替换地，PCA模块42可将收集的统计特征数据用作与正常或异常过程状况相关联的参考数据，以确定与过程状况相关联的主成分，并形成与每种状况相关联的负荷矩阵。如果原始过程变量数据与已知正常的或已知异常的过程状况相关联，则PCA模块42还可使用原始过程变量数据来计算从其确定与一种或多种过程状况相关联的主成分的参考统计特征数据。原始过程变量数据可包括，但不限于，从过程测量的数据，该数据包括在过程内从设备测量的数据，诸如温度、压力、流速、位置等。PCA模块42还可将主成分分析的结果以及参考统计特征数据存储在数据库43中，以供故障检测模块44或查看应用程序40使用。另外，PCA模块42可使用平行分析或另一种类似的方法来确定由PCA模块42计算的多少主成分要保留以供故障检测模块44使用。
故障检测模块44使用由PCA模块42执行的主成分分析的结果来分析监视的统计特征(或原始过程变量)数据，以确定异常过程状况的存在或者未来的存在。如以下详细描述的，故障检测模块44可使用先前由PCA模块42确定的负荷矩阵来将监视的统计特征或原始过程变量数据投射到得分矩阵中。故障检测模块44然后可基于分析结果产生用于操作者或维护人员的一个或多个警告或警报，或者以其它方式警告过程操作者或维护人员异常状况存在或者被预测到。同样，故障检测模块44可将分析结果存储在数据库43中或者将这些分析结果传送到查看和接口应用程序40，所述分析结果包括检测到的故障、产生的警告或警报和投射到得分矩阵(以下描述)上的数据。
查看和接口应用程序40包括用于工厂人员查看由故障检测模块44产生的警告和警报的接口，所述工厂人员诸如配置工程师、过程控制操作者、维护人员、工厂管理者、主管人等。查看应用程序40还可包括使得可操纵各种过程控制参数、操纵PCA模块42和故障检测模块44以及显示相关数据的接口，所述相关数据包括统计特征数据、原始过程变量数据、自动缩放数据、映射到得分矩阵上的数据或者用于对工厂人员显示的任何其它数据。
查看和接口应用程序40可提供与系统30(或者更具体地，与FDI系统35)集成的图形用户接口(GUI)，以便利于用户与由FDI系统35提供的监视能力的交互。然而，在更详细地论述GUI之前，应该认识到，GUI可包括使用任何合适的编程语言和技术实现的一个或多个软件例行程序。此外，可在工厂10内的单个处理站或单元(例如工作站、控制器等)内存储并处理构成GUI的软件例行程序，或者，可替换地，可使用FDI系统35内彼此通讯地连接的多个处理单元以分布式方式存储并执行GUI的软件例行程序。
优选地，但不是必要，GUI可使用熟悉的基于图形窗口的结构和外观来实现，在所述基于图形窗口的结构和外观中，多个互连的图形视图或页面包括一个或多个下拉菜单，这些下拉菜单使得用户能够以期望的方式导航于页面之间，以查看和/或检索特定类型的信息。FDI系统35的特征和/或能力可通过GUI的一个或多个对应页面、视图或显示来表示、访问、调用等。此外，可以以逻辑的方式将构成GUI的各种显示互连，以便利于用户快速、直观地导航于显示之间，以检索特定类型的信息，或者访问和/或调用FDI系统35的特定能力。
本领域技术人员将意识到本文所述的FDI系统35可单独操作或者与其它系统合作操作，所述其它系统包括其它故障检测和异常状况预防系统。同样，本文将其描述为FDI系统35的一部分的各个应用程序38、40、42和44可与其它应用程序(未显示)合作操作，以检测故障、产生警告和警报、将数据提供给工厂人员、使得可配置过程或设备或者以上的任何组合。
再次参照图1，例如阀门15和16可被用于控制过程工厂中的半固态、液态或气态材料的流速。在一些实例中，所述材料可包括悬浮颗粒材料。在其它实例中，所述材料可与例如阀门16的阀体相互作用，从而使得阀体随时间推移侵蚀。悬浮颗粒物质可磨损阀体的内表面，从而引起腐蚀损伤。过程流体特性和压降组合可引起流体空穴，流体空穴也可在内部腐蚀阀体材料。
在一些实例中，阀体可被改动为具有传感器。这样的传感器包括，但不限于，例如压电(PZT)传感器。所利用的传感器可以是有源的或无源的。有源传感器通常被提供外部激励信号。无源传感器通常不被提供外部激励信号。在一些实例中，传感器可接合到阀体。在其它实例中，阀体可被制造有在该阀体中的传感器。在这样的实例中，阀门可设有接近传感器的端口。在某些实例中，由可位于例如阀门定位器或者阀体15处的统计数据收集和分析块监视和控制传感器。在本实例中，传感器被改动为具有连接器总线，所述连接器总线适于接收功率、激励信号和将电传感器数据发送到数据收集块。在其它实例中，可以例如从I/O卡12C监视和控制传感器。在一些实例中，由数据收集和分析块接收的数据还可被FDI 35接收。
在一些实施例中，PCA模块42分析来自与阀体接合的传感器的数据。在本实施例中，PCA模块42提供阀体的完整性的实时监视。PCA模块42可使空穴的检测自动化，而无需阀体的视觉检查。本实施例中的PCA模块42由从与阀体接合的传感器接收的数据创建特征。在其它实施例中，由例如AMS系统对来自阀体的传感器数据进行分析。
图2是位于例如现场设备15、16中的统计数据收集和分析块的框图，所述统计数据收集和分析块实现检测例如阀门16的结构变化的实施例200。在该实施例中，压电(PZT)传感器204使用合适的接合技术附连到阀体202。在本实施例中，PZT传感器204由诸如锆钛酸铅的压电陶瓷材料制成。本领域技术人员将认识到表现出压电效应的任何材料可被用作传感器。在本实施例中，PZT传感器204被焊接到阀体202。在一些其它实施例中，用接合剂或粘合剂将传感器204附连到阀体202。在又一个实施例中，传感器204集成在阀体202中。在本实施例中，穿过连接器212提供传感器204的接入。
在本实施例中，激励模块(EM)206为PZT传感器204提供激励频率。在本实施例中，微控制器210控制EM 206。在本实施例中，微控制器210通过串行I2C总线与EM 206通讯。在本实施例中，EM206适于产生具有范围为30-400千赫(KHz)的激励频率的电信号。在本实施例中，微控制器210将将产生的期望激励频率传送给EM206。此外，在本实施例中，微控制器210将用于由EM 206产生的电信号的期望电压电平提供给EM 206。在另一个实施例中，微控制器210将将产生的激励频率的范围提供给EM 206。在本实施例中，EM 206顺序地产生具有与由微控制器提供的激励频率的范围对应的激励频率的电信号。
在一个实施例中，EM 206包括与压控振荡器(VCO)电连接的数模转换器(DAC)。在本实施例中，DAC从微控制器210接收激励频率的数字表示。DAC生成与用于将产生的电信号的激励频率对应的模拟电压。在本实施例中，VCO产生与由DAC生成的模拟电压对应的激励频率。在一些其它实施例中，EM 206适于产生复杂的具有两个或更多个激励频率的电信号。
在从EM 206接收到电信号时，PZT 204产生与组合的PZT 204和阀体202的阻抗测量对应的电流。由PZT 204产生的电流随着由EM 206产生的电信号的激励频率变化而变化。
阻抗测量单元(IMU)208接收由PZT 204产生的电流。IMU 208通过串行I2C总线与微控制器210通讯。微控制器210指示IMU 208对由PZT 204产生的电流进行采样。IMU 208包括信号调理电路系统和电子器件。这样的电路系统包括，但不限于，电流电压变换器、低噪声放大器(LNA)、带通和陷波滤波器。本领域技术人员将认识到阻抗测量包括实数部分和虚数部分。在本实施例中，IMU 208产生与组合的PZT 204和阀体202的阻抗测量对应的电流的实数部分的数字表示。微控制器210接收组合的PZT 204和阀体202的阻抗测量的数字表示。在一个实施例中，IMU 208包括模数转换器(ADC)。在本实施例中，ADC是逐次近似ADC。在另一个实施例中，利用双积分ADC。
在一个实施例中，微控制器210将将产生的电信号的期望激励频率传送给EM 206。EM 206产生激励频率的电信号，并将该电信号施加于PZT 204。微控制器210指示IMU 208响应于该电信号对由PZT204产生的电流进行采样。微控制器210接收数字表示。微控制器210将用于将产生的电信号的不同激励频率传送给EM 206，并指示IMU208响应于接收到在不同激励频率上产生的电信号对由PZT 204产生的电流进行采样。在本实施例中，微控制器顺序地按1KHz步长将范围为30-400KHz的激励频率传送给EM 206，例如，30KHz、31KHz、……、399KHz、400KHz。在将每个激励频率传送给EM 206之后，微控制器202指示IMU 208响应于接收到在不同激励频率上产生的电信号对由PZT 204产生的电流进行采样。因此，微控制器210创建组合的PZT 204和阀体202的阻抗测量和由EM 206产生的电信号的对应激励频率的阻抗记录。
参照图1，在一个实施例中，微控制器210将包括阻抗测量和对应激励频率的记录发送到计算机系统30。在本实施例中，微控制器210执行CAN协议，以与计算机系统30通讯。在本实施例中，被实现为故障检测和隔离(FDI)系统35的一部分的CDCA 38指示微控制器210创建阻抗记录，FDI系统35又被实现在计算机系统30。CDCA38向微控制器210指示起始激励频率、结束激励频率和频率的增量变化。CDCA 38从微控制器210接收阻抗记录。在本实施例中，CDCA38将阻抗记录存储在数据库43中。
PCA模块42从数据库43接收存储的阻抗记录，并将曲线拟合技术应用于阻抗记录。在一个实施例中，PCA模块42产生阻抗记录的n次多项式拟合。PCA模块42将多项式的系数存储在数据库43中。在一个实施例中，这些系数对应于例如阀体202的阻抗特征。在其它实施例中，阻抗记录用作例如阀体202的阻抗特征。
在一个实施例中，CDCA 38周期性地指示微控制器210创建阻抗记录。CDCA 38从微控制器210接收阻抗记录。
在一个实施例中，CDCA 38接收阻抗记录，并检索先前存储的例如阀体202的阻抗记录。在本实施例中，CDCA 38将接收的阻抗记录和检索的阻抗记录传送到PCA 42。PCA 42将阻抗记录进行比较，以检测阻抗特征中的变化。在一个实施例中，将阻抗记录与刚建的/新建的阻抗记录进行比较。在一个实施例中，如果为阻抗记录的多项式拟合计算的系数偏离这些系数的预设阈值，则发信号传达变化。在一些实施例中，PCA 42计算存储在数据库43中的例如阀体202的历史阻抗记录的平均值。将阻抗记录的平均值与接收的阻抗记录进行比较，以检测与平均值的偏差。在还有的其它实施例中，PCA 42从存储在数据库43中的历史阻抗记录计算从CDCA 38接收的阻抗记录的标准偏差。
在本实施例中，用户在查看和接口应用程序40中指定阈值标准偏差值，查看和接口应用程序40与系统30(或者更具体地，与FDI系统35)集成。在本实施例中，如果接收的阻抗记录偏离用户指定的阈值，则产生视觉提示和可听声音形式的指示。在本实施例中，偏差指示阀体材料的损失或者裂纹形式的间断。
在一个实施例中，用户通过查看和接口应用程序40指示微控制器210创建阻抗记录。在一些实施例中，FDI系统35将与例如阀体202的使用寿命对应的指示提供给用户。在本实施例中，通过查看和接口应用程序40提供指示。
参照图2，本领域技术人员将认识到，在一些实施例中，在微控制器210实现FDI35。在这样的实施例中，系统200包括监视阀体202的完整性的单机系统。
在一些实施例中，可在无源模式下利用PZT传感器。在这种工作模式下，PZT不被提供激励信号。在本实施例中，PZT传感器检测由例如阀门中的结构变化而引起的声响变化。声响变化可由阀门材料中的传播裂纹的声发射产生。
在一个实施例中，PZT传感器检测例如阀体的故障。在本实施例中，微控制器210使阻抗测量单元208感测由例如传感器204检测的声响水平。在本实施例中，FDI 35基于从微控制器210接收的声响水平产生特征。在本实施例中，FDI 35在微控制器210配置用于声响水平的阈值。当声响信号超过阈值时，微控制器210产生指示。在一个实施例中，声响信号的变化对应于阀门中的结构变化。例如，结构变化可包括阀体故障或阀门堵塞。在本实施例中，当微控制器检测到超过阈值的声响水平变化时，FDI 35异步地接收指示。在本实施例中，FDI 35可产生警报或者修改过程工厂的操作。在任何实施例中，FDI35执行分析声发射的能级和频率的合适算法。
图3是示例性阀体202的横截面。参照图1，在一个实施例中，阀门300对应于阀门15。在本实施例中，PZT传感器304在封闭构件附近接合到阀体310。用合适的接合剂接合PZT传感器304。PZT传感器304被改动为具有电连接器306。在一个实施例中，连接器306对应于连接器212。阀体310表现出空穴308，空穴308可导致阀体材料的损失。在本实施例中，在空穴308出现之前，由CDCA 38接收的阻抗记录偏离阀体310的历史阻抗记录。在本实施例中，在与系统30集成的GUI指示阀体完整性损失的警报。
在另一个实施例中，CDCA 38从接合到致动器支腿的PZT传感器接收阻抗记录。在一个实施例中，致动器支腿的接收的阻抗记录偏离历史阻抗记录使得产生指示致动器支腿疲劳开裂的事件。参照图3，在另一个实施例中，阀门300可被用于输送固态或半固态材料，例如油泥或焦炭。在本实施例中，阻抗记录偏离历史阻抗记录可指示阀门的堵漏。
在又一个实施例中，多个PZT传感器304可接合到阀体310。在本实施例中，可接收包括多个传感器的顺序激励的阻抗记录。在本实施例中，CDCA 38可显现阀体的完整性的三维映射图。

Claims (11)

1.一种指示阀体的完整性损失的方法，所述方法包括：
从故障检测和隔离系统向现场设备传送针对第一系列测量的第一请求和针对第二系列测量的第二请求，其中传送所述第一请求包括传送第一频率的指示，传送所述第二请求包括传送第二频率的指示，并且所述第一频率不同于所述第二频率；
响应于所述第一频率，接收所述第一系列测量；
存储所述第一系列测量；
响应于所述第二频率，接收所述第二系列测量；
存储所述第二系列测量；
基于所述第一系列测量，生成第一曲线，以及基于所述第二系列测量，生成第二曲线；
确定针对所述第一曲线的第一多个系数以及针对所述第二曲线的第二多个系数；
将所述第一多个系数与所述第二多个系数进行比较，以确定所述第一系列测量是否偏离所述第二系列测量；
如果所述第一多个系数偏离所述第二多个系数，则产生指示。
2.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一系列测量和第二系列测量包括阻抗测量。
3.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一系列测量和第二系列测量包括声学测量。
4.根据权利要求2所述的方法，其中所述系列阻抗测量包括使用多个频率的多个电信号进行的阻抗测量。
5.根据权利要求4所述的方法，其中，所述多个频率中的每个的范围为30千赫到400KHz。
6.根据权利要求5所述的方法，其中所述多个电信号中的每个通过压电传感器施加于所述阀体。
7.根据权利要求6所述的方法，其中所述压电传感器在阀体封闭构件附近接合到所述阀体。
8.根据权利要求7所述的方法，其中用粘合剂将所述压电传感器接合到所述阀体。
9.根据权利要求3所述的方法，其中所述系列声学测量包括从压电传感器接收的测量。
10.根据权利要求9所述的方法，其中所述压电传感器在阀体封闭构件附近接合到所述阀体。
11.根据权利要求10所述的方法，其中用粘合剂将所述压电传感器接合到所述阀体。
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