JP7100381B2 - 超仕上方法および超仕上装置 - Google Patents

Description

本発明は、ころ軸受けに使用されるころの外面を超仕上する超仕上装置に関する。

製造業における生産用機械および自動車等の運搬用機械等における回転機器の動力伝達部分では、回転する軸を支持するベアリング（軸受け）が使用される。ベアリングは、その軌道輪（内輪、外輪）の内面と転動体との摩擦抵抗を極力減少させるために、これらの表面が滑らかに研磨される。
近年、回転機器における回転の振れ、回転音についてより高度な要求がなされるようになっている。そのため、転動体等の表面研磨に超仕上処理（以下「超仕上」という）が採用されることも多く、その結果、表面粗度が低下し、軸受けにおける動力ロスの低下、機械の長寿命化等が実現される。

ところで、転動体が円すいころまたは円筒ころであるローラーベアリングでは、回転時に底面に近い端部が軌道輪に接触することで応力集中が生じて接触面圧が過大（エッジロード）となり、ベアリングの寿命が低下することが知られている。また、エッジロードを避けるために、転動体の底面に近い端部に、クラウニングが施されることも知られている（非特許文献１）。クラウニングは、その形状として直線、単一の円弧または複数の円弧の組み合わせがあり（非特許文献１）、転動体の周面における底面に近い端部に設けられる。

しかし、円すいころおよび円筒ころにおけるクラウニングが施された周面は、他の周面と曲率が異なるため、他の周面と全く同じ要領で超仕上してもその仕上がり（研磨程度）が不十分になるという問題があった。
このクラウニング部分の超仕上が不十分との問題に対し、例えばクラウニングを有する円すいころ（以下単に「円すいころ」という）の周面の超仕上では、それぞれが特殊な形状の長い一対の回転するフィードドラムを用いる方法が提案されている（特許文献１）。

この一対の回転するフィードドラムは、回転軸を平行にして水平に並び、一方の表面にはねじ状の案内ねじ面が、他方の表面には同様のねじ状の案内ねじ面に加え鍔部が設けられる。円すいころは、一対のフィードドラム間でそれぞれの案内ねじ面上で回転しながら砥石で研削され、同時にフィードドラムの長手方向の一方から他方に移動する。フィードドラムの案内ねじ面は、そのねじ底角度がフィードドラムの軸方向の位置により変化しており、移動に伴い円すいころの姿勢が変わることにより軸心と砥石の研削面との角度がクラウニング形状に適応して、クラウニング形状周面とその他の周面とが同じように超仕上される。

特開２０１７－９４４０４号公報

円筒ころ軸受における部分円弧クラウニングと対数クラウニングの実験的比較、藤原宏樹、山内和人、日本機械学会論文集（Ｃ編）７４巻７４５号（２００８－９）、２１６－２２２

特許文献１に提案されたクラウニングを有する円すいころ周面の超仕上方法は、フィードドラムの形状を一部変更することで、円筒ころ周面の超仕上にも適用できそうである。
一方、特許文献１に提案された方法は、フィードドラムにおける各案内ねじ面の幅、ねじ底角度が、超仕上する円すいころの形状、大きさに対応するよう決定される。つまり、一対のフィードドラムは、超仕上する円すいころの大きさがそれほど変わらなくとも、周面の母線の傾斜程度、長さが異なればその円すいころには使用できず、超仕上対象の円すいころを変更するたびに、それ用のフィードドラムに取り替えなければならない。

本発明は、上述の問題に鑑みてなされたもので、クラウニングを有する円すいころおよび円筒ころについて、その形状、寸法が異なってもこれらの周面を同じように超仕上できる超仕上方法および超仕上装置を提供することを目的とする。

本発明に係る超仕上方法は、センタレス研磨装置にて断面円形のワーク周面を研磨する際に適用される。その方法は、回転するワークにおける周面の母線方向に、砥石をオシレーションユニットにより高速微振動させながら母線方向の一方から他方に移動させて、円柱状または円錐台状の周面を研磨する。そして、砥石がワークの端面から一定の距離にまで近づいた後、オシレーションユニットを徐々に端面側に傾けることにより、砥石の高速微振動の方向を変化させながら砥石の移動を伴う研磨を継続する。

「周面の母線方向」とは、ワークの周面の大部分を占める円柱状または円錐台状の部分における砥石に接した周面の母線をいう。
この方法では、オシレーションユニットの端面側への傾斜を鉛直方向およびワーク周面の母線方向のいずれにも直交する特定の軸回りに行わせ、オシレーションユニットを徐々に端面側に傾けると同時に特定の軸を降下させる。

「特定の軸」とは、砥石の傾斜が不規則に行われるのではなく、決められた１つの軸回りに行われることの意である。
本発明に係る超仕上装置は、一対のローラ上において断面円形のワーク周面を研磨するものである。
超仕上装置は、オシレーションユニット、トラバース装置、チルト装置および昇降装置を有する。オシレーションユニットは砥石を保持し、これを一方向に高速微振動させる。トラバース装置は、オシレーションユニットを前記一方向に往復移動させる。チルト装置は、トラバース装置を前記一方向および鉛直方向に直交する水平な揺動軸回りに傾斜させる。昇降装置は、オシレーションユニット、トラバース装置およびチルト装置を一体として昇降させる。

ここで「一方向」とは、オシレーションユニットを基準とした特定の一方向であり、砥石がワークの円柱、円錐台部分の周面を研磨しているときは母線方向に一致する。しかし、トラバース装置が傾斜しこれに伴いオシレーションユニットも傾斜して、オシレーションユニットを基準とした特定の一方向はオシレーションユニットの傾斜とともに変化する。したがって「一方向」とは砥石が高速微振動する方向そのものである。

チルト装置および昇降装置は、トラバース装置によりオシレーションユニットが移動する位置に連動してそれぞれが動作するように構成される。
通常は、トラバース装置の往復移動、チルト装置におけるトラバース装置の傾斜、ならびに昇降装置によるオシレーションユニット、トラバース装置およびチルト装置を一体とした昇降が、それぞれ異なるサーボモータにより行われる。

本発明によると、クラウニングを有する円すいころおよび円筒ころについて、その形状、寸法が異なってもこれらの周面を同じように超仕上できる超仕上方法および超仕上装置を提供することができる。

図１は超仕上装置の主要部分の正面図である。 図２はオシレーションユニット及び基台の裏面（背面）図である。 図３はオシレーションユニットの正面図である。 図４はオシレーションユニットの平面図である。 図５はオシレーションユニットの斜視図である。 図６はオシレーションユニットの動きを説明する図である。 図７は円筒ころの周面を超仕上するときのオシレーションユニットの動作を示す図である。図８は円弧補間によるクラウニング部分周面の超仕上における揺動軸の座標を示す図である。 図８はクラウニング部分周面の超仕上における揺動軸の座標を示す図である。

図１は超仕上装置１の主要部分の正面図、図２はオシレーションユニット２および基台１２の裏面（背面）図、図３はオシレーションユニット２の正面図、図４はオシレーションユニット２の平面図、図５はオシレーションユニット２の斜視図、図６はオシレーションユニット２の動きを説明する図である。
超仕上装置１は、大きくはベッド部３および超仕上ユニット４に分けられる。

ベッド部３は、超仕上に関する一連の作業を行う超仕上ユニット４を支える台である。
超仕上ユニット４は、ワーク搬送装置（ワークキャリア）、ローラ装置１１、基台１２および装置本体６からなる。
ワーク搬送装置は、円すいころまたは円筒ころ（これらを「ワーク」という）を超仕上する場所（一対のローラＲ上）に搬送する搬送装置および超仕上後のワークをここから搬出する搬送装置からなる。

ローラ装置１１は、一対のローラＲを備える。ローラＲは、いずれも円錐台の形状を有し、回転軸を平行にして水平に並ぶ。ローラＲは、一方がモータに連結されて回転し他方が他からの働きかけにより回転自在である。ローラＲは、どちらもモータに連結して同方向に回転させても良い。
超仕上装置１は、この一対のローラＲ上で円すいころまたは円筒ころを回転させながらその周面を超仕上する、センタレス研磨装置である。

基台１２は、ベッド部３上で装置本体６を支える。基台１２は、昇降装置１３を備える。
昇降装置１３は、主昇降装置１４および一対のシリンダ装置１５，１５からなる。
主昇降装置１４は、一対のリニアガイド、ボールねじおよびサーボモータ１６で構成される。一対のリニアガイドは、それらのガイドレールが鉛直かつ互いに平行に基台１２に固定されている。ガイドレールをスライドするブロックは、装置本体６（の基部２１）に一体化されている。

ボールねじは、そのナットが装置本体６（の基部２１）に、その軸受けが基台１２に固定され、ねじ軸は、その上端でサーボモータ１６に連結されている。サーボモータ１６は、基台１２に固定されている。主昇降装置１４は、サーボモータ１６が回転することにより、基台１２に対して装置本体６を上下方向に移動させる（図６（ａ））。
シリンダ装置１５，１５は、そのシリンダが基台１２に一体化され、そのロッド端部が装置本体６に一体化されている。シリンダ装置１５，１５は、重量物である装置本体６の上下の移動の際に、主昇降装置１４（サーボモータ１６）の円滑な回転を補助する。つまり、シリンダ装置１５，１５は、重量物である装置本体６を実質的に保持し、サーボモータ１６による位置決め動作を正確に行わせる働きをする。

装置本体６は、基部２１、トラバーサ２２およびオシレーションユニット２からなる。
基部２１は、シリンダ装置１５，１５のロッドに連結され、一対のリニアガイド等により基台１２に対して上下動可能に連結されている。基部２１は、上下に厚板状に拡がる部分を有し、この部分に水平に貫通する揺動支持孔２３を有する。基部２１は、厚板状に水平（図２では横方向）に拡がる先の端縁が上下伸びた円弧を形成し、一方の円弧状端縁に揺動支持孔２３を円弧の中心とする円ラック２４が一体化されている。円ラック２４は、後述するチルト装置２６を構成する。

トラバーサ２２（図５の網掛け部分）は、全体として正面視（図３）において横方向に長い略矩形の形状を有する。
トラバーサ２２は、フレーム、トラバース装置２５およびチルト装置２６を備える。
フレームは、トラバース装置２５、チルト装置２６およびその他のトラバーサ２２を構成する部品を一体に保持するものである。フレームは、背面側（図４の上側）に、揺動支持孔２３にピッタリと嵌り込む揺動軸２７を有する。トラバーサ２２は、揺動軸２７が揺動支持孔２３に嵌め入れられて、基部２１に対して揺動可能であり、基部２１と一緒に基台１２に対して上下動する。

トラバース装置２５は、一対のリニアガイド３１，３１、ボールねじ３２およびサーボモータ３３を有する。リニアガイド３１は、ガイドレール３４およびこれに嵌め入れられて移動可能なブロックからなる。２本のガイドレール３４，３４は、トラバーサ２２において、その略矩形の形状のそれぞれの長辺近傍に互いに平行に配されてフレームに一体化されている。ブロックは、１本のガイドレール３４に複数が嵌め入れられ、フレームではなくオシレーションユニット２に固定されている。リニアガイド３１，３１により、オシレーションユニット２は、トラバーサ２２に対してその矩形形状長手方向に滑らかに往復移動可能である。

ボールねじ３２は、ねじ軸３５が軸受け３６を介して回転可能にフレームに一体化され、そのナット３７がオシレーションユニット２に一体化されている。ねじ軸３５はプーリ３８、タイミングベルト３９を介してサーボモータ３３に連結されている。
サーボモータ３３は、ボールねじ３２のねじ軸３５を回転させることにより、オシレーションユニット２をフレームに対して横移動させる（図６（ｂ））。サーボモータ３３は、その回転が制御されることにより、オシレーションユニット２のガイドレール３４，３４に沿った往復動の各距離、速さがワークに応じて適正化される。

チルト装置２６は、円ラック２４、ピニオン４１、ギヤボックスおよびサーボモータ４２からなる。円ラック２４は、装置本体６の基部２１に一体化されている。ピニオン４１は、円ラック２４の歯に噛み合う歯を有する歯車であり、その回転軸は、２本のガイドレール３４，３４の並び方向および伸びた方向のいずれにも直交する。（したがって、ピニオン４１の回転軸は、略水平である。）
ピニオン４１は、ギヤボックスを介してサーボモータ４２に連結されている。サーボモータ４２は、ギヤボックスとともにフレームに固定されている。サーボモータ４２は、その回転によりピニオン４１に円ラック２４を上下させ、その結果、（オシレーションユニット２が一体化された）トラバーサ２２を揺動させる（図６（ｃ））。

オシレーションユニット２は、ベース部４３、一対のストンヘッド保持部４４，４５およびオシレーション装置４７を有する。
ベース部４３は、ストンヘッド保持部４４，４５およびオシレーション装置等を支持し、リニアガイド３１，３１のブロックが固定された、オシレーションユニット２の基礎となるものである。

ストンヘッド保持部４４，４５は、正面視（図３）において略矩形であって互いに間隔を有して横方向に並び、その細部のそれぞれの形状は面対称である。ストンヘッド保持部４４，４５は、やや奥行きがあり、これらが並ぶ方向に伸びた円柱状の２本のオシレーションシャフト４８，４８が、距離を隔てて平行にこれらを貫通する。
オシレーションシャフト４８，４８の両端はベース部４３に固定され、ストンヘッド保持部４４，４５は、貫通させたオシレーションシャフト４８，４８に沿って移動可能である。

オシレーション装置４７は、偏心カム５１、一対のバネ５２，５２、サーボモータ５３等で構成される。
偏心カム５１は正面視が円形であるが、その回転軸は円の中心から偏っている。偏心カム５１は、その回転軸がオシレーションシャフト４８，４８に直交し（図３の）背面に向けて水平に伸びる。偏心カム５１は、横方向に間隔を有するストンヘッド保持部４４，４５の間かつ２本のオシレーションシャフト４８，４８の間に配される。偏心カム５１は、プーリおよびタイミングベルトを介してサーボモータ５３に連結されている。

偏心カム５１の回転軸とトラバーサ２２の揺動軸２７とは、平行である。
一対のバネ５２，５２は、それぞれが、ストンヘッド保持部４４，４５における偏心カム５１とは反対側の端面とこれに対向するベース部４３との間に設けられる。バネ５２，５２は、いずれもストンヘッド保持部４４，４５をベース部４３から遠ざける方向に、すなわち、いずれも偏心カム５１に向けて付勢する。ストンヘッド保持部４４，４５は、バネ５２，５２によって偏心カム５１に接している。

サーボモータ５３は、高速で偏心カム５１を回転させ、ストンヘッド保持部４４，４５
を高速微振動（オシレーション）させる。超仕上装置１により円筒ころ等を超仕上するときは、超仕上用砥石を備えたストンヘッド７がストンヘッド保持部４４，４５に取り付けられ、ストンヘッド７およびストンヘッド保持部４４，４５が一体となって高速微振動する。

なお、ストンヘッド７は、砥石をワークに押圧するためのエアシリンダを備える。偏心カム５１の回転軸とトラバーサ２２の揺動軸２７とは、図３における鉛直な同一平面上に存在する。
図７は標準部分円弧クラウニングが施された円筒ころの周面を超仕上するときのオシレーションユニット２の動作を示す図であり、図８は円弧補間によるクラウニング部分周面の超仕上における揺動軸２７の座標を示す図である。

図７において、（ａ）は標準部分円弧クラウニングが施された円筒ころ（ワークＷ）の円柱部分周面を超仕上するときの、および（ｃ）はクラウニング部分周面を超仕上するときの、それぞれの装置本体６の姿勢を示す図であり、（ｂ）は（ａ）における円ラック２４とピニオン４１との位置関係を、（ｄ），（ｅ）は（ｃ）（装置本体６が傾いたとき）のにおける円ラック２４とピニオン４１との位置関係を示す図である。

図８において、（ｂ）は揺動軸２７Ｂが砥石Ｓｔの直上に存在すると仮定したときの原点位置Ｐ０（０，０）を基準に求めた超仕上時の揺動軸２７Ｂの移動に伴う座標を示す図、（ｃ）は揺動軸２７が偏心カム５１と同一の鉛直平面上に存在する図１，３のオシレーションユニット２における超仕上時の揺動軸２７の移動に伴う座標を示す図である。
先ず、揺動軸２７Ｂが砥石Ｓｔの直上に存在すると仮定したとき（図８（ｂ））の超仕上における揺動軸２７Ｂの移動を説明する。

ワークＷの超仕上時、オシレーションユニット２はワークＷの軸心方向にゆっくり往復移動しながら同方向（軸心方向）に高速微振動する。オシレーションユニット２をワークＷの軸心方向にゆっくり往復移動させるのは、トラバース装置２５が行う。オシレーションユニット２を高速微振動させるのは、オシレーション装置４７が行う。
オシレーションユニット２は、砥石ＳｔがワークＷの円柱部分を超仕上するとき水平であり（形態は図７（ａ），（ｂ）と同じ）、砥石Ｓｔがクラウニング部分周面を超仕上するときは、その稜線の接線の傾きに応じて揺動軸２７Ｂを中心に傾斜する（形態は図７（ｃ）と同じ）。オシレーションユニット２の傾斜は、チルト装置２６が行う。「稜線」とは、ワークＷをその軸心を含む面で二分割したときの周面が示す線である。

さて、ワークＷの円柱部分の周面の超仕上は、砥石Ｓｔを水平にゆっくり移動させながら高速微振動させる。この動作は、図８（ｂ）において揺動軸２７ＢがＰ１，Ｐ４間に位置するとき行われる。揺動軸２７Ｂは、例えばＰ４からＰ１に向かうときはさらにＰ１を過ぎてＰ２まで水平に移動する。この間砥石Ｓｔは高速微振動する。ここでＰ２は、図８（ｂ）を参照して、クラウニング部分における稜線の曲率中心Ｐｃと稜線におけるクラウニング部分および円柱部分の境Ｐｂとを結ぶ線の延長が、Ｐ０とＰ１とを結ぶ線（水平線）の延長に交わる位置である。

揺動軸２７ＢがＰ１からＰ２に移動（オシレーションユニット２が移動）するとき、チルト装置２６は、オシレーションユニット２を角度０からθ１まで徐々に傾斜させる。オシレーションユニット２の水平移動は制御された（トラバース用）サーボモータ３３が行い、オシレーションユニット２の傾斜は制御された（チルト用）サーボモータ４２が行う。「角度θ１」とは、図８（ｂ）において、クラウニング部分における稜線の曲率中心Ｐｃと稜線におけるクラウニング部分および円柱部分の境Ｐｂとを結ぶ線が、曲率中心Ｐｃと原点Ｐ０とを結ぶ線となす角度である。

オシレーションユニット２は傾斜するのみで高さが変わらず位置Ｐ１から遠ざかると、揺動軸２７ＢとワークＷとの距離が増加する（Ｐ２，Ｐｂ間＞Ｐ１，Ｐｂ間）。この増加分は、ストンヘッド７が備えるエアシリンダが伸張して吸収する。
図８（ｂ）に示すような、揺動軸２７Ｂが位置Ｐ１からＰ２（，Ｐ３）に移動することによる揺動軸２７ＢとワークＷとの距離の増加を防ぐために、位置Ｐ１からの移動により生ずる距離の増加分だけ揺動軸２７Ｂを降下させるようにサーボモータ１６動作させるこ
とも、制御上可能である。

揺動軸２７Ｂ（オシレーションユニット２）が水平に移動しＰ２を超えると、傾斜するオシレーションユニット２は、その水平移動および傾斜を続けながら降下を始める。オシレーションユニット２の降下は、主昇降装置１４におけるサーボモータ１６が行う。
位置Ｐ２から位置Ｐ３までのオシレーションユニット２（揺動軸２７Ｂ）の移動は、ＮＣ工作機械における円弧補間と同様に、円弧Ｐ２－Ｐ３間を複数の点（位置）の集まりとして（トラバース用）サーボモータ３３および（昇降用）サーボモータ１６を制御して行われる。図８（ｂ）には、揺動軸２７Ｂを原点（０，０）としたときの、位置Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３の各座標が表示されている。

これらの座標（位置）は、既知である「ワークＷの円筒部分長さＳ」、「ワークＷのクラウニング部分の曲率半径Ｒ１」、「揺動軸２７Ｂから砥石面までの距離Ｌ１」「ワークＷのクラウニング部分の始まり位置Ｐｂ、その曲率中心Ｐｃおよびその法線を含む平面とワークＷ底面とがなす角度θ１」、ならびに「クラウニング部分の終わり位置、その曲率中心およびその法線の３つを含む平面とワークＷ底面とがなす角度θ２」、によって求められる（図８（ｂ））。

昇降装置１３のサーボモータ１６およびトラバーサ２２のサーボモータ３３による揺動軸２７Ｂの移動は、移動先の座標が決まれば２次元（ｘｙ座標系）における公知の位置制御である。
ところで、図１に示される超仕上装置１は、ストンヘッド７に荒削り用砥石Ｓｔと仕上げ用砥石の２つの砥石備え、揺動軸２７はこれらの間に位置する。したがって、超仕上装置１において、超仕上時の揺動軸２７の位置制御は、揺動軸２７Ｂの仮想位置で求めたその境界位置Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３の各座標を実際の揺動軸２７の位置に修正して（図８（ｃ））、（トラバース用）サーボモータ３３および（昇降用）サーボモータ１６の制御が行われる。

これまで荒削り用砥石ＳｔによりワークＷの（図８における主に）左半分の超仕上を説明したが、ワークの右半分の超仕上における揺動軸２７の水平移動、鉛直移動およびオシレーションユニット２の傾斜についての各境界位置（座標）も、上記と同様にして求めることができる。このときの（トラバース用）サーボモータ３３、（昇降用）サーボモータ１６および（チルト用）サーボモータ４２の動作制御もワークＷ左半分の超仕上と同じである。

上述した（トラバース用）サーボモータ３３、（昇降用）サーボモータ１６および（チルト用）サーボモータ４２の動作を制御してクラウニング部分を超仕上する方法は、標準部分円弧クラウニングを備えた円すいころおよび対数クラウニング形状を有する円筒ころ、円すいころ周面の超仕上に適用できる。
つまり、円筒ころ、円すいころの形状に係る各寸法が明確であれば、それに基づいてオシレーションユニット２の水平移動位置、鉛直移動位置の詳細およびオシレーションユニット２の水平位置に関連づけたオシレーションユニット２の傾きが求められる。そして、これらの関係を用いてサーボモータ１６，３３，４２の動作を制御することにより、超仕上装置１は、どのような形状、大きさの円筒ころ、円すいころであってもその周面の超仕上を行うことができる。超仕上装置１は、制御プログラムにおける境界位置の数値を変更するのみで、部品等を取り替えることなく種々のころの周面の超仕上に対応できる。

その他、超仕上装置１、および超仕上装置１の各構成または全体の構造、形状、寸法、個数、材質などは、本発明の趣旨に沿って適宜変更することができる。

本発明は、センタレス研磨装置により。クラウニングが施された円筒ころおよび円すいころの周面を研磨する場合に利用することができる。

１ 超仕上装置
２ オシレーションユニット
１３ 昇降装置
１６ サーボモータ（昇降用）
２５ トラバース装置
２６ チルト装置
３３ サーボモータ（トラバース用）
４２ サーボモータ（チルト用）
Ｒ ローラ
Ｓｔ 砥石
Ｗ ワーク

Claims (5)

1. センタレス研磨装置にて断面円形のワーク周面を研磨する超仕上方法であって、
   回転する前記ワークにおける周面の母線方向に砥石をオシレーションユニットにより高速微振動させながら前記母線方向の一方から他方に移動させて研磨し、
   前記砥石が前記ワークの端面から一定の距離に近づいた後、
   前記オシレーションユニットを徐々に前記端面側に傾けることにより前記砥石の前記高速微振動の方向を変化させながら前記砥石の移動を伴う研磨を継続する
   ことを特徴とする超仕上方法。
2. 前記オシレーションユニットの前記端面側への傾斜を鉛直方向および前記母線方向のいずれにも直交する特定の軸回りに行わせ、
   前記オシレーションユニットを徐々に前記端面側に傾けると同時に前記特定の軸を降下させる
   請求項１に記載の超仕上方法。
3. 一対のローラ上において断面円形のワーク周面を研磨する超仕上装置であって、
   砥石を保持し一方向に前記砥石を高速微振動させるオシレーションユニットと、
   前記オシレーションユニットを前記一方向に往復移動させるトラバース装置と、
   前記トラバース装置を、前記一方向および鉛直方向に直交する水平な揺動軸回りに傾斜させるチルト装置と、
   前記オシレーションユニット、前記トラバース装置および前記チルト装置を一体として昇降させる昇降装置と、
   を有する
   ことを特徴とする超仕上装置。
4. 前記チルト装置および前記昇降装置が、前記トラバース装置により前記オシレーションユニットが移動する位置に連動してそれぞれ動作するように構成された
   請求項３に記載の超仕上装置。
5. 前記トラバース装置の往復移動がサーボモータにより行われ、
   前記チルト装置における前記トラバース装置の傾斜が別個のサーボモータにより行われ、
   前記昇降装置による前記オシレーションユニット、前記トラバース装置および前記チルト装置を一体とした昇降が更に別個のサーボモータにより行われる
   請求項３または請求項４に記載の超仕上装置。

Images