JP7099482B2 - コイル部品 - Google Patents
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Description
なお、添付図面は、理解を容易にするために構成要素を拡大して示している場合がある。また、構成要素の寸法比率は、実際のものと、または別の図面中のものと異なる場合がある。
コイル22aは、コイル導体31と、引き出し部32,33,34,35,36,37とを有する。
引き出し部35は、その第1端側がビアホールH3を介して絶縁層21cをZ軸方向に貫通することにより引き出し部34と接続されている。引き出し部35は、その第2端側が絶縁層21cの切欠き部C3dに引き出されている。引き出し部35は、切欠き部C3dを介して絶縁層21cをZ軸方向に貫通している。
コイル導体41は、絶縁層21bと絶縁層21cとの間に設けられており、Z軸方向上側から平面視したときに、時計回りに旋回しながら中心に向かって近づいていく平面渦巻状をなしている。すなわち、コイル導体41は、コイル導体31と同じ方向に旋回している。コイル導体41の中心は、Z軸方向から平面視したときに、コイル部品10の中心と一致している。よってコイル導体41は、Z軸方向から平面視したときにコイル導体31と重なっている。
各外部電極14a,14b,14c,14dの電極本体部51は、第1の基板11の底面11a(底面)において、各凹部15a~15dの周囲に形成されている。より詳しくは、外部電極14aの電極本体部51は、凹部15aの周囲に形成されている。外部電極14bの電極本体部51は、凹部15bの周囲に形成されている。外部電極14cの電極本体部51は、凹部15cの周囲に形成されている。外部電極14dの電極本体部51は、凹部15dの周囲に形成されている。
図3に示すように、複数の金属層は、第1金属層61と、第2金属層62と、第3金属層63と、第4金属層64と、第5金属層65とを含む。ここで、各外部電極14a,14b,14c,14dの接続部52は、各外部電極14a,14b,14c,14dの電極本体部51と同一の積層構造である。すなわち、電極本体部51が第1金属層61と、第2金属層62と、第3金属層63と、第4金属層64と、第5金属層65を備える場合、接続部52も同様に第1金属層61と、第2金属層62と、第3金属層63と、第4金属層64と、第5金属層65を備えている。
図9に示すように、マザー積層体M13内のコイル導体31,41との位置合わせを行って、マザー基板M11の底面M11a上にフォトレジストPR1の凹部15a,15b,15c,15dに対応する位置を露光する。このとき、凹部15a~15d以外の部位にマスクMkを配置することで、前述のようにフォトレジストPR1の凹部15a,15b,15c,15dに対応する位置を露光できる。マザー積層体M13は積層体13となるものであって、第1の基板11となるマザー基板M11と、第2の基板12となるマザー基板M12との間に配置される。以下では、マザー基板M11、マザー基板M12及びマザー積層体M13とで構成されたものをマザー本体Mとして説明する。マザー積層体M13は、コイル導体31,41に加え、引き出し部32~37,42~46となる導体部M13aを含む。
次に、図13に示すように、マザー本体M(マザー基板M11)の底面M11aの全面に対して、第1金属層61及び第2金属層62をスパッタ工法により成膜する。
次に、図16に示すように、フォトレジストPR2をフォトレジストPR1と同様に有機溶剤により除去する。そして、例えばウェットエッチング等により、第3金属層63から露出する第1金属層61及び第2金属層62を除去する。
次に、図18に示すように、マザー本体Mから各コイル部品10毎の大きさとなるように切断線CL上で切断する。これにより、マザー積層体M13の導体部M13aが各引き出し部32~37,42~46となる。切断後、バレル研磨等による面取りを実施する。このとき、本例の第3金属層63は、短辺側稜線部71から離れた位置に形成されるため、第3金属層63が短辺側稜線部71に沿って伸びることが抑制される。
(1)底面11aにおいて底面11aと側面11c,11dとの間の短辺側稜線部71から離れた位置に下地層としての第1金属層61が形成されるため、バレル研磨等により第1金属層61が短辺側稜線部71に沿って伸びることが抑えられる。第1金属層61の短辺側稜線部71に沿った伸びが抑制されることで当該部位における応力集中を抑えることができる。このため、当該部位周辺における第1の基板11の割れや外部電極14a,14b,14c,14dのクラックの発生を抑えることができる。
(6)複数の金属層61~65は、低抵抗層を構成する第3金属層63上に被膜層としての第4金属層64を有する。第3金属層63において短辺側稜線部71に沿った伸びが抑制されることで第4金属層64においても同様に短辺側稜線部71に沿った伸びが抑制される。
なお、上記実施形態は、以下のように変更して実施することができる。上記実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施することができる。
・上記実施形態では、コイル部品10は4つの外部電極14a,14b,14c,14dを有する構成としたが、これに限らない。6つの外部電極を有する構成を採用してもよい。この場合、コイル部品10の長手方向(X軸方向)に並ぶ外部電極14aと外部電極14cとの間に1つの外部電極を有し、コイル部品10の長手方向(X軸方向)に並ぶ外部電極14bと外部電極14dとの間に1つの外部電極を有する。
・上記実施形態では、接続部52を電極本体部51と同一の積層構造としたが、これに限らず、接続部と電極本体部とを異なる積層構造としてもよい。例えば、接続部と電極本体部とで積層数が異なっていてもよい。
Claims (9)
- 長辺と短辺とを有する長方形状の底面と、前記底面と反対側に位置する上面と、前記底面と前記上面とを繋ぐ長辺側の側面と短辺側の側面とを有する磁性体基板と、
前記上面上に形成された絶縁層及び前記絶縁層内に形成されたコイルを有する積層体と、
前記底面に設けられた外部電極と、
を備え、
前記磁性体基板は、前記底面の角部に設けられた凹部を有し、
前記外部電極は、前記底面において前記凹部の周囲に設けられた電極本体部を有し、
前記電極本体部は、複数の金属層が積層されてなり、前記複数の金属層の内で前記積層体の積層方向において最も内側に位置する下地層を有し、
前記下地層は、前記底面において、前記底面と前記短辺側の側面との間の短辺側稜線部から離れた位置に形成されている、コイル部品。 - 前記複数の金属層は、前記下地層上に前記下地層よりも電気的抵抗が低い低抵抗層を有し、
前記低抵抗層は、前記底面において、前記短辺側稜線部から離れた位置に形成されている、請求項1に記載のコイル部品。 - 前記外部電極は、前記凹部に設けられ、前記コイルと前記電極本体部とを電気的に接続する接続部を更に有する、請求項1又は請求項2に記載のコイル部品。
- 前記接続部は、前記電極本体部と一体に構成され、前記電極本体部から前記凹部と前記短辺側の側面との間の凹部稜線部上まで形成されている、請求項3に記載のコイル部品。
- 前記接続部は、前記電極本体部と同一の積層構造である、請求項3又は請求項4に記載のコイル部品。
- 前記複数の金属層は、前記低抵抗層上に被膜層を有する、請求項2又は請求項2を引用する請求項3から請求項5の何れか1項に記載のコイル部品。
- 前記低抵抗層は、銅を含む金属層であり、
前記被膜層は、ニッケルを含む金属層を有する、請求項6に記載のコイル部品。 - 前記積層体上に形成された磁性層を更に有し、
前記磁性体基板と前記積層体と前記磁性層とを積層した積層物とした場合に、前記積層物は積層方向の長さが0.23mm以下、前記積層方向と直交する方向の内で前記短辺に沿った方向の長さが0.3mm以下、前記積層方向と直交する方向の内で前記長辺に沿った方向の長さが0.45mm以下である、請求項1から請求項7の何れか1項に記載のコイル部品。 - 前記凹部と前記短辺に沿った方向において隣り合う前記電極本体部の内で、前記凹部から前記短辺に沿った方向において離れた位置の端部を遠方端部とした場合に、
前記凹部と前記遠方端部との前記短辺に沿った方向における距離が、25μm以下である、請求項1から請求項8の何れか1項に記載のコイル部品。
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012114363A (ja) | 2010-11-26 | 2012-06-14 | Tdk Corp | 電子部品 |
JP2017112130A (ja) | 2015-12-14 | 2017-06-22 | 株式会社村田製作所 | 電子部品及びその製造方法 |
JP2017152500A (ja) | 2016-02-24 | 2017-08-31 | Tdk株式会社 | コイル部品 |
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