JP7099279B2 - 波長チェッカー - Google Patents

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Description

本発明は、波長チェッカーに関し、より具体的には、PONシステムの開通・故障切り分け調査における信号光の確認など行う波長チェッカーに関する。
光通信システムのアクセス系PON(Passive Optical Network)システムでは、波長1.3μmと波長1.5~1.6μmとなど、波長が比較的離れた複数の光を同時に用いることがある。
非特許文献1によると、すでに導入されているGE-PON(G-PON)システムでは、ユーザから局舎への信号(上り信号)として、1260nm~1360nm(G-PONにおいてはRegular帯域のみ記載)の波長が用いられている。また、G-PONシステムでは、局舎からユーザへの信号(下り信号)として、1480nm~1500nmの波長が用いられ、下りの映像信号としては、1550nm~1560nmの波長が用いられている。
今後、導入される予定の10G-EPON(XG-PON)システムも同様に、波長1.3μmと波長1.5~1.6μmの波長が用いられる。最近標準化が完了したNG-PON2システムでは、上り信号が1524nm~1544nm(Wide帯域)、下り信号が1596nm~1603nm、下りの映像信号が1550nm~1560nmの波長が用いられている。なお、オプションのPtPWDM(Point To Point Wavelength Division Multiplex)オーバーレイは、説明を省略する。このシステムでは、GE-PON(G-PON)、10G-EPON(XG-PON)と異なり、波長多重が行われる。これらの波長配置を、図27に示す。
ところで、GE-PONなどのPONシステムでは、開通試験において、光パワーを確認している。今後、GE-PONから10G-EPONへの移行時には、より多くの様々な波長が用いられるようになる。このような状況における試験では、波長が確認できれば信号の種類が判別でき、故障の切り分けが容易となり、作業効率を上げられる可能性がある。
特開平10-104446号公報 特開2017-32950号公報
胡間 遼 他、「PONシステムのさらなる高速化に関する標準化動向」、NTT技術ジャーナル、2017年8月号、51-53頁。 高橋 浩 他、「WDM用アレイ導波路回折格子」、NTT R&D、 vol. 46、no. 7、685-692頁、1997年。 H. Takahashi et al., "Transmission Characteristics of Arrayed Waveguide N×N Wavelength Multiplexer", Journal of Lightwave Technology, vol. 13, no. 3, pp. 447-455, 1995. H. Ishikawa et al., "Pluggable Photonic Circuit Platform Using a Novel Passive Alignment Method", The Japan Society of Applied Physics, 22nd Microoptics Conference, D-6, pp. 84-85, 2017. K. Shikama et al., "Pluggable photonic circuit platform for single-mode waveguide connections using novel passive alignment method", Japanese Journal of Applied Physics, vol. 57, 08PC03, 2018. 河野健治 著、「光デバイスのための光結合系の基礎と応用」、現代工学社、初版、1991年。 H. Takahashi et al., "Wavelength Multiplexer Based on SiO2-Ta2O5 Arrayed-Waveguide Grating", IEEE Journal of Lightwave Technology, vol. 12, no. 6, pp. 989-005, 1994.
ところで、波長を測定する手段としては、光スペクトラムアナライザがある。しかしながら、光スペクトラムアナライザは、回折格子を動かして得られる回折光を検出器で検知するための可動部分があるため、装置が大きく、重量が大きいため、可搬性に難があった。また、一般に100Vの電源が必要であるといった欠点もあった。このように、従来では、PONシステムの開通・故障切り分け調査において信号光が来ているかどうかの確認などが、容易に実施できないという問題があった。
本発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、PONシステムの開通、故障切り分けなどにおける信号光の有無の確認などが、容易に実施できるようにすることを目的とする。
本発明に係る波長チェッカーは、光導波路チップと近赤外光を可視光に変換する変換材料から構成された光変換部を備える波長チェッカーにおいて、光ファイバーと接続している側の光導波路チップがアレイ導波路回折格子を含み、かつ主基板の上に搭載されており、主基板上に支持部が固定されており、支持部は外部空間に光を出力する側の光導波路チップの光出射端面と対向する位置にあり、光変換部は光出射端面に面している支持部の側面に備えられる。
上記波長チェッカーにおいて、光導波路チップは2層に積層され、光導波路チップが基板及び基板上のコアとクラッドもしくは基板及び基板上のクラッドから構成され、クラッド側を光導波路チップの表面と定義すると、積層されている上下層の光導波路チップの表面を対向させ、下層側の光導波路チップを親光導波路チップ、上層側の光導波路チップを子光導波路チップと定義すると、親光導波路チップが1個あり、子光導波路チップが複数あり、親光導波路チップのクラッド部分に複数の第1溝が形成され、子光導波路チップのクラッド部分に複数の第2溝が形成され、数の第1溝の各々は、一部が親光導波路チップから突出した形で複数のスペーサ部材が嵌合し、子光導波路チップの第2溝の各々は、いずれかの複数のスペーサ部材の突出した部分と嵌合し、光ファイバーと接続している側の子光導波路チップは、アレイ導波路回折格子を含み、他の子光導波路チップは直線導波路群もしくはアレイ導波路回折格子の少なくとも一方を含み、親光導波路チップは主基板上に固定されている。
上記波長チェッカーの一構成例において、スペーサ部材は、光ファイバーから構成されている。
上記波長チェッカーの一構成例において、光導波路チップの基板がSi基板であり、コアとクラッドが石英系ガラスで構成されている。
上記波長チェッカーの一構成例において、子光導波路チップの光変換部の側の端面は、親光導波路チップの光変換部の側の端面と同一の位置とされている、または、親光導波路チップの光変換部の側の端面より光変換部の側に配置されている。
上記波長チェッカーの一構成例において、子光導波路チップは、光の入力方向に沿って縦列に並んで配置されている。
上記波長チェッカーの一構成例において、光ファイバーに接続している側の子光導波路チップに含まれるアレイ導波路回折格子において、アレイ導波路回折格子が入力導波路、入力側スラブ導波路、複数のアレイ導波路、出力側スラブ導波路、複数の出力側導波路から構成され、入力側スラブ導波路と複数のアレイ導波路と出力側スラブ導波路は、平面視の形状が、入力側スラブ導波路と出力側スラブ導波路の中心とを結ぶ線分の中点を通りこの線分に垂直な直線を中心に線対称となるように形成され、入力導波路が、主入力導波路と副入力導波路からなり、出力側スラブ導波路に複数の出力導波路が接続する部分の接続間隔をΔxoutとすると、主入力導波路と副入力導波路が入力側スラブ導波路に接続する部分の接続間隔がΔxout/2である。
上記波長チェッカーの一構成例において、変換材料はフォスファーである。
以上説明したように、本発明によれば、赤外光を可視光に変換する変換材料から構成された光変換部を、導波路チップの複数の第1出力導波路の出力側に、複数の第1出力導波路より出射される出射光を受光可能に配置したので、PONシステムの開通、故障切り分けなどにおける信号光の有無の確認などが、容易に実施できるという優れた効果が得られる。
図1は、本発明の実施の形態1に係る波長チェッカーの構成を示す平面図である。 図2Aは、本発明の実施の形態1に係る波長チェッカーの一部構成を示す断面図である。 図2Bは、本発明の実施の形態1に係る波長チェッカーの一部構成を示す断面図である。 図2Cは、本発明の実施の形態1に係る波長チェッカーの一部構成を示す断面図である。 図3は、アレイ導波路回折格子の構成を示す平面図である。 図4は、光導波路チップ101におけるアレイ導波路回折格子の透過スペクトルの計算結果を示す特性図である。 図5Aは、本発明の実施の形態2に係る波長チェッカーの構成を示す斜視図である。 図5Bは、本発明の実施の形態2に係る波長チェッカーの一部構成を示す側面図である。 図5Cは、本発明の実施の形態2に係る波長チェッカーの一部構成を示す平面図である。 図6Aは、本発明の実施の形態2に係る波長チェッカーの一部構成を示す斜視図である。 図6Bは、本発明の実施の形態2に係る波長チェッカーの一部構成を示す断面図である。 図7Aは、本発明の実施の形態2に係る波長チェッカーを構成する子光導波路チップの製造方法を説明するための断面図である。 図7Bは、本発明の実施の形態2に係る波長チェッカーを構成する子光導波路チップの製造方法を説明するための断面図である。 図7Cは、本発明の実施の形態2に係る波長チェッカーを構成する子光導波路チップの製造方法を説明するための断面図である。 図7Dは、本発明の実施の形態2に係る波長チェッカーを構成する子光導波路チップの製造方法を説明するための断面図である。 図7Eは、本発明の実施の形態2に係る波長チェッカーを構成する子光導波路チップの製造方法を説明するための断面図である。 図8は、本発明の実施の形態2に係る波長チェッカーの光変換部近傍の構成を示す断面図である。 図9は、式(7)をプロットした特性図である。 図10は、本発明の実施の形態2に係る他の波長チェッカーの一部構成を示す平面図である。 図11は、本発明の実施の形態2に係る他の波長チェッカーの一部構成を示す平面図である。 図12は、子光導波路チップ121aにおけるアレイ導波路回折格子の透過スペクトルの計算結果を示す特性図である。 図13は、光導波路チップ101のアレイ導波路回折格子の透過スペクトルの計算結果を示す特性図である。 図14は、図12に示すスペクトルと図13に示すスペクトルを合成したスペクトルを示す特性図である。 図15は、本発明の実施の形態3に係る波長チェッカーの一部構成を示す平面図である。 図16Aは、本発明の実施の形態3に係る波長チェッカーの一部構成を示す平面図である。 図16Bは、本発明の実施の形態3に係る波長チェッカーの一部構成を示す平面図である。 図17Aは、光導波路チップ101aの主入力導波路106aから入力されてアレイ導波路回折格子を透過するスペクトルの計算結果を示す特性図である。 図17Bは、光導波路チップ101aの副入力導波路106bから入力されてアレイ導波路回折格子を透過するスペクトルの計算結果を示す特性図である。 図18は、図17Aに示すスペクトルと図17Bに示すスペクトルを合成したスペクトルを示す特性図である。 図19は、本発明の実施の形態4に係る波長チェッカーの一部構成を示す平面図である。 図20は、光導波路チップ101a+子光導波路チップ121aの透過スペクトルの計算結果を示す特性図である。 図21は、光導波路チップ101aのポート7の透過スペクトルの計算結果を示す特性図である。 図22は、光導波路チップ101aの出力導波路107のポート7に子光導波路チップ121aの第2入力導波路128が接続している場合の、光導波路チップ101aと子光導波路チップ121aとを透過するスペクトルの計算結果を示す特性図である。 図23は、光導波路チップ101aのポート6の透過スペクトルの計算結果を示す特性図である。 図24は、光導波路チップ101aのアレイ導波路回折格子には、副入力導波路106bから光を入れ、光導波路チップ101aの出力導波路107のなかでポート6に、子光導波路チップ121aの第2入力導波路128が接続している構成における光導波路チップ101aと子光導波路チップ121aとを透過するスペクトルの計算結果を示す特性図である。 図25は、図20のスペクトル、図22のスペクトル、図24のスペクトルを合成したスペクトルを示す特性図である。 図26は、本発明の実施の形態5に係る波長チェッカーの一部構成を示す平面図である。 図27は、NG-PON2、10G-EPON(XG-PON)、GE-PON(G-PON)の波長配置の関係を説明するための説明図である。
以下、本発明の実施の形態に係る波長チェッカーについて説明する。
[実施の形態1]
はじめに、本発明の実施の形態1に係る波長チェッカーについて、図1を参照して説明する。
この波長チェッカーは、光導波路チップ101を備える。光導波路チップ101には、公知のアレイ導波路回折格子が形成されている(特許文献1参照)。このアレイ導波路回折格子は、第1アレイ導波路103、第1入力側スラブ導波路104、第1出力側スラブ導波路105、第1入力導波路106、および第1出力導波路107を備える。図1では、波長チェッカーの平面を示している。なお、符号151は、主基板、符号109は支持部、符号102は近赤外光を可視光に変換する変換材料から構成された光変換部である。また、符号161はファイバーブロック、符号162は光ファイバー、符号163はコネクターである。
第1アレイ導波路103は、一定の光路長差を有する複数の導波路から構成されている。第1アレイ導波路103は、隣り合う2つの導波路の光路長差が一定とされている。第1入力側スラブ導波路104は、第1アレイ導波路103の光入力端に接続されている。第1出力側スラブ導波路105は、第1アレイ導波路103の光出力端に接続されている。第1入力導波路106は、第1入力側スラブ導波路104の入力側に接続されている。第1出力導波路107は、複数設けられ、第1出力側スラブ導波路105の出力側に接続されている。
また、この波長チェッカーは、赤外光を可視光に変換する変換材料から構成された光変換部102を備える。光変換部102は、光導波路チップ101の複数の出力導波路107の出力側に、複数の出力導波路107より出射される出射光を受光可能に配置されている。光変換部102は、複数の出力導波路107が配列されている方向に延在して形成されている。光変換部102は、例えば、複数の出力導波路107の配列の一端側から他端側にかけて延在している。
変換材料は、例えば、近赤外光を可視光に変換するりん光体または蛍光体である。変換材料を、例えば、熱硬化型のシリコーン樹脂に混合し、加熱して硬化させることで光変換部102とすることができる。例えば、「Lumitek International」社製のフォスファー(Phosphor)を用いることができる。例えば、変換材料には、感度が700nm~1700nmにあるものもある。
実施の形態1における波長チェッカーによれば、アレイ導波路回折格子により波長毎に分波され、第1出力導波路107を導波して出力端108より出射した近赤外光が、光変換部102に到達すると、可視光が発生する。発生した可視光は、出力端108より出射した近赤外光の入射方向に限らず、等方的に広がり、様々な方向から目視可能である。また、可視光は、出射した近赤外光が到達した箇所より発生するため、可視光が発生した箇所より、近赤外光が出射した第1出力導波路107が特定可能である。各々の第1出力導波路107に、分波されて導波する近赤外光の波長は既知であるので、可視光が発生した(目視された)箇所を確認することで、波長の確認が可能となる。
ここで、図2Aに示すように、第1入力側スラブ導波路104は、例えばSiからなるSi基板111の上に形成された下部クラッド層112と、下部クラッド層112の上に形成されたコア部104aと、コア部104aの上に形成された上部クラッド層113とから構成されている。なお、図2Aは、図1のaa’線における断面を示している。また、図2Aでは、Si基板111の下にある主基板151は省略している。
また、図2Bに示すように、第1アレイ導波路103は、Si基板111の上に形成された下部クラッド層112と、下部クラッド層112の上に形成された複数のコア部103aと、複数のコア部103aの上に形成された上部クラッド層113とから構成されている。なお、図2Bは、図1のbb’線における断面を示している。例えば、Si基板111は、シリコン基板であり、各クラッド層は、石英系ガラスから構成され、コア部103a、コア部104aは、石英系ガラスから構成されている。なお、図2Bでは、Si基板111の下にある主基板151は省略している。
また、図2Cに示すように、光変換部102は、支持部109において光導波路チップ101の出力端面108に向かい合った側面に形成されている。なお、支持部109は主基板151に固定されている。図2Cは、図1のcc'線における断面を示している。
ここで、アレイ導波路回折格子についてより詳細に説明する。以下では、第1アレイ導波路103が、8本の導波路から構成され、8本の第1出力導波路107を備える場合を例に説明する(図1では11本の導波路から構成されるように記載しているが、実際はもっと多い)。このアレイ導波路回折格子は、第1入力導波路106に入力された多重された8波長の光が、8出力に分岐される。
まず、第1入力導波路106に入力された多重光は、第1入力側スラブ導波路104で回折して広がり、これらの各々が、第1アレイ導波路103の各導波路に結合して導波する。第1アレイ導波路103は、図1の紙面上側(外側)では光路長が長く、図1の紙面下側(内側)にいくに従い、等距離で光路長が短くなっている。第1アレイ導波路103の終端では、第1アレイ導波路103の外側から内側の導波路に沿って位相差がつく。したがって、第1出力側スラブ導波路105に入射した際には、スラブ導波路の形状により生じた扇型の等位相面の傾きが波長によって変わり、波長ごとに、対応する第1出力導波路107に集光(光学的に結合)するようになる。これらの結果、アレイ導波路回折格子によれば、波長が多重した光を、波長毎に分岐(分波)することができる。
なお、一般に用いられているアレイ導波路回折格子は、図3に示すように、アレイ導波路501が、平面視で円弧のように1カ所で屈曲している。なお、図3において、符号502は、入力側スラブ導波路、符号503は、出力側スラブ導波路、符号504は、入力導波路、符号505は、出力導波路をそれぞれ示している。これに対し、実施の形態におけるアレイ導波路回折格子では、第1アレイ導波路103が、平面視で複数の箇所で屈曲し、平面視でカモメの翼のような形状としている。この点については、後述する。
以下、実施の形態におけるアレイ導波路回折格子の、第1アレイ導波路103を構成する各導波路の光路長について詳細に説明する。第1アレイ導波路103における隣り合う導波路の光路長差をΔLとすると、アレイ導波路回折格子の中心波長λ0は、以下の式(1)で表される。中心波長λ0は、通常アレイ導波路回折格子の出力ポートの中央のポートの透過中心波長である。なお、式(1)において、ncはアレイ導波路の実効屈折率、mは回折次数を表す。
この例では、図1の紙面上側より、最も上段の第1出力導波路107の出力端をポート1、2段目の第1出力導波路107の出力端をポート2、3段目の第1出力導波路107の出力端をポート3、4段目の第1出力導波路107の出力端をポート4、5段目の第1出力導波路107の出力端をポート5、6段目の第1出力導波路107の出力端をポート6、7段目の第1出力導波路107の出力端をポート7、8段目の第1出力導波路107の出力端をポート8とする。
Figure 0007099279000001
また、アレイ導波路回折格子のフリースペクトラルレンジ(FSR)は、以下の式(2)で表される。
Figure 0007099279000002
なお、式(1)、式(2)に関しては、非特許文献2、非特許文献3を参照されたい。
例えば、アレイ導波路回折格子のフリースペクトラルレンジ(FSR)を波長1250nm~1650nmの400nm以上にとり、中心波長λ0を1450nm、波長間隔を50nm、第1出力導波路107を8本に設計すると、前述したアクセス系PONシステムの全波長領域がカバーできることになる。この場合、FSRの中心波長は1450nmであるから、式(2)から、回折次数mを1~3のいずれかに設定すればよいことになる。
ここで、(1)式より、光路長差ΔLは、μmオーダの微小な長さになり、第1アレイ導波路103が、1カ所のみで屈曲する円弧構造では実現できなくなる。このため、実施の形態では、第1アレイ導波路103を、平面視で中央部とこの両脇の部分(両脇部)との複数の箇所で屈曲する構造としている。このように、屈曲箇所を複数設けることで、第1アレイ導波路103の異なる屈曲箇所で、図1の紙面上側(外側)から図1の紙面した側(内側)へかけての光路長の変化を逆転させることができる。
例えば、第1アレイ導波路103を、中央部では、平面視で外側に凸となるように屈曲させ、中央部を挾む両脇部では、平面視で内側に凸となるように屈曲させる。この構成とすることで、第1アレイ導波路103の中央部では、外側(図1の紙面上側)へ行くほど光路長が長くなるが、両脇部は、外側へ行くほど光路長が短くなる。第1アレイ導波路103の中央部における隣り合う導波路間の光路長差と、両脇部における隣り合う光路長差とを異なる値とし、中央部と両脇部とで光路長の変化をある程度相殺させることで、第1アレイ導波路103の全体における微小な長さの光路長差が設定できるようになる。上述した光路長差の詳しい設計は、特許文献1に記載されている。
アレイ導波路回折格子(光導波路チップ101)の透過スペクトルの関数は、ガウス関数で表される。計算の結果例について、図4に示す。出力ポート1の透過中心波長は、1275nmである。出力ポート2の透過中心波長は、1325nmである。出力ポート3の透過中心波長は、1375nmである。出力ポート4の透過中心波長は、1425nmである。出力ポート5の透過中心波長は、1475nmである。出力ポート6の透過中心波長は、1525nmである。出力ポート7の透過中心波長は、1575nmである。出力ポート8の透過中心波長は、1625nmである。
透過スペクトルの関数について説明する。アレイ導波路回折格子の透過関数は、損失を無視すれば、式(3)で表すことができる(非特許文献3参照)。
Figure 0007099279000003
式(3)において、δfは透過中心周波数からの偏差、Δxは第1出力側スラブ導波路105に接続している第1出力導波路107の中心位置の間隔、Δfは隣り合うチャンネル間の中心周波数の間隔、ω0はスポットサイズである。
ここで、δλを透過中心波長からの偏差、Δλを隣り合うチャンネル間の中心波長の間隔とすると以下の(4)式が成り立ち、式(4)を式(3)に代入すると、式(5)が得られる。周波数領域で表されている式(3)が、式(5)により波長領域で表される。
Figure 0007099279000004
図4は、アレイ導波路回折格子の各チャンネルの透過スペクトルを、式(5)を用いて計算した結果を示している。なお、ガウス関数の急峻さを表すパラメータΔx/ω0は、アレイ導波路回折格子の設計時に調整することができ、このパラメータΔx/ω0は、実施の形態では4.5としている。
ところで、1250nm~1650nmと波長領域が広いので、導波路を構成する石英ガラス中のOH基の吸収により、1380nm近傍の損失などがこの設計のアレイ導波路回折格子にはある。しかしながら、この波長帯は伝送に用いていないので、このアレイ導波路回折格子の動作特性に影響はない。図4に示す計算結果は、導波路を構成する石英ガラス中のOH基の吸収に関する計算を考慮していない。
また、上述したアレイ導波路回折格子は、チャンネル間隔が50nmあるが、石英系導波路を用いた干渉型のフィルタの分波波長の温度依存性は、0.01nm/℃である。屋内・屋外での使用環境温度変化が-5℃から35℃の40℃としても、上述した温度依存性より波長変動は約0.4nmに相当し、隣り合うチャンネル間隔の1/100以下であり、分波特性に影響はない。したがって、上述したアレイ導波路回折格子を実際に使用する際には、ペルチェ素子などを用いて温調をかける必要はない。
また、石英系導波路では、透過スペクトルのTE/TM偏波依存性が0.1~0.2nm程度あるが、本アレイ導波路回折格子は、隣り合うチャンネル間隔=分解能が50nmと大きいので、偏波依存性は無視できる。
[実施の形態2]
次に、本発明の実施の形態2に係る波長チェッカーついて、図5A,図5B,図5Cを参照して説明する。
この波長チェッカーは、光導波路チップ101を備える。光導波路チップ101は、前述した実施の形態1と同様である。また、この波長チェッカーは、光導波路チップ101に並んで配置され、出射光を導波する光導波路を備える光導波路チップ121を備える。光導波路チップ121には、複数の直線光導波路が形成されている。例えば、光導波路チップ101の8本の出力導波路に対応し、光導波路チップ121には、8本の直線光導波路が形成されている。また、光導波路チップ101の8本の出力導波路の出力端の間隔と同じ1mm間隔で、8本の直線光導波路が配列されている。
実施の形態2において、光変換部102の出射光が照射される面は、出射光が外部に出力される光導波路チップ121の出力端に向かい合って配置されている。光変換部102は、前述した実施の形態1と同様である。また、光導波路チップ121は、導波方向に光導波路チップ101に直列に並んで配置されている。
また、実施の形態2では、光導波路チップ101、光導波路チップ121は、光導波路チップ141の上に搭載されている。つまり、2層に積層されている。下の光導波路チップを親光導波路チップ、上の光導波路チップを子光導波路チップと定義する。従って、以下では、子光導波路チップ101、子光導波路チップ121、親光導波路チップ141と呼んでいく。親光導波路チップ141は、平面光波回路が形成されていても、光回路が何もなくても(Si基板の上はクラッドガラスのみである)よい。子光導波路チップ101、光導波路チップ121は、各々の光導波路(平面光波回路)が形成されている面(クラッドガラスのある方の面)を、親光導波路チップ141(のクラッドガラスのある面)に向け、図示しないスペーサを介して親光導波路チップ141の上に搭載されている。ここで、光を通そうとする光導波路チップは子光導波路チップである。クラッドガラスのある面を表面とすると、子導波路チップは上から目視するとSi基板のある裏面が見えていることになる。つまり、子光導波路チップにおいて、コアとクラッドで構成される光回路の部分が下側に来るようになっている。また、親光導波路チップ141は、主基板151の上に搭載されている。例えば、親光導波路チップ141は、主基板151の上に接着剤で接着されて固定されている。また、子光導波路チップ101、子光導波路チップ121は、光の入力方向に沿って縦列に並んで配置されている。
また、光変換部102は、主基板151の上に固定された支持部109に支持されている。例えば、子光導波路チップ121の出力端の面に向かい合う支持部109の側面に、赤外光を可視光に変換する変換材料を塗布することで、光変換部102が形成できる。
なお、子光導波路チップ101の入力導波路端には、ファイバーブロック161が接続されている。ファイバーブロック161には、確認対象の光信号を入力するためのコネクター163が設けられた光ファイバー162が接続している。なお、ファイバーブロック161と子光導波路チップ101の入力導波路との調芯には、別途、コネクター付光ファイバー(不図示)が用いられる。また、子光導波路チップ101は、図示しないスペーサを介して親光導波路チップ141に接着剤で接着されて固定されている。一方、子光導波路チップ121は、半固定の状態で、親光導波路チップ141から着脱可能とされ、入れ替え可能とされている。
ここで、親光導波路チップ141の上における子光導波路チップ101、子光導波路チップ121の位置決めについて、図6A,図6Bを参照して説明する。まず、親光導波路チップ141には、複数の第1溝131が形成され、子光導波路チップ101および子光導波路チップ121の各々は、第2溝132が形成されている。また、複数の第1溝131の各々は、一部が親光導波路チップ141から突出した形で複数のスペーサ部材171が嵌合している。また、子光導波路チップ101の第2溝132および子光導波路チップ121の第2溝132の各々も、いずれかの複数のスペーサ部材171の突出した部分と嵌合している。なお、第2溝132の位置は、子光導波路チップ101および子光導波路チップ121の導波路部分(コア)部分を避けて配置されている。溝の数は通常、3個以上あればよい。
第1溝131は、親光導波路チップ141のクラッド層143に形成される。第1溝131は、クラッド層143を貫通し、基板142に到達して形成される。同様に、第2溝132は、子光導波路チップ121のコア123を備えるクラッド層124に形成される。第2溝132は、クラッド層124を貫通し、基板122に到達して形成される。
第1溝131および第2溝132は、公知フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術(反応性イオンエッチングなど)により形成できる。フォトリソグラフィ技術で形成したマスクパターンをマスクとし、基板142をエッチング停止層としてクラッド層143をエッチングすることで、第1溝131を形成する。同様に、フォトリソグラフィ技術で形成したマスクパターンをマスクとし、基板122をエッチング停止層としてクラッド層124をエッチングすることで、第2溝132を形成する。
このように形成される、第1溝131および第2溝132の設計に対する面方向の位置の精度(ずれ量)は、マスクパターンの位置精度、およびエッチング時の位置のずれ量で決定される。よく知られているように、マスクパターンの位置精度は、サブミクロン以下であり、反応性イオンエッチングにおける位置ずれもサブミクロン以下である。したがって、第1溝131および第2溝132が形成される面方向の位置は、設計に対して1μm以下となる。
また、第1溝131の深さは、クラッド層143の厚さで決定され、第2溝132の深さは、クラッド層124の厚さで決定される。クラッド層143の厚さの精度、クラッド層124の厚さの精度は、例えば、よく知られたガラス堆積技術により、サブミクロンオーダで定まる。また、クラッド層124に埋め込まれるコア123の厚さ方向の位置も同様である。
ここで、スペーサ部材171は、例えば、光ファイバーを所定の長さに切断することで形成可能であり、各々のスペーサ部材171の直径の精度は、サブミクロンオーダで決定することができる。したがって、子光導波路チップ121の厚さ方向の位置精度も、1μm以内で定まる。
以上のことより、親光導波路チップ141の上に搭載されている子光導波路チップ101と、子光導波路チップ121とは、対応する光導波路のコア中心同の位置を、正確に一致させることができる。なお、一般に、上述したような親光チップの上に搭載する複数の子チップ間の位置合わせは、各チップに反りが生じていない条件で行っている。なお、より詳しい説明は、特許文献2、非特許文献4、非特許文献5を参照されたい。この光学実装形態は、PPCP(Pluggable Photonic Circuit Platform)と呼ばれている。PPCPにより実装される子光導波路チップ121は、着脱可能であるという特徴がある。このため、様々な機能の子光導波路チップ121を入れ替えて用いることができ、柔軟に様々な機能を持たせることができる。いわば、PPCPは、電子ブロックの光回路(光チップ)版のような特徴を持つとも言える。
次に、子光導波路チップ121の製造について、図7A~図7Eを参照して説明する。
まず、図7Aに示すように、Siからなる基板122を用意する。次に、図7Bに示すように、基板122の上に、下部クラッド層124aを形成し、下部クラッド層124aの上に、コア形成層301を形成する。
例えば、火炎堆積(FHD)法により、下部クラッド層124a,コア形成層301が形成できる。まず、酸水素炎中に、原料ガス(主成分:四塩化シリコン)を通し、加熱加水分解したガラス微粒子を基板122の上に堆積させ、下部クラッド層124aとなる第1の微粒子層を形成する。引き続き、原料ガスの組成を変更する(GeO2ドーパント濃度を変える)ことで組成の異なるガラス微粒子を第1の微粒子層の上に堆積させ、コア形成層301となる第2の微粒子層を形成する。この後、例えば、電気炉などを用いて、第1の微粒子層および第2の微粒子層を加熱することで、各々を透明なガラス組成の膜とすることで、下部クラッド層124a,コア形成層301とする。なお、これらの層は、化学的気相成長法により形成することもできる。
次に、半導体装置の製造に用いられる公知のリソグラフィー技術およびエッチング技術によりコア形成層301をパターニングすることで、図7Cに示すように、コア123を形成する。例えば、フォトリソグラフィ技術により、コア123とする部分の上にレジストパターンをコア形成層301の上に形成する。次に、形成したレジストパターンをマスクとし、反応性イオンエッチング(RIE)によりコア形成層301をエッチングし、コア123となる部分を残して他のコア形成層を除去する。この後、レジストパターンを除去すれば、コア123が形成できる。
次に、図7Dに示すように、コア123の上に上部クラッド層124bを形成する。前述した下部クラッド層124aと同様に、FHD法により、上部クラッド層124bが形成できる。
次に、公知のリソグラフィー技術およびエッチング技術により上部クラッド層124bおよび下部クラッド層124aをパターニングすることで、図7Eに示すように、上部クラッド層124bおよび下部クラッド層124aを貫通して基板122に到達する第2溝132を形成する。例えば、フォトリソグラフィ技術により、第2溝132を形成する箇所に開口を有するレジストパターンを、上部クラッド層124bの上に形成する。次に、形成したレジストパターンをマスクとし、RIEにより上部クラッド層124bおよび下部クラッド層124aをエッチングし、第2溝132となる部分を除去する。この後、レジストパターンを除去すれば、第2溝132が形成できる。
図8に、子光導波路チップ121の出射部を拡大した断面を示す。例えば、光導波路中をモードフィールド径(MFD:Mode Field Diameter)6μm(=スポットサイズ3μm)で光が導波しているとする。このモードフィールド径は、例えばコアの断面の寸法4.5μm×4.5μm(矩形)、コアとクラッドとの間の比屈折率差1.5%の光導波路で実現されるモードフィールド径がおおよそ対応する。なお、スポットサイズはMFDの半分である。
MFD6μmの光が端面から出射されるとビームは回折により広がる。以下、光導波路中の電界分布をガウス分布であると近似してビームの広がりを計算する。出射端のスポットサイズをω0とすると、出射端面から距離zだけ伝搬した先でのビーム径は式(6)で表される。これは非特許文献6に詳しく述べられている。式(6)において、λは波長である。式(6)の√の中の2乗項が1より十分大きくなる条件(この場合z>100μm程度)で、式(6)は式(7)で近似できる。
Figure 0007099279000005
式(7)をプロットしたものが図9である。z=1mmぐらいからが考察する領域であり、正確な値が得られることがわかる。図9から、距離3.5mm程度伝搬するとスポットサイズが500mμmになり、MFDは1mmと光導波路ピッチと同じになる(スポットサイズは、MFDの半分である)。この距離より光変換部102(支持部109)を、子光導波路チップ121の出射端から離すと、隣接チャンネルからの出射光(の可視光変換光)と区別がつけられづらくなることがわかる。
ここで、子光導波路チップ121の上部クラッド層124bが薄い(30μm以下)ことと、親光導波路チップ141のクラッド層143が薄い(~50μm)ことから、子光導波路チップ121の出射側の端面が、親光導波路チップ141の光変換部102側の端面より光変換部102から離れていると、子光導波路チップ121の出射光が、親光導波路チップ141の、クラッド層143や基板142の部分に入り屈折するこし、光変換部102に照射されるビームの形状が変形して認識しづらくなる。空気の屈折率が1に対し、クラッドを億制する石英系ガラスの屈折率は1.4~1.5であり、基板を構成するSiの屈折率は3.5と差がさらに大きいので屈折角もさらに大きくなる。
このため,子光導波路チップ121の出射側(光変換部102の側)の端面は、親光導波路チップ141の光変換部102側の端面と光変換部102の側に同一の位置とされている、または、親光導波路チップ141の光変換部102の側の端面より光変換部102の側に配置されていることが重要となる。
なお、図5A,図5B,図5Cを用いて説明した実施の形態2に係る波長チェッカーにおいても、子光導波路チップ121の透過スペクトルは、実施の形態1と同様であり、図4に示されるスペクトルが得られる。
ところで、図10に示すように、アレイ導波路回折格子を備える子光導波路チップ121aを子光導波路チップ121と入れ替えて用いることも可能である。子光導波路チップ121aは、分波波長間隔が狭いアレイ導波路回折格子を備える。図10において、符号125は、第2アレイ導波路、符号126は、第2入力側スラブ導波路、符号127は、第2出力側スラブ導波路、符号128は、第2入力導波路、符号129は、第2出力導波路をそれぞれ示している。これは、第2アレイ導波路125が、平面視で円弧の形をしている通常のアレイ導波路回折格子である。分波波長が1550nmから1600nm、分波波長間隔が5nm間隔、10ポートのアレイ導波路回折格子である。なお、図10では、一部の第2出力導波路129を省略して示している。
図11に、子光導波路チップ101と子光導波路チップ121aとの接続状態を示す。図11に示すように、子光導波路チップ101の第1出力導波路107のポート7に、子光導波路チップ121aの第2入力導波路128を光学的に接続する場合を検討する。この場合における、子光導波路チップ121の(分波波長間隔が狭い)アレイ導波路回折格子の透過波長スペクトルを図12に示す。このスペクトルは、式(5)を用いて計算した結果である。一方、子光導波路チップ101のアレイ導波路回折格子の透過スペクトルは、図13に示すようなブロードなスペクトルになる。子光導波路チップ101と子光導波路チップ121aとを接続した構成における透過スペクトルは図12に示すスペクトルと図13に示すスペクトルの合成となるので、図14に示すようなスペクトルになる。
子光導波路チップ101に、直線光導波路から構成した子光導波路チップ121を組み合わせた場合の透過スペクトルは図4に示すものとなり、波長分解能が50nmである。これに対し、子光導波路チップ101に、アレイ導波路回折格子から構成した子光導波路チップ121aを組み合わせた場合の透過スペクトルでは、波長分解能は5nmになり、より高精細に波長を確認できることがわかる。
また、子光導波路チップ101に子光導波路チップ121を組み合わせた構成では、図4に示すように属艇レンジが1250nm~1650nmの400nmと広帯域となる。これに対し、子光導波路チップ101に子光導波路チップ121aを組み合わせた構成では、図14に示すように狭帯域となる。
これらのように、PPCP実装により子光導波路チップ121と子光導波路チップ121aとを交換可能にすることで、波長チェッカーの波長分解能・測定レンジを柔軟に変更することができるようになる。
なお、上述した説明では、波長1550nmから1600nmの波長領域に関して、狭い波長間隔のアレイ導波路回折格子を用いてより高精細に波長を確認しているが、子光導波路チップ101のアレイ導波路回折格子の別の出力ポートに、ここより出力される波長範囲対応した5nm間隔10ポートのアレイ導波路回折格子を用意して接続すれば、他の波長範囲でも5nmの波長分解能で波長を確認できることがわかる。
ここで、分波波長間隔が狭いアレイ導波路回折格子について説明を追加する。フリースペクトラルレンジ(FSR)が、チャンネル間隔×チャンネル数に等しいものをサイクリックアレイ導波路回折格子(周回性アレイ導波路回折格子)と呼ぶ。狭い波長間隔のアレイ導波路回折格子に、上記の周回性アレイ導波路回折格子を用いれば、子光導波路チップ101に接続する光チップを、同じ周回性アレイ導波路回折格子で共用することができる。ただし、1500nm帯と1300nm帯といったようなあまりに波長が離れているチャンネルでは、屈折率分散の影響で、屈折率差が大きくなってくるので、アレイ導波路回折格子の共用はできない。
上述では、波長チェッカーのデバイス構造について説明したが、ここで、波長検査方法の観点から若干補足する。アクセス系PONシステムの波長検査方法としても、波長をアレイ導波路回折格子で波長ごとに分波して、近赤外光を可視光に変換する材料(波長変換材料)に照射して、光ったポートから波長を目視で確認する検査方法も提案することができる。アレイ導波路回折格子の広義の解釈は、回折格子(グレーティング)であるので、波長を回折格子(グレーティング)で波長ごとに分光して波長変換材料に照射して、光った位置から波長を目視で確認する検査方法も提案することができる。これ等の検査方法は、電源等を用いずに簡易に波長検査ができるという特徴を有している。
[実施の形態3]
次に、本発明の実施の形態3に係る波長チェッカーついて、図15を参照して説明する。実施の形態3では、図5A,図5B,図5Cを用いて説明した波長チェッカーにおいて、子光導波路チップ101の代わりに、図15に示す子光導波路チップ101aを用いる。子光導波路チップ101aは、主第1入力導波路106a,副第1入力導波路106bが、第1入力側スラブ導波路104の入力側に接続されている。他の構成は、子光導波路チップ101と同様である。
ここで、複数の第1出力導波路107の第1出力側スラブ導波路105との接続部分における導波路間隔をΔxoutとすると、主第1入力導波路106aの第1入力側スラブ導波路104との接続部分と、副第1入力導波路106bの第1入力側スラブ導波路104との接続部分との間の導波路間隔は,Δxout/2とされている。また、子光導波路チップ101aにおいて、第1入力側スラブ導波路104と第1アレイ導波路103と第1出力側スラブ導波路105とは、平面視の形状が、第1入力側スラブ導波路104の中心と第1出力側スラブ導波路105の中心とを結ぶ線分の中点を通り線分に垂直な直線を中心に線対称とされている。第1入力側スラブ導波路104は、入力導波路に接している側とアレイ導波路に接している側とは同じ曲率の円弧になっている。従って、入力側スラブ導波路の中心はスラブ導波路の外形を構成している直線と円弧が交わる4つの点を対角に結んだ直線の交点となる。第1出力側スラブ導波路105においても同様である。
以下、より詳細に説明する。
主第1入力導波路106aを第1入力側スラブ導波路104の中心に接続する。また第1出力側スラブ導波路105の中心に対し、各々の第1出力導波路107を導波路間隔Δxoutで接続し、第1出力導波路107の各々に対して透過中心波長がλ1、λ2、λ3、・・・λ8と等波長間隔で分岐されているものとする。また、副第1入力導波路106bは、主第1入力導波路106aに対して導波路間隔Δx=Δxoutで第1入力側スラブ導波路104に接続する(図16A,図16B参照)。
前述したように、第1入力側スラブ導波路104、第1アレイ導波路103、第1出力側スラブ導波路105の平面視の形状が線対称とされていれば(非特許文献2参照)、以下のことが成立する。
主第1入力導波路106aに対して副第1入力導波路106bをずらして接続すると、副第1入力導波路106bに入力される波長多重光は、第1出力導波路107の各々に対し、透過中心波長が、λ2、λ3、λ4、・・・λ9と、等間隔に分岐される。これは、副第1入力導波路106bが1個分ずれたので、第1アレイ導波路103に達するときの波面が傾き、この結果、第1出力導波路107に到達した際の波面が傾き、同じ波長は、1個分だけずれた第1出力導波路107に集光されることになるからである。
主第1入力導波路106aと副第1入力導波路106bとの導波路間隔Δx=Δxout/2とすると、隣り合うチャンネル間の中心波長間隔をΔλとして、透過中心波長がλ1+Δλ/2、λ2+Δλ/2、λ3+Δλ/2、・・・λ8+Δλ/2となる。なお、Δλ=λ2-λ1=λ3-λ2=・・・=λ9-λ8である。
子光導波路チップ101aにおけるアレイ導波路回折格子の設計を子光導波路チップ101と同様にすると、主第1入力導波路106aから入力されてアレイ導波路回折格子を透過するスペクトル(計算値)は,図17Aに示すように、子光導波路チップ101の透過スペクトルと同じスペクトルになる。つまり、第1出力導波路107の各々の透過中心波長は、1275nm、1325nm、1375nm、1425nm、1475nm、1525nm、1575nm、1625nmとなる。
一方、副第1入力導波路106bから入力されてアレイ導波路回折格子を透過するスペクトル(計算値)は、図17Bに示すように、波長間隔の半分だけずれて、1300nm、1350nm、1400nm、1450nm、1500nm、1550nm、1600nm、1650nmとなる。つまり、主第1入力導波路106aからの透過スペクトルと、副第1入力導波路106bからのスペクトルとは互い違いになる。
アレイ導波路回折格子への入力導波路が1本ある場合に比べて、主第1入力導波路106a,副第1入力導波路106bがある効果は、以下の通りである。入力導波路が1本の場合、隣り合う第1出力導波路107の透過スペクトル間の波長の光が入力された場合に、透過率が低くなっているために、近赤外光から可視光に変換された光も弱くなっており、光変換部102における発光が認識できない場合がある。
例えば、図17Aの波長1300nmにおけるポート1、ポート2における透過光強度は、最も透過する波長(波長1275nmや1325nm)に比較して20dBも劣化してしまう。
これに対し、主第1入力導波路106a,副第1入力導波路106bを用いる場合、副第1入力導波路106bにも信号光を入力することにより、波長1300nmにおけるポート1の透過光強度は、最も透過する波長となる。この結果、主第1入力導波路106a,副第1入力導波路106bを用いることにより、図17Aと図17Bを重ね合わせた図18に示すように、最も透過しない波長でも最大透過波長に比較して5dB劣化で済むことがわかる(波長1250nm周辺を除く)。
したがって、入力導波路を1本として信号光を入れても、信号光に対する透過光強度が弱いため波長がわからない場合も、主第1入力導波路106a,副第1入力導波路106bを用いて両者に信号光を入れることで、光変換部102におけるより強い発光が得られ、より確実な波長の認識が可能となる。
[実施の形態4]
次に、本発明の実施の形態4に係る波長チェッカーついて、図19を参照して説明する。実施の形態4では、図5A,図5B,図5Cを用いて説明した波長チェッカーにおいて、子光導波路チップ101の代わりに、図15に示す子光導波路チップ101aを用い、直線光導波路からなる子光導波路チップ121の代わりに、分波波長間隔が狭いアレイ導波路回折格子を備える子光導波路チップ121aを用いる。子光導波路チップ121aのアレイ導波路回折格子は、分波波長が1550nmから1600nm、分波波長間隔が5nm間隔、10ポートのアレイ導波路回折格子である。
まず、図19に示すように、子光導波路チップ101aのアレイ導波路回折格子には、主第1入力導波路106aから光を入れることを考え、子光導波路チップ101aの第1出力導波路107のなかでポート7に、子光導波路チップ121aの第2入力導波路128が接続している構成を考える。子光導波路チップ121aのアレイ導波路回折格子の透過波長スペクトルは図12に示すものとなり、前述の説明と同様に、子光導波路チップ101a+子光導波路チップ121aの透過スペクトルは図20のようなスペクトルになる。
次に、子光導波路チップ101aのアレイ導波路回折格子には、副第1入力導波路106bから光を入れることを考え、子光導波路チップ101aの第1出力導波路107のなかでポート7に、子光導波路チップ121aの第2入力導波路128が接続している構成を考える。子光導波路チップ101aのポート7の透過スペクトルは図21のようになる。図21に示すスペクトルは、主第1入力導波路106aから光を入れた場合の透過スペクトル(図13)より、半波長間隔(25nm)ほど長波にシフトしていることがわかる。一方、子光導波路チップ121aの透過スペクトルは、図12で表されるので、子光導波路チップ101aと子光導波路チップ121aとを透過するスペクトルは図22のように表される。
次に、子光導波路チップ101aのアレイ導波路回折格子には、副第1入力導波路106bから光を入れることを考え、子光導波路チップ101aの第1出力導波路107のなかでポート6に、子光導波路チップ121aの第2入力導波路128が接続している構成を考える。子光導波路チップ101aのポート6の透過スペクトルは図23のように表される。図23に示すスペクトルは、図13に示すスペクトルより波長間隔分短波にシフトしている。一方、子光導波路チップ121aの透過スペクトルは、図12で表されるので、子光導波路チップ101aと子光導波路チップ121aとを透過するスペクトルは図24のように表される。
以上に説明したことより、子光導波路チップ101aの主第1入力導波路106aと副第1入力導波路106bとを用いた透過スペクトルは、図20のスペクトル、図22のスペクトル、図24のスペクトルを合成した図25に示すスペクトルとなる。
子光導波路チップ101+子光導波路チップ121aの透過スペクトルは、図14に示すものとなり、波長1570nm~1580nmでは、高い透過率を示すが、1550、1600nm近傍は透過率が低くなり、信号光が認識できない可能性がある。これに対し、子光導波路チップ101a+子光導波路チップ121a場合、合成透過スペクトルは図25のようになり、1550nm、1600nm近傍でも透過率は高まり、信号光を認識できる波長範囲を広げることができるようになる。
なお、上述では、2つの主第1入力導波路106a,副第1入力導波路106bを備える子光導波路チップ101aを用いることで、透過率が高い波長領域を広げたが、子光導波路チップ121aのアレイ導波路回折格子においても、入力導波路を2つにすることで、透過率が高い波長領域をさらに広げることが可能である。
[実施の形態5]
次に、本発明の実施の形態5に係る波長チェッカーついて、図26を参照して説明する。図11を用いて説明した波長チェッカーの子光導波路チップ121aの代わりに、図26に示すように、直線光導波路からなる光導波路部120aと、分波波長間隔が狭いアレイ導波路回折格子120bとを備える子光導波路チップ121bを用いる。
子光導波路チップ101および子光導波路チップ121bを搭載する親光チップに、子光導波路チップ121bとの嵌合のための溝を余分に設け、子光導波路チップ121bを、光導波方向に垂直な方向に移動可能とする。このようにすることで、子光導波路チップ121bを親光チップの上でスライドさせ、子光導波路チップ121bを移動することで、子光導波路チップ101と光導波路部120aとの接続、および子光導波路チップ101とアレイ導波路回折格子120bとの接続とを切替可能とする。
前述したPPCPによる実装形態では、子光導波路チップ121と子光導波路チップ121aとを個別に用意する必要があったが、実施の形態5によれば、1個の子光導波路チップ121bを用意すればよくなり、部品点数を削減する効果がある。一般に、子光導波路チップ121aのアレイ導波路回折格子は、波長帯域が異なると別個のアレイ導波路回折格子を用意する必要があるが、実施の形態5によれば、例えば、検査分解能を高くする波長領域に必要なアレイ導波路回折格子を、子光導波路チップ121bにチップスペースが許す範囲で入れ込めればよい。
以上に説明したように、本発明によれば、赤外光を可視光に変換する変換材料から構成された光変換部を、導波路チップの複数の第1出力導波路の出力側におくことで、複数の第1出力導波路より出射される出射光を受光可能に配置したので、PONシステムの開通、故障切り分けなどにおける信号光の有無の確認などが、容易に実施できるようになる。
なお、本発明は以上に説明した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想内で、当分野において通常の知識を有する者により、多くの変形および組み合わせが実施可能であることは明白である。
101…導波路チップ、102…光変換部、103…第1アレイ導波路、103a…コア部、104…第1入力側スラブ導波路、104a…コア部、105…第1出力側スラブ導波路、106…第1入力導波路、106a…主入力導波路、106b…副入力導波路、107…第1出力導波路、108…出力端、111…基板、112…下部クラッド層、113…上部クラッド層、120a…光導波路部、120b…アレイ導波路回折格子、121…光導波路チップ、121a…子光導波路チップ、121b…子光導波路チップ、122…基板、123…コア、124…クラッド層、124a…下部クラッド層、124b…上部クラッド層、125…第2アレイ導波路、126…第2入力側スラブ導波路、127…第2出力側スラブ導波路、128…第2入力導波路、129…第2出力導波路、131…第1溝、132…第2溝、141…光導波路チップ、142…基板、143…クラッド層、151…主基板、161…ファイバーブロック、162…光ファイバー、163…コネクター、171…スペーサ部材、501…アレイ導波路、502…入力側スラブ導波路、503…出力側スラブ導波路、504…入力導波路、505…出力導波路。

Claims (7)

  1. 光導波路チップと近赤外光を可視光に変換する変換材料から構成された光変換部を備える波長チェッカーにおいて、
    光ファイバーと接続している側の前記光導波路チップがアレイ導波路回折格子を含み、かつ主基板の上に搭載されており、
    前記主基板上に支持部が固定されており、
    前記支持部は外部空間に光を出力する側の前記光導波路チップの光出射端面と対向する位置にあり、前記光変換部は前記光出射端面に面している前記支持部の側面に備えられ
    前記光導波路チップは2層に積層され、
    前記光導波路チップが基板及び基板上のコアとクラッドもしくは基板及び基板上のクラッドから構成され、
    前記クラッド側を前記光導波路チップの表面と定義すると、
    積層されている上下層の前記光導波路チップの表面を対向させ、
    下層側の前記光導波路チップを親光導波路チップ、上層側の前記光導波路チップを子光導波路チップと定義すると、前記親光導波路チップが1個あり、前記子光導波路チップが複数あり、
    前記子光導波路チップとして、光ファイバーと接続している側の前記子光導波路チップと、光ファイバーと接続している側の前記子光導波路チップの出射光を導波する光導波路を備えて外部空間に光を出力する側の前記光出射端面を有し、前記光変換部の出射光が照射される面に前記光出射端面が向かい合って配置される他の前記子光導波路チップとを備え、
    前記親光導波路チップのクラッド部分に複数の第1溝が形成され、前記子光導波路チップのクラッド部分に複数の第2溝が形成され、
    前記複数の第1溝の各々は、一部が前記親光導波路チップから突出した形で複数のスペーサ部材が嵌合し、
    前記子光導波路チップの第2溝の各々は、いずれかの前記複数のスペーサ部材の突出した部分と嵌合し、
    光ファイバーと接続している側の前記子光導波路チップは、アレイ導波路回折格子を含み、他の前記子光導波路チップは直線導波路群もしくはアレイ導波路回折格子の少なくとも一方を含み、
    前記親光導波路チップは前記主基板上に固定されている
    ことを特徴とする波長チェッカー。
  2. 請求項記載の波長チェッカーにおいて、
    前記スペーサ部材は、光ファイバーから構成されていることを特徴とする波長チェッカー。
  3. 請求項1または2記載の波長チェッカーにおいて、
    前記光導波路チップの前記基板がSi基板であり、前記コアと前記クラッドが石英系ガラスで構成されている
    ことを特徴とする波長チェッカー。
  4. 請求項1~のいずれか1項に記載の波長チェッカーにおいて、
    前記子光導波路チップの前記光変換部の側の端面は、前記親光導波路チップの前記光変換部の側の端面と同一の位置とされている、または、前記親光導波路チップの前記光変換部の側の端面より前記光変換部の側に配置されていることを特徴とする波長チェッカー。
  5. 請求項1~のいずれか1項に記載の波長チェッカーにおいて、
    前記子光導波路チップは、光の入力方向に沿って縦列に並んで配置されていることを特徴とする波長チェッカー。
  6. 請求項1~のいずれか1項に記載の波長チェッカーにおいて、
    前記光ファイバーに接続している側の前記子光導波路チップに含まれる前記アレイ導波路回折格子において、
    前記アレイ導波路回折格子が入力導波路、入力側スラブ導波路、複数のアレイ導波路、出力側スラブ導波路、複数の出力側導波路から構成され、
    前記入力側スラブ導波路と前記複数のアレイ導波路と前記出力側スラブ導波路は、平面視の形状が、前記入力側スラブ導波路と前記出力側スラブ導波路の中心とを結ぶ線分の中点を通りこの線分に垂直な直線を中心に線対称となるように形成され、
    前記入力導波路が、主入力導波路と副入力導波路からなり、
    前記出力側スラブ導波路に複数の出力導波路が接続する部分の接続間隔をΔxoutとすると、前記主入力導波路と前記副入力導波路が前記入力側スラブ導波路に接続する部分の接続間隔がΔxout/2である
    ことを特徴とする波長チェッカー。
  7. 請求項1~のいずれか1項に記載の波長チェッカーにおいて、
    前記変換材料はフォスファーであることを特徴とする波長チェッカー。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021038630A1 (ja) * 2019-08-23 2021-03-04 日本電信電話株式会社 波長チェッカー
JP2022038756A (ja) * 2020-08-27 2022-03-10 富士通株式会社 光導波路

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003218813A (ja) 2002-01-22 2003-07-31 Sankosha Corp 光信号監視装置
JP2003294961A (ja) 2002-04-03 2003-10-15 Sumitomo Electric Ind Ltd 光通信器検査装置
US20040105610A1 (en) 2002-10-24 2004-06-03 Anis Rahman Reflective Arrayed Waveguide Grating
US20090016716A1 (en) 2007-07-12 2009-01-15 Aidi Corporation Fiber array unit with integrated optical power monitor
JP2012093450A (ja) 2010-10-25 2012-05-17 Panasonic Corp 光モジュール
JP2017194565A (ja) 2016-04-20 2017-10-26 日本オクラロ株式会社 光通信モジュール及びその製造方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2706585B2 (ja) * 1991-09-25 1998-01-28 日本電信電話株式会社 光ファイバ断線検知器及び検知方法
JPH08136404A (ja) * 1994-11-07 1996-05-31 Sony Corp 光ファイバケーブル端面判定装置およびその方法
JP3222810B2 (ja) 1996-08-06 2001-10-29 日本電信電話株式会社 アレイ導波路格子
JP6175106B2 (ja) 2015-08-06 2017-08-02 日本電信電話株式会社 光信号処理装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003218813A (ja) 2002-01-22 2003-07-31 Sankosha Corp 光信号監視装置
JP2003294961A (ja) 2002-04-03 2003-10-15 Sumitomo Electric Ind Ltd 光通信器検査装置
US20040105610A1 (en) 2002-10-24 2004-06-03 Anis Rahman Reflective Arrayed Waveguide Grating
US20090016716A1 (en) 2007-07-12 2009-01-15 Aidi Corporation Fiber array unit with integrated optical power monitor
JP2012093450A (ja) 2010-10-25 2012-05-17 Panasonic Corp 光モジュール
JP2017194565A (ja) 2016-04-20 2017-10-26 日本オクラロ株式会社 光通信モジュール及びその製造方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Shikama et al.,Pluggable photonic circuit platform for single-mode waveguide connections using novel passive alignment method,Japanese Journal of Applied Physics,Vol. 57, 08PC03,日本,応用物理学会,2018年07月06日,p. 1-4,https://doi.org/10.7567/JJAP.57.08PC03

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