JP7098173B2 - 脆性材料基板の分断機構 - Google Patents
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Description
<分断機構の概要>
図1および図2は、本発明の第1の実施の形態に係る分断機構100の構成を概略的に(概念的に)示す図である。より具体的には、図1は分断機構100を上方から見た(俯瞰した)場合の概略斜視図であり、図2は分断機構100を下方から見た場合の概略斜視図である。
分断機構100においては、上述のようにそれぞれの昇降機構22a~22dの独立した昇降動作の組み合わせにより天板21の姿勢が任意に可変可能であることを利用して、種々の分断動作が可能となっている。以下、それらを順次説明する。
図3は、後述する種々の分断動作時の様子と対比する目的で示す、分断機構100が分断動作の初期状態にあるときの様子を示す図である。図3(a)は図1とは異なる向きの概略斜視図であり、図3(b)はyz平面図である。
図10~図13は、天板21がyz平面内のみならずx軸方向においても変位(傾斜)する態様にて可動部20を動作させる、種々の動作態様を示す図である。当該動作を三次元動作と総称する。なお、図10~図13においても図3~図9と同様、枝番(a)が付された図は斜視図であり、枝番(b)が付された図はyz平面図である。また、図4~図9と同様、図10~図13においても、可動部20の動作に伴い天板21が傾斜した際の傾斜ベクトルを示している。
上述の実施の形態においては、天板21が傾斜するときの傾斜角を確保する目的で、y軸リニアガイド25aおよび25bと、x軸リニアガイド26aおよび26bとが設けられてなるが、天板21の傾斜範囲が小さくてもよい場合には、これらのリニアガイド、さらには、連結板24a、24bが省略され、それぞれの昇降機構22(22a~22d)の上端部に連結されたピロー23(23a~23d)が直接に、天板21の下面に付設されてもよい。
<分断機構の概要>
図14は、本発明の第2の実施の形態に係る分断機構200の構成を概略的に(概念的に)示す図である。より具体的には、図14は分断機構200を上方から見た(俯瞰した)場合の概略斜視図である。
上述のような構成を有する分断機構200においても、分断機構100と同様、天板31と連結されてなるそれぞれの昇降機構32a~32dの、独立した昇降動作の組み合わせにより、種々の分断動作が可能となっている。
図19は、分断機構200の固定部10と可動部30がそれぞれ、パネル抑え(挟持部材)11aおよび11bを具備する場合の様子を示す図である。
最後に、分断機構を備える基板分断装置について、その概要を説明する。図20は、第2の実施の形態に係る分断機構200を備える基板分断装置1000の概略的な構成を示す斜視図であり、図21は、係る基板分断装置1000の要部を示す斜視図である。ただし、図20および図21においては、分断機構200についてより詳細な構成を例示している。
20、30 可動部
10b、31b 吸引溝
21、31 天板
22(22a~22d)、32(32a~32d) 昇降機構
23(23a~23d)、33(33a~33d) ピロー
24a、24b、34a、34b 連結板
25a、25b y軸リニアガイド
26a、26b x軸リニアガイド
35a、35b y軸スライダー
36a、36b ガイドレール
100、200 分断機構
300 基板支持搬送機構
1000 基板分断装置
1001 架台
L 分断予定位置
W 脆性材料基板
W1 (脆性材料基板の)第1の部分
W2 (脆性材料基板の)第2の部分
Claims (8)
- 脆性材料基板を分断する機構であって、
水平な第1の上面を有する固定部と、
水平面内において前記固定部と離隔して配置されてなる可動部と備え、
前記可動部は、
平坦な第2の上面を有し、前記固定部とともに脆性材料基板が載置固定される天板と、
平面視において矩形の各頂点となる位置に鉛直方向に立設され、それぞれが、前記天板を下方支持しつつ独立に鉛直方向において進退自在とされてなる、4つの昇降機構と、
を有してなり、
前記4つの昇降機構のそれぞれの昇降動作を組み合わせることで、前記天板の姿勢を可変可能である、
ことを特徴とする、脆性材料基板の分断機構。 - 請求項1に記載の分断機構であって、
前記第2の上面が前記第1の上面と同一の水平面内に位置するときの前記可動部の姿勢が基準姿勢と定義され、
前記可動部が基準姿勢にあるときの前記第1の上面と前記第2の上面とが脆性材料基板の載置固定面となり、
前記脆性材料基板が、あらかじめ直線状に定められた分断予定位置が前記固定部と前記可動部との間に位置するように、前記載置固定面に載置固定された状態において、前記昇降機構が昇降動作を行うことにより、前記脆性材料基板を分断する、
ことを特徴とする、脆性材料基板の分断機構。 - 請求項2に記載の分断機構であって、
前記脆性材料基板が前記載置固定面に載置固定された状態において、前記分断予定位置が延在する水平面内の方向を、第1の方向とし、水平面内において前記第1の方向と直交する方向を第2の方向とするとき、
前記4つの昇降機構は、前記可動部の前記第1の方向の両端部それぞれ2つずつ配置され、前記両端部のそれぞれにおいては、前記昇降機構が前記第2の方向において離隔して配置されてなる、
ことを特徴とする、脆性材料基板の分断機構。 - 請求項3に記載の分断機構であって、
前記4つの昇降機構のそれぞれの上端部に連結されたピロー、
をさらに備え、
前記ピローが直接または間接に前記天板に連結されてなる、
ことを特徴とする、脆性材料基板の分断機構。 - 請求項4に記載の分断機構であって、
前記4つの昇降機構のうち前記第2の方向において前記固定部から遠い2つの前記昇降機構または前記固定部から近い2つの前記昇降機構の上端部に備わる前記ピローと、前記天板との間に設けられた、第1のリニアガイド、
をさらに備え、
前記天板の傾斜に応じて前記ピローが前記第1のリニアガイドに沿って案内される、
ことを特徴とする、脆性材料基板の分断機構。 - 請求項4または請求項5に記載の分断機構であって、
前記第2の方向に延在する連結板、
をさらに備え、
前記4つの昇降機構のうち、前記第1の方向の一方の端部に備わる2つの前記昇降機構の上端部に備わる前記ピローが、直接にまたは間接に前記連結板に連結されており、
前記連結板と前記天板との間であって、前記2つの前記昇降機構のそれぞれの上方の位置に、第2のリニアガイドが設けられてなり、
前記天板の傾斜に応じて前記連結板が前記第2のリニアガイドに沿って案内される、
ことを特徴とする、脆性材料基板の分断機構。 - 請求項3に記載の分断機構であって、
前記4つの昇降機構が、前記第1の方向の両端部において2つずつ、前記第2の方向に延在する連結板に連結されており、
それぞれの前記連結板が、前記第2の方向に延在するガイドレールに案内自在とされたスライダーに連結されており、
前記天板の傾斜に応じて前記スライダーが前記ガイドレールに沿って案内される、
ことを特徴とする、脆性材料基板の分断機構。 - 請求項1ないし請求項7のいずれかに記載の分断機構であって、
前記固定部および前記天板との間で前記脆性材料基板を挟持可能な挟持部材、
をさらに備えることを特徴とする、脆性材料基板の分断機構。
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