JP7097169B2 - 光素子モジュール及び光素子モジュールの評価方法 - Google Patents
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Description
図1は、実施形態に係る光素子モジュールの構成を示す模式図である。図1に示すように、光素子モジュール100は、筐体10と、サブマウント20と、光素子である半導体レーザ素子30と、コリメータレンズ40と、集光レンズ50と、基板60と、リードピン70と、光ファイバ80と、ボンディングワイヤ91と、を少なくとも備えている。また、リードピン70は制御器に電気的に接続している。
20 サブマウント
21、22a、22b、22c、22d、22e、22f、22g、22h、22i、22j、22k、22l、22m、22n、22o、22p、23a、23b、23c、61 配線電極
22aa、22ba、22ca、22da、22ea、22fa、22ga、22ha、22ia、22ja、22la、22na、22pa 領域
24a、24b、25a、25b 側面
30 半導体レーザ素子
31 素子電極
32 直線電極部
33、33a、33b、33c 電極パッド部
40 コリメータレンズ
50 集光レンズ
60 基板
70 リードピン
80 光ファイバ
91、92、92a、92b、92c、93a、93b、93c ボンディングワイヤ
100 光素子モジュール
L レーザ光
Claims (8)
- 第1素子電極が形成された光素子と、
前記光素子を搭載し、互いに独立した第1配線電極及び第2配線電極が形成されたサブマウントと、
前記第1素子電極と前記第1配線電極とを接続する第1ボンディングワイヤと、
前記第1素子電極と前記第2配線電極とを接続する第2ボンディングワイヤと、
前記光素子、前記サブマウント、前記第1ボンディングワイヤ及び前記第2ボンディングワイヤを収容する筐体と、を備え、
前記第1配線電極及び前記第2配線電極が前記筐体の外部と導通するように構成され、
前記サブマウントには前記第1配線電極及び前記第2配線電極を含む複数の配線電極が形成され、前記複数の配線電極のうちの前記第1配線電極以外の配線電極に、プローブ針を突き当てるための領域が設けられ、
前記プローブ針を突き当てるための領域は、前記配線電極の幅よりも幅が大きくなるように構成され、前記プローブ針を突き当てるための面積が確保され、
前記筐体の外側にはリードピンが設けられており、前記第1配線電極は前記リードピンと接続され、
前記筐体が略直方体であって、前記筐体の一側面のみに前記リードピンが配置されている
ことを特徴とする光素子モジュール。 - 前記光素子は前記第1配線電極と前記第2配線電極との間に配置されている
ことを特徴とする請求項1に記載の光素子モジュール。 - 前記第1素子電極には幅が広い広幅部が少なくとも2箇所存在し、前記第1ボンディングワイヤの端部と前記第2ボンディングワイヤの端部とはそれぞれ異なる広幅部に接触している
ことを特徴とする請求項1または2に記載の光素子モジュール。 - 前記光素子には前記第1素子電極を含む複数の素子電極が形成されている
ことを特徴とする請求項1~3のいずれか一つに記載の光素子モジュール。 - 前記筐体の外側には複数のリードピンが設けられており、前記複数の配線電極のうち前記第2配線電極以外は前記複数のリードピンのいずれかと接続されている
ことを特徴とする請求項4に記載の光素子モジュール。 - 前記複数のリードピンは前記筐体の一側面側にのみ設けられている
ことを特徴とする請求項5に記載の光素子モジュール。 - 前記複数の配線電極のうち、前記第1配線電極以外の配線電極は、所定値以上の面積の領域を有する
ことを特徴とする請求項4~6のいずれか一つに記載の光素子モジュール。 - 請求項7に記載の光素子モジュールの評価方法であって、
前記第1配線電極以外の配線電極における前記プローブ針を突き当てるための領域にプローブ針を突き当てて前記光素子に電流を流して前記光素子の特性を評価する
ことを特徴とする光素子モジュールの評価方法。
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