JP7091594B2 - 薄膜トランジスタ、アレイ基板、表示装置、及び薄膜トランジスタの製造方法 - Google Patents
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Claims (24)
- 相互に離間して配置された第1ソース電極及び第1ドレイン電極と、
前記第1ソース電極及び前記第1ドレイン電極に配置され、かつ前記第1ソース電極と前記第1ドレイン電極との間に配置されたチャネル部、前記第1ソース電極に電気的に接続されたソース電極コンタクト部、及び前記第1ドレイン電極に電気的に接続されたドレイン電極コンタクト部とを有する活性層と、
前記ソース電極コンタクト部の前記第1ソース電極から離れた側に配置され、かつ前記第1ソース電極に電気的に接続された第2ソース電極と、
前記ドレイン電極コンタクト部の前記第1ドレイン電極から離れた側に配置され、かつ前記第1ドレイン電極に電気的に接続された第2ドレイン電極と、を備え、
前記活性層は、長尺状部分と2つの突出部を含み、前記第2ソース電極は、前記長尺状部分と前記2つの突出部のうちの一方の突出部の上方に位置し、且つ前記長尺状部分と前記2つの突出部のうちの一方の突出部の上方に接触し、前記第2ドレイン電極は、前記長尺状部分と前記2つの突出部のうちの他方の突出部の上方に位置し、且つ前記長尺状部分と前記2つの突出部のうちの他方の突出部の上方に接触し、前記第2ソース電極は、1つの突出部を含み、前記第2ドレイン電極は、1つの突出部を含み、前記活性層の一方の突出部と前記第2ソース電極の突出部のベース基板における正射影が重なり、前記活性層の他方の突出部と前記第2ドレイン電極の突出部のベース基板における正射影が重なり、前記第1ソース電極と前記第2ソース電極は、前記活性層の突出部に位置する第1ビアによって接続され、前記第1ドレイン電極と前記第2ドレイン電極は、前記活性層の突出部に位置する第2ビアによって接続され、
前記第1ソース電極、前記第1ドレイン電極とゲート電極のベース基板における正射影が分離し、
チャネル部の、ベース基板に近い表面は、バッファ層に接触し、且つチャネル部は、平板形状であることを特徴とする薄膜トランジスタ。 - 請求項1に記載の薄膜トランジスタにおいて、
前記ソース電極コンタクト部は、前記第1ソース電極と前記第2ソース電極との間に挟まれた、前記ソース電極コンタクト部の第1部分を含み、
前記ドレイン電極コンタクト部は、前記第1ドレイン電極と前記第2ドレイン電極との間に挟まれた、前記ドレイン電極コンタクト部の第1部分を含むことを特徴とする薄膜トランジスタ。 - 請求項1に記載の薄膜トランジスタにおいて、
前記ソース電極コンタクト部は、前記ソース電極コンタクト部の第2部分を含み、
前記ドレイン電極コンタクト部は、前記ドレイン電極コンタクト部の第2部分を含み、
前記ソース電極コンタクト部の第2部分及び前記ドレイン電極コンタクト部の第2部分とが導電部であることを特徴とする薄膜トランジスタ。 - 請求項1に記載の薄膜トランジスタにおいて、
前記ソース電極コンタクト部を貫通する第1ビアと、前記ドレイン電極コンタクト部を貫通する第2ビアとをさらに含み、
前記第2ソース電極は、前記第1ビアを介して前記第1ソース電極に電気的に接続され、第2ドレイン電極は、前記第2ビアを介して第1ドレイン電極に電気的に接続されていることを特徴とする薄膜トランジスタ。 - 請求項1に記載の薄膜トランジスタにおいて、
前記活性層上に配置されたゲート絶縁層と、
前記ゲート絶縁層の前記チャネル部から離れた側のゲート電極と
を有することを特徴とする薄膜トランジスタ。 - 請求項5に記載の薄膜トランジスタにおいて、
前記ゲート電極、前記第2ソース電極、および第2ドレイン電極は、同一の層にあり、同じ材料からなることを特徴とする薄膜トランジスタ。 - 請求項1に記載の薄膜トランジスタにおいて、
前記活性層は、金属酸化物半導体材料を含むことを特徴とする薄膜トランジスタ。 - 請求項1に記載の薄膜トランジスタにおいて、
前記薄膜トランジスタは、トップゲート型の薄膜トランジスタであることを特徴とする薄膜トランジスタ。 - 請求項1に記載の薄膜トランジスタにおいて、
ゲート絶縁層をさらに含み、
ゲート絶縁層のベース基板における射影は、ゲート電極のベース基板における射影と完全に重なっていることを特徴とする薄膜トランジスタ。 - 請求項1~9のいずれか1つに記載の薄膜トランジスタを備えることを特徴とするアレイ基板。
- 請求項10に記載のアレイ基板において、
前記アレイ基板のアライメント領域にアライメントマークをさらに備え、
前記アライメントマークは、前記第1ソース電極および前記第1ドレイン電極と同一の層にあることを特徴とするアレイ基板。 - 請求項1~9のいずれか1つに記載の薄膜トランジスタを備えることを特徴とする表示装置。
- 請求項12に記載の表示装置において、
前記表示装置は、トップエミッション型の表示装置であり、
前記表示装置の光出射側は前記第2ソース電極及び前記第2ドレイン電極の前記活性層から離れた側にあることを特徴とする表示装置。 - 相互に離間して配置された第1ソース電極及び第1ドレイン電極を形成するステップと、
前記第1ソース電極及び前記第1ドレイン電極に配置され、かつ前記第1ソース電極と前記第1ドレイン電極との間に配置されたチャネル部、前記第1ソース電極に電気的に接続されたソース電極コンタクト部、及び前記第1ドレイン電極に電気的に接続されたドレイン電極コンタクト部とを有する活性層を形成するステップと、
前記第1ソース電極に電気的に接続されるように、前記ソース電極コンタクト部の前記第1ソース電極から離れた側に第2ソース電極を形成するステップと、
前記第1ドレイン電極に電気的に接続されるように、前記ドレイン電極コンタクト部の前記第1ドレイン電極から離れた側に第2ドレイン電極を形成するステップと、
を含み、
前記活性層は、長尺状部分と2つの突出部を含み、前記第2ソース電極は、前記長尺状部分と前記2つの突出部のうちの一方の突出部の上方に位置し、且つ前記長尺状部分と前記2つの突出部のうちの一方の突出部の上方に接触し、前記第2ドレイン電極は、前記長尺状部分と前記2つの突出部のうちの他方の突出部の上方に位置し、且つ前記長尺状部分と前記2つの突出部のうちの他方の突出部の上方に接触し、前記第2ソース電極は、1つの突出部を含み、前記第2ドレイン電極は、1つの突出部を含み、前記活性層の一方の突出部と前記第2ソース電極の突出部のベース基板における正射影が重なり、前記活性層の他方の突出部と前記第2ドレイン電極の突出部のベース基板における正射影が重なり、前記第1ソース電極と前記第2ソース電極は、前記活性層の突出部に位置する第1ビアによって接続され、前記第1ドレイン電極と前記第2ドレイン電極は、前記活性層の突出部に位置する第2ビアによって接続され、
前記第1ソース電極、前記第1ドレイン電極とゲート電極のベース基板における正射影が分離し、
チャネル部の、ベース基板に近い表面は、バッファ層に接触し、且つチャネル部は、平板形状であることを特徴とする薄膜トランジスタの製造方法。 - 請求項14に記載の薄膜トランジスタの製造方法において、
前記ソース電極コンタクト部の第1部分は、前記第1ソース電極と前記第2ソース電極との間に挟まれるように形成され、
前記ドレイン電極コンタクト部の第1部分は、前記第1ドレイン電極と前記第2ドレイン電極との間に挟まれるように形成されることを特徴とする薄膜トランジスタの製造方法。 - 請求項14に記載の薄膜トランジスタの製造方法において、
前記第2ソース電極を形成した後、前記ソース電極コンタクト部の第2部分に導電化処理を施すステップをさらに含み、
前記第2ドレイン電極を形成した後、前記ドレイン電極コンタクト部の第2部分に導電化処理を施すステップをさらに含むことを特徴とする薄膜トランジスタの製造方法。 - 請求項14に記載の薄膜トランジスタの製造方法において、
ゲート絶縁層を形成するステップをさらに含み、
前記ゲート絶縁層のベース基板における射影は、ゲート電極のベース基板における射影と完全に重なっていることを特徴とする薄膜トランジスタの製造方法。 - 請求項16に記載の薄膜トランジスタの製造方法において、
前記ソース電極コンタクト部の第2部分に対する導電化処理、および前記ドレイン電極コンタクト部の第2部分に対する導電化処理は、プラズマを用いて行われることを特徴とする薄膜トランジスタの製造方法。 - 請求項18に記載の薄膜トランジスタの製造方法において、
前記プラズマは、水素、ヘリウム、窒素およびアルゴンの1つまたはそれらの組合せを含むことを特徴とする薄膜トランジスタの製造方法。 - 請求項14に記載の薄膜トランジスタの製造方法において、
前記ソース電極コンタクト部を貫通する第1ビア及び前記ドレイン電極コンタクト部を貫通する第2ビアを形成するステップをさらに含み、
前記第2ソース電極は、前記第1ビアを介して前記第1ソース電極に電気的に接続され、
前記第2ドレイン電極は、前記第2ビアを介して前記第1ドレイン電極に電気的に接続されていることを特徴とする薄膜トランジスタの製造方法。 - 請求項14に記載の薄膜トランジスタの製造方法において、
前記活性層上にゲート絶縁層を形成するステップと、
前記ゲート絶縁層の前記チャネル部から離れた側にゲート電極を形成するステップと、をさらに含むことを特徴とする薄膜トランジスタの製造方法。 - 請求項21に記載の薄膜トランジスタの製造方法において、
前記ゲート電極、前記第2ソース電極、および第2ドレイン電極は、同じプロセスで同一の層に同じ材料で形成されることを特徴とする薄膜トランジスタの製造方法。 - 請求項14~22のいずれか1つに記載の薄膜トランジスタの製造方法に従って薄膜トランジスタを形成するステップを含むことを特徴とするアレイ基板の製造方法。
- 請求項23に記載のアレイ基板の製造方法において、
前記第1ソース電極および前記第1ドレイン電極と同一の層に同じパターニングプロセスで形成されるアライメントマークを形成するステップをさらに含むことを特徴とするアレイ基板の製造方法。
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