JP7073996B2 - 多層セラミック基板の製造方法、及び、多層セラミック基板 - Google Patents
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Description
しかしながら、本発明は、以下の構成に限定されるものではなく、本発明の要旨を変更しない範囲において適宜変更して適用することができる。以下に示す各実施形態は例示であり、異なる実施形態で示した構成の部分的な置換又は組み合わせが可能であることは言うまでもない。なお、以下において記載する本発明の個々の望ましい構成を2つ以上組み合わせたものもまた本発明である。
図1A、図1B、図1C、図1D及び図1Eは、本発明の多層セラミック基板の製造方法の一例を模式的に示す断面図である。
光沢度を上記範囲にすることにより、抵抗膜を形成した際の抵抗値の変動が小さくなり、狙いの抵抗値が得られやすくなる。
表面粗さを上記範囲にすることにより、抵抗膜を形成した際の抵抗値の変動が小さくなり、狙いの抵抗値が得られやすくなる。
図1Eに示す多層セラミック基板100は、セラミック積層体30と、セラミック積層体30の一方主面α上に設けられた抵抗膜40と、を備えている。図1Eに示す多層セラミック基板100は、さらに、セラミック積層体30の他方主面β上に設けられた抵抗膜40を備えている。
光沢度を上記範囲にすることにより、抵抗膜を形成した際の抵抗値の変動が小さくなり、狙いの抵抗値が得られやすくなる。
表面粗さを上記範囲にすることにより、抵抗膜を形成した際の抵抗値の変動が小さくなり、狙いの抵抗値が得られやすくなる。
上記保護膜は、例えば、ガラス材料や樹脂材料等からなる絶縁性の膜によって構成される。
図2A及び図2Bに示すように、セラミック積層体30の表面は、全面をガラス層51が覆い、その上面に幾つかのセラミック粒子52が点在している。
上述したように、低温焼結セラミック材料は、一般に、アルミナ等のセラミックフィラーとガラスとの複合物からなる。そのため、焼成後のセラミック積層体を表面から研磨すると、研磨後の表面は、ガラスとアルミナ粒子等のセラミック粒子との混合体となっている。混合体を構成するガラスとセラミック粒子の比率は、材料組成や焼成条件によって変化させることができる。
そして、表面粗さが同じであっても、セラミック粒子の密度によって光沢度は変化する。例えば、セラミック粒子の密度が高い部分は光沢度が小さく、セラミック粒子の密度が低い部分は光沢度が大きくなる。
図2Aと図2Bとでは、表面粗さはどちらも同じであるものの、光沢度は図2Aに比べて図2Bの方が小さいことを模式的に示している。
セラミック積層体30の表面は、アルミナ粒子等のセラミック粒子52により凸形状となっている。そのため、セラミック積層体30の表面に抵抗膜40が形成された場合、凸形状の部分が多いほど、すなわち、光沢度が小さいほど、抵抗膜40の表面積が大きくなり、さらに、凸部の端部の鋭利な部分で抵抗膜40の連続性が阻害されやすくなる。その結果、表面粗さが同じであっても、光沢度が小さいと、抵抗値が変動しやすくなると考えられる。
本発明においては、セラミック積層体の一方主面の表面粗さSaを20nm以下、光沢度を60以上とすることにより、抵抗膜を形成した際の抵抗値の変動を良好な範囲に抑えることができる。
図3に示す複合電子部品200は、多層セラミック基板110と、多層セラミック基板110に実装された積層コンデンサ210と、を備える。多層セラミック基板110は、セラミック積層体130の一方主面に、抵抗膜140と、積層コンデンサ210を実装するための実装電極150と、を備える。なお、セラミック積層体130は、複数のセラミック層131(図4又は図5参照)が積層されたものである。
図4では、抵抗膜140は、セラミック層131を厚み方向に貫通する抵抗接続ビア導体133と電気的に接続されており、実装電極150は、セラミック層131を厚み方向に貫通する部品接続ビア導体151と電気的に接続されている。図4では、セラミック層131の厚み方向から見て、実装電極150と接続している部分の部品接続ビア導体151の形状が円形である例を示している。
図5では、抵抗膜140は、セラミック層131を厚み方向に貫通する抵抗接続ビア導体133と電気的に接続されており、実装電極150は、セラミック層131を厚み方向に貫通する部品接続ビア導体152と電気的に接続されている。図5では、セラミック層131の厚み方向から見て、実装電極150と接続している部分の部品接続ビア導体152の形状が楕円形である例を示している。
部品接続ビア導体の面積を大きくすることにより、電子部品から実装電極までの導通抵抗の上昇を抑えることができる。例えば、電子部品が積層コンデンサである場合、ESR特性が変動しないため、インピーダンス特性の変動が抑えられ、目的とするコンデンサ特性が発現されやすくなる。
[セラミック積層体の準備]
Al2O3フィラーとホウケイ酸ガラスを所定量含む混合粉末に溶剤、分散剤、有機バインダ及び可塑剤を配合したスラリーをPETフィルム上に塗布し、セラミックグリーンシートを作製した。
他方、溶剤及び有機バインダを所定の割合で混合し、この混合物を3本ロールミルによって分散処理することにより、Agペーストを得た。
拘束シートを除去した後のセラミック積層体の表面に対して、化学機械研磨(表1中、CMPと示す)を行った。研磨後の表面の光沢度及び表面粗さSaを測定することで、表面の状態を確認した。光沢度は光沢度計(コニカミノルタ社製GM-60PLUS)を用いて測定し、表面粗さSaは非接触の光学式表面性状測定機(ZYGO社製NewView)を用いて測定した。結果を表1に示す。
表1に示す狙いの抵抗値が得られるように、研磨後のセラミック積層体の表面に、スパッタリングによりNi-Cr膜を所定のパターンや厚みにして抵抗膜を形成した。以上により、多層セラミック基板を作製した。
研磨後の表面の光沢度及び表面粗さが表1に示す値になるようにセラミック積層体の表面に化学機械研磨を行ったことを除いて、実施例1-1と同様の方法により多層セラミック基板を作製した。
研磨後の表面の光沢度及び表面粗さが表1に示す値になるようにセラミック積層体の表面に化学機械研磨を行い、表1に示す狙いの抵抗値が得られるように抵抗膜を形成したことを除いて、実施例1-1と同様の方法により多層セラミック基板を作製した。
拘束シートを除去した後、セラミック積層体の表面に化学機械研磨を行わなかったことを除いて、実施例1-1と同様の方法により多層セラミック基板を作製した。拘束シートを除去した後の表面の光沢度及び表面粗さを測定することで、表面の状態を確認した。結果を表1に示す。
拘束シートを除去した後、セラミック積層体の表面にラップ研磨を行ったことを除いて、実施例1-1と同様の方法により多層セラミック基板を作製した。研磨後の表面の光沢度及び表面粗さを測定することで、表面の状態を確認した。結果を表1に示す。
研磨後の表面の光沢度及び表面粗さが表1に示す値になるようにセラミック積層体の表面に化学機械研磨を行ったことを除いて、実施例1-1と同様の方法により多層セラミック基板を作製した。
実施例及び比較例について、走査型電子顕微鏡(SEM)を用いて、抵抗膜を形成する前のセラミック積層体の表面観察を行った。
研磨を行わなかった比較例1-1では、拘束シートを除去することにより、図6(a)に示すように、表層から高さ1~2μmのマイクロクラックが発生している。また、セラミックを研磨するために通常用いられるラップ研磨を行った比較例1-2では、研磨砥粒を介しての機械的衝撃により、図6(b)に示すように、1~2μmレベルの脱粒が発生し、マイクロクラックも発生している。一方、化学機械研磨を行った実施例1-3では、図6(c)に示すように、マイクロクラックの発生が抑えられた平坦な表面に仕上げられている。
光沢度が60である実施例1-6では、図7(a)に示すように、セラミック積層体の表面にアルミナ粒子が少なく、下地のガラス層が占める割合が多い。一方、光沢度が53である比較例1-3では、図7(b)に示すように、セラミック積層体の表面にアルミナ粒子が多く、下地のガラス層が占める割合が少ない。
実施例及び比較例で作製した多層セラミック基板について、触針式のプローブを用いて抵抗値を測定した。抵抗値の判定については、狙いの抵抗値に対して±20%以内であれば○(良)、±20%を超えて±30%以内であれば△(可)、±30%を超えれば×(不良)とした。結果を表1に示す。
セラミック積層体の表面に化学機械研磨を行った後、表2に示す狙いの抵抗値が得られるように抵抗膜を形成したことを除いて、実施例1-1と同様の方法により多層セラミック基板を作製した。さらに、図4に示すように、平面形状が円形である部品接続ビア導体を形成した。
図5に示すように、平面形状が楕円形である部品接続ビア導体を形成したことを除いて、実施例2-1と同様の方法により多層セラミック基板を作製した。
なお、実施例2-2で形成したビア導体の面積は、実施例2-1で形成したビア導体の面積の2倍である。
実施例2-1及び実施例2-2について、部品接続ビア導体の上下面にプローブを当て、部品接続ビア導体間の導通抵抗を測定した。コンデンサのインピーダンス測定に影響を与えないレベルとして、10mΩ以下であれば◎(優)、10mΩを超えて20mΩ以下であれば○(良)、20mΩを超えれば×(不良)と判定した。結果を表2に示す。
11 セラミックグリーンシート
12 未焼成の内部配線(ペースト膜)
13 未焼成のビア導体(ペースト体)
20 複合積層体
21 拘束シート
30,130 セラミック積層体
31,131 セラミック層
32 内部配線
33 ビア導体
40,140 抵抗膜
51 ガラス層
52 セラミック粒子
100,110 多層セラミック基板
133 抵抗接続ビア導体
150 実装電極
151,152 部品接続ビア導体
200 複合電子部品
210 積層コンデンサ(電子部品)
α 一方主面
β 他方主面
Claims (5)
- 低温焼結セラミック材料の原料を含む複数のセラミックグリーンシートが積層され、前記セラミックグリーンシートの間に未焼成の内部配線を有し、かつ、一方主面を構成する前記セラミックグリーンシートを厚み方向に貫通する未焼成の抵抗接続ビア導体を有するグリーンシート積層体の少なくとも前記一方主面に、前記セラミックグリーンシートが焼結する温度では実質的に焼結しない拘束シートが圧着された、複合積層体を作製する工程と、
前記セラミックグリーンシートが焼結し、前記拘束シートが焼結しない温度で、前記複合積層体を焼成する工程と、
焼成後の前記複合積層体から、残存する前記拘束シートを除去することにより、前記グリーンシート積層体が焼結してなるセラミック積層体を得る工程と、
前記拘束シートを除去した後の前記セラミック積層体の前記一方主面に化学機械研磨を行う工程と、
研磨後の前記セラミック積層体の前記一方主面上に、前記抵抗接続ビア導体を介して前記内部配線と電気的に接続される抵抗膜を形成する工程と、を備え、
前記化学機械研磨は、前記セラミック積層体の前記一方主面の表面粗さSaが20nm以下、光沢度が60°測定で60以上になるように行われることを特徴とする多層セラミック基板の製造方法。 - 低温焼結セラミック材料を含む複数のセラミック層が積層され、前記セラミック層の間に内部配線を有し、かつ、一方主面を構成する前記セラミック層を厚み方向に貫通する抵抗接続ビア導体を有するセラミック積層体と、
前記セラミック積層体の一方主面上に設けられ、前記抵抗接続ビア導体を介して前記内部配線と電気的に接続される抵抗膜と、を備え、
前記抵抗膜が位置する前記セラミック積層体の前記一方主面の表面粗さSaが20nm以下であり、光沢度が60°測定で60以上であることを特徴とする多層セラミック基板。 - 前記セラミック積層体のいずれか一方の主面上に設けられ、電子部品を実装するための実装電極と、
前記実装電極が設けられている主面を構成する前記セラミック層を厚み方向に貫通し、前記実装電極と電気的に接続される部品接続ビア導体と、をさらに備える請求項2に記載の多層セラミック基板。 - 前記セラミック層の厚み方向から見て、前記実装電極と接続している部分の前記部品接続ビア導体の形状は、楕円形、長円形、楕円形を湾曲させた形状、長円形を湾曲させた形状、又は、これらを組み合わせた形状である請求項3に記載の多層セラミック基板。
- 前記実装電極は、前記抵抗膜と同じ側の前記セラミック積層体の前記一方主面上に設けられ、
前記部品接続ビア導体は、前記セラミック積層体の前記一方主面を構成する前記セラミック層を厚み方向に貫通する請求項3又は4に記載の多層セラミック基板。
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