JP7072264B2 - 対象物に対して移動体を直線移動させる装置および方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 16
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 61
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 29
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 26
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 15
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims description 3
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 9
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
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- H01L2224/32151—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/32221—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/32225—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
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Description
以下、対象物に対して移動体を直線移動させる装置として半導体ダイ15を基板16等に実装する実装装置100を例に説明する。図1に示すように、本実施形態の実装装置100は、第1電子部品である半導体ダイ15を対象物である基板16または図示しない第2電子部品である他の半導体ダイに実装するものである。実装装置100は、移動体であるベース10と、ボンディングヘッド20と、カメラ25と、第1検出部であるボンディングヘッド側エンコーダヘッド31と、第2検出部であるカメラ側エンコーダヘッド32と、リニアスケール33と、制御部50と、レーザ距離検出器45と、対象物である基板16を吸着固定するボンディングステージ13とを備えている。実装装置100は、例えば半導体ダイ15を反転させた後に基板16に実装するフリップチップボンディング装置であるが、半導体ダイ15を反転させずに基板16に実装するダイボンディング装置であってもよい。
次に、図2、図3を参照しながら本実施形態の実装装置100の基本動作について説明する。図2(a)は、ベース10が撮像位置にある場合を示す。図2、図3の説明では、撮像位置はカメラ25の光軸26zの位置Cがボンディング領域の中心位置Sと一致する位置であり、ボンディングツール21の中心位置BHと半導体ダイ15の中心位置Dとは一致しており、ボンディングツール21に吸着された半導体ダイ15の中心位置Dはボンディングヘッド20のZ方向の中心線22zの上にあるとして説明する。
次に、図4から図5を参照しながらリニアスケール33の位置補正係数k(n)の算出動作について説明する。先に図2から図3を参照して説明したように、本実施形態の実装装置100は、リニアスケール33、或いはベース10が熱膨張しても、オフセット距離である所定間隔aの較正を行わずに半導体ダイ15の中心位置Dをボンディング領域の中心位置Sに合わせることができる。しかし、リニアスケール33或いはベース10が熱膨張すると、実装装置100の基準位置から所定の位置までベースを移動させる際に誤差が発生する場合がある。そこで、以下、リニアスケール33の位置補正係数の算出動作(算出方法)について説明する。
A(1)=[B2(1)-B1(1)]×p ・・・・(式1)
(式1)において、pはリニアスケール33の目盛34のピッチである。
k(1)=a/A(1) ・・・・・(式2)
図4のステップS105、S106は、補正係数算出ステップを構成する。
A(1)=[B2(1)-B1(1)]×p=[10-0]×p
=10目盛×p=a
であり、k(1)=a/A(1)=1.0
となる。
A(2)=[B2(2)-B1(2)]×p
=9目盛×p
となる。一方、ベース10の所定間隔aは不変であり、10目盛×pであるから、
k(2)=a/A(2)=(10目盛×p)/(9目盛×p)>1.0
となる。このように、リニアスケール33が熱膨張によって伸びていると、位置補正係数k(n)は、1.0より大きい数字となる。また、逆にリニアスケール33が常温よりも低い温度で、収縮している場合には、位置補正係数k(n)は、1.0よりも小さい数字となる。
La=Σ[ΔB×p×k(n)] ・・・・(式3)
ka(n)=k(n)×[La/Lc] ・・・・・(式4)
制御部50は、修正した位置補正係数ka(n)をメモリに格納する。修正した位置補正係数ka(n)は、図5に示すように、熱膨張によるベース10の所定間隔aの変化を考慮したリニアスケール33の目盛番号B(n)に対するリニアスケール33の位置補正係数ka(n)の分布、あるいは、位置補正係数ka(n)のマップを示す。図4のステップS111からS114は、補正係数修正ステップを構成する。
L100=[ΣΔB×ka(n)×p](n=1~m)+ka(m+1)×j×p
として算出し、ベース10の移動量或いは移動距離を制御する。
ka(n)=k(n)×[NB×p]/Lr ・・・・・(式5)
ka(n)=k(n)×[NB×p]/Lr ・・・・・ (式5)
ka(n)=k(n)×[NB×p]/Lr1 ・・・・・(式6)
Claims (9)
- 対象物に対して移動体を直線移動させる装置であって、
前記対象物に対して直線移動し、移動方向に既知の間隔で配置された第1位置と第2位置とを有する前記移動体と、
前記移動体の前記移動方向に沿って配置され、前記移動方向に沿って所定ピッチで複数の目盛が設けられたスケールと、
前記移動体の前記第1位置に配置され、前記第1位置に対する前記スケールの第1目盛番号を検出する第1検出部と、
前記移動体の前記第2位置に配置され、前記第2位置に対する前記スケールの第2目盛番号を検出する第2検出部と、
前記移動体の移動量を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記移動体を前記スケールに沿って移動開始位置から移動終了位置まで移動させながら、逐次、前記第1検出部及び前記第2検出部で前記第1目盛番号及び前記第2目盛番号を検出し、前記第1目盛番号と前記第2目盛番号との差に前記目盛のピッチを掛けて前記第1検出部と前記第2検出部との間の前記スケール上の距離を算出し、算出した前記スケール上の距離に対する前記第1検出部と前記第2検出部の既知の前記間隔の比として前記スケールの位置補正係数を算出すること、
を特徴とする装置。 - 請求項1に記載の装置であって、
基準位置からの前記移動体の距離を検出する距離検出器を備え、
前記制御部は、
前記距離検出器によって前記基準位置からの前記移動体の距離を検出しながら前記移動体を前記移動開始位置から前記移動終了位置まで移動させ、前記移動体の前記移動開始位置における前記スケールの目盛番号と前記移動終了位置における前記スケールの目盛番号とを前記第1検出部または前記第2検出部で検出し、検出した各目盛番号の差を目盛番号差として算出し、前記距離検出器によって検出した前記移動体の前記移動開始位置から前記移動終了位置までの距離に対する前記目盛番号差に前記目盛のピッチを掛けて求めた距離の比を前記位置補正係数に掛けて修正位置補正係数を算出し、
算出した前記修正位置補正係数を用いて前記スケールで検出した移動距離を修正して前記移動体の移動量を制御すること、
を特徴とする装置。 - 請求項1に記載の装置であって、
電子部品を実装する実装ステージと、
前記実装ステージの上に前記移動体の前記移動方向に並べて配置された2つのリファレンス部材であって、それぞれ上面に位置マークが設けられているリファレンス部材と、
前記移動体に設けられ、前記位置マークの画像を取得する画像取得手段と、を更に備え、
前記各リファレンス部材は、各前記位置マークが前記移動方向に既知のリファレンス距離だけ離間するように前記実装ステージの上に載置され、
前記移動開始位置は、一の前記位置マークの画像が前記画像取得手段の光軸となる位置であり、
前記移動終了位置は、他の前記位置マークの画像が前記画像取得手段の光軸となる位置であり、
前記制御部は、
前記移動開始位置から前記移動終了位置まで前記移動体を移動させ、前記移動体の前記移動開始位置における前記スケールの目盛番号と、前記移動終了位置における前記スケールの目盛番号とを前記第1検出部又は前記第2検出部により検出し、検出した各目盛番号の差を目盛番号差として算出し、既知の前記リファレンス距離に対する前記目盛番号差に前記目盛のピッチを掛けて求めた距離の比を前記位置補正係数に掛けて修正位置補正係数を算出し、
算出した前記修正位置補正係数を用いて前記スケールで検出した移動距離を修正して前記移動体の移動量を制御すること、
を特徴とする装置。 - 請求項1に記載の装置であって、
前記制御部は、前記スケールの一端からの所定の目盛数毎の前記位置補正係数を算出すること、
を特徴とする装置。 - 請求項2または3に記載の装置であって、
前記制御部は、前記スケールの一端からの所定の目盛数毎の前記位置補正係数と、前記修正位置補正係数とを算出すること、
を特徴とする装置。 - 請求項1から5のいずれか1項に記載の装置であって、
前記移動体は、半導体ダイを前記対象物に搬送する搬送機構であり、
前記対象物は、搬送された前記半導体ダイが実装される基板又は他の半導体ダイであって、
前記装置は、前記半導体ダイを前記対象物に実装する実装装置であることを特徴とする、
装置。 - 対象物に対して移動体を直線移動させる方法であって、
前記対象物に対して直線移動し、移動方向に既知の間隔で配置された第1位置と第2位置とを有する前記移動体と、
前記移動体の前記移動方向に沿って配置され、前記移動方向に沿って所定ピッチで複数の目盛が設けられたスケールと、
前記移動体の前記第1位置に配置され、前記第1位置に対する前記スケールの第1目盛番号を検出する第1検出部と、
前記移動体の前記第2位置に配置され、前記第2位置に対する前記スケールの第2目盛番号を検出する第2検出部と、を備える装置を準備する工程と、
前記移動体を前記スケールに沿って移動開始位置から移動終了位置まで移動させながら、逐次、前記第1検出部及び前記第2検出部で前記第1目盛番号及び前記第2目盛番号を検出し、前記第1目盛番号と前記第2目盛番号との差に前記目盛のピッチを掛けて前記第1検出部と前記第2検出部との間の前記スケール上の距離を算出し、算出した前記スケール上の距離に対する前記第1検出部と前記第2検出部の既知の前記間隔の比として前記スケールの位置補正係数を算出する工程と、を有すること、
を特徴とする方法。 - 請求項7に記載の方法であって、
前記装置は、前記移動体の基準位置からの距離を検出する距離検出器を備え、
前記距離検出器によって前記基準位置からの前記移動体の距離を検出しながら前記移動体を前記移動開始位置から前記移動終了位置まで移動させ、前記移動体の前記移動開始位置における前記スケールの目盛番号と前記移動終了位置における前記スケールの目盛番号とを前記第1検出部または前記第2検出部により検出し、検出した各目盛番号の差を目盛番号差として算出し、前記距離検出器によって検出した前記移動体の前記移動開始位置から前記移動終了位置までの距離に対する前記目盛番号差に前記目盛のピッチを掛けて求めた距離の比を前記位置補正係数に掛けて修正位置補正係数を算出する工程と、
算出した前記修正位置補正係数を用いて前記スケールで検出した移動距離を修正して前記移動体の移動量を制御する工程と、を含むこと、
を特徴とする方法。 - 請求項7に記載の方法であって、
前記装置は、電子部品を実装する実装ステージと、上面に位置マークが設けられている2つのリファレンス部材と、前記移動体に取付けられて前記位置マークの画像を取得する画像取得手段と、を更に備え、
各位置マークが前記移動体の前記移動方向に既知のリファレンス距離だけ離間するように前記実装ステージの上にリファレンス部材を載置する工程と
一の前記位置マークの画像が前記画像取得手段の光軸となる位置を前記移動開始位置とし、他の前記位置マークの画像が前記画像取得手段の光軸となる位置を前記移動終了位置として前記移動開始位置から前記移動終了位置まで前記移動体を移動させ、前記移動体の前記移動開始位置における前記スケールの目盛番号と、前記移動終了位置における前記スケールの目盛番号とを前記第1検出部又は前記第2検出部により検出し、検出した各目盛番号の差を目盛番号差として算出し、既知の前記リファレンス距離に対する前記目盛番号差に前記目盛のピッチを掛けて求めた距離の比を前記位置補正係数に掛けて修正位置補正係数を算出する工程と、
算出した前記修正位置補正係数を用いて前記スケールで検出した移動距離を修正して前記移動体の移動量を制御する工程と、を含むこと、
を特徴とする方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017162928 | 2017-08-28 | ||
JP2017162928 | 2017-08-28 | ||
PCT/JP2018/031744 WO2019044819A1 (ja) | 2017-08-28 | 2018-08-28 | 対象物に対して移動体を直線移動させる装置および方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2019044819A1 JPWO2019044819A1 (ja) | 2020-07-09 |
JP7072264B2 true JP7072264B2 (ja) | 2022-05-20 |
Family
ID=65525589
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019539523A Active JP7072264B2 (ja) | 2017-08-28 | 2018-08-28 | 対象物に対して移動体を直線移動させる装置および方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11410866B2 (ja) |
JP (1) | JP7072264B2 (ja) |
KR (1) | KR102374227B1 (ja) |
CN (1) | CN111213226B (ja) |
SG (1) | SG11202003761XA (ja) |
TW (1) | TWI686881B (ja) |
WO (1) | WO2019044819A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2018
- 2018-08-28 JP JP2019539523A patent/JP7072264B2/ja active Active
- 2018-08-28 CN CN201880066606.1A patent/CN111213226B/zh active Active
- 2018-08-28 WO PCT/JP2018/031744 patent/WO2019044819A1/ja active Application Filing
- 2018-08-28 KR KR1020207008769A patent/KR102374227B1/ko active IP Right Grant
- 2018-08-28 SG SG11202003761XA patent/SG11202003761XA/en unknown
- 2018-08-28 TW TW107129994A patent/TWI686881B/zh active
- 2018-08-28 US US16/650,372 patent/US11410866B2/en active Active
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US11410866B2 (en) | 2022-08-09 |
WO2019044819A1 (ja) | 2019-03-07 |
KR20200040878A (ko) | 2020-04-20 |
CN111213226A (zh) | 2020-05-29 |
TWI686881B (zh) | 2020-03-01 |
JPWO2019044819A1 (ja) | 2020-07-09 |
TW201923919A (zh) | 2019-06-16 |
US20200411352A1 (en) | 2020-12-31 |
CN111213226B (zh) | 2023-07-07 |
SG11202003761XA (en) | 2020-05-28 |
KR102374227B1 (ko) | 2022-03-15 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A711 | Notification of change in applicant |
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