JP7071908B2 - フォーカスリング及びこれを備えたプラズマ処理装置 - Google Patents
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Description
図1は本発明の第1の実施形態に係るプラズマ処理装置10の概略的な構成を示した縦断面図である。図1のプラズマ処理装置10は、閉塞空間を有する処理チャンバ11と、この処理チャンバ11内に、昇降シリンダ(図示せず)に接続された支持部材69により昇降自在に配設され、50mm~300mmの大きさのウェハ等の被処理基板Kが載置される基板載置台15と、該基板載置台15内に設けられたリフタ(図示せず)を昇降させることにより、該基板載置台15上の被処理基板Kを昇降させる昇降シリンダ19と、基板載置台15上に載置された被処理基板Kの周囲を囲むように配設される環状のフォーカスリング1とを備えて構成される。さらに、図1のプラズマ処理装置10は、処理チャンバ11内にエッチングガス、保護膜形成ガス及び不活性ガスを供給するガス供給装置20と、処理チャンバ11内に供給されたエッチングガス、保護膜形成ガス及び不活性ガスをプラズマ化するプラズマ生成装置30と、処理チャンバ11内の圧力を減圧する排気装置40と、基板載置台15にバイアス電位用の高周波電力を供給する高周波電源35と、基板載置台15に静電吸着用の電圧を印加する静電吸着用電源(図示せず)とを備えて構成される。
次に、本発明の第2の実施形態に係るフォーカスリングについて説明する。図8は、第2の実施形態に係るフォーカスリングを概略的に示した拡大断面図である。図8に示すように、このフォーカスリング1Aは、図5に示したフォーカスリング1と比較すると、内周リング2の代わりに内周リング2Aを備え、外周リング3の代わりに外周リング3Aを備えた点で、その構成が相違する。したがって、図8において、第1の実施形態と同じ構成については、同じ符号を付し、以下では、その詳しい説明を省略する。
次に、本発明の第3の実施形態に係るフォーカスリングについて説明する。図9は、第3の実施形態に係るフォーカスリングを概略的に示した拡大断面図である。図9に示すように、このフォーカスリング1Bは、図5に示したフォーカスリング1と比較すると、内周リング2の代わりに内周リング2Bを備えた点で、その構成が相違する。また、本例の内周リング2Bは、図5に示した内周リング2と比較すると、本例の内周リング2Bは、当該内周リング2Bと下部電極61とが接触する面を含む部位2Baが、フォーカスリング1Bを構成する他の部位の材料よりも低誘電率の石英で形成された点で、その構成が相違する。したがって、図9において、第1の実施形態と同じ構成については、同じ符号を付し、以下では、その詳しい説明を省略する。
2,2A,2B、2C 内周リング
3,3A、3C 外周リング
10 プラズマ処理装置
11 処理チャンバ
15 基板載置台
19 昇降シリンダ
20 ガス供給装置
21,22,23,24 ガス供給部
30 プラズマ生成装置
31 コイル
35 高周波電源
40 排気装置
61 下部電極
K 被処理基板
Claims (10)
- プラズマ処理される被処理基板を載置する基板載置台上に配設される環状のフォーカスリングであって、
前記フォーカスリングは、前記基板載置台上に載置された被処理基板の周囲を囲むように配設される内周リングと、前記内周リングの外周を囲むように配設される外周リングとから構成され、
前記内周リングは環状形状を有し、その周方向に複数に分割された分割リングを組み合わせてなり、
前記外周リングの内周面は、その底面に対する高さが外周側から内周側に進むに従って高くなる第1傾斜面となっており、
前記外周リングは、その第1傾斜面が前記各分割リングの外周面の少なくとも一部で当接することにより、前記各分割リングに対して中心部に向かった荷重を作用させるように構成されることを特徴とするフォーカスリング。 - 前記外周リングは、前記基板載置台の配設面に対して所定の隙間が形成されるように前記基板載置台上に配設されることを特徴とする請求項1記載のフォーカスリング。
- 前記外周リングの下面に対する第1傾斜面の第1傾斜角は、110度以上135度以下であることを特徴とする請求項1又は2記載のフォーカスリング。
- 前記内周リングの外周面は、底面に対する高さが内周側から外周側に進むに従って低くなる第2傾斜面となっており、
前記外周リングの下面に対する第1傾斜面の第1傾斜角は、前記内周リングの上面に対する第2傾斜面の第2傾斜角と略同一であることを特徴とする請求項3記載のフォーカスリング。 - 前記外周リングは、前記外周リングを前記基板載置台上に配設したときに、該外周リングの外周面が前記外周リングの配設面の外縁よりも径方向に突出するように形成されていることを特徴とする請求項1~4のうちのいずれか1つに記載のフォーカスリング。
- 前記基板載置台はさらにバイアス電位を印加する下部電極を備え、
前記内周リングにおいて、該内周リングと前記下部電極とが接触する面を含む一部の部位は、前記フォーカスリングを構成する他の部位の材料よりも低誘電率の材料で形成されることを特徴とする請求項1~5のうちのいずれか1つに記載のフォーカスリング。 - 前記低誘電率の材料は石英であることを特徴とする請求項6記載のフォーカスリング。
- 前記内周リングにおける各分割リングの接合部は、鉤型形状をしていることを特徴とする請求項1~7のうちのいずれか1つに記載のフォーカスリング。
- 前記各分割リングは、その表面がイットリウムを含む酸化物又はフッ化物によりコーティングされていることを特徴とする請求項1~8のうちのいずれか1つに記載のフォーカスリング。
- 請求項1~9のうちのいずれか1つに記載のフォーカスリングを備えたことを特徴とするプラズマ処理装置。
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Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002110652A (ja) | 2000-10-03 | 2002-04-12 | Rohm Co Ltd | プラズマ処理方法およびその装置 |
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JP2012109608A (ja) | 2012-02-20 | 2012-06-07 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置および方法とフォーカスリング |
JP2013512573A (ja) | 2009-11-25 | 2013-04-11 | グリーン, ツイード オブ デラウェア, インコーポレイテッド | プラズマ耐性コーティングで基板をコーティングする方法および関連するコーティングされた基板 |
US20140224426A1 (en) | 2013-02-13 | 2014-08-14 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Substrate support unit and plasma etching apparatus having the same |
JP2015114313A (ja) | 2013-12-16 | 2015-06-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 温度測定方法、基板処理システム及び温度測定用部材 |
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Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002110652A (ja) | 2000-10-03 | 2002-04-12 | Rohm Co Ltd | プラズマ処理方法およびその装置 |
JP2009290087A (ja) | 2008-05-30 | 2009-12-10 | Tokyo Electron Ltd | フォーカスリング及びプラズマ処理装置 |
JP2011003730A (ja) | 2009-06-18 | 2011-01-06 | Mitsubishi Materials Corp | プラズマ処理装置用シリコンリング |
JP2013512573A (ja) | 2009-11-25 | 2013-04-11 | グリーン, ツイード オブ デラウェア, インコーポレイテッド | プラズマ耐性コーティングで基板をコーティングする方法および関連するコーティングされた基板 |
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