JP7069815B2 - 圧電駆動装置、ロボットハンド、ロボット、電子部品搬送装置、プリンター、プロジェクターおよび圧電駆動装置の駆動方法 - Google Patents

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7537230B2 (ja) 2020-10-30 2024-08-21 セイコーエプソン株式会社 ハンドの駆動方法およびハンド

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003324974A (ja) 2002-04-25 2003-11-14 Kyocera Corp 超音波モータを可動体の駆動源とする案内装置
JP2007166737A (ja) 2005-12-12 2007-06-28 Taiheiyo Cement Corp 超音波駆動装置およびそれに用いる被駆動部材
JP2010141949A (ja) 2008-12-09 2010-06-24 Canon Inc 振動波駆動装置
US20100289381A1 (en) 2009-05-15 2010-11-18 New Scale Technologies Automated drive frequency control for resonant actuator systems and methods thereof
JP2016144262A (ja) 2015-01-30 2016-08-08 キヤノン株式会社 振動体の駆動制御回路、振動体の駆動方法、振動型駆動装置及び撮像装置
JP2016182016A (ja) 2015-03-25 2016-10-13 セイコーエプソン株式会社 圧電駆動装置及びその駆動方法、ロボット及びその駆動方法

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09247965A (ja) * 1996-03-06 1997-09-19 Minolta Co Ltd 電気機械変換素子を使用した移動ステ−ジ

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003324974A (ja) 2002-04-25 2003-11-14 Kyocera Corp 超音波モータを可動体の駆動源とする案内装置
JP2007166737A (ja) 2005-12-12 2007-06-28 Taiheiyo Cement Corp 超音波駆動装置およびそれに用いる被駆動部材
JP2010141949A (ja) 2008-12-09 2010-06-24 Canon Inc 振動波駆動装置
US20100289381A1 (en) 2009-05-15 2010-11-18 New Scale Technologies Automated drive frequency control for resonant actuator systems and methods thereof
JP2016144262A (ja) 2015-01-30 2016-08-08 キヤノン株式会社 振動体の駆動制御回路、振動体の駆動方法、振動型駆動装置及び撮像装置
JP2016182016A (ja) 2015-03-25 2016-10-13 セイコーエプソン株式会社 圧電駆動装置及びその駆動方法、ロボット及びその駆動方法

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