JP7069190B2 - スピン発振器デバイスおよび相互同期スピン発振器デバイスアレイ - Google Patents

スピン発振器デバイスおよび相互同期スピン発振器デバイスアレイ Download PDF

Info

Publication number
JP7069190B2
JP7069190B2 JP2019545239A JP2019545239A JP7069190B2 JP 7069190 B2 JP7069190 B2 JP 7069190B2 JP 2019545239 A JP2019545239 A JP 2019545239A JP 2019545239 A JP2019545239 A JP 2019545239A JP 7069190 B2 JP7069190 B2 JP 7069190B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
spin
spin oscillator
ncs
frequency
oscillator device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2019545239A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2020502821A (ja
Inventor
ヨハン・オーケルマン
アーマッド・ア・アワド
フィリップ・ドゥーレンフェルド
アフシン・ハウシャン
ミコラ・ドゥヴォルニク
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NANOSC AB
Original Assignee
NANOSC AB
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NANOSC AB filed Critical NANOSC AB
Publication of JP2020502821A publication Critical patent/JP2020502821A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7069190B2 publication Critical patent/JP7069190B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F10/00Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure
    • H01F10/32Spin-exchange-coupled multilayers, e.g. nanostructured superlattices
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F10/00Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure
    • H01F10/32Spin-exchange-coupled multilayers, e.g. nanostructured superlattices
    • H01F10/324Exchange coupling of magnetic film pairs via a very thin non-magnetic spacer, e.g. by exchange with conduction electrons of the spacer
    • H01F10/3254Exchange coupling of magnetic film pairs via a very thin non-magnetic spacer, e.g. by exchange with conduction electrons of the spacer the spacer being semiconducting or insulating, e.g. for spin tunnel junction [STJ]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F10/00Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure
    • H01F10/32Spin-exchange-coupled multilayers, e.g. nanostructured superlattices
    • H01F10/324Exchange coupling of magnetic film pairs via a very thin non-magnetic spacer, e.g. by exchange with conduction electrons of the spacer
    • H01F10/329Spin-exchange coupled multilayers wherein the magnetisation of the free layer is switched by a spin-polarised current, e.g. spin torque effect
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/66Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/82Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by variation of the magnetic field applied to the device
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03BGENERATION OF OSCILLATIONS, DIRECTLY OR BY FREQUENCY-CHANGING, BY CIRCUITS EMPLOYING ACTIVE ELEMENTS WHICH OPERATE IN A NON-SWITCHING MANNER; GENERATION OF NOISE BY SUCH CIRCUITS
    • H03B15/00Generation of oscillations using galvano-magnetic devices, e.g. Hall-effect devices, or using superconductivity effects
    • H03B15/006Generation of oscillations using galvano-magnetic devices, e.g. Hall-effect devices, or using superconductivity effects using spin transfer effects or giant magnetoresistance
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N50/00Galvanomagnetic devices
    • H10N50/10Magnetoresistive devices
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N52/00Hall-effect devices
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y25/00Nanomagnetism, e.g. magnetoimpedance, anisotropic magnetoresistance, giant magnetoresistance or tunneling magnetoresistance

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Hall/Mr Elements (AREA)

Description

本発明は、スピン発振器デバイスおよびこうしたデバイスの使用に関する。
スピン発振器デバイス、例えば、スピン流を利用するスピンホール効果ナノ発振器(SHNO:s)などのが知られている。
スピン流が、スピントランスファートルクとして知られるプロセスでその角運動量を薄膜の磁化に伝達できる。スピン電流が、スピンホール効果を介して電荷電流から発生できる。電荷電流をナノ狭窄(NC)に通過させることによって得られる十分に大きいスピン流密度では、磁性薄膜の固有の減衰(damping)は完全に補償でき、磁化の自動発振が持続できる。
こうした本質的にナノスケールのデバイスは、高度に同調可能な広帯域発振器が必要とされる用途にとって魅力的な候補である。しかしながら、発振器の低出力パワーおよび高い位相雑音はそれらの進歩を失速させている。発振器性能を改善する一般に認められた技術は、それらの多くを一緒に同期させることであった。
発振器技術を超えて、こうしたデバイスは他の潜在的用途を有する。例えば、相補型金属酸化膜半導体(CMOS)集積回路がデータ処理における先行技術であるが、こうした「超CMOS(beyond CMOS)」技術の1つは、伝搬スピン波および局在スピン波の両方の機能化に依存するものであり、一般にマグノニクス(magnonics)と称されるスピントロニクスでのサブ分野である。マグノニクス装置の典型的なコンポーネントは、スピン波を発生し操作し検出する機構、そしてスピン波が進行しまたは相互作用する磁気媒体を含む。これらの技術の拡張は、人間の脳に見られる機能性を模倣することを目的とした神経形態学的機能のために、スピントロニクス発振器の大規模並列ネットワークを利用することである。従って、新しい技術を開発して、スピン波および磁化自動発振をナノスケールで操作し、確実に制御することが重要である。さらに、強磁性媒体内での減衰および損失に起因して、伝搬するスピン波の有限伝搬長および弱く局在化したスピン波の間の有限の相互作用長が存在する。スピン波の伝搬および相互作用の範囲を増加させることも技術的に好都合であり、そのため情報がより長い距離に渡って移送できる。
結合した非線形発振器の同期および位相ロックは一般的な自然現象である。結合は、典型的には相互的なものとして説明され、各発振器は、得られる同期状態において能動的な役割を果たすためである。相互同期は、用途に必要とされる十分な信号品質を達成する主要な手段と考えられる。それはまた、発振器ネットワークにおいて神経形態学的機能の重要なメカニズムである。しかしながら、今のところSHNOの相互同期は実験的に実証されていない。
本開示の一態様によれば、相互作用する局在スピン波は、同期を生じさせる主要な結合メカニズムである。さらに、一般に使用される面内磁界の代わりに、面外磁界でSHNOを動作させることによって、自動発振領域の局所的性質が減少でき、自動発振領域はサイズを拡大できる。面外磁界とSHNO駆動電流のある特有の組合せでは、面外磁化方向および発振器の固有の非線形性は、組み合わさって、発振の極大値をNCの側面からNCの内部に切り離す。この切り離し後、自動発振領域は、実質的にサイズが拡大することがあり、その両方とも単一のSHNOのマイクロ波出力パワーを増加させ、2つ以上のSHNOの安定な相互同期を可能にする。
第1態様の第1実施形態によれば、スピン発振器デバイスが提供され、これは、拡張した2層式磁性および非磁性薄膜スタック(stack)を有する第1スピンホール効果ナノ発振器(SHNO)を備え、ナノ狭窄(NC)が2層式薄膜スタックに設けられ、磁性フリー層を備え、ナノスコピック(nanoscopic)領域を有するSHNOを提供する。NCは、電流をナノスコピック領域に集中させるように構成され、磁性フリー層に自動発振スピン波を発生するのに要する必要電流密度を発生するように構成される。外部印加磁界は、フリー層磁化の方向を制御して、それが膜平面に対して非ゼロの面外角度を形成し、スピン波領域が、NCエッジから引き離されて、NC領域の内外に第2スピン発振器デバイスに向けて拡大し、自動発振を行い、そして第1NCに同期するように構成される。
一態様によれば、垂直アレイ形状で複数のNCをデイジーチェーン接続(daisy-chain)することによって、スピン波情報(即ち、スピン波位相、周波数、振幅、およびそれらの変調)を一方のNCから他方のNCに、単一のNCによって可能なものよりかなり長い距離に渡って伝搬させることができる。これは、局在スピン波がこれらの固有的局在よりはるかに大きい距離に渡って情報を伝達できるようになるため、技術的に好都合である。このことはスピン波の範囲を増加させ、情報がより大きい距離に渡って伝送可能になる。
一態様によれば、ブリッジを調整することによって、例えば、2つ以上のスピン発振器を接続するブリッジを狭くすることによって、ブリッジ内のスピン流密度を増加させることができ、スピン波減衰は減少し、発振器領域をブリッジ内にさらに拡大させ、スピン発振器間の相互作用を増加できる。これにより2つ以上のスピン発振器が相互に同期可能な距離がさらに長くなる。
一態様によれば、2つ以上のスピン発振器からなる2つ以上のラインを互いに隣接して配置することによって、ダイポール結合は、隣接ラインでのスピン発振器を相互に同期させことができ、スピン発振器の2次元横方向アレイ全体を相互に同期させることを可能にする。
一態様によれば、2つ以上のスピン発振器からなる2つ以上のラインを相互の上部に製造することによって、ダイポール結合は、隣接ラインでのスピン発振器を相互に同期させことができ、スピン発振器の2次元アレイ全体を互いに同期させることを可能にする。同様に、2つ以上の横方向アレイのスピン発振器を相互の上部に製造することによって、スピン発振器の3次元アレイ全体を互いに同期させることができる。
一態様によれば、典型的には、幾何形状または材料の相違のいずれかによる異なる周波数を備えた多数のスピン発振器が並列に接続され、これらは個々の駆動電流を有するが、これらのマイクロ波信号は一緒に結合するようになる。スピン発振器の集合体(ensemble)の上部には、周波数fのマイクロ波磁界を提供する導体が位置する。各スピン発振器の周波数fは、独立して制御可能である。スピン発振器の集合体への入力電流Iの特定のセットについては、全てのfは、注入ロックするfに十分に接近するようになる。スピン発振器の集合体の合成出力信号は、多数の注入同期スピン発振器と共に強く増加するようになり、このマイクロ波信号の強度は、発振器の集合体がfにどれだけ接近して同調されているかの尺度として使用できる。出力信号は、特定セットの入力電流について最も強くなるため、スピン発振器の集合体は、このセットを認識するために使用できる。導体を通るマイクロ波電流強度を調整することによって、周波数fがfにどれだけ接近して整合すべきかの条件も調整できる。
一態様によれば、典型的には、幾何形状または材料の相違のいずれかによる異なる周波数を備えた多数のスピン発振器が直列に接続され、これらは同じ駆動電流を有するが、異なる周波数fを発生する。各スピン発振器の上部には、静磁界を提供し、当該スピン発振器の周波数を独立に調整する導体が位置する。よって、各スピン発振器の周波数fは、独立して制御可能である。導体の集合体への特定のセットの入力電流Iについては、全てのfは、相互に同期するのに互いに十分に接近するようになる。スピン発振器の集合体の合成出力信号は、相互に同期した多数のスピン発振器と共に強く増加するようになり、このマイクロ波信号の強度は、発振器の集合体が共通周波数にどれだけ接近して同調されているかの尺度として使用できる。出力信号は、導体への特定のセットの入力電流について最も強くなるため、スピン発振器の集合体は、このセットを認識するために使用できる。スピン発振器の集合体を介して電流強さを調整することによって、これらの相互作用強度は調整でき、よって周波数fが互いにどれだけ接近して整合すべきかの条件も調整できる。
本発明の特徴および利点は、下記の詳細な説明および添付図面からさらに明らかになるであろう。
本発明の実施形態に係るスピン発振器デバイスを側方からの断面図で示すものであり、スタック層を示す。 本発明の実施形態に係るスピン発振器デバイスを平面図で示すものであり、ナノ狭窄、そして電流駆動およびマイクロ波電圧発生を示す。 本発明の実施形態に係るスピン発振器デバイスを主要平面図で示すものであり、相互同期を示す。 本発明の実施形態に係るスピン発振器デバイスを主要平面図で示し、増強された相互同期を示す。 本発明の代替の実施形態に係るスピン発振器デバイスを主要平面図で示すものであり、2つの横方向での2次元同期を示す。 本発明の代替の実施形態に係るスピン発振器デバイスを側方からの断面図で示すものであり、1つの横方向および法線方向における2次元同期を示す。 本発明の代替の実施形態に係るスピン発振器デバイスを主要平面図で示すものであり、1つの横方向および法線方向における2次元同期を示す。 本発明の代替の実施形態に係るスピン発振器デバイスを側方からの断面図で示すものであり、2つの横方向および法線方向における3次元同期を示す。 本発明の代替の実施形態に係るスピン発振器デバイスを主要平面図で示すものであり、2つの横方向および法線方向における3次元同期を示す。 本発明の代替の実施形態に係るスピン発振器デバイスを側方からの断面図で示すものであり、隣接する導電線が、静磁界および、スピン発振器とは異なる周波数を持つマイクロ波磁界の組合せを提供する。スピン発振器は、マイクロ波磁界の周波数に注入ロックできる。 本発明の代替の実施形態に係るスピン発振器デバイスを主要平面図で示すものであり、隣接する導電線が、静磁界および、スピン発振器とは異なる周波数を持つマイクロ波磁界の組合せを提供する。スピン発振器は、マイクロ波磁界の周波数に注入ロックできる。 本発明の代替の実施形態に係る、単一周波数を持つマイクロ波電界を提供する追加の線を備えたスピン発振器デバイスの直線並列アレイを平面図で示す。各スピン発振器は、各発振器周波数を制御する電流を用いて個々に駆動可能である。各スピン発振器器らのマイクロ波信号は一緒に結合される。全ての入力電流が、個々の周波数がマイクロ波磁界周波数に接近するものである場合、全ての発振器は、この周波数に注入ロックし、結合時に大きなコヒーレントマイクロ波出力電圧を提供する。 本発明の代替の実施形態に係る、追加のDC磁界を提供する追加の線を有するスピン発振器デバイスの直線直列アレイを側面からの断面図で示す。各スピン発振器は、追加の磁界なしで、相互に同期しない十分に異なる周波数で発振するように設計される。追加の磁界が、個々の周波数が互いに接近するような場合、全ての発振器は、単一の結合周波数に注入ロックし、結合時に大きなコヒーレントマイクロ波出力電圧を提供する。 本発明の代替の実施形態に係る、追加のDC磁界を提供する追加の線を有するスピン発振器デバイスの直線直列アレイを平面図で示す。各スピン発振器は、追加の磁界なしで、相互に同期しない十分に異なる周波数で発振するように設計される。追加の磁界が、個々の周波数が互いに接近するような場合、全ての発振器は、単一の結合周波数に注入ロックし、結合時に大きなコヒーレントマイクロ波出力電圧を提供する。
以下、本発明の実施の形態について説明する。
図1a~図1bは、本発明の一実施形態に係るスピン発振器デバイスを示す。
スピン発振器デバイス1は、フリー層とも称される磁性層3と、スピンホール効果を介して磁性層にスピン流を供給する隣接層4,5とを有するスピン発振器2を備える。スピン発振器デバイス1は、局在または伝搬するスピン波(SW)を発生するように構成される。スピン発振器2は、電流Idcを注入し、及び/又は磁界を印加することによって、制御されるように構成される。本実施形態では、スピン発振器2は、スピンホール効果ナノ発振器SHNOであり、ナノ狭窄(nano-constriction)(NC)6が層3,4,5に設けられる。
典型的には、動作時に電荷電流Idcがスピン発振器デバイス1を通って注入され、NC6に集中するようになり、スピン電流Iを層4,5から磁性層3の中へ駆動する。両方の層4,5が存在しない代替の実施形態において、固有スピン電流が、不均一磁化を通過する電流を介してNC領域内で駆動される。典型的には、層4,5のスピンホール角は、これらの個々のスピン流が磁性層3内で建設的に合算するように反対の符号を有するように選択される。全てのスピン流の純合計は、層3での磁化の発振を励起する。これらの発振は、フリー層3内に局在化または伝搬するスピン波を発生し、それはNC6から伝搬または遠くに延びる。
代替として、スピン発振器2は、層4または5の一方または両方を省略できる。
代替として、フリー層3は、複合層及び/又は多層でもよく、異なる磁性材料および非磁性材料が組み合わされ、それらの磁気特性、例えば、これに限定されないが、磁化強度および方向、磁気異方性強度および方向、スピン波減衰(damping)、スピン分極および磁気抵抗などを調整している。
スピン発振器2は、磁気抵抗効果、例えば、異方性磁気抵抗、巨大磁気抵抗、トンネル磁気抵抗、またはこれらの組合せなど、により出力信号Vrfを発生する。
ここで図1aと図1bを参照する。図1aと図1bは、スピン発振器デバイス1を側面および上方からの全体図で示すものであり、非限定的な例として典型的なスタック層およびナノ狭窄を示す。
図1aと図1bは、図1に示すようなスピンホール効果ナノ発振器(SHNO)デバイス1のアーキテクチャを示す。層3,4,5内にリソグラフィ式で画定されたナノ狭窄6は、典型的には対称であり、5~500nmの幅を有し、典型的には同じ範囲内の曲率半径を有し、0~90度の開口角で、電流Idcをナノスコピック領域に集中させるように機能する。電流Idcのこうした集中は、フリー層3においてスピン波を励起するのに要する必要スピン流密度を発生する。ナノ狭窄NC6を通過する電流Idcと共に、エルステッド(Oersted)磁界(HOe)と称される周方向磁界が存在するため、面内磁界成分および面外磁界成分の両方をNC6に生じさせる。外部印加磁界(Hext)がNC6の幅に渡って一定である面外成分を有する場合、エルステッド磁界の純効果は、NC6のエッジの一方において磁界最小値を有する不均一な全体磁界である。
説明したように、本発明の一態様によれば、NC6幾何形状、エルステッド磁界および外部印加磁界の特有の組合せにより、低い電流での自動発振がNC6のエッジにおいて最も低い全体磁界で開始するようになる。自動発振の非線形性の影響の下で、ある電流値が存在し、それを超えると自動発振の最大値がエッジから切り離して、NC6の内側に移動する。この切り離しに伴って、NC6を通り、そしてNC6の外側の両方向での自励発振領域の拡大がある。
ここで図2を参照して、これは本発明の実施形態に係る2つのスピン発振器デバイスを主要図で示すものであり、相互同期を示す。
面外成分を有する外部印加磁界(Hext)は、2つのナノ狭窄NC1,NC2での自動発振を制御するように構成される。2つのNCは、自然な処理変動により、または設計によって意図的に幾何形状(例えば、幅、曲率、開口角)が相違する。異なる幾何形状は、典型的には、f1,f2で示されるNC1,NC2での異なる自動発振周波数を生じさせる。駆動電流Idcと外部印加磁界(Hext)との組合せにより、自動発振領域は、自動発振領域間の直接相互作用、最終的にはf1=f2となるように自動発振の相互同期を生じさせるのに十分に拡大できる。
ここで図3を参照して、本発明の実施形態に係る2つのスピン発振器デバイスNC1,NC2を主要図で示すものであり、大きな距離に渡る相互同期を示す。
NC1,NC2を接続するブリッジの開口角は0~90度の範囲で変化でき、ここで0度は、NC1,NC2と同じ幅を有する均一なナノワイヤを意味し、90度は、準無限幅のブリッジを意味する。大きい距離に渡って相互同期を達成する典型的な実施形態において、開口角は数度(few degrees)であり、そのためブリッジ内の電流密度は高いが、NC1,NC2内のものよりも低くなる。こうして自動発振は、NC1,NC2において開始することになるが、電流が増加すると、自動発振領域はブリッジ内でさらに拡大するようになり、長距離に渡る相互同期を著しく促進する。
図3の実施形態は、3つ以上のナノ狭窄に必然的に拡張でき、異なる幅および曲率のN個のナノ狭窄のラインが異なる長さおよび開口角のブリッジによって接続される。典型的な実施形態において、全てのNCは、自然な処理変動を除いて、名目上は類似しており、全てのブリッジは名目上は類似している。外部印加磁界とNCのラインを通る駆動電流との組合せにより、NCの部分的または完全に同期した状態を達成できる。発振器のこのチェーン(chain)は、無限に延長できる。こうして、原則として、無限数の発振器がデイジーチェーン接続できる。
ここで図4を参照して、それぞれ2つのナノ狭窄を有する2つのラインが互いに隣接して配置され、横方向2次元アレイを形成する。外部磁界とアレイを通る駆動電流との組合せが、自動発振領域間の静磁気結合を介して隣接するラインの相互同期を促進できる。こうして部分的にまたは完全に相互に同期した自動発振領域の2次元アレイが実現できる。
図4の実施形態は、3つ以上のラインおよび3つ以上のナノ狭窄を有する各ラインに必然的に拡張でき、そのためN×M個のナノ狭窄の横方向2次元アレイが実現される。外部印加磁界とNCのラインを通る駆動電流と組合せにより、NCの部分的または完全に同期した状態を達成できる。この発振器アレイは、無限に延長できる。こうして、原則として、無限数の発振器が2次元にデイジーチェーン接続できる。
ここで図5a~図5bを参照して、2つのナノ狭窄が相互の上に配置され、ラインに沿って、構成層の平面に対して垂直な方向に延びる2次元アレイを形成している。外部磁界とアレイを通る駆動電流との組合せが、自動発振領域間の静磁気結合を介して隣接するラインの相互同期を促進できる。こうして部分的にまたは完全に相互に同期した自動発振領域の2次元アレイが実現できる。
図5aと図5bの実施形態は、該平面に対しておよび3つ以上のナノ狭窄を有する各ラインに対して垂直な方向に、3つ以上のナノ狭窄6に必然的に拡張でき、そのためN×M個のナノ狭窄の2次元アレイが実現される。この発振器アレイは、無限に延長できる。こうして、原則として、無限数の発振器が2次元にデイジーチェーン接続でき、1つの次元はデバイスの平面に対して垂直である。
ここで図6を参照して、それぞれ2つのナノ狭窄を有する2つのラインからなる2つの2次元アレイ10が、相互の上に配置され、横方向に、そして構成層の平面に対して垂直な方向に延びる3次元アレイ10を形成している。外部磁界とアレイを通る駆動電流との組合せが相互同期を促進できる。こうして部分的にまたは完全に相互に同期した自動発振領域の3次元アレイが実現できる。
図6の実施形態は、該平面に対しておよび3つ以上のナノ狭窄6を有する3つ以上のラインを有する各アレイに対して垂直な方向に、3つ以上の2次元アレイに必然的に拡張でき、そのためN×M×P個のナノ狭窄の3次元アレイ10が実現される。この発振器アレイ10は、無限に延長できる。こうして、原則として、無限数の発振器が3次元にデイジーチェーン接続できる。
ここで図7を参照して、導体11がスピン発振器の上部に配置される。導体11は、静磁界とマイクロ波磁界との組合せを提供できる。静磁界は、スピン発振器の周波数を調整するために使用できる。マイクロ波磁界は、スピン発振器の周波数を注入ロックできる。
ここで図8を参照して、典型的には、幾何形状または材料の差からのいずれかによる異なる周波数を備えた多数のスピン発振器NC1,NC2,NC3が並列に接続され、これらは個々の駆動電流を有するが、これらのマイクロ波信号は一緒に結合するようになる。スピン発振器の集合体(ensemble)の上部には、周波数fのマイクロ波磁界を提供する導体が位置する。各スピン発振器の周波数fは、独立して制御可能である。スピン発振器の集合体への入力電流Iの特定のセットについては、全てのfは、注入ロックするfに十分に接近するようになる。スピン発振器の集合体の合成出力信号は、多数の注入同期スピン発振器と共に強く増加するようになり、このマイクロ波信号の強度は、発振器の集合体がfにどれだけ接近して同調されているかの尺度として使用できる。出力信号は、特定セットの入力電流について最も強くなるため、スピン発振器の集合体は、このセットを認識するために使用できる。導体を通るマイクロ波電流強度を調整することによって、周波数fがfにどれだけ接近して整合すべきかの条件も調整できる。
ここで図9を参照して、典型的には、幾何形状または材料の違いのいずれかによる異なる周波数を備えた多数のスピン発振器器NC1,NC2が直列に接続され、これらは同じ駆動電流を有するが、異なる周波数fを発生する。各スピン発振器器の上部には、静磁界を提供して、当該スピン発振器の周波数を独立に調整する導体が位置する。よって、各スピン発振器の周波数fは、独立して制御可能である。導体11の集合体への特定のセットの入力電流Iについては、全てのfは、相互に同期するのに互いに十分に接近するようになる。スピン発振器の集合体の合成出力信号は、相互に同期した多数のスピン発振器NC1,NC2と共に強く増加するようになり、このマイクロ波信号の強度は、発振器の集合体が共通周波数にどれだけ接近して同調されているかの尺度として使用できる。出力信号は、導体への特定セットの入力電流について最も強くなるため、スピン発振器の集合体は、このセットを認識するために使用できる。スピン発振器の集合体を介して電流強さを調整することによって、これらの相互作用強度は調整でき、よって周波数fが互いにどれだけ接近して整合すべきかの条件も調整できる。
代替として、導体11は、磁界を介する代わりに、各ナノ狭窄にある電圧を供給して、電圧制御異方性効果による局所的磁気異方性、よってナノ狭窄の周波数を調整するために使用できる。
一態様によれば、デバイスは、代替的として磁気トンネル接合をベースとしてもよい。
前述の詳細な説明は、本発明のより容易な理解を説明し提供することを意図しており、限定として解釈されるべきではない。本発明の精神および範囲から逸脱することなく、代替の実施形態が当業者に明らかになるであろう。

Claims (11)

  1. 拡張多層磁性薄膜スタック(2)を有する第1スピンホール効果ナノ発振器SHNO(2)を備えるスピン発振器デバイス(1)であって、
    複数のナノ狭窄NC(6)が前記拡張多層磁性薄膜スタック(2)に設けられ、複数のスピンホール効果ナノ発振器SHNO(2,6)を提供し、各ナノ発振器は、磁性フリー層(3)およびスピンホール効果層を備え、ナノスコピック領域を有し、
    複数のNC(6)は、外部電源からの電流(Idc)をナノスコピック領域に集中させるように構成され、磁性フリー層(3)において磁化自動発振MAOを励起するのに要する必要電流密度を発生するように構成され、
    円周方向磁界(HOe)がNC(6)を取り囲み、
    実質的に面外成分を有する外部印加磁界(Hext)は、第2スピン発振器デバイス(NC2)に向かうMAOの空間的拡張を制御するように構成され、これは、第1NC(NC1)に対してMAO伝達で配置され、同期しており
    複数のNCが、直線チェーンで配置され、
    全てのNCは、互いに同期することが可能であり、
    複数のこうしたチェーンは、横方向に配置されて、隣接するチェーンの相互同期を促進し、2つの横方向次元に延びる相互に同期したNCの2Dアレイを実現する、スピン発振器デバイス(1)。
  2. 第2周波数を有する少なくとも第2NC(NC2)が、第1NC(NC1)に対して横方向に積み重ねられ、MAO伝達で配置され、第1周波数(f1)を有する第1NC(NC1)に対して同期しており、第2周波数がf2=f1である、請求項1記載のスピン発振器デバイス(1)。
  3. 第2、第3、第4周波数をそれぞれ有する少なくとも3つのNC(NC2,NC3,NC4)が、デイジーチェーン接続され、第1NC(NC1)に対して横方向に配置され、MAO伝達で配置され、第1周波数(f1)を有する第1NC(NC1)に対して同期しており、第2周波数f2、第3周波数f3および第4周波数がf2=f3=f4=f1である、請求項2記載のスピン発振器デバイス(1)。
  4. 2つのNCを接続する領域が、接続領域内にMAOをさらに延長し、2つのNC間の相互作用強度を増加させるように、幅が調整される、請求項1記載のスピン発振器デバイス(1)。
  5. 複数のNCが、直線チェーンで配置され、
    全てのNCは、互いに同期することが可能であり、
    複数のこうしたチェーンは、相互の上部に垂直方向に配置されて、隣接するチェーンの相互同期を促進し、1つの横方向次元および1つの垂直方向次元に延びるNCの2Dアレイを実現する、請求項1記載のスピン発振器デバイス(1)。
  6. 複数のNCが、直線チェーンで配置され、
    全てのNCは、互いに同期することが可能であり、
    複数のこうしたチェーンは、横方向に配置されて、隣接するチェーンの相互同期を促進し、2つの横方向次元に延びる相互に同期したNCの2Dアレイを実現し、
    複数のこうした2Dアレイは、相互の上部に垂直方向に配置されて、隣接する2Dアレイの相互同期を促進し、2つの横方向次元および垂直方向次元に延びるNCの3Dアレイを実現する、請求項1記載のスピン発振器デバイス(1)。
  7. 複数の異なる、請求項1記載のスピン発振器デバイス(1)であって、
    導電ラインが、スピン発振器デバイスに近接して配置され、周波数fを有するマイクロ波磁界を提供して、スピン発振器デバイスがマイクロ波磁界と同期できるようになり、
    各スピン発振器は、その個々の電流駆動を有し、各スピン発振器の周波数fiは個別に制御可能であり、所定の電流レベルで各fiは互いに異なるようにでき、
    スピン発振器デバイスは、
    駆動電流のある特有のセットについて、各fiはfに十分に接近して、大部分または全てのスピン発振器デバイスはマイクロ波磁界に注入ロックするようになり、
    各スピン発振器デバイスからの個々のマイクロ波信号は結合され、駆動電流の特有のセットについて、この結合したマイクロ波信号は、明確な最大値を有し、入力電流とスピン発振器デバイスのセットとの間の整合を識別する、複数の異なるスピン発振器デバイス(1)。
  8. 複数の異なる、請求項1記載のスピン発振器デバイス(1)であって、
    スピン発振器デバイスのラインが、局所磁界または局所電界をそれぞれ提供し、例えば、個々のスピン発振器デバイスの周波数fiを同調させる個々の導電ラインを有し、
    スピン発振器デバイスは、局所的な磁界または電界のある特有のセットについて、各fiが共通の相互周波数fに十分に接近し、そのため大部分または全てのスピン発振器デバイスは、この共通の単一周波数に同期するように設計され、
    スピン発振器デバイスのチェーンからのマイクロ波信号は、明確な最大値を有し、入力された磁界または電界とスピン発振器デバイスのセットとの間の整合を識別する、複数の異なるスピン発振器デバイス(1)。
  9. 直線チェーン状に横方向に配置された複数のNC(NC1,NC2)は、幅が調整可能であり、互いにオフセットして積み重ねられ、NCの2Dアレイを形成する、請求項1記載のスピン発振器デバイス(1)。
  10. スピントロニクス、マグノニクス、ハードディスクドライブ(読み取りヘッド)、マイクロ波信号発生器および、検出器または磁壁デバイスのうちの1つ以上のために使用される、請求項1~6のいずれかに記載のデバイ
  11. 磁気トンネル接合をベースとしている、請求項7記載のスピン発振器デバイス(1)
JP2019545239A 2016-11-02 2017-10-27 スピン発振器デバイスおよび相互同期スピン発振器デバイスアレイ Active JP7069190B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE1651446-5 2016-11-02
SE1651446A SE540812C2 (en) 2016-11-02 2016-11-02 Spin oscillator device and mutually synchronized spin oscillator device arrays
PCT/SE2017/051057 WO2018084774A1 (en) 2016-11-02 2017-10-27 Spin oscillator device and mutually synchronized spin oscillator device arrays

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2020502821A JP2020502821A (ja) 2020-01-23
JP7069190B2 true JP7069190B2 (ja) 2022-05-17

Family

ID=62077026

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019545239A Active JP7069190B2 (ja) 2016-11-02 2017-10-27 スピン発振器デバイスおよび相互同期スピン発振器デバイスアレイ

Country Status (6)

Country Link
US (1) US10879453B2 (ja)
EP (1) EP3535843A4 (ja)
JP (1) JP7069190B2 (ja)
CN (1) CN109906549A (ja)
SE (1) SE540812C2 (ja)
WO (1) WO2018084774A1 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10971677B2 (en) * 2018-12-27 2021-04-06 Academia Sinica Electrically controlled nanomagnet and spin orbit torque magnetic random access memory including the same
US11593636B1 (en) 2019-01-03 2023-02-28 Seagate Technology Llc Machine learning system utilizing magnetization susceptibility adjustments
CN110504354A (zh) * 2019-07-16 2019-11-26 电子科技大学 基于反铁磁性材料的纳米太赫兹波振荡器阵列及制备方法

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7471491B2 (en) * 2004-03-30 2008-12-30 Kabushiki Kaisha Toshiba Magnetic sensor having a frequency filter coupled to an output of a magnetoresistance element
FR2892871B1 (fr) * 2005-11-02 2007-11-23 Commissariat Energie Atomique Oscillateur radio frequence a courant elelctrique polarise en spin
US8535952B2 (en) * 2006-02-25 2013-09-17 Avalanche Technology, Inc. Method for manufacturing non-volatile magnetic memory
FR2905793B1 (fr) * 2006-09-12 2008-10-17 Commissariat Energie Atomique Dispositif magnetique integre controle piezoelectriquement
US8063709B2 (en) * 2007-02-21 2011-11-22 Centre National De La Recherche Scientifique Spin-transfer torque oscillator
KR100862183B1 (ko) * 2007-06-29 2008-10-09 고려대학교 산학협력단 강자성 물질의 도메인 구조 및 다중 상태를 이용한 자기기억 소자
US8802451B2 (en) * 2008-02-29 2014-08-12 Avalanche Technology Inc. Method for manufacturing high density non-volatile magnetic memory
KR101616042B1 (ko) * 2009-07-23 2016-04-27 삼성전자주식회사 자구벽을 이용한 발진기 및 그 동작방법
KR101676809B1 (ko) * 2010-08-13 2016-11-16 삼성전자주식회사 발진기 및 그 동작방법
US9230626B2 (en) * 2012-08-06 2016-01-05 Cornell University Electrically gated three-terminal circuits and devices based on spin hall torque effects in magnetic nanostructures apparatus, methods and applications
CN103000803B (zh) * 2012-12-21 2015-04-15 清华大学 电学器件
US9577653B2 (en) * 2013-01-14 2017-02-21 Cornell University Quasi-linear spin torque nano-oscillators
US20140252439A1 (en) * 2013-03-08 2014-09-11 T3Memory, Inc. Mram having spin hall effect writing and method of making the same
WO2014142740A1 (en) * 2013-03-14 2014-09-18 Nanosc Ab Spin oscillator device
US9691458B2 (en) * 2013-10-18 2017-06-27 Cornell University Circuits and devices based on spin hall effect to apply a spin transfer torque with a component perpendicular to the plane of magnetic layers
SE538342C2 (sv) * 2014-04-09 2016-05-24 Nanosc Ab Spinnoscillator-anordning
CN106463610B (zh) * 2014-06-18 2020-07-03 英特尔公司 具有可调强度的耦合自旋霍尔纳米振荡器
CN107004440B (zh) * 2014-07-17 2021-04-16 康奈尔大学 基于用于有效自旋转移矩的增强自旋霍尔效应的电路和装置
JP2016066634A (ja) * 2014-09-22 2016-04-28 株式会社東芝 磁気論理素子、磁気論理回路、磁気メモリ
US9425738B2 (en) * 2014-11-13 2016-08-23 Regents Of The University Of Minnesota Spin current generation with nano-oscillator
US9830966B2 (en) * 2015-10-29 2017-11-28 Western Digital Technologies, Inc. Three terminal SOT memory cell with anomalous Hall effect
US10305026B2 (en) * 2015-11-19 2019-05-28 Samsung Electronics Co., Ltd. Cross-point architecture for spin-transfer torque magnetoresistive random access memory with spin orbit writing
US10790441B2 (en) * 2016-03-14 2020-09-29 Purdue Research Foundation Spin-transfer-torque synthetic anti-ferromagnetic switching device
US10333058B2 (en) * 2016-03-17 2019-06-25 Cornell University Nanosecond-timescale low-error switching of 3-terminal magnetic tunnel junction circuits through dynamic in-plane-field assisted spin-hall effect

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Durrenfeld Philipp,Spin Torque and Spin Hall Nano-Oscillators with Single Magnetic Layers,Spin Torque and Spin Hall Nano-Oscillators with Single Magnetic Layers,UNIVERSITY OF GOTHENBURG,2015年05月07日,25-40頁

Also Published As

Publication number Publication date
SE540812C2 (en) 2018-11-20
WO2018084774A1 (en) 2018-05-11
EP3535843A4 (en) 2020-06-10
CN109906549A (zh) 2019-06-18
SE1651446A1 (sv) 2018-05-03
JP2020502821A (ja) 2020-01-23
US20190280191A1 (en) 2019-09-12
EP3535843A1 (en) 2019-09-11
US10879453B2 (en) 2020-12-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7069190B2 (ja) スピン発振器デバイスおよび相互同期スピン発振器デバイスアレイ
KR100819142B1 (ko) 강한 스핀파 발생 방법 및 스핀파를 이용한 초고속 정보처리 스핀파 소자
Tacchi et al. Band diagram of spin waves in a two-dimensional magnonic crystal
JP6367236B2 (ja) 電子スピン共鳴用共鳴装置
Kiermaier et al. Information transport in field-coupled nanomagnetic logic devices
JP4459223B2 (ja) 磁気論理システム
US20160118099A1 (en) Magnonic holographic memory and methods
EP3394980A1 (en) Synchronization of multiple nano-contact spin torque oscillators
Kruglyak Chiral magnonic resonators: Rediscovering the basic magnetic chirality in magnonics
Papp et al. Hybrid yttrium iron garnet-ferromagnet structures for spin-wave devices
Wang et al. Magnonic waveguide based on exchange-spring magnetic structure
Gopal et al. Phase locking of spin transfer nano-oscillators using common microwave sources
Samanta et al. Generation of Microwaves With Tuneable Frequencies in Ultracompact “Magnon Microwave Antenna” via Phonon-Magnon-Photon Coupling
Kumar Enhanced spin wave coupling between array of spin torque nano oscillators in magnonic crystal cavities
Nikhil Kumar Sustaining Spin-Wave Oscillations Through Internal Feedback
JP6904133B2 (ja) 交流発生装置
Urazuka et al. Spin wave based parallel logic operations for binary data coded with domain walls
ES2682046B1 (es) Dispositivo de transmision y procesamiento de informacion mediante ondas de espin de borde
Zhu et al. Nanoscopic spin-wave channeling along programmable magnetic domain walls in a CoFeB/BaTiO3 multiferroic heterostructure
Capriata et al. Grain structure influence on synchronized two-dimensional spin-Hall nano-oscillators
Asadchy et al. Extreme electromagnetic properties with bianisotropic nihility
JP6548940B2 (ja) 発振アレー
CN113823733A (zh) 自旋力矩振荡器三维串并联同步阵列、振荡器及制备方法
Venkat et al. Exchange Splitting of Backward Volume Spin Wave Configuration Dispersion Curves in a Permalloy Nano-stripe
Schneider et al. Realization of XNOR and NAND spin-wave logic gates

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20201009

A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711

Effective date: 20201009

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20201009

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20210921

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20210928

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20211227

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20220218

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20220325

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20220405

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20220502

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7069190

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150