JP2016066634A - 磁気論理素子、磁気論理回路、磁気メモリ - Google Patents

磁気論理素子、磁気論理回路、磁気メモリ Download PDF

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Abstract

【課題】磁気論理素子を用いた論理回路の改善が課題になっていた。【解決手段】実施形態の磁気論理素子は、第1の導電性細線と、第2の導電性細線と、前記第1の導電性細線と前記第2の導電性細線を電気的に接続する第3の導電性細線と、を備える。前記第1の導電性細線、前記第2の導電性細線、前記第3の導電性細線は金属磁性体層を挟んで第1の非磁性金属層と第2の非磁性金属層を備える積層体を共通に備える。【選択図】 図1

Description

本発明の実施形態は磁気論理素子、磁気論理回路、磁気メモリに関する。
半導体集積回路(LSI)の情報処理能力は持続的に向上している。しかし、情報処理能力の向上に伴い、消費電力が増大しつつあり、消費電力の低減が要求されている。
消費電力低減の1つの解として、LSIに、電力を供給されなくても情報を保持できる磁気抵抗素子を組み込んだ磁気論理素子を用い、消費電力を低減する技術が提案されている。
しかし、磁気論理素子を用いた論理回路のさらなる改善が求められていた。
Science 2005, Vol. 309, No. 5741, pp. 1688-1692 Nature Materials 2013, Vol.12, pp. 299-303 L. Liu, R. A. Buhrman, and D. C. Ralph: arXiv:1111.3702 "Review and Analysis of Measurements of the Spin Hall Effect in Platinum"
磁気論理素子を用いた論理回路の改善が課題になっていた。
実施形態の磁気論理素子は、第1の導電性細線と、第2の導電性細線と、前記第1の導電性細線と前記第2の導電性細線を電気的に接続する第3の導電性細線と、を備える。
前記第1の導電性細線、前記第2の導電性細線、前記第3の導電性細線は金属磁性体層を挟んで第1の非磁性金属層と第2の非磁性金属層を備える積層体を共通に備える。
第1の実施形態に係わる磁気論理素子の構成を示す図。 第2の実施形態に係わる磁気論理素子の構成を示す図。 この実施形態の磁気論理素子に係り、スピンホール効果により非磁性金属層中に生じるスピン流の膜厚依存性について説明する図。 第1の実施形態に係わる磁気論理素子の架橋部に電子流を流した場合の磁壁の動きを説明する図。 第2の実施形態に係わる磁気論理素子の架橋部に電子流を流した場合の磁壁の動きを説明する図。 第1の実施形態に係わる磁気論理素子の論理ゲート動作を説明する図。 第2の実施形態に係わる磁気論理素子の論理ゲート動作を説明する図。 第1の実施形態の磁気論理素子に磁気カップルを適用させたORゲートの構成例を示す図。 実施形態の磁気論理素子に静磁的なカップリングを用い、出力を伝達する第2の例を説明する図。 実施形態の磁気論理素子に静磁的なカップリングを用い、出力を伝達する第3の例を説明する図。 第1の実施形態の磁気論理素子(A−symmetry)に磁気カップルを適用させたANDゲートの構成例を示す図。 第1の実施形態の磁気論理素子(A−symmetry)に磁気カップルを適用させたORゲートの構成例を示す図。 XORゲートの一般的な構成例を示す図。 実施形態に係る磁気論理素子を用いて半加算器の和を求める構成例を示す図。 実施形態に係る磁気論理素子を用いた半加算器の和を求める動作を説明する図。 実施形態に係る磁気論理素子を用いた半加算器の和を求める動作を説明する図。 実施形態に係る磁気論理素子を用いた半加算器の和を求める動作を説明する図。 実施形態に係る磁気論理素子を用いた半加算器の和を求める動作を説明する図。 実施形態に係る磁気論理素子を用いた半加算器の和を求める動作を説明する図。 実施形態に係る磁気論理素子を用いた半加算器の和を求める動作を説明する図。 実施形態に係る磁気論理素子を用いた半加算器の和を求める動作を説明する図。 実施形態に係る磁気論理素子を用いた半加算器の和を求める動作を説明する図。 実施形態に係る磁気論理素子を用いた半加算器の和を求める動作を説明する図。 実施形態に係る磁気論理素子を用いた半加算器の和を求める動作を説明する図。 実施形態に係る磁気論理素子に電子流を印加するタイミングを示すタイミングチャート。 実施形態に係る磁気論理素子を用いたメモリの構成を示す図。 実施形態に係る半加算器の和を求める構成と導電性細線を組み合わせた例を説明する図。 実施形態に係る半加算器の和を求める構成と導電性細線を組み合わせた例の動作を説明するタイムチャート。
この発明は、導電性細線内の磁区および磁壁を用いた磁気論理素子、磁気論理回路、磁気メモリに関する。この発明の実施形態においては、は磁気論理素子を磁性体で構成する。
この発明の実施形態においては、演算・処理の対象となる情報は導電性細線上の磁区および磁壁によって表現される。
この発明の実施形態は、LSIと同様に、電流・電圧を情報処理動作の駆動力としている。
以下、図面を参照し、実施の形態を説明する。
図1は、第1の実施形態に係わる磁気論理素子の構成を示す図である。
この実施形態の磁気論理素子は、図1(b)に示すように、第1の導電性細線11と、第2の導電性細線13と、第1の導電性細線11の側部と第2の導電性細線13の側部を電気的に接続する第3の導電性細線12と、を備えている。
ここでは、第1の導電性細線11と第2の導電性細線13はY軸方向にその長手方向が沿っており、第3の導電性細線12はX軸方向にその長手方向が沿っている。
また、第1の導電性細線11、第2の導電性細線13、第3の導電性細線12は金属磁性体層22を挟んで第1の非磁性金属層23と第2の非磁性金属層(21、21a)を備える積層体を共通に備えている。
図1(a)は第1の導電性細線11をA−A´で、第2の導電性細線13をB−B´で切断した断面図を示している。
図1(a)に示すように、第1の導電性細線11および第2の導電性細線13は金属磁性体層22を挟んで第1の非磁性金属層21と第2の非磁性金属層23を備える積層体を備えている。
また、図1(c)は第3の導電性細線12をC−C´で切断した断面図を示している。
図1(c)に示すように、第3の導電性細線12は金属磁性体層22を挟んで第1の非磁性金属層21aと第2の非磁性金属層23を備える積層体を備えている。
また、第3の導電性細線12の第1の非磁性金属層21aの膜の厚さ(膜厚)は第2の非磁性金属層23の膜厚とは異なっている。この例では、第2の非磁性金属層23の膜厚を第1の非磁性金属層21aの膜厚より厚くしている。
すなわち、Z軸方向に上側の非磁性金属層23の膜厚を厚く、下側の非磁性金属層21aの膜厚を薄くしている。この型をここでは、A−symmetry型と呼ぶ。
また、この第3の導電性細線12はその長手方向(Y軸方向)の側部において他の部分より幅が小さいくびれ部12aを備えている。
また、第1の導電性細線11、第2の導電性細線13、第3の導電性細線12はそれぞれの第1の非磁性金属層(21、21a)、金属磁性体層(22)、第2の非磁性金属層(23)が共通の膜として構成された積層体になっている。
そして、第1の非磁性金属層(21、21a)、金属磁性体層(22)、第2の非磁性金属層(23)は、共通の膜により、電気的にも接続されている。
また、この実施形態では、第1の導電性細線11と第2の導電性細線13は、それぞれの非磁性金属層21と非磁性金属層23が、実質的に同じ金属構成、同じ膜厚となるように構成する。
これに対して、第3の導電性細線12は、図1(c)に示すように、特にくびれ部12aにおいて、非磁性金属層21aと非磁性金属層23の膜厚が異なるようにしている。ここでは、下側の非磁性金属層21aの膜厚を上側の非磁性金属層23の膜厚よりも薄くしている。
図1(b)に示すように、このくびれ部12aは第1の導電性細線11と第2の導電性細線13の間で、第3の導電性細線12に設けられる。
このくびれ部12aのくびれ形状は、第1の導電性細線11と第2の導電性細線13の磁化配置を実現するために設けられる。
第3の導電性細線12の磁化は、第3の導電性細線12の側部の幅の大きさが他の部分より小さくなったくびれ形状のくびれ部12aが設けられることにより、くびれ部12aの最も細い部分(C−C´)を境界に分けられる。
すなわち、C−C´を挟み、第1の導電性細線11側に位置する部分の第3の導電性細線12の磁化は第1の導電性細線11の磁化方向と同じ方向(平行)になる。また、C−C´を挟み、第2の導電性細線13側に位置する部分の第3の導電性細線12の磁化は第2の導電性細線13の磁化方向と同じ方向(平行)になる。
これは、磁壁の一般的な性質、すなわち、断面積が小さくなる所へ磁壁が移動するという性質から生じる現象である。
この実施形態においては、第1の導電性細線11、第2の導電性細線13、第3の導電性細線12の金属磁性体層22は、強磁性体、フェリ磁性体、又は人工格子で構成される。
ここで、上記強磁性体として、鉄(Fe)、コバルト(Co)、ニッケル(Ni)、マンガン(Mn)、及びクロム(Cr)から選択される少なくとも1つの元素と、白金(Pt)、パラジウム(Pd)、イリジウム(Ir)、ルテニウム(Ru)、及びロジウム(Rh)から選択される少なくとも1つの元素との合金を用いることができる。
また、上記強磁性体として、例えば、CoPt、NiFe、CoCrPt等も用いることができる。なお、上記強磁性体の特性は、組成の変更、熱処理等によって変化させることができる。
また、上記フェリ磁性体として、TbFeCo及びGdFeCo等の希土類と遷移金属のアモルファス合金を用いることができる。
これらの材料は、スパッタ装置で、薄膜として作製条件を選んで堆積すると、磁化がZ軸方向(積層方向)に向きやすくなる傾向がある。このため、金属磁性体層の磁化方向をZ軸方向に向けたい場合に用いることができる。
また、人工格子として、Co/Pt、Co/Pd、又はCo/Niを用いることができる。これらを用いることで、金属磁性体層の磁化方向をZ軸方向に向けることができる。
これらは、最密六方構造の<0001>配向、又は面心立方構造の<111>配向を有しやすい。
また、第1の導電性細線11、第2の導電性細線13、第3の導電性細線12の非磁性金属層21、21a、23は、導電性材料によって構成される。
ここで、導電性材料は、例えば白金(Pt)、パラジウム(Pd)、イリジウム(Ir)、ルテニウム(Ru)、及びロジウム(Rh)から選択される少なくとも1つの元素、またはこれらの元素のから構成される合金を、非磁性金属層の構成材料として用いることができる。
図2は、第2の実施形態に係わる磁気論理素子の構成を示す図である。
上記と同一の構成については同一の符号を付け、説明を省略する。
この実施形態の磁気論理素子においても、図2(b)に示すように、第1の導電性細線11と、第2の導電性細線13と、第1の導電性細線11の側部と第2の導電性細線13の側部を電気的に接続する第3の導電性細線12と、を備えている。
ここでも、第1の導電性細線11と第2の導電性細線13はY軸方向にその長手方向が沿っており、第3の導電性細線12はX軸方向にその長手方向が沿っている。
また、第1の導電性細線11、第2の導電性細線13、第3の導電性細線12は金属磁性体層22を挟んで第1の非磁性金属層23と第2の非磁性金属層(21、21a)を備える積層体を共通に備えている。
図2(a)は図1(a)と同様に、第1の導電性細線11をA−A´で、第2の導電性細線13をB−B´で切断した断面図を示している。
図2(c)は第3の導電性細線12をC−C´で切断した断面図を示している。
図2(c)に示すように、第3の導電性細線12は金属磁性体層22を挟んで第1の非磁性金属層21と第2の非磁性金属層23aを備える積層体を備えている。
ここでも、第3の導電性細線12の第1の非磁性金属層21の膜厚は第2の非磁性金属層23aの膜厚とは異なっている。
しかし、この例では、第2の非磁性金属層23aの膜厚を第1の非磁性金属層21の膜厚より薄くしており、膜厚の関係が上記例とは逆になっている。
すなわち、Z軸方向に上側の非磁性金属層23aの膜厚を薄く、下側の非磁性金属層21の膜厚を厚くしている。この型をここでは、B−symmetry型と呼ぶ。
また、この第3の導電性細線12はその長手方向(Y軸方向)の側部において他の部分より幅が小さいくびれ部12aを備えている。
また、第1の導電性細線11、第2の導電性細線13、第3の導電性細線12はそれぞれの第1の非磁性金属層(21、21a)、金属磁性体層(22)、第2の非磁性金属層(23)が共通の膜として構成された積層体になっている。
そして、第1の非磁性金属層(21、21a)、金属磁性体層(22)、第2の非磁性金属層(23)は、共通の膜により、電気的にも接続されている。
また、この実施形態では、第1の導電性細線11と第2の導電性細線13は、それぞれの非磁性金属層21と非磁性金属層23が、実質的に同じ金属構成、同じ膜厚となるように構成する。
これに対して、第3の導電性細線12は、図2(c)に示すように、特にくびれ部12aにおいて、非磁性金属層21と非磁性金属層23aの膜厚が異なるようにしている。ここでは、下側の非磁性金属層21の膜厚を上側の非磁性金属層23aの膜厚よりも厚くしている。
図2(b)に示すように、このくびれ部12aは第1の導電性細線11と第2の導電性細線13の間で、第3の導電性細線12に設けられる。
ここで、図3を用いて、スピンホール効果により非磁性金属層中に生じるスピン流の膜厚依存性について説明する。図3はこの実施形態の磁気論理素子に係り、スピンホール効果により非磁性金属層中に生じるスピン流の膜厚依存性について説明する図である。
PtやPdのようにスピン軌道相互作用が大きい元素から構成される金属層に電流を流すと、電子の散乱される方向にスピン依存性が顕著に表れ、スピン流が電流方向と直交方向に生じる。
図3(a)に電流とスピン流、そしてスピン流によって生じるスピン偏極の向きの関係を図示する。図3(a)にあるように電流を非磁性金属層内左側から右側へ向けて流した場合、誘起されるスピン流は
Figure 2016066634
であらわされる向きに流れる。
この時、図示しているように、層も厚さdで有限である場合は、スピン流の大きさは層厚dとスピン拡散長Lsの比を変数とした関数1-sech(d/Ls)に比例する(非特許文献3)。
この関数は層厚dがLsに比べて十分大きい場合Jsの値は一定だが、Lsと同程度もしくは小さい場合にはdが小さくなるとともにJsも小さくなることを意味している。
よって図3(b)にあるように、下部非磁性金属層31/金属磁性層32/上部非磁性金属層33という3層構造において、上部非磁性金属層33と下部非磁性金属層31がほぼ同じ膜厚である場合、図に示すように電流(Current Jq)を流すと、下部非磁性金属層31から金属磁性層32にスピン流が流れ込んでも、金属磁性層32から上部非磁性金属層33へ同等のスピン流が流れ出ることになり、金属磁性層32へのスピンホール効果誘起スピン流の影響はほとんどない。
なお、スピン流の定義から、上記で説明した様子は上部非磁性金属層33と下部非磁性金属層31からそれぞれ向きが正反対のスピンが同程度注入されるため、結果、相殺されるというように言い換えてもよい。
一方、図3(c)と図3(d)に示されように、上部非磁性金属層33と下部非磁性金属層31とでスピン拡散長程度の範囲にある膜厚が異なる場合は、膜厚が厚い層で生じるスピン流による金属磁性層32への影響が支配的になる。
すなわち、図3(c)の場合は下向きスピンが金属磁性層33に輸送され、図3(d)の場合は上向きスピンが金属磁性層33に輸送される。
この違いにより、磁壁に働くトルクは図3(c)と図3(d)とで逆向きになる。 これら第1の実施形態の磁気論理素子(図1)と第2の実施形態の磁気論理素子(図2)は、後に図6および図7を用いて説明するように、単独でもAND論理ゲートもしくはOR論理ゲートとして機能する。
ここで、この実施形態に係る論理ゲートを説明する。
図4は図1に示す第1の実施形態(A−symmetry型)に係わる磁気論理素子のくびれ部12aを含む導電性細線12に電子流を流した場合の磁壁の動きを説明する図である。
この実施形態では、図1(b)と同様に、導電性細線11、導電性細線13およびくびれ部12aの磁気容易軸(磁化され易い結晶方位)はZ軸方向に平行である。これは、2つの非磁性金属層21、23および金属磁性体層22が積層されている方向(Z軸方向)と同じである。
この実施形態の説明においては、図に示すドットの濃淡によって磁区の磁化方向を示している。
図4の説明では、淡く表示したドットは紙面より視点方向へ向いた磁化(Z軸方向に上向きの磁化)を表している。濃く表示したドットは逆向きの磁化(Z軸方向に下向きの磁化)を表している。
また、ここでは、電流は電子流で書き換えて説明を行う。
また、以下の動作を行う際に、磁壁の構造を均一化すると磁壁の動きが安定する。このため、図4に示すように、静磁場HappをX軸に沿って、紙面右より左方向へ印加してもよい。
また、特に図示しないが、この実施形態の磁気論理素子において、導電性細線11、導電性細線13、くびれ部12aに磁場を印加する磁場印加部を設けてもよい。
また、これも特に図示しないが、磁場の向きを上記静磁場Happと反対に(紙面左より右方向へ印加)しても磁壁の動きは安定する。この場合は、電子流と磁壁の移動方向との関係が逆転する。
また、ここで、上記実施形態とは異なり、導電性細線11、導電性細線13を、非磁性体金属を備えない金属磁性体層で構成した場合を考察する。
上記のような、非磁性体金属を備えない金属磁性体層で構成された導電性細線に電子流を流すと、電子流に押されるように、磁壁が電子流と同じ方向へ移動する。これはスピン偏極した電子流が磁壁を構成する磁気モーメントにトルクを与えた結果と考えられている。
この場合、磁壁が動く方向は、磁壁を挟む磁区の磁化の方向や磁場の印加などには影響を受けないことが知られている。
これに対し、上記第1の実施形態の磁気論理素子(図1)に構成したくびれ部12aのように、金属磁性体層22が2つの非磁性金属層21a、23で挟まれ、一方(ここでは非磁性金属層23)が他方(非磁性金属層21a)より厚い場合には、上記とは異なる状況が生じる。
すなわち、第1の実施形態の磁気論理素子(図1)のくびれ部12aに電子流を流すと、電子流は金属磁性体層22だけではなく、非磁性金属層21a、23にも流れる。
ここで、非磁性金属層21a、23が白金(Pt)、パラジウム(Pd)、イリジウム(Ir)、ルテニウム(Ru)、及びロジウム(Rh)などの元素で構成されている場合には、非磁性金属層21a、23を流れる電子流(伝導電子)は、これらの元素由来の大きなスピン−軌道相互作用を感じる。
その結果、スピンホール効果(SHE)と呼ばれるスピン偏極分布が、非磁性金属層21a、23に発生する。
SHEとは非磁性体の金属や半導体に電流を流すと、電流と垂直の方向に電子スピンの流れ(磁気の流れ)が発生する現象である。電子には電荷とスピンという二つの性質があり、スピンには上向きと下向きの2つの状態がある。
非磁性体に電流を流すと、上向きスピン電子と下向きスピン電子が、それぞれ電流と直交する方向の両端に分かれて蓄積する結果、スピン流が生じる。このように、SHEを利用することで、電流によってスピン流を発生させ磁化を制御できるようになる。
そして、この実施形態においては、非磁性金属層21a、23が金属磁性体層22と接触している。このため、SHEにより生じた余剰のスピンが、金属磁性体層22へ流れ込む現象が起こる(スピン注入)。
この際、非磁性金属層21aから金属磁性体層へのスピン注入も磁壁に対して作用する。
ただし、作用の結果は通常のスピントルクによる結果とは異なる。
図4(a)は電子流(−e)をX軸方向に沿って紙面左から右へ流す場合を示す。
ここで、3aは磁壁を示す。また、矢印は磁壁の移動方向を示す。
図に示すように、ここでは、紙面左側にZ軸方向に沿った下向き磁化(濃く表示したドット)を持ち、紙面右側に上向き磁化(淡く表示したドット)を持つ磁壁3aは電子流(−e)と同じ方向へ移動する。
図4(b)も電子流(−e)をX軸方向に沿って紙面左から右へ流す場合を示す。
図に示すように、ここでは、紙面右側にZ軸方向に沿った下向き磁化(濃く表示したドット)を持ち、紙面左側に上向き磁化(淡く表示したドット)を持つ磁壁3bは電子流電子流(−e)とは反対方向へ移動する。
また、図4(c)は電子流をX軸方向に沿って紙面右から左方向へ流す場合を示す。
図に示すように、ここでは、紙面左側にZ軸方向に沿った下向き磁化(濃く表示したドット)を持ち、紙面右側に上向き磁化(淡く表示したドット)を持つ磁壁3cは電子流(−e)と同じ方向へ移動する。
また、図4(d)も電子流をX軸方向に沿って紙面右から左方向へ流す場合を示す。
図に示すように、ここでは、紙面右側にZ軸方向に沿った下向き磁化(濃く表示したドット)を持ち、紙面左側に上向き磁化(淡く表示したドット)を持つ磁壁3dは電子流とは反対方向へ移動する。
この非磁性金属層21、23中のSHEによる磁化を動かす作用は導電性細線11、13にも作用する。
仮に、図4(a)と同じ方向(X軸方向)に導電性細線12に電子流を流した場合、くびれ部12aと同様に、非磁性金属21aから金属磁性体22に上方向に向いた余剰スピンが注入される。また、非磁性金属23から金属磁性体層22には、反対に、下方向に向いた余剰スピンが注入される。
ここで、SHEで生じるスピン注入の大きさは非磁性金属層21aの膜厚がスピン拡散長よりも小さくなることを考慮すると、非磁性金属層21、23の膜厚が同じである導電性細線11、13ではスピン注入による作用は相殺され、スピントルクによる磁壁の移動が生じる。
図5は図2に示す第2の実施形態(B−symmetry型)に係わる磁気論理素子のくびれ部12bを含む導電性細線12に電子流を流した場合の磁壁の動きを説明する図である。
第2の実施形態に係わる磁気論理素子の導電性細線12のくびれ部12bでは、第1の実施形態(A−symmetry型)の磁気論理素子に比して、紙面上下(Z軸方向)の非磁性金属層21、23aの膜厚の関係が反転している。
このため、第2の実施形態に係わる磁気論理素子のくびれ部12bでは、図5に示すように、電子流の向きと磁壁の移動方向との関係が、図4の例とは逆転する。
図5(a)は電子流(−e)をX軸方向に沿って紙面左から右へ流す場合を示す。
図に示すように、紙面左側にZ軸方向に沿った下向き磁化(濃く表示したドット)を持ち、紙面右側に上向き磁化(淡く表示したドット)を持つ磁壁4aは電子流(−e)とは反対の方向へ移動する。
図5(b)も電子流(−e)をX軸方向に沿って紙面左から右へ流す場合を示す。
図に示すように、紙面右側にZ軸方向に沿った下向き磁化(濃く表示したドット)を持ち、紙面左側に上向き磁化(淡く表示したドット)を持つ磁壁4bは電子流(−e)と同じ方向へ移動する。
また、図5(c)は電子流(−e)をX軸方向に沿って紙面右から左方向へ流す場合を示す。
ここでは、図に示すように、紙面左側にZ軸方向に沿った下向き磁化(濃く表示したドット)を持ち、紙面右側に上向き磁化(淡く表示したドット)を持つ磁壁4cは電子流(−e)とは反対の方向へ移動する。
また、図5(d)も電子流(−e)をX軸方向に沿って紙面右から左方向へ流す場合を示す。
ここでは、図に示すように、紙面右側にZ軸方向に沿った下向き磁化(濃く表示したドット)を持ち、紙面左側に上向き磁化(淡く表示したドット)を持つ磁壁4dは電子流と同じ方向へ移動する。
すなわち、この実施形態においては、上記のように磁壁を駆動するには、第1の実施形態(図1)、第2の実施形態(図2)に示すように、例えば、膜厚を変えることで、間に金属磁性体層を挟む2つの非磁性金属層からのスピン注入量に差を設けるようにすればよい。
このため、この実施形態においては、例えば、スピン注入量に差を設けるために、間に金属磁性体層を挟む2つの非磁性金属層の電気抵抗率に差をつけ、両者の電気抵抗率を異ならせるように構成してもよい。
また、この実施形態においては、例えば、スピン注入量に差を設けるために、間に金属磁性体層を挟む2つの非磁性金属層に、一方の非磁性金属層が含むCuの密度を他方の非磁性金属層が含むCuの密度より高くし、両者のCuの密度に差を設けるようにしてもよい。
ここで、この実施形態に係る論理ゲートの説明を行う。
次に、第1の実施形態(図1)、第2の実施形態(図2)で説明した磁気論理素子がANDゲート、ORゲートとして動作する様子を説明する。
図6は、第1の実施形態(A−symmetry型)に係わる磁気論理素子の論理ゲート動作を説明する図である。
この実施形態においては、磁気論理素子への入力は導電性細線11、導電性細線13の磁化を所望の向きに揃えることにより行う。
図6の例では、図6(a)に示す左の1列に、入力として定義できる4つの左右導電性細線の磁化配置を図示している。
また、図6(b)に示す中央の1列に、上記入力に応じたOR動作を図示している。
また、図6(c)に示す右の1列に、上記入力に応じたAND動作を図示している。
また、以下の説明では、上向き磁化(淡く表示したドット)をビット情報“0”、下向き磁化(濃く表示したドット)をビット情報“1”と定義する。
上記のように、導電性細線12の磁化は導電性細線11と導電性細線13の間の導電性細線12に構成されるくびれ部12aのくびれ形状の効果によって、このくびれ部12aより導電性細線11側(左側)の導電性細線12の磁化は導電性細線11の導電性細線の磁化方向と平行になる。
また、くびれ部12aより導電性細線13側(右側)の導電性細線12の磁化は導電性細線13の磁化方向と平行になる。
これは、磁壁が、断面積が小さくなる所へ移動するという磁壁の性質から生じる現象である。
すなわち、導電性細線11とその導電性細線11に接している導電性細線12、あるいは導電性細線13とその導電性細線13に接している導電性細線12とで磁化方向が反平行である場合は、その境界である磁壁の断面積が小さくなるように、磁壁がくびれ部12aの最もくびれた部分へ移動する。その結果、上記説明した磁化配置が実現される。
第1の実施形態の磁気論理素子(図1)を用いるOR動作、もしくはAND動作は、図6に示すように、紙面左側の導電性細線11の上部から右側の導電性細線13の下部に電子流を流すか、もしくは反対に、右側の導電性細線13の上部から左の導電性細線11の下部に、図示しない電流印加部または電圧印加部を用いて、電子流を流すことにより実現される。この実施形態では、いずれの場合でも、電子流は紙面上方より下方へ流れるようにY軸方向に印加される。
そして、この実施形態では、導電性細線11の上部および導電性細線13の上部を入力として用いる。ここでは入力(0,0)、入力(1,0)、入力(0,1)、入力(1,1)と表記する。
また、この実施形態では、導電性細線11の下部および導電性細線13の下部を出力として用いる。ここでは、例えば、出力(0,0)、出力(1,0)、出力(0,1)、出力(1,1)と表記する。
なお、以下に説明する動作を安定して実行するため、図6に示すように、静磁場Happを磁気論理素子に対して紙面左向き(X軸方向)に印加してもよい。
図6(b)は、第1の実施形態の磁気論理素子(図1)を用いてOR動作を行う例を示す図である。
図6(b)に示すOR動作では、導電性細線11の上部から導電性細線11の下部へ電子流をY軸方向に印加する。
ここで、この磁気論理素子をOR論理ゲートとして利用する場合は、OR論理ゲートの出力は紙面右側導電性細線13の下部の磁化の向きと定義する。
そして、入力が入力(0,0)、もしくは入力(1,1)の場合は、図に示すように、磁気論理素子全体で、一様に上向きもしくは下向きに磁化している。
このため、電子流を印加しても磁化状態には変化が起こらない。
したがって、この状態では、入力(0,0)の場合は導電性細線11の下部および導電性細線13の下部の磁化状態は変化が起こらないため、出力(0,0)となる。
ここでは、導電性細線13の下部を出力と定義するので、出力0である。
同様に、入力(1,1)の場合は導電性細線11の下部および導電性細線13の下部の磁化状態は変化が起こらないため、出力(1,1)となる。
ここでは、導電性細線13の下部を出力と定義するので、出力1である。
また、図6(b)の2段目は入力(1,0)が示されている。この場合のOR動作は、導電性細線13の下部の磁化状態は変化が起こらないため、出力は1となる。これは、次の動作による。
架橋部のくびれ部12の最もくびれた部分に位置していた磁壁が、図4を用いて説明したSHEにより、右側導電性細線13へ向かって移動し、やがて到達する。
さらに続けて電子流を流すと、右側の導電性細線13内のスピントルクの効果により、磁壁は電子流に押される形で右側の導電性細線13内を、主に紙面右下に向けて移動していく。
そして、最終的に、図6(b)の2段目に示す磁化配置が磁気論理素子内に実現される。この磁化配置では、OR動作の出力である右側導電性細線13の下側の磁化は下向きとなっているので出力は1となる。
また、図6(b)の3段目に図示されている入力(0,1)の場合は、右側導電性細線13の下側の磁化である出力は1となる。これは、次の動作による。
図6(b)の3段目に示すように、電子流を左上から右下に印加すると、導電性細線12に存在する磁壁の動きは図4に示す動きを示す。
磁壁は磁気論理素子のくびれ部12a近傍から紙面左側へ移動し、左側導電性細線11にまで達する。
ここでは、SHEによる導電性細線12中での磁壁の動きと電子流の方向が逆である。このため、先に述べた入力(1,0)の場合と異なる状況が生じる。
上記入力(1,0)の場合は、磁壁が導電性細線13に到達すると電子流に押されてさらに先に進む。しかし、この例の入力(0,1)の場合は、電子流は磁壁を導電性細線12へ押し戻すので、磁壁は左側導電性細線11の中に入れない。
この状態で電子流の印加を止めると、上記説明した磁壁の特性によって、左側導電性細線11の近くまで移動した磁壁は、くびれ部12aの最もくびれた部分に戻る。
この結果、入力状態と同じ磁化配置が再現される。このため、入力(0,1)に対して、出力は導電性細線13の下側の磁化であり、1である。
このように、入力(0,0)、入力(1,0)、入力(0,1)、入力(1,1)を設定した磁気論理素子に、電子流を紙面左上から右下、言い換えれば導電性細線11の上側から導電性細線13の下側へ印加し、出力を右側導電性細線13の下側の磁化方向と定義すると、出力はそれぞれ0、1、1、1となる。
これにより、この実施形態に係る磁気論理素子は、OR論理ゲートとして動作することが説明される。
図6(c)は、第1の実施形態の磁気論理素子(図1)を用いてAND動作を行う例を示す図である。
この実施形態のAND動作では、電子流を磁気論理素子の右上から左下、すなわち、導電性細線13の上側から導電性細線11の下側へ印加する。また、出力は、電子流の印加を終えた後の左側導電性細線11の下側の磁化方向と定義する。
この実施形態では、入力(0,0)と(1,1)に対する出力結果は上記OR動作と同様に、電子流を右上から左下へ印加しても磁気論理素子内の磁化が一様である。
このため、入力状態がそのまま保持される。よって入力(0,0)に対する出力は0、入力(1,1)に対する出力は1となる。
また、入力(1,0)を磁気論理素子に設定し、電子流を右上から左下へ印加すると、上記OR動作と同様に、磁化配置に変化が生じる。
この場合、導電性細線12の磁壁は左側へ押されるので、左側の導電性細線11に到達した後も電子流と同じ方向への移動を続け、最終的には図6(c)の2段目に示す磁化配置が実現される。
そして、出力を左側導電性細線11下側の磁化方向で代表すると定義すると、入力(1,0)に対する出力は0となる。
また、入力(0,1)を磁気論理素子に設定し、電子流を右上から左下へ印加すると、導電性細線12にある磁壁は、SHEにより右側へ移動するが、SHEが働かない右側導電性細線13まで到達すると、スピントルクによって押し戻されて導電性細線12に留まる。
そして、電子流印加が終了すると、導電性細線12のくびれ部12aの最もくびれた部分に磁壁が移動し、入力状態と同じ磁化配置が再現される。
上記のように、入力(0,0)、(1,0)、(0,1)、(1,1)を設定した磁気論理素子に電子流を右上から左下へ印加し、出力を左側導電性細線11の下側の磁化方向と定義すると、出力はそれぞれ0、0、0、1となる。このことから、この実施形態の磁気論理素子は、AND論理ゲートとして動作することが説明される。
図7は、第2の実施形態に係わる磁気論理素子(B−symmetry型)の論理ゲート動作を説明する図である。
上記のように、第2の実施形態の磁気論理素子の導電性細線12における電子流と磁壁移動の関係は、第1の実施形態とは逆になる。
その結果、図7に示すように、磁気論理素子に対する電子流印加の方法・出力の定義と得られる論理ゲート動作との関係が、第2の実施形態の磁気論理素子では第1の実施形態の磁気論理素子とは逆になる。
図8は、第1の実施形態の磁気論理素子に磁気カップルを適用させた磁気論理回路であるORゲートの構成例を示す図である。
ここでは、実施形態の磁気論理素子に静磁的なカップリングを用い、出力を伝達する。
この実施形態の磁気論理素子においては、静磁的なカップリングを利用し、所定の磁気論理素子の出力を次段の磁気論理素子へ伝達することができる。
図8(a)に示すように、ここでは、Z軸方向に磁化をもつ2本の導電性細線11、81を想定する。
これら2本の導電性細線11、81は上記第1の導電性細線11、第2の導電性細線13と同様に、非磁性金属層と非磁性金属層の間に金属磁性体層を配置する構成になっている。導電性細線11はX軸方向にW1の幅を備えている。また、導電性細線81はその一部82を除き、X軸方向にW1の幅を備えている。また、導電性細線の一部82はX軸方向に上記W1より幅の狭い部分を備えている。この幅はW2である。
すなわち、ここでは、導電性細線11の幅W1と導電性細線81の幅の狭い部分82の幅W2は、幅W1は幅W2より大きくなっている。すなわち、W1>W2の関係になっている。
そして、ここでは、導電性細線81の幅の狭い部分82と導電性細線11は、導電性細線81の幅の狭い部分82が導電性細線11から発生する磁場から磁気カップリングの影響を受ける距離で隣接している。
そして、導電性細線81の幅の狭い部分82と導電性細線11は、お互いから生じる磁界に曝されている。
図8(b)は図8(a)に示すA−Bに沿った断面を示している。なお、ここでは、積層構造の説明は省略する。
図8(b)に示すように、導電性細線81の幅の狭い部分82の幅W2は導電性細線11の幅W1より小さくなっている。
そして、導電性細線81の幅の狭い部分82の幅W2が導電性細線11の幅W1より小さい場合は、幅W1の導電性細線11から発生する磁界により、幅W2の幅の狭い部分82の磁化の方向は、導電性細線11の磁化方向とは逆になる(静磁的カップリング)。
なお、上記幅の関係(=W2/W1)を、1/2、1/3あるいは、さらに小さくなるようにすると、小さくなるほどこの静磁的カップリングの関係は安定する。
図9は、実施形態の磁気論理素子に静磁的なカップリングを用い、出力を伝達する第2の例を説明する図である。
上記と同様に、導電性細線11はX軸方向にW1の幅を備えている。また、導電性細線81はX軸方向にW1の幅を備え、一部82はX軸方向にW1より幅の狭い幅W2を備えている(W1>W2)。
この実施形態は、導電性細線81の幅の狭い部分82が導電性細線11から発生する磁場から磁気カップリングの影響を受ける距離で隣接させた2本の導電性細線11、81をZ軸方向に重複するように並べて配置した例である。
導電性細線11と導電性細線81は上記幅の狭い部分82が導電性細線11から磁気カップリングの影響を受けるように隣接していることが重要である。このため、図13に示すように隣接部分がZ軸方向で重なっていてもよい。
ただし、電気的接続を避けるためには、上記隣接した2本の導電性細線11、81の間には、絶縁層を設けるか、もしくは空隙を設けるようにすると望ましい。
上記のように、この実施形態においては、導電性細線81の幅の狭い部分82(幅W2)と導電性細線11(幅W1)の上記隣接部分において、幅が大きい導電性細線(導電性細線11(幅W1))と幅が小さい導電性細線(導電性細線81の幅の狭い部分82(幅W2))を静磁的にカップリングさせる。
これにより、上記のように静磁的なカップリング(磁気カップリング)でカップリングした2本の導電性細線11,81に直接的な接触がなくても、導電性細線11から導電性細線81に情報を伝達することができる。
図10は、実施形態の磁気論理素子に静磁的なカップリングを用い、出力を伝達する第3の例を説明する図である。
この実施形態では、図に示すように、導電性細線81の一端である幅の狭い部分82(幅W2)に配線(TrA)を設けている。また、導電性細線81の他端である幅が大きい部分(幅W1)に配線(TrB)を設け、Y軸方向に沿って紙面上側から下側に向かって電子流(−e)を印加する。
すると、磁壁が移動し、幅の狭い部分82(幅W2)を有する導電性細線81の多くの部分を、幅が大きい導電性細線11と逆向きの方向に磁化することができる。
このように構成することで、この実施形態においては、導電性細線同志を直接接続することなしに、所定の構成要素(論理素子)から次段の構成要素(論理素子)へ磁気情報を伝達することができる。
また、このような構成要素(論理素子)の接続は、電子流の経路を単一の磁気論理素子やその他の磁気論理素子に分離することができる。これにより、この実施形態においては、磁気論理回路を容易に構成することができる。
図11は、第1の実施形態の磁気論理素子(A−symmetry)に磁気カップルを適用させたANDゲートの構成例を示す図である。
図11の例では、磁気論理素子141はANDゲートである。このANDゲート141の出力は左側細線の下端141aである。
また、導電性細線142は、上記と同様に、一端に幅の狭い部分142aが設けられている。そして、ここでは、幅の狭い部分142aは、ANDゲート141の出力141aから磁気カップリングの影響を受けるように隣接させている。これにより、ANDゲート141と導電性細線142の間で磁気カップルを実現させることができる。
図12は、第1の実施形態の磁気論理素子(A−symmetry)に磁気カップルを適用させたORゲートの構成例を示す図である。
この例では、磁気論理素子151はORゲートである。このORゲート151の出力は右側磁性細線の下端151aである。
また、導電性細線152は、一端に幅の狭い部分152aが設けられている。そして、この幅の狭い部分152aは、ORゲート151の出力151aから磁気カップルの影響を受けるように隣接させている。これにより、ORゲート151と導電性細線152の間で磁気カップルを実現させることができる。
なお、磁気カップルにおいては、磁気カップル接続の前段と後段で、伝達される磁気情報は反転する(NOT動作)。
したがって、図11と図12に示す磁気論理素子は、全体でみると、それぞれNANDゲートとNORゲートである。
一般に、いかなるブール関数も、NANDゲートだけの組み合わせ、もしくはNORゲートだけの組み合わせで記述できることが知られている。
したがって、原理的に、図11に示す磁気論理素子、または、図12に示す磁気論理素子で、いかなる組合せ論理回路網(combinational logic network)も形成できる。
図13は、XORゲートの一般的な構成例を示す図である。
図に示すように、XORゲートは、1段目はNANDゲート181、2段目はNANDゲート182aとNANDゲート182b、3段目はNANDゲート183と3段のNANDゲートを備えている。
すなわち、XORゲートはNANDゲートを3段接続することで実現できる。
図14は、実施形態に係る磁気論理素子を用いて半加算器の和を求める構成例を示す図である。
ここでは、NANDゲートとして動作する図11の磁気論理素子を用い、半加算器の和を求める部分の構成例を示す。ここでは、図14は図13と等価である。
A,Bはここでの2入力である。Sはこの2入力A,Bに対する半加算器の和である。ここでは、SはAとBの排他的論理和(XOR)である。
なお、図14の例では、入力直後に2重のNOTゲートを設けている。これは、磁気カップルの特性と、電子流の印加タイミングを両立させるためである。
図15乃至図24は、実施形態に係る磁気論理素子を用いた半加算器の和を求める磁気論理素子の動作を説明する図である。
まず、上記図14に示す磁気論理素子の論理回路全体を“0”に初期化する。
その後、入力(A,B)=(1,0)と設定する。すると、図15に示す状態が実現される。
ここでは、磁気カップルの導電性細線で、幅が小さい部分は、入力Aの導電性細線に隣接している個所は“0”となっている。また、磁気カップルの導電性細線の幅が小さい部分で、入力Aの導電性細線に隣接していない部分は、上記のように、予め“0”に初期化されており、このため、逆の“1”の磁化状態を取っている。
なお、この論理回路を用いた演算は、構成している磁気論理素子の内部状態が分かっていれば実行可能である。このため、この初期化は、演算を行う際に、必ずしも、毎回行うことはない。
そして、この実施形態においては、図14の磁気論理素子を動作させるために、次の4種のパターンで順次、電子流を印加する(Electron−flow A 乃至 Electron−flow D)。
ここでは、図15は初期状態の磁気論理素子である。図16は、この初期状態の磁気論理素子に、図の矢印で示すElectron−flow Aを印加した場合の結果である。
ここでは、Electron−flow Aは、TriA_1からTrbA_1へ、TriA_2からTrbA_2へ、TriA_3からTrbA_3へ、TriA_4からTrbA_4へ、TriA_6からTrbA_6へ、TriB_6からTrbB_6へ、TriA_7からTrbA_7へ、TriB_7からTrbB_7へ、TriA_9からTrbA_9へ、それぞれ流れる9つの電子流から構成される。
この実施形態においては、これら9つの電子流の印加の順番には特に制限はない。
ここで、Electron−flow Aが印加された結果により、入力A,Bが1段目のNANDゲート181に伝搬され、2段目のNANDゲート182a、182bにはゲートの入力としてセットされる。
図17は図16の状態に、Electron−flow Bを印加した場合の結果を示す。
Electron−flow BはTriB_6からTrbA_6へ、TriB_7からTrbA_7への2つの電子流で構成される。
図18は図17の状態にElectron−flow Cを印加した場合の結果を示す。
Electron−flow CはTriA_5からTrbA_5へ、TriB_5からTrbB_5 へ、TriA_8からTrbA_8へ、TriB_8からTrbB_8への4つの電子流で構成される。
このElectron−flow C印加の結果により、磁気情報が、1段目NANDゲート181および3段目のNANDゲート183にセットされる。
図19は図18の状態にElectron−flow Dを印加した場合の結果を示す。
Electron−flow Dは、TriB_5からTrbA_5へ、TriB_8からTrbA_8への2つの電子流で構成される。
Electron−flow D印加の結果により1段目のNANDゲート181および3段目のNANDゲート183での演算が実行される。
図20は図19の磁気論理素子に、2度目のElectron flow Aを印加した場合の結果である。
上記1度目の印加と同様に、入力A,Bから1段目のNANDゲート181への磁気情報の伝達が実行される。
また、ここでは、上記1度目のElectron flow Aの印加と異なる点がある。
ここで異なる点は、既に実行された電子流印加によって実行された、1段目NANDゲート181における演算結果が、2段目NANDゲート182a、182bに、磁気情報としてセットされている点である。
図21は、図20に2度目のElectron flow Bを印加した場合の結果である。
2段目のNANDゲート182a、182bにおける演算が実施される点は1度目のElectron flow Bの印加と同じである。
しかし、その演算結果は、1段目のNANDゲート181での演算結果が反映されている。
図22は、図21に2度目のElectron flow Cを印加した場合の結果である。
ここでも、1度目のElectron flow Cの印加と同様に、1段目のNANDゲート181および3段目のNANDゲート183に磁気情報がセットされる。
しかし、2度目のElectron flow Cの印加では、3段目のNANDゲート183には1段目のNANDゲート181および2段目のNANDゲート182a、182bの演算結果が反映されている。
図23は、図22に2度目のElectron flow Dを印加した場合の結果である。
ここでは、1度目のElectron flow Dの印加と同様に、1段目のNANDゲート181および3段目のNANDゲート183での演算が実行される。しかし、3段目のNANDゲート183には、前段の演算結果が反映される。
このため、2度目のElectron flow Dの印加により、最終結果が3段目NANDゲート183の出力に現れる。
図24は図23に、3度目のElectron flow Aを印加した場合の結果である。
このステップで3段目のNANDゲート183での演算結果が磁気論理素子の外部へ出力される。
また、図24では入力が変更されていない。しかし、ここで異なる入力が磁気論理素子に入ってくると、次の演算が始まる。
一方、入力が同じである間は、上述した電子流印加のサイクルを繰り返す間は、得られる演算結果は同じである。
この点は、トランジスタを用いた組合せ論理回路網とこの実施形態の磁気論理素子は同じである。
図25は、実施形態に係る磁気論理素子に電子流を印加するタイミングを示すタイミングチャートである。
この電子流の磁気論理素子への印加制御は、例えば、図示しない電子流印加制御部によって制御される。
上記説明したように、図14の磁気論理素子は、図25に示すElectron−flow AからElectron−flow Dまでの印加サイクルを、2回、繰り返して行うと、排他的論理和の演算を実行する。
また、3度目のElectron flow Aの印加では、磁気論理素子からの出力と、磁気論理素子への入力が同時に行われる。
図26は、実施形態に係る磁気論理素子を用いたメモリの構成を示す図である。
201は上記説明した図1や図2に示す磁気論理素子の細線部と同じ構造を有する導電性細線である。この導電性細線201は、長手方向に延伸することで、複数の磁壁(磁区)を保持することができる。
ここでは、30a、30b、30c、30d、30eは複数の磁壁(磁区)を示している。
そして、図に示すように、導電性細線201に紙面右から左に向けて電子流を印加すると、それらの複数の磁壁(30a、30b、30c、30d、30e)を平行移動できる。
このため、導電性細線201を情報の格納場所(メモリ)として用いることできる。
図26(a)に示した例では(1)の状態を初期状態とする。すると、図21(b)に示すように電子流のパルスを順次印加することで、図26(a)の(1)乃至(5)に示すように、磁壁(30a、30b、30c、30d、30e)が紙面右から左へ移動する。
これらの磁壁の移動距離は、電子流にほぼ比例する磁壁移動速度と、印加パルスの時間幅の掛け算で決まる。
しかし、複数の磁壁を近づけすぎると、その複数の磁壁に挟まれた磁区が不安定になり、消滅してしまうことがある。この場合は、磁気情報が失われてしまう。
このため、その磁壁の間隔は30nmより大きくすることが望ましい。
図27は、実施形態に係る半加算器の和を求める構成と導電性細線を組み合わせた例を説明する図である。
この実施形態においては、導電性細線211,212,213を情報の保持場所兼伝達路(メモリバス)とし、上記図14に示す磁気論理素子の半加算器の和を求める部分と組み合わせている。
ここでは、入力Aは導電性細線211のMemory bus Aに、入力Bは導電性細線212のMemory bus Bに、出力Sは導電性細線213のMemory bus Cに配置される。
図28は、実施形態に係る半加算器の和を求める構成と導電性細線を組み合わせた例の動作を説明するタイムチャートである。
このタイムチャートに従って、上記XORゲートおよびMemory bus A、Memory bus B、Memory bus Cに電子流を印加すると、Memory bus A, Bにシーケンシャル形式で保持されたビット情報に対するXOR演算結果が、Memory bus Cに、同じくシーケンシャル形式で保存される。
上記のように構成することによって、この発明の実施形態においては、磁気論理素子を用いた論理回路の改善が可能になる
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。
これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
3a…磁壁、3b…磁壁、3c…磁壁、3d…磁壁、4a…磁壁、4b…磁壁、4c…磁壁、4d…磁壁、11…導電性細線、12…導電性細線、12a…くびれ部、13…導電性細線、21…非磁性金属層、21a…非磁性金属層、22…金属磁性体層、23…非磁性金属層、23a…非磁性金属層、31…下部非磁性金属層、32…金属磁性層、33…上部非磁性金属層、81…導電性細線、82…導電性細線の一部、141…ANDゲート、151…ORゲート、152…導電性細線、181…NANDゲート、182a…NANDゲート、182b…NANDゲート、183…NANDゲート、211…導電性細線、212…導電性細線、213…導電性細線。

Claims (12)

  1. 第1の導電性細線と、
    第2の導電性細線と、
    前記第1の導電性細線と前記第2の導電性細線を電気的に接続する第3の導電性細線と、を備え、
    前記第1の導電性細線、前記第2の導電性細線、前記第3の導電性細線は金属磁性体層を挟んで第1の非磁性金属層と第2の非磁性金属層を備える積層体を共通に備える磁気論理素子。
  2. 前記第1の非磁性金属層、前記金属磁性体層、前記第2の非磁性金属層はそれぞれ、前記第1の導電性細線、前記第3の導電性細線、前記第2の導電性細線を電気的に接続する請求項1に記載の磁気論理素子。
  3. 前記第3の導電性細線における前記第1の非磁性金属層の膜厚は前記第3の導電性細線における前記第2の非磁性金属層の膜厚とは異なる請求項1または2に記載の磁気論理素子。
  4. 前記第3の導電性細線における前記第1の非磁性金属層の電気抵抗率は前記第3の導電性細線における前記第2の非磁性金属層の電気抵抗率とは異なる請求項1または請求項2に記載の磁気論理素子。
  5. 前記第3の導電性細線における前記第1の非磁性金属層が含む第1の金属の割合と前記第3の導電性細線における前記第2の非磁性金属層が含む第1の金属の割合は異なる請求項1または請求項2に記載の磁気論理素子。
  6. 前記第3の導電性細線はその長手方向において他より幅が小さいくびれ部を備える請求項1乃至請求項5のいずれか1つに記載の磁気論理素子。
  7. 前記くびれ部は前記第1の導電性細線と前記第2の導電性細線の間で、前記第3の導電性細線に備える請求項6に記載の磁気論理素子。
  8. 前記第3の導電性細線は前記第1の導電性細線と前記第2の導電性細線を架橋する請求項7に記載の磁気論理素子。
  9. 請求項1乃至請求項8のいずれか1つに記載の磁気論理素子と、
    前記第1の導電性細線と磁気カップリングさせた第4の導電性細線を備えた磁気論理回路。
  10. 前記磁気論理素子はANDゲートまたはORゲートを備える請求項9に記載の磁気論理回路。
  11. メモリバスと、
    請求項9または請求項10に記載の磁気論理回路を備えた磁気メモリ。
  12. 前記メモリバスは導電性細線を備えた請求項11に記載の磁気メモリ。
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