JP7068207B2 - レーザピーニング装置およびレーザピーニング方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1の実施形態に係るレーザピーニング装置の構成図である。レーザピーニング装置11は、照射ノズル12と、レーザ発振器13と、光伝送装置14と、液体供給装置15と、制御部16とを備えている。
図5は、本発明の第2の実施形態に係るレーザピーニング装置を用いたレーザピーニング方法において、照射施工センサとして光センサを用いた場合の照射施工センサの出力の時間変化の例を示すタイミングチャートである。
図6は、本発明の第3の実施形態に係るレーザピーニング装置の構成図である。この第3の実施形態は、第1または第2の実施形態の変形であって、レーザピーニング装置11は、液中のレーザ光の伝達を阻害する阻害流体を照射ノズル12内に注入するための阻害流体注入装置60と、照射ノズル12内への阻害流体の注入量を測定する阻害流体注入量測定装置65とを有する。阻害流体は、たとえば空気などのガスである。
図8は、本発明の第4の実施形態に係るレーザピーニング装置の構成図である。この第4の実施形態は第3の実施形態の変形であって、阻害流体注入部61を照射ノズル12に設けず、照射ノズル12の先端12a付近に、照射ノズル12とは別に設ける。その他の構成は第3の実施形態と同様である。
図9は、本発明の第5の実施形態に係るレーザピーニング装置の構成図である。この第5の実施形態は第1、第3、第4の実施形態の変形であって、シャッタ温度センサ36を用いずに噴流液流量の制御または阻害流体の注入を行うものである。
図10は、本発明の第6の実施形態に係るレーザピーニング装置の構成図である。この第6の実施形態は第1の実施形態の変形である。照射施工センサ35として、振動センサ35aを用い、その振動センサ35aをレーザピーニングの施工対象物(照射対象100)に固定する。その他の構成は第1の実施形態と同様である。
以上いくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態の特徴を組み合わせることもできる。たとえば、照射施工センサ35,35aとしては、施工環境等に応じて適切なものを選択することができ、また複数種類を併用することも可能である。
Claims (8)
- レーザ光を発生させるレーザ発振器と、
前記レーザ光が透過する透明な液体中の照射対象に前記レーザ光を照射して前記照射対象を施工する照射ノズルと、
前記レーザ発振器で発生したレーザ光を前記照射ノズルに伝送する光伝送装置と、
前記光伝送装置に設けられて前記レーザ光を開閉可能なシャッタと、
前記照射ノズルから前記照射対象に向かう前記レーザ光の光路に沿って流れる液体を前記照射ノズルに供給する液体供給装置と、
前記照射対象を施工するのに適当な前記レーザ光の照射が行われているかどうかを表す照射施工情報を得る照射施工センサと、
前記照射施工センサで得られた前記照射施工情報に基づいて前記シャッタを制御する制御部と、を有し、
前記制御部は、
前記レーザ光の照射による前記照射対象の施工が行われているときに、前記照射施工情報に基づいて、前記レーザ光が前記照射対象を施工するのに適当な照射が行われているか否かを判定し、
前記レーザ光が前記照射対象を施工するのに適当な照射が行われていないと判定したときに前記シャッタを閉じるように前記シャッタを制御し、
前記シャッタを閉じた後に前記シャッタを開くとともに、前記照射ノズルから前記照射対象に向かう前記レーザ光の光路内に前記レーザ光の透過を妨げる阻害流体を介在させて前記レーザ光を遮断するように構成されていること、
を特徴とするレーザピーニング装置。 - 前記シャッタの温度を検出するシャッタ温度センサをさらに有し、
前記制御部は、前記シャッタを閉じた後に、前記シャッタ温度センサで得られた前記シャッタの温度が所定の上限温度を超えた場合に、前記シャッタを開くとともに前記照射ノズルから前記照射対象に向かう前記レーザ光の光路内に前記レーザ光の透過を妨げる阻害流体を介在させて前記レーザ光を遮断するように構成されていること、
を特徴とする請求項1に記載のレーザピーニング装置。 - 前記液体供給装置は、前記液体の供給流量を調整する流量調整装置を備え、
前記制御部は、前記シャッタ温度センサで得られた前記シャッタの温度が前記上限温度を超えた場合に、前記液体供給装置による前記液体の供給流量を通常の流量よりも大きな流量または前記通常の流量よりも小さな流量に変更することによって前記阻害流体を発生させるように構成されていること、
を特徴とする請求項2に記載のレーザピーニング装置。 - 前記照射ノズルは、前記照射対象に向かう前記光路内に前記阻害流体を注入可能に構成され、
前記照射ノズルに注入された阻害流体注入量を測定する阻害流体注入量測定装置をさらに有し、
前記制御部は、前記シャッタ温度センサで得られた前記シャッタの温度が前記上限温度を超えた場合に前記阻害流体を前記照射ノズルに注入するとともに、前記阻害流体注入量測定装置によって得られた前記阻害流体注入量が所定値を超えた時に前記シャッタを開くように構成されていること、
を特徴とする請求項2に記載のレーザピーニング装置。 - 前記照射施工センサは音響レベルを検出する音響センサであって、
前記制御部は、前記照射施工センサで得られた音響レベルが所定の値よりも低下したときに前記レーザ光が前記照射対象を施工するのに適当な照射が行われなくなったと判定するように構成されていること、
を特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載のレーザピーニング装置。 - 前記照射施工センサは、前記照射対象に照射されて反射されたレーザ光の強度を検出する光センサであって、
前記制御部は、前記照射施工センサで得られたレーザ光の強度が所定の値よりも低下したときに前記レーザ光が前記照射対象を施工するのに適当な照射が行われなくなったと判定するように構成されていること、
を特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載のレーザピーニング装置。 - 前記照射施工センサは、前記照射対象に対して固定された振動センサであって、
前記制御部は、前記照射施工センサで得られた振動の強度が所定の値よりも低下したときに前記レーザ光が前記照射対象を施工するのに適当な照射が行われなくなったと判定するように構成されていること、
を特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載のレーザピーニング装置。 - レーザ光が透過する透明な液体中の照射対象に、シャッタを開き照射ノズルから前記レーザ光を照射して前記照射対象の照射施工を行う照射ステップと、
前記照射対象の照射施工点を覆うとともに前記レーザ光の光路に沿って流れる液体を前記照射対象に向かって供給する液体供給ステップと、
前記照射ステップにおける前記レーザ光の前記照射施工に適した前記レーザ光の照射が行われているかどうかを表す照射施工情報を照射施工センサにより取得する照射施工情報取得ステップと、
前記照射ステップが行われているときに、前記照射施工情報に基づいて、前記レーザ光が前記照射対象を施工するのに適当な照射が行われているか否かを判定する判定ステップと、
前記判定ステップで前記レーザ光が前記照射対象を施工するのに適当な照射が行われていないと判定したときに、前記シャッタを閉じ前記照射施工を停止させる照射施工停止ステップと、
前記シャッタを閉じた後に前記シャッタを開くとともに、前記照射ノズルから前記照射対象に向かう前記レーザ光の光路内に前記レーザ光の透過を妨げる阻害流体を介在させて前記レーザ光を遮断するステップと、
を備えていること、を特徴とするレーザピーニング方法。
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