JP7059675B2 - 半導体発光装置およびその製造方法 - Google Patents
半導体発光装置およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7059675B2 JP7059675B2 JP2018025310A JP2018025310A JP7059675B2 JP 7059675 B2 JP7059675 B2 JP 7059675B2 JP 2018025310 A JP2018025310 A JP 2018025310A JP 2018025310 A JP2018025310 A JP 2018025310A JP 7059675 B2 JP7059675 B2 JP 7059675B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light emitting
- semiconductor light
- emitting device
- stem
- hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Semiconductor Lasers (AREA)
Description
特許文献1には、ステムとシリコン酸化物を成分に含む絶縁部材との間に緩衝部材を介在させることで、ステムと絶縁部材とが直接接することを防止し、ステムの材料として銅を用いた場合に生じる窒化物半導体発光素子の特性劣化を抑制する点が開示されている。また、特許文献2には、Si-O結合を含まないシールド部材によって、ガラスからなる絶縁部材を被覆することで、Siを含む脱離ガスがパッケージ内へ侵入することを抑制し、窒化物半導体発光素子の特性劣化を抑制する点が開示されている。
そこで、本発明は、半導体発光素子を収容する収容空間の気密性を確保することができる半導体発光装置およびその製造方法を提供することを課題としている。
このように、絶縁部材とステムの貫通穴の壁面との間を気密にする気密部材を設けることで、半導体発光素子を収容する収容空間の気密性を確保することができる。その結果、収容空間内に水分等が侵入することを防止し、半導体発光素子の劣化を適切に抑制することができる。
このように、ステムに形成された貫通穴が径の異なる第1の穴部と第2の穴部とを有する場合、気密部材を第1の穴部における絶縁部材と段差部との間に配置してもよい。例えば径の大きい第1の穴部がステムにおける収容空間側に設けられている場合、気密部材は、絶縁部材における収容空間とは反対側の面上に配置されるため、光照射による気密部材の劣化を防止することができる。また、この場合、径の小さい第2の穴部がステムにおける収容空間とは反対側に設けられるため、ステムの収容空間とは反対側の面の面積を広くとることができ、放熱の面で有利となる。
このように、径の大きい第1の穴部がステムにおける収容空間とは反対側に設けられている場合、気密部材は、絶縁部材における収容空間側の面上に配置されるが、段差部の背面に配置されることになる。そのため、当該段差部がひさしとなって、気密部材には半導体発光素子から放射される光が直接照射されない。したがって、光照射による気密部材の劣化を防止することができる。
さらに、上記の半導体発光装置において、前記ステムは、銅または銅を主成分とする合金を含んでいてもよい。この場合、半導体発光装置の放熱性を適切に向上させることができる。また、このように銅または銅を主成分とする合金のような軟化しやすい材料によってステムを構成した場合であっても、気密部材により収容空間の気密性を適切に確保することができる。
この場合、ステムにおけるキャップとの接触部は、抵抗溶接が可能な抵抗溶接部とすることができる。抵抗溶接によりキャップをステムに固定することが可能となることで、ステムとキャップとの間の気密性を十分に確保することができる。
半導体発光素子をステムの素子載置面に固定する場合、半田を加熱により溶融させて接着するダイボンディングを行う。気密部材が半田層よりも高い融点を有していれば、ダイボンディング時に気密部材までもが溶融、劣化してしまうことを防止することができる。
このように、気密部材は、半田材料の融点以上の耐熱性を有する樹脂部材により構成することができる。したがって、射出成形により比較的容易に気密部材を所望の位置へ配置することができる。
また、上記の半導体発光装置において、前記半導体発光素子は、波長550nm以上700nm以下の光を出射してもよい。このように、赤色光のような比較的長波長の光を出射する半導体発光装置とすることができる。
これにより、絶縁部材とステムの貫通穴の壁面との間を気密にする気密部材を設けることができ、半導体発光素子を収容する収容空間の気密性を確保することができる。その結果、収容空間内に水分等が侵入することを防止し、半導体発光素子の劣化を適切に抑制することができる。
図1は、本実施形態における半導体発光装置100の構成例を示す図である。半導体発光装置100は、ステムベース101と、ステムブロック102と、半導体発光素子103と、キャップ104と、リードピン105と、ワイヤ106と、を備える。
本実施形態では、半導体発光装置100が半導体レーザ装置であり、半導体発光素子103がレーザチップである場合について説明する。半導体発光素子103は、所定の注入電流が供給されて所定の発振波長を有するレーザ光を出射する。ここで、半導体発光素子103が発するレーザ光は、発振波長が例えば550nm以上700nm以下の赤色レーザ光とすることができる。なお、半導体発光素子103が発するレーザ光の発振波長は上記に限定されるものではない。
ステムベース101とステムブロック102とは、一体であっても別体であってもよい。ステムベース101とステムブロック102とが一体の場合も、ステムベース101とステムブロック102とが別体の場合も、両者を含めて「ステム」という。
なお、半導体発光素子103は、ステムブロック102に直接接合されてもよいが、本実施形態ではサブマウント103aが用いられるものとして説明する。発光時に半導体発光素子103が発する熱は、サブマウント103aを介してステムブロック102に伝達され、さらにステムベース101に伝達され、放熱される。
キャップ104は、図2に示すように、ステムベース101に固定され、図1に示すステムブロック102、半導体発光素子103およびサブマウント103aを、周辺のリードピン105やワイヤ106と共に覆う。つまり、キャップ104は、ステムベース101に固定され、ステムベース101とともに半導体発光素子103を収容する収容空間を形成する。このキャップ104は、半導体発光素子103やワイヤ106等を外部からの接触による破損や塵埃等の異物付着から保護することを目的として装着される。キャップ104は、例えば金属製である。
半導体発光素子103から発せられたレーザ光は、光取出し窓104bを透過して収容空間外に出射される。なお、光取出し窓104bは、平面ガラスに限らず、球面や非球面のレンズであってもよい。
この図3に示すように、ステムベース101の上面101aの一部には、抵抗溶接部107が設けられている。この抵抗溶接部107は、ステムベース101の上面101aにおけるキャップ104との接触部に設けられ、ステムベース101の上面101aにおけるキャップ104との非接触部に比べて熱伝導率が低い材料により構成されている。例えば上記非接触部が銅により構成されている場合、抵抗溶接部107は鉄系材料等により構成する。本実施形態では、抵抗溶接部107は、リング状の金属部材であり、銀ロウ107aによってステムベース101の上面101aに取り付けられている。
このように、本実施形態におけるステムは、銅または銅を主成分とする合金よりも熱伝導率が低い材料を一部に含んで構成されている。
リードピン105は、貫通穴101bを通り、一端がキャップ104で覆われた内側(半導体発光素子103の収容空間)に突き出している。リードピン105の上記一端は、ワイヤ106によって半導体発光素子103に電気的に接続されている。また、貫通穴101bには、ステムベース101とリードピン105とを絶縁する絶縁部材108が埋め込まれている。ここで、絶縁部材108は、ガラスにより構成されている。
また、Sn-3.5Ag半田、Au-90Sn半田、Sn-3Ag-0.5Cu半田(融点約220℃)の場合は、気密部材109として、上記に加え、ポリアミドイミド樹脂(約275℃)、アリル樹脂(約270℃)、フッ素樹脂(約260℃)を使用することができる。
さらに、Pb-63Sn半田(融点180℃)の場合は、気密部材109として、上記に加え、ポリフェニレンスルファイド樹脂(約220℃)、フラン樹脂(約200℃)、エポキシ樹脂(約200℃)を使用することができる。
なお、樹脂部材での絶縁性は、リードピンに接触する場合は、1×10-7Ω以上、気密性(Heリーク量)は1×10-7Pa・m3/sec以下を満たすことが望ましい。
まず図4に示すように、リードピン105が挿通される貫通穴101bが形成されたステムベース101を準備する。ステムベース101の上面101aには、ステムブロック102を設ける。そして、ステムベース101の上面101aに、リング状の抵抗溶接部107を銀ロウ107aにより接着する。このとき、同時もしくは連続して、貫通穴101b内にリング状の絶縁部材108を埋め込み、続いて絶縁部材108の中心にリードピン105を通す(第1の工程)。その後、加熱して、貫通穴101bに埋め込まれた絶縁部材108を溶融し、絶縁部材108を介してリードピン105をステムベース101に固定する(第2の工程)。
次に、図6に示すように、ステムブロック102に、ダイボンディングにより半導体発光素子103が搭載されたサブマウント103aを接着する。つまり、ステムに半導体発光素子103を固定する(第4の工程)。また、ワイヤボンディングにより、半導体発光素子103とリードピン105とを電気的に接続する(第5の工程)。
具体的には、先ず、キャップ104のフランジ部104cにおける上面101aと対向する面に形成された突起部(プロジェクション)104dと抵抗溶接部107とを接触させるようにキャップ104を配置する。そして、不図示の封止電極によってキャップ104のフランジ部104cとステムベース101とを挟み込み、封止電極間に電圧を印加し、突起部104dに電流を集中させて溶接する。これにより、キャップ104とステムベース101とで仕切られた収容空間は、気密空間となる。
以上の工程により、図3に示す半導体発光装置100が製造される。
ここで、半導体発光装置100のステム(ステムベース101)は、鉄よりも熱伝導率が高い材料、例えば銅または銅を主成分とする合金を含んで構成されている。したがって、例えばステムを鉄により構成した場合と比較して、ステムの放熱性を適切に向上させることができる。その結果、半導体発光素子103から発生する熱を、ステムを通じて効率良く逃がすことができ、光出力低下を抑制することができる。
また、気密部材109は、貫通穴101bの内部に配置し、ステムベース101の下面(上面101aとは反対側の面)から飛び出さないようにする。これにより、ステムベース101の下面から飛び出た気密部材109が、半導体発光装置100を実装する際の邪魔にならないようにすることができる。
また、ステムにおけるキャップ104との接触部を、キャップ104との非接触部に比べて熱伝導率が低い金属材料により構成することで、抵抗溶接によりキャップ104をステムに固定することが可能となる。したがって、ステムとキャップ104との間の気密をとることができ、収容空間の気密性を十分に確保することができる。
上記実施形態においては、気密部材109を絶縁部材108の半導体発光素子103から遠い側の面上に配置する場合について説明したが、気密部材109の配置位置は上記に限定されるものではない。
例えば、図8に示すように、絶縁部材108における半導体発光素子103に近い側の面上に気密部材109を配置してもよい。この場合、ステムベース101は、リードピン105が挿通される貫通穴として、上面101a側とは反対側に設けられた第1の穴部101cと、上面101a側に設けられた第2の穴部101dとを含む貫通穴を有する構成とする。ここで、第2の穴部101dは、第1の穴部101cよりも径が小さく、第1の穴部101cと段差部を介して連通されている。
この場合にも、気密部材109は、絶縁部材108と第1の穴部101cの内壁面との間を気密にすることができるので、収容空間の気密性を確保することができる。なお、図8に示す構成の場合、気密部材109はリードピン105に接触しないため、気密部材109の絶縁性は必ずしも必要ではない。
この場合にも、気密部材109は、第1の穴部101cにおいて、絶縁部材108と段差部との間に配置される。このような構成により、気密部材109によって絶縁部材108と第1の穴部101cの内壁面との間の隙間を塞ぐことができるので、収容空間の気密性を確保することができる。
なお、第1の穴部101cをステムベース101の上面101a側に設け、気密部材109を絶縁部材108における半導体発光素子103から遠い側の面上に配置する場合、図11に示すように、気密部材109は、絶縁部材109の全面に配置されていてもよい。
なお、上記実施形態においては、気密部材109は、絶縁部材108の一方の面上に配置されている場合について説明したが、絶縁部材108の両方の面上にそれぞれ配置されていてもよい。
また、上記実施形態においては、ステムベース101を銅等の高熱伝導率の材料で構成する場合について説明したが、温度特性がさほど重要とならない半導体発光装置においては、ステムブロック102のみを銅等により構成し、ステムベース101は鉄等により構成してもよい。
また、上記実施形態においては、ステムベース101の上面101aに抵抗溶接部107を設け、抵抗溶接によりキャップ104とステムベース101とを固定する場合について説明した。しかしながら、キャップ104とステムベース101との固定方法は、収容空間の気密性が確保できる方法であればよく、上記に限定されない。例えば、キャップ104とステムベース101とは、接着剤により固定されていてもよい。
Claims (11)
- 半導体発光素子と、
前記半導体発光素子を収容するパッケージと、を備え、
前記パッケージは、
前記半導体発光素子を保持し、貫通穴を有するステムと、
前記ステムに固定され、前記ステムとともに前記半導体発光素子を収容する収容空間を形成するキャップと、
前記貫通穴を通り、前記半導体発光素子と電気的に接続されたリードピンと、
前記貫通穴に埋め込まれ、前記ステムと前記リードピンとを絶縁する絶縁部材と、
前記貫通穴の内部に設けられ、前記絶縁部材と前記貫通穴の壁面との間を気密にする気密部材と、を備え、
前記絶縁部材における前記収容空間側の表面の少なくとも一部は、前記収容空間に対して露出し、
前記気密部材は、前記絶縁部材における前記収容空間側の面上であって、前記半導体発光素子から放射される光が直接照射されない位置に設けられていることを特徴とする半導体発光装置。 - 前記貫通穴は、
第1の穴部と、
前記第1の穴部よりも径が小さく、前記第1の穴部と段差部を介して連通された第2の穴部と、を含み、
前記絶縁部材は、前記第1の穴部に埋め込まれ、
前記気密部材は、前記第1の穴部において前記絶縁部材と前記段差部との間に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体発光装置。 - 前記第1の穴部は、前記ステムにおける前記収容空間とは反対側に設けられていることを特徴とする請求項2に記載の半導体発光装置。
- 前記ステムは、鉄よりも熱伝導率が高い材料により構成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の半導体発光装置。
- 前記ステムは、銅または銅を主成分とする合金を含むことを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の半導体発光装置。
- 前記ステムにおける前記キャップとの接触部は、前記キャップとの非接触部に比べて熱伝導率が低い金属材料により構成されていることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の半導体発光装置。
- 前記半導体発光素子は、半田層を介して前記ステムの素子載置面に固定されており、
前記気密部材は、前記半田層よりも高い融点を有する材料により構成されていることを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の半導体発光装置。 - 前記気密部材は、ポリイミド樹脂、シリコン樹脂、ポリアミドイミド樹脂、アリル樹脂、フッ素樹脂、ポリフェニレンスルファイド樹脂、フラン樹脂およびエポキシ樹脂のいずれかにより構成されていることを特徴とする請求項7に記載の半導体発光装置。
- 前記絶縁部材は、ガラスにより構成されていることを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の半導体発光装置。
- 前記半導体発光素子は、波長550nm以上700nm以下の光を出射することを特徴とする請求項1から9のいずれか1項に記載の半導体発光装置。
- 半導体発光素子と、前記半導体発光素子を収容するパッケージと、を備える半導体発光装置の製造方法であって、
ステムに形成された貫通穴に絶縁部材を埋め込み、リードピンを通す工程と、
前記貫通穴に埋め込まれた前記絶縁部材を溶融する工程と、
前記貫通穴の内部に、前記絶縁部材と前記貫通穴の壁面との間を気密にする気密部材を形成する工程と、
前記ステムに前記半導体発光素子を固定する工程と、
前記半導体発光素子と前記リードピンとを電気的に接続する工程と、
前記ステムに、前記半導体発光素子を覆うようにキャップを固定し、前記ステムと前記キャップとにより前記半導体発光素子を収容する収容空間を形成する工程と、を含み、
前記気密部材を形成する工程では、
前記絶縁部材における前記収容空間側の表面の少なくとも一部が、前記収容空間に対して露出するように、前記絶縁部材における前記収容空間側の面上であって、前記半導体発光素子から放射される光が直接照射されない位置に前記気密部材を配置することを特徴とする半導体発光装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018025310A JP7059675B2 (ja) | 2018-02-15 | 2018-02-15 | 半導体発光装置およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018025310A JP7059675B2 (ja) | 2018-02-15 | 2018-02-15 | 半導体発光装置およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019140360A JP2019140360A (ja) | 2019-08-22 |
JP7059675B2 true JP7059675B2 (ja) | 2022-04-26 |
Family
ID=67694444
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018025310A Active JP7059675B2 (ja) | 2018-02-15 | 2018-02-15 | 半導体発光装置およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7059675B2 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20060114950A1 (en) | 2004-11-30 | 2006-06-01 | Hsien-Cheng Yen | Laser diode module with a built-in high-frequency modulation IC |
JP2006210510A (ja) | 2005-01-26 | 2006-08-10 | Sony Corp | 発光装置の製造方法 |
JP2013143493A (ja) | 2012-01-11 | 2013-07-22 | Mitsubishi Electric Corp | 光スイッチ |
WO2014010140A1 (ja) | 2012-07-11 | 2014-01-16 | パナソニック株式会社 | 窒化物半導体発光装置 |
JP2014146668A (ja) | 2013-01-28 | 2014-08-14 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 半導体パッケージ用ステム及び半導体パッケージ |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2588517Y2 (ja) * | 1991-04-19 | 1999-01-13 | ローム株式会社 | 半導体レーザ装置 |
-
2018
- 2018-02-15 JP JP2018025310A patent/JP7059675B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20060114950A1 (en) | 2004-11-30 | 2006-06-01 | Hsien-Cheng Yen | Laser diode module with a built-in high-frequency modulation IC |
JP2006210510A (ja) | 2005-01-26 | 2006-08-10 | Sony Corp | 発光装置の製造方法 |
JP2013143493A (ja) | 2012-01-11 | 2013-07-22 | Mitsubishi Electric Corp | 光スイッチ |
WO2014010140A1 (ja) | 2012-07-11 | 2014-01-16 | パナソニック株式会社 | 窒化物半導体発光装置 |
JP2014146668A (ja) | 2013-01-28 | 2014-08-14 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 半導体パッケージ用ステム及び半導体パッケージ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019140360A (ja) | 2019-08-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9559491B2 (en) | Laser diode with cooling along even the side surfaces | |
JP4985012B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2006202885A (ja) | 半導体装置 | |
WO2017195625A1 (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
JP2009105266A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US9559489B2 (en) | Semiconductor laser device, light source device, method of producing semiconductor laser device, and method of producing light source device | |
US5878069A (en) | Semiconductor laser diode assembly | |
US7567599B2 (en) | Semiconductor laser diode device with thermal conductive encapsulating resin and method for manufacturing the same | |
JP7059675B2 (ja) | 半導体発光装置およびその製造方法 | |
JP6225834B2 (ja) | 半導体発光装置およびその製造方法 | |
JP6197606B2 (ja) | 化合物半導体発光デバイスの製造方法及びこの製造方法によって製造された化合物半導体発光デバイス | |
US10411167B2 (en) | Semiconductor light emitting apparatus, stem part | |
JP2019133965A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP7306831B2 (ja) | 半導体パッケージ用ステム、半導体パッケージ | |
JP7014645B2 (ja) | 半導体発光装置 | |
JP2017017204A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP4678154B2 (ja) | 半導体レーザパッケージおよび半導体レーザパッケージの製造方法 | |
WO2017010025A1 (ja) | レーザモジュール | |
TWI687153B (zh) | 熱電冷卻器內置式柄體 | |
JP4861200B2 (ja) | パワーモジュール | |
JP6485518B2 (ja) | 半導体発光装置およびその製造方法 | |
CN111541144A (zh) | 半导体激光光源装置 | |
US6090642A (en) | Semiconductor laser diode assembly and method of manufacturing the same | |
JP5540412B2 (ja) | 半導体パッケージ用ステムおよび半導体パッケージ用ステムの製造方法 | |
JP6349238B2 (ja) | 半導体装置用ステム及び半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20200915 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20201218 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20211125 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211207 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220121 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220315 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220328 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 7059675 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |