JP7052996B2 - X線光学デバイス - Google Patents
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Description
Claims (12)
- X線を放出するように構成されるX線源、
前記X線源が発生するX線ビームを被分析試料上に結像するように構成されるX線光学系、及び、
前記X線光学系によって出力される前記X線ビームの少なくとも一部を選択的に阻止するように配置されるビーム阻止ユニットを有するX線光学デバイスであって、
前記ビーム阻止ユニットは、回転シャフト及びビーム阻止素子を有し、
前記回転シャフトは、駆動ユニットにより該回転シャフトの軸の周りで回転可能で、かつ、前記X線光学系によって出力される前記X線ビームの伝播方向に対して横方向にオフセットされるように配置され、
前記ビーム阻止素子は、前記回転シャフト上で中心を外して載置されることにより、前記回転シャフトの軸の周りで中心を外して回転する場合に、前記の出力されるX線ビームの対応部分を阻止する様々なビーム重なり位置に移動可能であり、
前記駆動ユニットによって回転する前記回転シャフトの回転角又は角度位置を測定するように構成されるセンサユニット、及び
前記センサユニット、前記駆動ユニット、及び外部入力装置と通信する制御ユニットをさらに備え、
前記制御ユニットは、
前記センサユニットによって測定された前記回転シャフトの角度位置に基づいて前記ビーム阻止素子の実際のビーム重なり位置を決定し、
前記外部入力装置から受信された設定ビーム重なり位置と前記実際の重なり位置とを比較し、かつ、
前記の比較に基づいて、前記設定ビーム重なり位置に対応する角度位置へ前記回転シャフトを駆動させるように前記駆動ユニットを制御するモータ信号を発生させるように構成される、
X線光学デバイス。 - 請求項1に記載のX線光学デバイスであって、前記ビーム阻止素子の前記ビーム重なり位置は、前記回転シャフトの回転角度に依存する、X線光学デバイス。
- 請求項1又は2に記載のX線光学デバイスであって、前記ビーム阻止素子は、0°乃至180°の対応する回転角度を選択することによって所定の最小重なり位置と所定の最大重なり位置との間の任意の位置へ移動可能である、X線光学デバイス。
- 請求項1乃至3のいずれか一項に記載のX線光学デバイスであって、前記ビーム阻止素子は、前記回転シャフトを一の全回転だけ回転させることによって、最小重なり位置から最大重なり位置へ移動し、かつ、前記最大重なり位置から前記最小重なり位置へ戻るように移動可能である、X線光学デバイス。
- 請求項1乃至4のいずれか一項に記載のX線光学デバイスであって、前記ビーム阻止素子は、横方向表面が前記X線ビーム用のビーム阻止端部を画定する回転対称性を有する本体を有し、前記横方向表面は、円周方向に沿った前記本体の表面である、X線光学デバイス。
- 請求項1乃至5のいずれか一項に記載のX線光学デバイスであって、
前記回転シャフトを回転可能なよう保持するように設計されたベアリングユニット、並びに、
少なくとも1つのベアリングユニット、前記回転シャフト、及び、前記ビーム阻止素子を収容するように設計された外包、
をさらに有するX線光学デバイス。 - 請求項1乃至6のいずれか一項に記載のX線光学デバイスであって、前記回転シャフトの周りで気密性封止を実現するように設計された少なくとも1つの封止素子をさらに有するX線光学デバイス。
- 請求項1に記載のX線光学デバイスであって、前記駆動ユニットは、トルクを発生させるように構成される電気モータ、及び、前記トルクを前記回転シャフトへ伝えるように構成されるベルトドライブを有する、X線光学デバイス。
- 請求項1乃至8のいずれか一項に記載のX線光学デバイスであって、前記X線光学系が所定の焦点長でX線ビームを結像するように設計された少なくとも1つの反射素子を有する、X線光学デバイス。
- 請求項1乃至9のいずれか一項に記載のX線光学デバイスであって、前記X線光学系の後方に配置され、かつ、前記X線光学系と前記被分析試料との間で前記X線ビームをさらに微調整するように構成されるコリメータをさらに有する、X線光学デバイス。
- 請求項10に記載のX線光学デバイスの動作方法であって、
前記X線源によってX線を発生させる工程、
前記X線光学系によってX線ビームを前記被分析試料上で結像する工程、
前記コリメータによって前記被分析試料に結像されるX線ビームをコリメートする工程、並びに、
前記被分析試料に依存して前記の結像されるX線ビームの発散角及び/又は強度を調節する工程であって、前記回転シャフトを所定の回転角度だけ回転させることによって前記ビーム阻止素子を所望のビーム重なり位置へ向けて移動させるとともに、制御ユニット、及び、前記回転シャフトと機械的に結合する駆動ユニットによって自動的に実行される工程を有し、
前記制御ユニットは、
前記センサユニットによって測定された前記回転シャフトの角度位置に基づいて前記ビーム阻止素子の実際のビーム重なり位置を決定し、
前記外部入力装置から受信された設定ビーム重なり位置と前記実際の重なり位置とを比較し、かつ、
前記の比較に基づいて、前記設定ビーム重なり位置に対応する角度位置へ前記回転シャフトを駆動させるように前記駆動ユニットを制御するモータ信号を発生させるように構成される、
方法。 - 結晶試料又は粉末試料を分析するX線分析システムであって、
X線を放出するように構成されるX線源、
前記X線源が発生するX線ビームを被分析試料上に結像するように構成されるX線光学系、及び、
前記X線光学系によって出力される前記X線ビームの少なくとも一部を選択的に阻止するように配置されるビーム阻止ユニットを有するX線光学デバイスであって、
前記ビーム阻止ユニットは、回転シャフト及びビーム阻止素子を有し、
前記回転シャフトは、駆動ユニットにより該回転シャフトの軸の周りで回転可能で、かつ、前記X線光学系によって出力される前記X線ビームの伝播方向に対して横方向にオフセットされるように配置され、
前記ビーム阻止素子は、前記回転シャフト上で中心を外して載置されることにより、前記回転シャフトの軸の周りで中心を外して回転する場合に、前記の出力されるX線ビームの対応部分を阻止する様々なビーム重なり位置に移動可能であり、
前記駆動ユニットによって回転する前記回転シャフトの回転角又は角度位置を測定するように構成されるセンサユニット、及び
前記センサユニット、前記駆動ユニット、及び外部入力装置と通信する制御ユニットをさらに備え、
前記制御ユニットは、
前記センサユニットによって測定された前記回転シャフトの角度位置に基づいて前記ビーム阻止素子の実際のビーム重なり位置を決定し、
前記外部入力装置から受信された設定ビーム重なり位置と前記実際の重なり位置とを比較し、かつ、
前記の比較に基づいて、前記設定ビーム重なり位置に対応する角度位置へ前記回転シャフトを駆動させるように前記駆動ユニットを制御するモータ信号を発生させるように構成され、
被分析試料を保持して前記X線光学デバイスによって出力される前記X線ビームに対して前記被分析試料の向きを合わせるように構成される試料台、及び、
前記被分析試料によって散乱されるX線を検出するように構成されるX線検出器、
を有するX線分析システム。
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