JP7051334B2 - 基板処理装置および基板処理方法 - Google Patents
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Description
4 カップ部
6 剥離液供給部
9 基板
31 基板保持部
33 基板回転機構
51 第1ノズル
53 第3ノズル
61 混合部
62 混合割合調節部
63 濃度制御部
64 第4ノズル
91 (基板の)上面
92 (基板の)下面
93 周縁領域
J1 中心軸
S11~S19 ステップ
Claims (14)
- 基板を処理する基板処理装置であって、
基板を水平状態で保持する基板保持部と、
上下方向を向く中心軸を中心として前記基板を前記基板保持部と共に回転する基板回転機構と、
前記基板の上面に水溶性高分子溶液である塗布液を供給して前記塗布液の膜である塗布膜を前記上面上に形成する塗布液供給部と、
回転中の前記基板の前記上面の周縁領域に剥離液を供給することにより、前記塗布膜のうち前記周縁領域上の部位を前記基板から剥離させる剥離液供給部と、
前記基板保持部の周囲に配置され、回転中の前記基板から周囲に飛散する前記剥離液を受ける受液部と、
を備え、
前記剥離液供給部が、
水溶性有機溶剤と水性溶媒とを混合して前記剥離液を生成する混合部と、
前記混合部から送出された前記剥離液を前記基板に向けて吐出する剥離液吐出部と、
を備え、
前記剥離液における前記水溶性有機溶剤の体積濃度は、20%以上かつ40%以下であることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置であって、
前記剥離液吐出部が、前記基板の下面の外縁部に向けて前記剥離液を吐出することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1または2に記載の基板処理装置であって、
前記剥離液供給部が、前記混合部において前記水性溶媒に混合される前記水溶性有機溶剤の割合を調節する混合割合調節部をさらに備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項3に記載の基板処理装置であって、
前記剥離液供給部が、前記塗布膜の剥離処理に関する入力情報に基づいて前記混合割合調節部を制御する濃度制御部をさらに備え、
前記入力情報は、前記受液部の材質を含むことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし4のいずれか1つに記載の基板処理装置であって、
前記水溶性有機溶剤がイソプロピルアルコールであることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし5のいずれか1つに記載の基板処理装置であって、
前記基板の前記上面にリンス液を供給するリンス液供給部をさらに備え、
前記リンス液が、前記剥離液の前記水性溶媒と同じ種類の液体であることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし6のいずれか1つに記載の基板処理装置であって、
前記基板の前記上面に構造体が予め形成されており、
前記基板の前記上面上に前記塗布膜が形成されることにより、前記構造体における隙間が前記塗布液で満たされることを特徴とする基板処理装置。 - 基板を処理する基板処理方法であって、
a)基板を水平状態で保持する工程と、
b)前記基板の上面に水溶性高分子溶液である塗布液を供給して前記塗布液の膜である塗布膜を前記上面上に形成する工程と、
c)水溶性有機溶剤と水性溶媒とを混合して剥離液を生成する工程と、
d)前記b)工程および前記c)工程よりも後に、上下方向を向く中心軸を中心として前記基板を回転させた状態で、前記基板の前記上面の周縁領域に前記剥離液を供給することにより、前記塗布膜のうち前記周縁領域上の部位を前記基板から剥離させ、回転中の前記基板から周囲に飛散する前記剥離液を受液部で受ける工程と、
を備え、
前記剥離液における前記水溶性有機溶剤の体積濃度は、20%以上かつ40%以下であることを特徴とする基板処理方法。 - 請求項8に記載の基板処理方法であって、
前記d)工程において、前記基板の下面の外縁部に向けて前記剥離液が吐出されることを特徴とする基板処理方法。 - 請求項8または9に記載の基板処理方法であって、
前記c)工程において、前記水性溶媒に混合される前記水溶性有機溶剤の割合が調節可能であることを特徴とする基板処理方法。 - 請求項10に記載の基板処理方法であって、
前記c)工程において、前記塗布膜の剥離処理に関する入力情報に基づいて、前記水性溶媒に混合される前記水溶性有機溶剤の割合が調節され、
前記入力情報は、前記受液部の材質を含むことを特徴とする基板処理方法。 - 請求項8ないし11のいずれか1つに記載の基板処理方法であって、
前記水溶性有機溶剤がイソプロピルアルコールであることを特徴とする基板処理方法。 - 請求項8ないし12のいずれか1つに記載の基板処理方法であって、
前記基板の前記上面にリンス液を供給する工程をさらに備え、
前記リンス液が、前記剥離液の前記水性溶媒と同じ種類の液体であることを特徴とする基板処理方法。 - 請求項8ないし13のいずれか1つに記載の基板処理方法であって、
前記基板の前記上面に構造体が予め形成されており、
前記b)工程において、前記構造体における隙間が前記塗布液で満たされることを特徴とする基板処理方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017167360A JP7051334B2 (ja) | 2017-08-31 | 2017-08-31 | 基板処理装置および基板処理方法 |
PCT/JP2018/026237 WO2019044199A1 (ja) | 2017-08-31 | 2018-07-11 | 基板処理装置および基板処理方法 |
TW107125333A TWI682452B (zh) | 2017-08-31 | 2018-07-23 | 基板處理裝置以及基板處理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017167360A JP7051334B2 (ja) | 2017-08-31 | 2017-08-31 | 基板処理装置および基板処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019046927A JP2019046927A (ja) | 2019-03-22 |
JP7051334B2 true JP7051334B2 (ja) | 2022-04-11 |
Family
ID=65813026
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017167360A Active JP7051334B2 (ja) | 2017-08-31 | 2017-08-31 | 基板処理装置および基板処理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7051334B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7419163B2 (ja) * | 2020-05-29 | 2024-01-22 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置、基板処理方法、学習用データの生成方法、学習方法、学習装置、学習済モデルの生成方法、および、学習済モデル |
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JP2007335815A (ja) | 2006-06-19 | 2007-12-27 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理方法および基板処理装置 |
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JP2008177495A (ja) | 2007-01-22 | 2008-07-31 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理方法および基板処理装置 |
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JP2015095583A (ja) | 2013-11-13 | 2015-05-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板洗浄方法、基板洗浄システムおよび記憶媒体 |
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2017
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---|---|---|---|---|
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JP2008198958A (ja) | 2007-02-16 | 2008-08-28 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
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JP2015023172A (ja) | 2013-07-19 | 2015-02-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法及び基板処理用記録媒体 |
JP2015095583A (ja) | 2013-11-13 | 2015-05-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板洗浄方法、基板洗浄システムおよび記憶媒体 |
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