JP7050279B2 - 半導体レーザおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
12 バッファ層
14 下部クラッド層
16 活性層
18 上部クラッド層
40 下地層
42 量子ドット層
44 量子ドット
45 混晶層
46 濡れ層
47 中間層
48 カバー層
50 埋め込み層
100 半導体レーザ
Claims (8)
- 半導体基板上に設けられた下地層と、
前記下地層上に設けられた複数の量子ドットと、
前記複数の量子ドット間の前記下地層上に設けられた濡れ層と、
前記複数の量子ドット間の前記濡れ層上に、上面から前記複数の量子ドットの上面が露出するように設けられた中間層と、
前記複数の量子ドット間の前記中間層上に設けられたカバー層と、
前記複数の量子ドットと前記複数の量子ドット間の前記カバー層との上に設けられた埋め込み層と、を備え、
前記カバー層のバンドギャップエネルギーは前記複数の量子ドットおよび前記濡れ層のバンドギャップエネルギーより大きく、前記中間層のバンドギャップエネルギーは前記カバー層のバンドギャップエネルギーより大きい半導体レーザ。 - 前記複数の量子ドット、前記濡れ層および前記カバー層はInxGa1-xAs(0<x≦1)層であり、
前記下地層および前記中間層は、GaAs層であり、
前記カバー層のxは前記複数の量子ドットおよび前記濡れ層のxより小さい請求項1に記載の半導体レーザ。 - 前記下地層および前記埋め込み層のバンドギャップエネルギーは前記カバー層のバンドギャップエネルギーより大きい請求項1または2に記載の半導体レーザ。
- 前記中間層は前記カバー層より薄い請求項1から3のいずれか一項に記載の半導体レーザ。
- 半導体基板上に設けられた下地層と、
前記下地層上に接して設けられた複数の量子ドットと、
前記複数の量子ドット間の前記下地層上に接して設けられた混晶層と、
前記複数の量子ドット間の前記混晶層上に接して設けられたカバー層と、
前記複数の量子ドットと前記複数の量子ドット間の前記カバー層との上に設けられた埋め込み層と、を備え、
前記混晶層のバンドギャップエネルギーは前記複数の量子ドットのバンドギャップエネルギーより大きく、前記カバー層のバンドギャップエネルギーは前記混晶層のバンドギャップエネルギーより大きく、前記下地層のバンドギャップエネルギーは前記カバー層のバンドギャップエネルギーより大きい半導体レーザ。 - 前記複数の量子ドット、前記混晶層および前記カバー層はInxGa1-xAs(0<x≦1)層であり、
前記下地層は、GaAs層であり、
前記混晶層のxは前記複数の量子ドットのxより小さく、前記カバー層のxは前記混晶層のxより小さい請求項5に記載の半導体レーザ。 - 前記埋め込み層のバンドギャップエネルギーは前記カバー層のバンドギャップエネルギーより大きい請求項5または6に記載の半導体レーザ。
- 半導体基板上に下地層を形成する工程と、
前記下地層上に接して複数の量子ドットと、前記複数の量子ドット間の前記下地層上に接して濡れ層と、を形成する工程と、
前記複数の量子ドット間の前記濡れ層上に中間層を形成する工程と、
熱処理することにより、前記濡れ層と前記中間層との混晶である混晶層を形成する工程と、
前記複数の量子ドット間の前記混晶層上に接してカバー層を形成する工程と、
前記複数の量子ドットおよび前記複数の量子ドット間の前記カバー層上に埋め込み層を形成する工程と、
を含み、
前記下地層はGaAs層であり、
前記複数の量子ドット、前記濡れ層、前記中間層、前記混晶層および前記カバー層はInxGa1-xAs(0≦x≦1)層であり、
前記混晶層のxは前記複数の量子ドットのxより小さく、前記カバー層のxは前記混晶層のxより小さくかつ0より大きい半導体レーザの製造方法。
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JP2017236225A JP7050279B2 (ja) | 2017-12-08 | 2017-12-08 | 半導体レーザおよびその製造方法 |
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JP2017236225A JP7050279B2 (ja) | 2017-12-08 | 2017-12-08 | 半導体レーザおよびその製造方法 |
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Citations (6)
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---|---|---|---|---|
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JP2004235329A (ja) | 2003-01-29 | 2004-08-19 | Fujitsu Ltd | 量子半導体装置及びその製造方法 |
US20070128839A1 (en) | 2005-12-06 | 2007-06-07 | Jin Soo Kim | Quantum dot laser diode and method of manufacturing the same |
JP2009117694A (ja) | 2007-11-08 | 2009-05-28 | Qd Laser Inc | 光モジュール |
JP2010040872A (ja) | 2008-08-06 | 2010-02-18 | Fujitsu Ltd | 半導体デバイス及びその製造方法、光通信システム |
CN104600564A (zh) | 2015-01-12 | 2015-05-06 | 中国科学院半导体研究所 | 制作宽光谱砷化铟/磷化铟量子点激光器有源区的方法 |
-
2017
- 2017-12-08 JP JP2017236225A patent/JP7050279B2/ja active Active
Patent Citations (6)
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Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Yuqing Huang et al.,"Spin injection loss in self-assembled InAs/GaAs quantum dot structures from disordered barrier layers",2016 IEEE 16th International Conference on Nanotechnology (IEEE-NANO),米国,IEEE,2016年08月22日,https://ieeexplore.ieee.org/stamp/stamp.jsp?tp=&arnumber=7751341,DOI: 10.1109/NANO.2016.7751341 |
Also Published As
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---|---|
JP2019106399A (ja) | 2019-06-27 |
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