JP7044142B2 - Lead frame and its manufacturing method - Google Patents

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Description

本発明は、半導体装置用のリードフレームおよびこのようなリードフレームの製造方法に関する。 The present invention relates to lead frames for semiconductor devices and methods for manufacturing such lead frames.

従来より、薄型の半導体装置（半導体パッケージ）として、例えばＱＦＮ（Quad Flat Non-leaded package）タイプのものや、ＳＯＮ（Small Outline Non-leaded Package）タイプのもの等が知られている。 Conventionally, as a thin semiconductor device (semiconductor package), for example, a QFN (Quad Flat Non-leaded package) type, a SON (Small Outline Non-leaded Package) type, and the like are known.

このうちＱＦＮタイプの半導体装置の製造方法としては、コストダウンの観点から、個別モールドタイプから一括モールドタイプ（ＭＡＰ型ＱＦＮタイプ）へと移行してきている。 Among these, as a method for manufacturing a QFN type semiconductor device, from the viewpoint of cost reduction, there has been a shift from an individual mold type to a batch mold type (MAP type QFN type).

ＭＡＰ型ＱＦＮタイプの半導体装置の製造工程において、フォトリソグラフィーによってパターニングされた金属基板に対して、エッチング加工を行うことでリードフレームを得ることが行われている。この際、各半導体パターンを区画している、コネクティングバー（グリッドリード、またはタイバーともいう）をより細くすることによって、リードフレーム内の各半導体パターンの面付け効率を上げることができるが、一方で、リードフレームの強度が維持できず、リードフレームがエッチング後、変形してしまうことが問題となっていた。また、パッケージを単体に切り離すソーイング加工を行うが、このときにメタルバリが発生することが問題となっている。メタルバリが発生した場合、切断後の半導体装置において、互いに隣接するリード部同士が短絡してしまうおそれがある。このため、ソーイング加工（ダイシング加工とも言う）時に生じるバリを少なくすることが求められており、例えば、コネクティングバー（グリッドリード、またはタイバーともいう）にハーフエッチング加工を施す技術が存在する（特許文献１参照）。 In the manufacturing process of a MAP type QFN type semiconductor device, a lead frame is obtained by etching a metal substrate patterned by photolithography. At this time, by making the connecting bar (also referred to as grid lead or tie bar) that partitions each semiconductor pattern thinner, the imposition efficiency of each semiconductor pattern in the lead frame can be improved, but on the other hand. The problem is that the strength of the lead frame cannot be maintained and the lead frame is deformed after etching. In addition, sewing processing is performed to separate the package into a single unit, but there is a problem that metal burrs occur at this time. When metal burrs occur, the lead portions adjacent to each other may be short-circuited in the semiconductor device after cutting. Therefore, it is required to reduce burrs generated during sewing processing (also referred to as dicing processing). For example, there is a technique for performing half-etching processing on a connecting bar (also referred to as grid lead or tie bar) (Patent Document). 1).

特開２００１－３２０００７号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2001-320007

ところで近年、ＱＦＮタイプの半導体装置の多ピン化が進んでおり、このため、従来のものよりも大型のパッケージが用いられてきている。しかしながら、上述した従来のＱＦＮタイプの半導体装置においては、コネクティングバーにハーフエッチング加工を施したことにより、コネクティングバーの強度が不足してしまう。このため、とりわけリード部周囲でコネクティングバーに変形が生じるおそれがある。 By the way, in recent years, the number of pins of QFN type semiconductor devices has been increasing, and for this reason, packages larger than conventional ones have been used. However, in the above-mentioned conventional QFN type semiconductor device, the strength of the connecting bar is insufficient due to the half-etching process of the connecting bar. For this reason, the connecting bar may be deformed, especially around the lead portion.

本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、ソーイング加工時におけるバリの発生を抑えつつ、コネクティングバーの変形を防止することが可能なリードフレームおよびその製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in consideration of such a point, and provides a lead frame capable of preventing deformation of a connecting bar while suppressing the generation of burrs during sewing processing, and a method for manufacturing the lead frame. The purpose.

本発明は、半導体装置用のリードフレームにおいて、それぞれ半導体素子を載置するダイパッドと、前記ダイパッドの周囲に設けられた複数のリード部とを含む、複数のリードフレーム要素を備え、隣接する前記リードフレーム要素間において、対応する一対の前記リード部がコネクティングバーを介して連結され、前記コネクティングバーは、前記コネクティングバーの長手方向に沿って前記コネクティングバーの一方の面側から薄肉化された薄肉部を有し、前記薄肉部に、前記コネクティングバーの長手方向に沿って延びる突起部が形成されていることを特徴とするリードフレームである。 The present invention comprises a plurality of lead frame elements including a die pad on which a semiconductor element is placed and a plurality of lead portions provided around the die pad in a lead frame for a semiconductor device, and the adjacent leads are adjacent to each other. A pair of corresponding lead portions are connected between the frame elements via a connecting bar, and the connecting bar is a thin portion thinned from one surface side of the connecting bar along the longitudinal direction of the connecting bar. The lead frame is characterized in that a protrusion extending along the longitudinal direction of the connecting bar is formed in the thin portion.

本発明は、前記コネクティングバーの長手方向に沿って、複数の突起部が形成されていることを特徴とするリードフレームである。 The present invention is a lead frame characterized in that a plurality of protrusions are formed along the longitudinal direction of the connecting bar.

本発明は、前記突起部の頂部は、前記コネクティングバーの前記一方の面よりも他方の面側に引っ込んでいることを特徴とするリードフレームである。 The present invention is a lead frame characterized in that the top of the protrusion is recessed toward the other side of the connecting bar with respect to the one side.

本発明は、前記頂部は、前記リードフレームの厚みの２．５％～５０％だけ前記コネクティングバーの前記一方の面から引っ込んでいることを特徴とするリードフレームである。 The present invention is a lead frame characterized in that the top thereof is retracted from one surface of the connecting bar by 2.5% to 50% of the thickness of the lead frame.

本発明は、前記一方の面は、前記半導体素子を搭載する面側に位置することを特徴とするリードフレームである。 The present invention is a lead frame characterized in that one of the surfaces is located on the surface side on which the semiconductor element is mounted.

本発明は、前記突起部は、前記コネクティングバーの幅方向中央部以外に設けられていることを特徴とするリードフレームである。 The present invention is a lead frame characterized in that the protrusion is provided in a portion other than the central portion in the width direction of the connecting bar.

本発明は、前記コネクティングバーは、交差部において当該コネクティングバーに直交する方向に延びる他のコネクティングバーに連結され、当該コネクティングバーの前記突起部のうち少なくとも１つは、前記交差部で前記他のコネクティングバーの突起部に連結されていることを特徴とするリードフレームである。 In the present invention, the connecting bar is connected to another connecting bar extending in a direction orthogonal to the connecting bar at the intersection, and at least one of the protrusions of the connecting bar is the other at the intersection. It is a lead frame characterized by being connected to a protrusion of a connecting bar.

本発明は、前記コネクティングバーは、前記コネクティングバーの長手方向に終端する終端部を有し、前記終端部は、当該コネクティングバーに直交する方向に延びる他のコネクティングバーから離間していることを特徴とするリードフレームである。 The present invention is characterized in that the connecting bar has a terminal portion that terminates in the longitudinal direction of the connecting bar, and the terminal portion is separated from another connecting bar that extends in a direction orthogonal to the connecting bar. It is a lead frame.

本発明は、リードフレームの製造方法において、金属基板を準備する工程と、前記金属基板に、エッチング用レジスト層を形成する工程と、前記エッチング用レジスト層を耐腐蝕膜として前記金属基板にエッチングを施すことにより、前記金属基板に、それぞれ半導体素子を載置するダイパッドと、前記ダイパッドの周囲に設けられた複数のリード部とを含む、複数のリードフレーム要素を形成する工程と、前記金属基板から、前記エッチング用レジスト層を除去する工程とを備え、前記複数のリードフレーム要素を形成する工程において、隣接する前記リードフレーム要素間に、対応する一対の前記リード部を連結するコネクティングバーが形成され、前記コネクティングバーに、前記コネクティングバーの長手方向に沿って前記コネクティングバーの一方の面側から薄肉化された薄肉部が形成され、前記薄肉部に、前記コネクティングバーの長手方向に沿って延びる複数の突起部が形成されることを特徴とするリードフレームの製造方法である。 In the present invention, in the method for manufacturing a lead frame, a step of preparing a metal substrate, a step of forming an etching resist layer on the metal substrate, and etching on the metal substrate using the etching resist layer as a corrosion resistant film. By applying the process, a step of forming a plurality of lead frame elements including a die pad on which a semiconductor element is placed on the metal substrate and a plurality of lead portions provided around the die pad, and a step of forming the metal substrate from the metal substrate. In the step of forming the plurality of lead frame elements, a connecting bar for connecting the corresponding pair of lead portions is formed between the adjacent lead frame elements. A plurality of thin-walled portions extending along the longitudinal direction of the connecting bar are formed in the connecting bar from one surface side of the connecting bar along the longitudinal direction of the connecting bar. It is a method for manufacturing a lead frame, which is characterized in that a protrusion is formed.

本発明によれば、エッチング後のリードフレームの変形を防止することができる。また、ソーイング加工時におけるバリの発生を抑えつつ、コネクティングバーの変形を防止することができる。 According to the present invention, it is possible to prevent deformation of the lead frame after etching. Further, it is possible to prevent the connecting bar from being deformed while suppressing the generation of burrs during the sewing process.

図１は、本発明の一実施の形態によるリードフレームを示す平面（表面）図。FIG. 1 is a plan (surface) view showing a lead frame according to an embodiment of the present invention. 図２は、本発明の一実施の形態によるリードフレームを示す底面（裏面）図。FIG. 2 is a bottom surface (back surface) view showing a lead frame according to an embodiment of the present invention. 図３は、本発明の一実施の形態によるリードフレームを示す部分拡大底面図であって、図２のIII部拡大図。FIG. 3 is a partially enlarged bottom view showing a lead frame according to an embodiment of the present invention, and is an enlarged view of part III of FIG. 図４は、本発明の一実施の形態によるコネクティングングバーのリード連結部における垂直断面図であって、図１のIV－IV線断面図。FIG. 4 is a vertical sectional view of a lead connecting portion of a connecting bar according to an embodiment of the present invention, and is a sectional view taken along line IV-IV of FIG. 図５は、本発明の一実施の形態によるコネクティングングバーのリード非連結部における垂直断面図であって、図１のＶ－Ｖ線断面図。FIG. 5 is a vertical sectional view of a lead-unconnected portion of a connecting bar according to an embodiment of the present invention, and is a sectional view taken along line VV of FIG. 1. 図６は、本発明の一実施の形態によるリードフレームを用いて作製された半導体装置を示す断面図。FIG. 6 is a cross-sectional view showing a semiconductor device manufactured by using a lead frame according to an embodiment of the present invention. 図７（ａ）－（ｆ）は、本発明の一実施の形態によるリードフレームの製造方法を示す断面図であって、図１のVII－VII線断面に対応する図。7 (a)-(f) are cross-sectional views showing a method of manufacturing a lead frame according to an embodiment of the present invention, and are views corresponding to the cross-sectional lines VII-VII of FIG. 図８（ａ）－（ｅ）は、半導体装置の製造方法を示す断面図。8 (a)-(e) are cross-sectional views showing a method of manufacturing a semiconductor device. 図９は、リードフレームの変形例（変形例１）を示す部分拡大平面図。FIG. 9 is a partially enlarged plan view showing a modified example of the lead frame (modified example 1). 図１０は、リードフレームの変形例（変形例２）を示す断面図。FIG. 10 is a cross-sectional view showing a modified example of the lead frame (modified example 2). 図１１は、リードフレームの変形例（変形例３）を示す断面図。FIG. 11 is a cross-sectional view showing a modified example of the lead frame (modified example 3). 図１２は、リードフレームの変形例（変形例４）を示す断面図。FIG. 12 is a cross-sectional view showing a modified example of the lead frame (modified example 4). 図１３は、リードフレームの変形例（変形例５）を示す部分拡大平面図。FIG. 13 is a partially enlarged plan view showing a modified example of the lead frame (modified example 5). 図１４（ａ）（ｂ）は、リードフレームの変形例（変形例５）を示す断面図であって、それぞれ図１３のXIVA－XIVA線断面図、XIVB－XIVB線断面図。14 (a) and 14 (b) are cross-sectional views showing a modified example (deformed example 5) of the lead frame, which are a sectional view taken along the line XIVA-XIVA and a sectional view taken along the line XIVB-XIVB of FIG. 13, respectively.

以下、本発明の一実施の形態について、図１乃至図８を参照して説明する。以下の各図において、同一部分には同一の符号を付しており、一部詳細な説明を省略する場合がある。また本明細書中、「表面」とは、半導体素子２１が搭載される側の面（すなわち図４の上方を向く面）のことをいい、「裏面」とは、半導体素子２１が搭載される側の面と反対側の面（すなわち図４の下方を向く面）のことをいう。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 8. In each of the following figures, the same parts are designated by the same reference numerals, and some detailed description may be omitted. Further, in the present specification, the “front surface” refers to the surface on which the semiconductor element 21 is mounted (that is, the surface facing upward in FIG. 4), and the “back surface” refers to the surface on which the semiconductor element 21 is mounted. It refers to the surface opposite to the side surface (that is, the surface facing downward in FIG. 4).

リードフレームの構成
まず、図１乃至図５により、本実施の形態によるリードフレームの概略について説明する。図１乃至図５は、本実施の形態によるリードフレームを示す図である。 Configuration of Lead Frame First, the outline of the lead frame according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 5. 1 to 5 are diagrams showing lead frames according to the present embodiment.

図１乃至図５に示すリードフレーム１０は、半導体装置２０（後述）を作製するために用いられるものであり、縦横にマトリックス状に配置された複数のリードフレーム要素１４を備えている。 The lead frame 10 shown in FIGS. 1 to 5 is used for manufacturing a semiconductor device 20 (described later), and includes a plurality of lead frame elements 14 arranged vertically and horizontally in a matrix.

各リードフレーム要素１４は、それぞれ個々の半導体装置２０に対応する領域である。このリードフレーム要素１４は、半導体素子２１（後述）を載置するダイパッド１５と、ダイパッド１５の周囲に設けられた複数のリード部１６とを含んでいる。なお、図１および図２において、二点鎖線で囲まれた領域がそれぞれリードフレーム要素１４に対応する。 Each lead frame element 14 is a region corresponding to each semiconductor device 20. The lead frame element 14 includes a die pad 15 on which a semiconductor element 21 (described later) is placed, and a plurality of lead portions 16 provided around the die pad 15. In FIGS. 1 and 2, the region surrounded by the alternate long and short dash line corresponds to the lead frame element 14, respectively.

各ダイパッド１５は、後述する半導体素子２１を載置するためのものであり、平面正方形形状を有している。また、各リード部１６は、後述するようにボンディングワイヤ２２（後述）を介して半導体素子２１に接続されるものであり、ダイパッド１５との間に空間を介して配置されている。図１および図３に示すように、各リード部１６は、矩形形状を有するとともにボンディングワイヤ２２に接続される先端部１６ａと、先端部１６ａより幅の狭い基端部１６ｂとを有している。 Each die pad 15 is for mounting a semiconductor element 21 described later, and has a planar square shape. Further, each lead portion 16 is connected to the semiconductor element 21 via a bonding wire 22 (described later) as described later, and is arranged between the lead portion 16 and the die pad 15 via a space. As shown in FIGS. 1 and 3, each lead portion 16 has a rectangular shape and has a tip portion 16a connected to the bonding wire 22 and a base end portion 16b narrower than the tip portion 16a. ..

ボンディングワイヤ２２に接続される先端部１６ａには、ボンディングワイヤ２２との密着性を向上させるめっき部２５が設けられている。この場合、めっき部２５を構成するめっき種は、ボンディングワイヤ２２との密着性を確保できればその種類は問わないが、例えばＡｇやＡｕなどの単層めっきでもよいし、Ｎｉ／ＰｄやＮｉ／Ｐｄ／Ａｕがこの順に積層される複層めっきでもよい。 The tip portion 16a connected to the bonding wire 22 is provided with a plating portion 25 for improving the adhesion to the bonding wire 22. In this case, the type of plating constituting the plating portion 25 may be any type as long as the adhesion to the bonding wire 22 can be ensured, but for example, single-layer plating such as Ag or Au may be used, or Ni / Pd or Ni / Pd may be used. Multi-layer plating in which / Au are laminated in this order may be used.

本実施の形態において、ダイパッド１５およびリード部１６にはハーフエッチング加工が施されておらず、加工前の金属基板と同等の厚みを有している。すなわちダイパッド１５の表面とリード部１６の表面とは互いに同一平面上に位置し、ダイパッド１５の裏面とリード部１６の裏面とは互いに同一平面上に位置している。ダイパッド１５およびリード部１６の厚みは、半導体装置２０の構成にもよるが、０．０５ｍｍ～０．５ｍｍ（０．０５ｍｍ以上０．５ｍｍ以下をいう。以下同様）とすることができる。しかしながら、これに限らず、ダイパッド１５および／またはリード部１６の一部が、ハーフエッチングにより薄肉化されていても良い。なお、本明細書中、ハーフエッチングとは、被エッチング材料をその厚み方向に途中までエッチングすることをいう。 In the present embodiment, the die pad 15 and the lead portion 16 are not half-etched and have the same thickness as the metal substrate before processing. That is, the front surface of the die pad 15 and the front surface of the lead portion 16 are located on the same plane as each other, and the back surface of the die pad 15 and the back surface of the lead portion 16 are located on the same plane as each other. The thickness of the die pad 15 and the lead portion 16 may be 0.05 mm to 0.5 mm (referred to as 0.05 mm or more and 0.5 mm or less; the same shall apply hereinafter), although it depends on the configuration of the semiconductor device 20. However, the present invention is not limited to this, and a part of the die pad 15 and / or the lead portion 16 may be thinned by half etching. In the present specification, half-etching means etching the material to be etched halfway in the thickness direction thereof.

リードフレーム要素１４の周囲には、複数のコネクティングバー１７が格子状に配置されている。各コネクティングバー１７の幅は、その表面側の幅と裏面側の幅のうち広い方で測定し、例えば０．１０ｍｍ～０．３０ｍｍとすることができる。なお、コネクティングバー１７の幅は、計測するための照明を奥側からコネクティングバー１７に当て、その幅を手前側から計測する、透過計測法を用いて測定することができる。 A plurality of connecting bars 17 are arranged in a grid pattern around the lead frame element 14. The width of each connecting bar 17 is measured by the wider of the width on the front surface side and the width on the back surface side thereof, and can be, for example, 0.10 mm to 0.30 mm. The width of the connecting bar 17 can be measured by using a transmission measuring method in which lighting for measurement is applied to the connecting bar 17 from the back side and the width is measured from the front side.

コネクティングバー１７は、ダイパッド１５とリード部１６とを支持するものであり、それぞれＸ方向、又はＸ方向に垂直なＹ方向に沿って延びている。各コネクティングバーは、それぞれ交差部４２において、当該コネクティングバー１７に直交する方向に延びる他のコネクティングバー１７に連結されている。すなわち交差部４２において、Ｘ方向に延びるコネクティングバー１７と、Ｙ方向に延びるコネクティングバー１７とが交わっている。 The connecting bar 17 supports the die pad 15 and the lead portion 16, and extends in the X direction or the Y direction perpendicular to the X direction, respectively. Each connecting bar is connected to another connecting bar 17 extending in a direction orthogonal to the connecting bar 17 at the intersection 42, respectively. That is, at the intersection 42, the connecting bar 17 extending in the X direction and the connecting bar 17 extending in the Y direction intersect.

また、各リードフレーム要素１４において、ダイパッド１５は、ダイパッド１５の角部から延びる４本の吊りリード４３と、各吊りリード４３に連結された連結部材４４とを介して、コネクティングバー１７に連結されている。 Further, in each lead frame element 14, the die pad 15 is connected to the connecting bar 17 via four suspension leads 43 extending from the corners of the die pad 15 and a connecting member 44 connected to each suspension lead 43. ing.

さらに、隣接するリードフレーム要素１４間において、対応する一対のリード部１６がコネクティングバー１７を介して連結されている。各コネクティングバー１７は、隣接するリードフレーム要素１４間において、当該コネクティングバー１７に連結されたリード部１６の長手方向に対して直交して延びている。 Further, between the adjacent lead frame elements 14, the corresponding pair of lead portions 16 are connected via the connecting bar 17. Each connecting bar 17 extends orthogonally to the longitudinal direction of the lead portion 16 connected to the connecting bar 17 between adjacent lead frame elements 14.

本実施の形態において、図１および図３に示すように、各コネクティングバー１７は、複数のリード連結部１８と、リード連結部１８間に位置する複数のリード非連結部１９とを有している。 In this embodiment, as shown in FIGS. 1 and 3, each connecting bar 17 has a plurality of lead connecting portions 18 and a plurality of lead unconnected portions 19 located between the lead connecting portions 18. There is.

このうち各リード連結部１８は、隣接するリードフレーム要素１４同士の間であって、対応する一対のリード部１６の間に位置している。例えば図３において、リード連結部１８は、上下に配置された一対のリード部１６間に配置されている。 Of these, each lead connecting portion 18 is located between adjacent lead frame elements 14 and between a pair of corresponding lead portions 16. For example, in FIG. 3, the lead connecting portion 18 is arranged between a pair of lead portions 16 arranged vertically.

また、各リード非連結部１９は、隣接するリード連結部１８同士の間に位置している。
図１および図３に示すように、これらリード連結部１８およびリード非連結部１９は、コネクティングバー１７の長手方向に沿って、交互に配置されている。 Further, each lead non-connecting portion 19 is located between adjacent lead connecting portions 18.
As shown in FIGS. 1 and 3, the lead connecting portion 18 and the lead non-connecting portion 19 are alternately arranged along the longitudinal direction of the connecting bar 17.

ところで、本実施の形態において、各コネクティングバー１７は、コネクティングバー１７の表面（一方の面）１７ａ側からコネクティングバー１７の長手方向に沿って薄肉化された薄肉部５１を有している。本実施の形態において、薄肉部５１は、コネクティングバー１７の幅方向および長手方向全域にわたって形成されているが、これに限らず、コネクティングバー１７の幅方向の一部および／または長手方向の一部のみに形成されていても良い。一方、コネクティングバー１７の裏面１７ｂは、ハーフエッチングにより薄肉化されることなく、平坦面となっている。 By the way, in the present embodiment, each connecting bar 17 has a thin-walled portion 51 thinned along the longitudinal direction of the connecting bar 17 from the surface (one surface) 17a side of the connecting bar 17. In the present embodiment, the thin portion 51 is formed over the entire width direction and longitudinal direction of the connecting bar 17, but is not limited to this, and a part of the connecting bar 17 in the width direction and / or a part in the longitudinal direction. It may be formed only in. On the other hand, the back surface 17b of the connecting bar 17 is a flat surface without being thinned by half etching.

薄肉部５１の表面には、複数の突起部５２が形成されている。各突起部５２は、それぞれコネクティングバー１７の長手方向に沿って稜線状に延びている。突起部５２は、それぞれ薄肉部５１からコネクティングバー１７の表面１７ａ側に向けて突出している。本実施の形態では、各コネクティングバー１７にそれぞれ２本ずつ突起部５２が形成されている。 A plurality of protrusions 52 are formed on the surface of the thin portion 51. Each protrusion 52 extends in a ridge shape along the longitudinal direction of the connecting bar 17. The protrusions 52 project from the thin portion 51 toward the surface 17a of the connecting bar 17. In the present embodiment, two protrusions 52 are formed on each connecting bar 17.

図４および図５に示すように、一対の突起部５２は、各コネクティングバー１７の幅方向中央部Ｃに対して略対称に配置されている。各突起部５２は、それぞれ断面が幅を持たない鋭角的な頂部５２ａを有している。この頂部５２ａは、コネクティングバー１７の表面１７ａよりも裏面１７ｂ側に引っ込んでいる。すなわち頂部５２ａは、コネクティングバー１７の表面１７ａと同一平面上には位置していない。 As shown in FIGS. 4 and 5, the pair of protrusions 52 are arranged substantially symmetrically with respect to the widthwise central portion C of each connecting bar 17. Each protrusion 52 has an acute-angled top 52a whose cross section has no width. The top portion 52a is recessed toward the back surface 17b side of the front surface 17a of the connecting bar 17. That is, the top portion 52a is not located on the same plane as the surface 17a of the connecting bar 17.

この場合、頂部５２ａは、リードフレーム１０の厚み（リードフレーム１０のうち薄肉化されていない部分（フルメタル部）の厚み）ｔの２．５％～５０％だけコネクティングバー１７の表面１７ａから引っ込んでいることが好ましい。すなわち図４において、頂部５２ａが引っ込んでいる距離をｄとしたとき、０．０２５ｔ＜ｄ＜０．５０ｔとなっていることが好ましい。このように、頂部５２ａがコネクティングバー１７の表面１７ａよりも裏面１７ｂ側に引っ込んでいることにより、ソーイング加工時（図８（ｅ））にブレード３８に加わる負荷を低減し、切断性を向上させるとともに、ブレード３８の摩耗を抑えることができる。なお、頂部５２ａがリードフレーム１０の厚みｔの２．５％以上引っ込んでいる場合、頂部５２ａの高さがリードフレーム１０の表面の高さ位置と明確に異なるので、本願発明の効果が得られやすい。また、頂部５２ａがリードフレーム１０の厚みｔの５０％以下引っ込んでいる場合、コネクティングバー１７の厚みがリードフレーム１０の厚みの半分以上となるので、エッチング加工時の強度が維持され、リードフレーム１０の作成が困難になるおそれがない。 In this case, the top portion 52a is retracted from the surface 17a of the connecting bar 17 by 2.5% to 50% of the thickness of the lead frame 10 (thickness of the unthinned portion (full metal portion) of the lead frame 10) t. It is preferable to have. That is, in FIG. 4, when the distance at which the top portion 52a is retracted is d, it is preferable that 0.025t <d <0.50t. In this way, the top portion 52a is recessed toward the back surface 17b side of the front surface 17a of the connecting bar 17, thereby reducing the load applied to the blade 38 during sewing processing (FIG. 8 (e)) and improving the cutability. At the same time, wear of the blade 38 can be suppressed. When the top portion 52a is retracted by 2.5% or more of the thickness t of the lead frame 10, the height of the top portion 52a is clearly different from the height position of the surface of the lead frame 10, so that the effect of the present invention can be obtained. Cheap. Further, when the top portion 52a is retracted by 50% or less of the thickness t of the lead frame 10, the thickness of the connecting bar 17 becomes more than half the thickness of the lead frame 10, so that the strength at the time of etching processing is maintained and the lead frame 10 is maintained. There is no risk of difficulty in creating.

なお、リードフレーム１０の厚みｔ（図４および図５）は、例えば０．０５ｍｍ～０．５ｍｍとすることができる。 The thickness t (FIGS. 4 and 5) of the lead frame 10 can be, for example, 0.05 mm to 0.5 mm.

図４に示すように、リード連結部１８において、各コネクティングバー１７は、一対の突起部５２と、一対の突起部５２間に形成された中央溝５３と、各突起部５２とリード部１６との間に形成された側方溝５４とを有している。このうち中央溝５３および側方溝５４は、それぞれコネクティングバー１７の裏面１７ｂ方向に向けて湾曲するように凹んでいる。各突起部５２の高さｈは、中央溝５３の底面を基準とした場合に、５μｍ～１５μｍとすることが好ましい。 As shown in FIG. 4, in the lead connecting portion 18, each connecting bar 17 has a pair of protrusions 52, a central groove 53 formed between the pair of protrusions 52, and each protrusion 52 and a lead portion 16. It has a side groove 54 formed between the two. Of these, the central groove 53 and the side groove 54 are recessed so as to be curved toward the back surface 17b of the connecting bar 17, respectively. The height h of each protrusion 52 is preferably 5 μm to 15 μm with respect to the bottom surface of the central groove 53.

また、コネクティングバー１７の幅方向中央部Ｃには中央溝５３が設けられており、突起部５２は、幅方向中央部Ｃには設けられていない。このため、ソーイング加工時（図８（ｅ））に、ブレード３８が最初に中央溝５３に当接する。これにより、ブレード３８が最初に突起部５２に当接する場合と比較して、ブレード３８の摩耗を抑えることができる。 Further, the central groove 53 is provided in the central portion C in the width direction of the connecting bar 17, and the protrusion 52 is not provided in the central portion C in the width direction. Therefore, during the sewing process (FIG. 8 (e)), the blade 38 first comes into contact with the central groove 53. As a result, wear of the blade 38 can be suppressed as compared with the case where the blade 38 first abuts on the protrusion 52.

図５に示すように、リード非連結部１９において、各コネクティングバー１７は、一対の突起部５２と、一対の突起部５２間に形成された中央溝５３と、各突起部５２の側方に形成された側方面５５とを有している。このうち中央溝５３は、コネクティングバー１７の裏面１７ｂ方向に湾曲するように凹んでいる。一方、各側方面５５は、各突起部５２からコネクティングバー１７の裏面１７ｂ側に向けてなだらかに傾斜している。このように、とりわけリード非連結部１９において、実質板厚の厚い部分が頂部５２ａの裾野の領域に形成されることにより、コネクティングバー１７の強度を向上させることができる。 As shown in FIG. 5, in the lead non-connecting portion 19, each connecting bar 17 has a pair of protrusions 52, a central groove 53 formed between the pair of protrusions 52, and lateral portions of each protrusion 52. It has a formed lateral side 55. Of these, the central groove 53 is recessed so as to be curved in the direction of the back surface 17b of the connecting bar 17. On the other hand, each side direction 55 is gently inclined from each protrusion 52 toward the back surface 17b side of the connecting bar 17. As described above, particularly in the lead non-connecting portion 19, the strength of the connecting bar 17 can be improved by forming a portion having a substantially thick plate in the region of the skirt of the top portion 52a.

再度図１を参照すると、コネクティングバー１７の突起部５２のうち少なくとも１つは、交差部４２において他のコネクティングバー１７の突起部５２に連結されている。例えば、Ｙ方向に延びるコネクティングバー１７の一対の突起部５２のうち一方の突起部５２は、交差部４２からＸ方向プラス側に延びる他のコネクティングバー１７の突起部５２に連結されている。また、当該一対の突起部５２のうち他方の突起部５２は、交差部４２からＸ方向マイナス側に延びる他のコネクティングバー１７の突起部５２に連結されている。これにより、交差部４２で直交するコネクティングバー１７同士の強度を高め、コネクティングバー１７同士が互いに対して変形する不具合を防止することができる。 Referring to FIG. 1 again, at least one of the protrusions 52 of the connecting bar 17 is connected to the protrusions 52 of the other connecting bar 17 at the intersection 42. For example, one of the protrusions 52 of the pair of protrusions 52 of the connecting bar 17 extending in the Y direction is connected to the protrusion 52 of the other connecting bar 17 extending from the intersection 42 to the plus side in the X direction. Further, the other protrusion 52 of the pair of protrusions 52 is connected to the protrusion 52 of another connecting bar 17 extending from the intersection 42 to the minus side in the X direction. As a result, it is possible to increase the strength of the connecting bars 17 orthogonal to each other at the intersection 42 and prevent the connecting bars 17 from being deformed with respect to each other.

このようなリードフレーム１０は、後述するように金属基板３１をエッチング加工することにより形成されたものである。リードフレーム１０（金属基板３１）の材料としては、例えば銅、銅合金、４２合金（Ｎｉ４２％のＦｅ合金）等を挙げることができる。とりわけ、リードフレーム１０のうちコネクティングバー１７等の細い部分の変形を防止するため、リードフレーム１０（金属基板３１）の材料として、例えば引張強度が７５０ＭＰａ～１１００ＭＰａの高強度材を用いることが好ましい。 Such a lead frame 10 is formed by etching a metal substrate 31 as described later. Examples of the material of the lead frame 10 (metal substrate 31) include copper, a copper alloy, a 42 alloy (Ni 42% Fe alloy), and the like. In particular, in order to prevent deformation of a thin portion of the lead frame 10 such as the connecting bar 17, it is preferable to use, for example, a high-strength material having a tensile strength of 750 MPa to 1100 MPa as the material of the lead frame 10 (metal substrate 31).

半導体装置の構成
次に、図６により、本実施の形態によるリードフレームを用いて作製された半導体装置について説明する。図６は、半導体装置を示す断面図である。 Configuration of Semiconductor Device Next, a semiconductor device manufactured by using the lead frame according to the present embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 6 is a cross-sectional view showing a semiconductor device.

図６に示す半導体装置２０は、ダイパッド１５およびリード部１６と、ダイパッド１５上に載置された半導体素子２１と、リード部１６と半導体素子２１の電極２１ａとを電気的に接続するボンディングワイヤ（導電部）２２とを備えている。 The semiconductor device 20 shown in FIG. 6 has a bonding wire (bonding wire) that electrically connects the die pad 15 and the lead portion 16, the semiconductor element 21 mounted on the die pad 15, and the lead portion 16 and the electrode 21a of the semiconductor element 21. (Conductive portion) 22 is provided.

また、ダイパッド１５、リード部１６、半導体素子２１、およびボンディングワイヤ２２は、封止樹脂部２４によって封止されている。 Further, the die pad 15, the lead portion 16, the semiconductor element 21, and the bonding wire 22 are sealed by the sealing resin portion 24.

ダイパッド１５およびリード部１６は、上述したリードフレーム１０（図１乃至図５）のリードフレーム要素１４内に含まれるものと同様であり、その構成については既に説明したので、ここでは詳細な説明は省略する。 The die pad 15 and the lead portion 16 are the same as those contained in the lead frame element 14 of the lead frame 10 (FIGS. 1 to 5) described above, and the configuration thereof has already been described. Omit.

半導体素子２１としては、従来一般に用いられている各種半導体素子を使用することが可能であり、特に限定されないが、例えば集積回路、大規模集積回路、トランジスタ、サイリスタ、ダイオード等を用いることができる。 As the semiconductor element 21, various semiconductor elements generally used in the past can be used, and the semiconductor element 21 is not particularly limited, and for example, an integrated circuit, a large-scale integrated circuit, a transistor, a thyristor, a diode, or the like can be used.

また、半導体素子２１は、例えばダイボンディングペースト等の固着材２６により、ダイパッド１５上に固定されている。なお、固着材２６がダイボンディングペーストからなる場合、例えばエポキシ樹脂やシリコーン樹脂からなるものを選択することが可能である。 Further, the semiconductor element 21 is fixed on the die pad 15 by a fixing material 26 such as a die bonding paste. When the fixing material 26 is made of die bonding paste, for example, one made of epoxy resin or silicone resin can be selected.

各ボンディングワイヤ２２は、例えば金、銅等の導電性の良い材料からなっている。各ボンディングワイヤ２２は、それぞれその一端が半導体素子２１の電極２１ａに接続されるとともに、その他端が各リード部１６にそれぞれ接続されている。なお、リード部１６には、ボンディングワイヤ２２と密着性を向上させるめっき部２５が設けられている。 Each bonding wire 22 is made of a highly conductive material such as gold or copper. One end of each bonding wire 22 is connected to the electrode 21a of the semiconductor element 21, and the other end is connected to each lead portion 16. The lead portion 16 is provided with a plating portion 25 for improving the adhesion with the bonding wire 22.

また、封止樹脂部２４としては、シリコーン樹脂やエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂、あるいはＰＰＳ樹脂等の熱可塑性樹脂を用いることができる。封止樹脂部２４全体の厚みは、３００μｍ～２７００μｍ程度とすることができる。また、封止樹脂部２４の一辺（半導体装置２０の一辺）は、例えば８ｍｍ～１６ｍｍすることができる。 Further, as the sealing resin portion 24, a thermosetting resin such as a silicone resin or an epoxy resin, or a thermoplastic resin such as a PPS resin can be used. The thickness of the entire sealing resin portion 24 can be about 300 μm to 2700 μm. Further, one side of the sealing resin portion 24 (one side of the semiconductor device 20) can be, for example, 8 mm to 16 mm.

リードフレームの製造方法
次に、図１乃至図５に示すリードフレーム１０の製造方法について、図７（ａ）－（ｆ）を用いて説明する。図７（ａ）－（ｆ）は、本実施の形態によるリードフレームの製造方法を示す断面図であって、図１のVII－VII線断面図に対応する図である。 Method for Manufacturing Lead Frame Next, the method for manufacturing the lead frame 10 shown in FIGS. 1 to 5 will be described with reference to FIGS. 7 (a) and 7 (f). 7 (a)-(f) are cross-sectional views showing a method of manufacturing a lead frame according to the present embodiment, which corresponds to the cross-sectional view taken along the line VII-VII of FIG.

まず図７（ａ）に示すように、平板状の金属基板３１を準備する。この金属基板３１としては、上述のように銅、銅合金、４２合金（Ｎｉ４２％のＦｅ合金）等からなる基板を使用することができる。なお金属基板３１は、その両面に対して脱脂等を行い、洗浄処理を施したものを使用することが好ましい。 First, as shown in FIG. 7A, a flat plate-shaped metal substrate 31 is prepared. As the metal substrate 31, a substrate made of copper, a copper alloy, a 42 alloy (Ni 42% Fe alloy) or the like can be used as described above. It is preferable to use a metal substrate 31 that has been degreased and cleaned on both sides thereof.

次に、金属基板３１の表裏全体にそれぞれ感光性レジスト３２ａ、３３ａを塗布し、これを乾燥する（図７（ｂ））。なお感光性レジスト３２ａ、３３ａとしては、従来公知のものを使用することができる。 Next, the photosensitive resists 32a and 33a are applied to the entire front and back of the metal substrate 31, respectively, and dried (FIG. 7 (b)). As the photosensitive resists 32a and 33a, conventionally known ones can be used.

続いて、この金属基板３１に対してフォトマスクを介して露光し、現像することにより、所望の開口部３２ｂ、３３ｂを有するエッチング用レジスト層３２、３３を形成する（図７（ｃ））。 Subsequently, the metal substrate 31 is exposed to the metal substrate 31 via a photomask and developed to form etching resist layers 32 and 33 having desired openings 32b and 33b (FIG. 7 (c)).

具体的には、金属基板３１の表面側において、貫通エッチングを行う部分に対応する部分、およびハーフエッチング加工を行う部分に開口部３２ｂが形成される。他方、金属基板３１の裏面側において、貫通エッチングを行う部分に開口部３３ｂが形成される。また、コネクティングバー１７の突起部５２に対応する位置に、コネクティングバー１７の長手方向に沿って部分レジスト３２ｃを設けておく。 Specifically, on the surface side of the metal substrate 31, an opening 32b is formed in a portion corresponding to a portion to be through-etched and a portion to be half-etched. On the other hand, on the back surface side of the metal substrate 31, an opening 33b is formed in a portion where penetration etching is performed. Further, a partial resist 32c is provided along the longitudinal direction of the connecting bar 17 at a position corresponding to the protrusion 52 of the connecting bar 17.

次に、エッチング用レジスト層３２、３３を耐腐蝕膜として金属基板３１に腐蝕液でエッチングを施す（図７（ｄ））。腐蝕液は、使用する金属基板３１の材質に応じて適宜選択することができる。例えば、金属基板３１として銅を用いる場合、通常、塩化第二鉄水溶液を使用し、これは金属基板３１の両面からスプレーエッチングにて行うことができる。 Next, the metal substrate 31 is etched with a corrosion solution using the etching resist layers 32 and 33 as corrosion resistant films (FIG. 7 (d)). The corrosive liquid can be appropriately selected depending on the material of the metal substrate 31 to be used. For example, when copper is used as the metal substrate 31, a ferric chloride aqueous solution is usually used, which can be performed by spray etching from both sides of the metal substrate 31.

これにより金属基板３１に、それぞれ半導体素子２１を載置するダイパッド１５と、ダイパッド１５の周囲に設けられた複数のリード部１６とを含む、複数のリードフレーム要素１４が形成される。 As a result, a plurality of lead frame elements 14 including a die pad 15 on which the semiconductor element 21 is placed and a plurality of lead portions 16 provided around the die pad 15 are formed on the metal substrate 31.

またこのとき、隣接するリードフレーム要素１４同士の間に、複数のリード連結部１８と複数のリード非連結部１９とを有するコネクティングバー１７が形成される。この際、コネクティングバー１７に、コネクティングバー１７の長手方向に沿って薄肉部５１が形成される。 At this time, a connecting bar 17 having a plurality of lead connecting portions 18 and a plurality of lead non-connecting portions 19 is formed between the adjacent lead frame elements 14. At this time, the thin-walled portion 51 is formed on the connecting bar 17 along the longitudinal direction of the connecting bar 17.

さらに、上述したように、コネクティングバー１７の表面１７ａ側には、予め部分レジスト３２ｃが設けられている。これにより、金属基板３１に対して腐蝕液でエッチングを行った際、部分レジスト３２ｃの両側から腐蝕液が回り込んで、薄肉部５１に突起部５２が形成される（図７（ｄ））。なお、部分レジスト３２ｃは、金属基板３１が浸食されるのに伴って、エッチングの途中で除去される。このようにして、薄肉部５１の表面に、コネクティングバー１７の長手方向に沿って延びる複数の突起部５２が形成される。 Further, as described above, a partial resist 32c is provided in advance on the surface 17a side of the connecting bar 17. As a result, when the metal substrate 31 is etched with the corrosive liquid, the corrosive liquid wraps around from both sides of the partial resist 32c, and the protrusion 52 is formed on the thin portion 51 (FIG. 7 (d)). The partial resist 32c is removed during etching as the metal substrate 31 is eroded. In this way, a plurality of protrusions 52 extending along the longitudinal direction of the connecting bar 17 are formed on the surface of the thin portion 51.

次いで、エッチング用レジスト層３２、３３を剥離して除去する（図７（ｅ））。なお、本実施の形態においては、金属基板３１の両面側からスプレーエッチングを行う場合を例にとって説明したが、これに限られるものではない。例えば、金属基板３１の片面ずつ２段階のスプレーエッチングを行っても良い。 Next, the etching resist layers 32 and 33 are peeled off and removed (FIG. 7 (e)). In the present embodiment, the case where spray etching is performed from both sides of the metal substrate 31 has been described as an example, but the present invention is not limited to this. For example, two-step spray etching may be performed on each side of the metal substrate 31.

次に、ボンディングワイヤ２２とリード部１６との密着性を向上させるため、リード部１６にメッキ処理を施し、めっき部２５を形成する（図７（ｆ））。この場合、選択されるメッキ種は、ボンディングワイヤ２２との密着性を確保できればその種類は問わないが、たとえばＡｇやＡｕなどの単層めっきでもよいし、Ｎｉ／ＰｄやＮｉ／Ｐｄ／Ａｕがこの順に積層される複層めっきでもよい。また、めっき部２５は、リード部１６のうちボンディングワイヤ２２との接続部のみに施してもよいし、リードフレーム１０の全面に施してもよい。 Next, in order to improve the adhesion between the bonding wire 22 and the lead portion 16, the lead portion 16 is plated to form the plated portion 25 (FIG. 7 (f)). In this case, the type of plating selected may be any type as long as the adhesion to the bonding wire 22 can be ensured, but for example, single-layer plating such as Ag or Au may be used, or Ni / Pd or Ni / Pd / Au may be used. Multi-layer plating in which layers are laminated in this order may be used. Further, the plating portion 25 may be applied only to the connection portion of the lead portion 16 with the bonding wire 22, or may be applied to the entire surface of the lead frame 10.

このようにして、図１乃至図５に示すリードフレーム１０が得られる。 In this way, the lead frame 10 shown in FIGS. 1 to 5 is obtained.

半導体装置の製造方法
次に、図６に示す半導体装置２０の製造方法について、図８（ａ）－（ｆ）により説明する。図８（ａ）－（ｆ）は、本実施の形態による半導体装置の製造方法を示す断面図である。 Manufacturing Method of Semiconductor Device Next, a manufacturing method of the semiconductor device 20 shown in FIG. 6 will be described with reference to FIGS. 8 (a) and 8 (f). 8 (a)-(f) are cross-sectional views showing a method of manufacturing a semiconductor device according to the present embodiment.

まず、例えば上述した工程により（図７（ａ）－（ｆ））、ダイパッド１５と、ダイパッド１５の周囲に設けられた複数のリード部１６とを備えたリードフレーム１０を作製する（図８（ａ））。 First, for example, by the above-mentioned steps (FIGS. 7A to 7F), a lead frame 10 including a die pad 15 and a plurality of lead portions 16 provided around the die pad 15 is manufactured (FIG. 8 (FIG. 8). a)).

次に、リードフレーム１０のダイパッド１５上に、半導体素子２１を搭載する。この場合、例えばダイボンディングペースト又は半田等の固着材２６を用いて、半導体素子２１をダイパッド１５上に載置して固定する（ダイアタッチ工程）（図８（ｂ））。 Next, the semiconductor element 21 is mounted on the die pad 15 of the lead frame 10. In this case, the semiconductor element 21 is placed and fixed on the die pad 15 by using, for example, a die bonding paste or a fixing material 26 such as solder (diaattachment step) (FIG. 8 (b)).

次いで、半導体素子２１の電極２１ａと、リードフレーム１０の各リード部１６とを、それぞれボンディングワイヤ２２によって互いに電気的に接続する（ワイヤボンディング工程）（図８（ｃ））。 Next, the electrode 21a of the semiconductor element 21 and each lead portion 16 of the lead frame 10 are electrically connected to each other by a bonding wire 22 (wire bonding step) (FIG. 8 (c)).

その後、リードフレーム１０に対して熱硬化性樹脂または熱可塑性樹脂を射出成形またはトランスファ成形することにより、封止樹脂部２４を形成する（図８（ｄ））。このようにして、封止樹脂部２４を用いてダイパッド１５、リード部１６、半導体素子２１、およびボンディングワイヤ２２を封止する。 Then, the thermosetting resin or the thermoplastic resin is injection-molded or transfer-molded to the lead frame 10 to form the sealing resin portion 24 (FIG. 8 (d)). In this way, the die pad 15, the lead portion 16, the semiconductor element 21, and the bonding wire 22 are sealed using the sealing resin portion 24.

次に、各リードフレーム要素１４間のコネクティングバー１７をソーイングすることにより、リードフレーム１０を各リードフレーム要素１４毎に分離する（図８（ｅ））。 Next, the lead frame 10 is separated for each lead frame element 14 by sewing the connecting bar 17 between the lead frame elements 14 (FIG. 8 (e)).

このとき、まずリードフレーム１０をテープ３７上に載置して固定する。その後、例えばダイヤモンド砥石等からなるブレード３８をコネクティングバー１７の長手方向に沿って移動することにより、各リードフレーム要素１４間のコネクティングバー１７および封止樹脂部２４が切断される。本実施の形態において、コネクティングバー１７の幅方向中央部Ｃには中央溝５３が設けられており、突起部５２は、幅方向中央部Ｃには設けられていない。このため、コネクティングバー１７を切断する際、ブレード３８は、最初に突起部５２間に位置する中央溝５３に当接する。これにより、ブレード３８が最初に突起部５２に当接する場合と比較して、ブレード３８による力が一箇所に集中することなく、ブレード３８の摩耗を軽減することができる。 At this time, first, the lead frame 10 is placed on the tape 37 and fixed. Then, by moving the blade 38 made of, for example, a diamond grindstone or the like along the longitudinal direction of the connecting bar 17, the connecting bar 17 and the sealing resin portion 24 between the lead frame elements 14 are cut. In the present embodiment, the central groove 53 is provided in the central portion C in the width direction of the connecting bar 17, and the protrusion 52 is not provided in the central portion C in the width direction. Therefore, when cutting the connecting bar 17, the blade 38 first abuts on the central groove 53 located between the protrusions 52. As a result, the wear of the blade 38 can be reduced without concentrating the force of the blade 38 in one place as compared with the case where the blade 38 first abuts on the protrusion 52.

このようにして、図２に示す半導体装置２０を得ることができる（図８（ｆ））。 In this way, the semiconductor device 20 shown in FIG. 2 can be obtained (FIG. 8 (f)).

本実施の形態の作用効果
本実施の形態によれば、コネクティングバー１７の薄肉部５１に、コネクティングバー１７の長手方向に沿って延びる複数の突起部５２が形成されている。すなわち、コネクティングバー１７の一部の板厚を、加工前の金属基板３１に近い厚みまで残すことにより、コネクティングバー１７の強度を維持している。これにより、例えばエッチング工程（図７（ｄ））の後、あるいはめっき処理工程（図７（ｆ））の後に、コネクティングバー１７が変形してしまう不具合を防止することができる。とりわけ、本実施の形態において、各コネクティングバー１７にそれぞれ２本ずつ突起部５２が形成されていることにより、突起部５２をブレード３８が当接する位置から外すことができる。また、コネクティングバー１７の断面積を増やすことができる。特に、上述したように、突起部５２の頂部５２ａをリードフレーム１０の表面よりも低くした場合にも、その分の断面積の損失を補うことができる。 Action effect of the present embodiment According to the present embodiment, a plurality of protrusions 52 extending along the longitudinal direction of the connecting bar 17 are formed in the thin portion 51 of the connecting bar 17. That is, the strength of the connecting bar 17 is maintained by leaving a part of the plate thickness of the connecting bar 17 to a thickness close to that of the metal substrate 31 before processing. This makes it possible to prevent the connecting bar 17 from being deformed, for example, after the etching step (FIG. 7 (d)) or the plating process (FIG. 7 (f)). In particular, in the present embodiment, since two protrusions 52 are formed on each connecting bar 17, the protrusions 52 can be removed from the position where the blade 38 abuts. In addition, the cross-sectional area of the connecting bar 17 can be increased. In particular, as described above, even when the top portion 52a of the protrusion 52 is made lower than the surface of the lead frame 10, the loss of the cross-sectional area can be compensated for.

一方、比較例として、コネクティングバー１７の幅を広くすることも考えられる。しかしながら、この場合、ソーイングするためのブレード３８の幅を広くする必要が生じ、製造コストが上昇したり、ブレード３８の消耗につながったりするおそれがある。本実施の形態においては、コネクティングバー１７の薄肉部５１上に突起部５２を形成し、コネクティングバー１７の厚みが厚い部分を多く残すことにより、コネクティングバー１７の幅を広くしなくても、その変形を抑制することができる。 On the other hand, as a comparative example, it is conceivable to widen the width of the connecting bar 17. However, in this case, it becomes necessary to widen the width of the blade 38 for sewing, which may increase the manufacturing cost or lead to the consumption of the blade 38. In the present embodiment, the protrusion 52 is formed on the thin portion 51 of the connecting bar 17, and many thick portions of the connecting bar 17 are left, so that the width of the connecting bar 17 does not need to be widened. Deformation can be suppressed.

また本実施の形態によれば、各コネクティングバー１７に、それぞれコネクティングバー１７の長手方向に沿って薄肉化された薄肉部５１が形成されている。このことにより、コネクティングバー１７の全長に渡ってその垂直断面の面積を減少させ、ソーイング加工時にリード部１６の周囲に生じるバリの量を減少させることができる。 Further, according to the present embodiment, each connecting bar 17 is formed with a thin-walled portion 51 that is thinned along the longitudinal direction of the connecting bar 17. This makes it possible to reduce the area of the vertical cross section of the connecting bar 17 over the entire length and reduce the amount of burrs generated around the lead portion 16 during sewing.

とりわけ、多ピン化により半導体装置２０のパッケージサイズを大型化した場合（例えば５ｍｍ□以上とした場合）、これに伴いコネクティングバー１７の長さも長くなるため、上述したコネクティングバー１７の変形防止という効果を顕著に得ることができる。このように、本実施の形態によれば、ソーイング加工時におけるバリの発生を抑えつつ、コネクティングバー１７の変形を防止することが可能となる。 In particular, when the package size of the semiconductor device 20 is increased by increasing the number of pins (for example, when the size is 5 mm □ or more), the length of the connecting bar 17 is also increased accordingly, so that the above-mentioned effect of preventing deformation of the connecting bar 17 is achieved. Can be remarkably obtained. As described above, according to the present embodiment, it is possible to prevent the connecting bar 17 from being deformed while suppressing the generation of burrs during the sewing process.

さらに本実施の形態によれば、突起部５２がコネクティングバー１７の表面側に設けられている。このため、ダイシングによりコネクティングバー１７を切断する際、ブレード３８（図８（ｅ））は、まず突起部５２に当接し、その後徐々に広い面積で金属部分に接触するように厚み方向に進入する。これにより、ブレード３８による切断の負荷を最小限に抑えることができる。 Further, according to the present embodiment, the protrusion 52 is provided on the surface side of the connecting bar 17. Therefore, when cutting the connecting bar 17 by dicing, the blade 38 (FIG. 8 (e)) first abuts on the protrusion 52, and then gradually enters in the thickness direction so as to contact the metal portion over a wide area. .. As a result, the load of cutting by the blade 38 can be minimized.

本実施の形態においては、突起部５２は稜線状に形成されており、コネクティングバーの幅方向に沿って幅を有していない。そのため、ブレード３８（図８（ｅ））が初めに当接する際のブレード３８とコネクティングバーの接触面積を小さくすることができる。これにより、ブレード３８による切断の負荷を最小限に抑えることができる。 In the present embodiment, the protrusion 52 is formed in a ridge shape and has no width along the width direction of the connecting bar. Therefore, the contact area between the blade 38 and the connecting bar when the blade 38 (FIG. 8 (e)) first comes into contact with the blade 38 can be reduced. As a result, the load of cutting by the blade 38 can be minimized.

変形例
次に、図９乃至図１４により、本実施の形態によるリードフレームの変形例について説明する。図９および図１４において、図１乃至図８に示す実施の形態と同一部分には同一の符号を付して、詳細な説明は省略する。 Modification Example Next, a modification of the lead frame according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 9 to 14. In FIGS. 9 and 14, the same parts as those of the embodiments shown in FIGS. 1 to 8 are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

変形例１
図９は、本実施の形態の変形例（変形例１）を示す部分拡大平面図である。図９において、図１乃至図８に示す実施の形態と異なり、コネクティングバー１７は、その長手方向に終端する終端部１７ｃを有している。この場合、コネクティングバー１７の終端部１７ｃは、それぞれ連結部材４４に連結されている。また終端部１７ｃは、当該コネクティングバー１７に直交する方向に延びる他のコネクティングバー１７から離間して配置されている。すなわち連結部材４４によって囲まれた開口領域４５が形成されており、Ｘ方向およびＹ方向に延びる合計４本のコネクティングバー１７の終端部１７ｃが、開口領域４５周縁に配置されている。これにより、コネクティングバー１７の終端部１７ｃの周囲に存在する金属量を減らし、ソーイング時におけるブレード３８の消耗を抑えることができる。 Modification 1
FIG. 9 is a partially enlarged plan view showing a modified example (modified example 1) of the present embodiment. In FIG. 9, unlike the embodiments shown in FIGS. 1 to 8, the connecting bar 17 has a terminal portion 17c that terminates in the longitudinal direction thereof. In this case, the terminal portion 17c of the connecting bar 17 is connected to the connecting member 44, respectively. Further, the terminal portion 17c is arranged apart from other connecting bars 17 extending in a direction orthogonal to the connecting bar 17. That is, the opening region 45 surrounded by the connecting member 44 is formed, and the terminal portions 17c of a total of four connecting bars 17 extending in the X direction and the Y direction are arranged on the peripheral edge of the opening region 45. As a result, the amount of metal present around the end portion 17c of the connecting bar 17 can be reduced, and the consumption of the blade 38 during sewing can be suppressed.

変形例２
図１０は、本実施の形態の変形例（変形例２）を示す断面図（図４に対応する図）である。図１０において、図１乃至図８に示す実施の形態と異なり、薄肉部５１は、コネクティングバー１７の裏面１７ｂに形成されている。この場合、ソーイング時に発生するバリが、半導体装置２０の裏面側に突出することを抑えることができる。 Modification 2
FIG. 10 is a cross-sectional view (a diagram corresponding to FIG. 4) showing a modified example (modified example 2) of the present embodiment. In FIG. 10, unlike the embodiment shown in FIGS. 1 to 8, the thin-walled portion 51 is formed on the back surface 17b of the connecting bar 17. In this case, it is possible to prevent burrs generated during sewing from protruding toward the back surface side of the semiconductor device 20.

変形例３
図１１は、本実施の形態の変形例（変形例３）を示す断面図（図４に対応する図）である。図１１において、図１乃至図８に示す実施の形態と異なり、コネクティングバー１７に４本の突起部５２が形成されている。なお、各コネクティングバー１７に形成される突起部５２の本数は、３本あるいは５本以上としても良い。 Modification 3
FIG. 11 is a cross-sectional view (a diagram corresponding to FIG. 4) showing a modified example (modified example 3) of the present embodiment. In FIG. 11, unlike the embodiments shown in FIGS. 1 to 8, four protrusions 52 are formed on the connecting bar 17. The number of protrusions 52 formed on each connecting bar 17 may be three or five or more.

変形例４
図１２は、本実施の形態の変形例（変形例４）を示す断面図（図４に対応する図）である。図１２において、図１乃至図８に示す実施の形態と異なり、コネクティングバー１７に１本の突起部５２が形成されている。この場合、ソーイング加工時に、ブレード３８の面方向内側部分のみがリードフレーム１０と当接するため、ブレード３８の摩耗を低減することができる。 Modification 4
FIG. 12 is a cross-sectional view (a diagram corresponding to FIG. 4) showing a modified example (modified example 4) of the present embodiment. In FIG. 12, unlike the embodiment shown in FIGS. 1 to 8, one protrusion 52 is formed on the connecting bar 17. In this case, during the sewing process, only the inner portion of the blade 38 in the surface direction comes into contact with the lead frame 10, so that the wear of the blade 38 can be reduced.

変形例５
図１３および図１４（ａ）（ｂ）は、本実施の形態の変形例（変形例５）を示す図である。本変形例において、各コネクティングバー１７には、１本の突起部５２が形成されている。図１３に示すように、コネクティングバー１７のうち、互いに隣接するリード部１６同士の間には端子間領域Ｒａが形成され、コネクティングバー１７のうち、交差部４２と、交差部４２に最も近いリード部１６との間には端子外領域Ｒｂが形成されている。 Modification 5
13 and 14 (a) and 14 (b) are views showing a modified example (modified example 5) of the present embodiment. In this modification, one protrusion 52 is formed on each connecting bar 17. As shown in FIG. 13, in the connecting bar 17, a terminal-to-terminal region Ra is formed between the lead portions 16 adjacent to each other, and in the connecting bar 17, the intersection 42 and the lead closest to the intersection 42 are formed. An outer terminal region Rb is formed between the portion 16 and the portion 16.

この場合、コネクティングバー１７は、長さ方向に沿って異なる幅を有している。具体的には、コネクティングバー１７の幅は、端子間領域Ｒａ（幅ｗａ）よりも、端子外領域Ｒｂ（幅ｗｂ）の方が広くなっている（ｗｂ＞ｗａ）。これにより、コネクティングバー１７のうち、リード部１６が連結されておらず、変形が生じやすい箇所である端子外領域Ｒｂを強化することができる。なお、コネクティングバー１７は、長さ方向中央部側から交差部４２に近づくにつれて、徐々に太くなるように形成されていても良い。また、上記に限らず、端子外領域Ｒｂの幅ｗｂは、端子間領域Ｒａの幅ｗａの８０％～１２０％としてもよい（０．８０ｗａ≦ｗｂ≦１．２０ｗａ）。 In this case, the connecting bars 17 have different widths along the length direction. Specifically, the width of the connecting bar 17 is wider in the region outside the terminals Rb (width w b ) than in the region between terminals Ra (width w a ) (w b > w a ). As a result, it is possible to strengthen the region outside the terminal Rb, which is a portion of the connecting bar 17 where the lead portion 16 is not connected and deformation is likely to occur. The connecting bar 17 may be formed so as to gradually become thicker as it approaches the intersection 42 from the central portion side in the length direction. Further, not limited to the above, the width w b of the region outside the terminals Rb may be 80% to 120% of the width w a of the region between terminals Ra (0.80 w a ≤ w b ≤ 1.20 w a ).

また、突起部５２の頂部５２ａは、長さ方向に沿って異なる高さを有している。具体的には、図１４（ａ）（ｂ）に示すように、コネクティングバー１７の裏面１７ｂから測定した突起部５２の頂部５２ａの高さは、端子間領域Ｒａ（高さｈａ）よりも、端子外領域Ｒｂ（高さｈｂ）の方が高くなっている（ｈａ＜ｈｂ）。これにより、コネクティングバー１７のうち、変形が生じやすい箇所である端子外領域Ｒｂを強化することができ、コネクティングバー１７の変形を防止することができる。なお、突起部５２の頂部５２ａは、長さ方向中央部側から交差部４２に近づくにつれて、徐々に高さが高くなるように形成されていても良い。 Further, the top portion 52a of the protrusion 52 has different heights along the length direction. Specifically, as shown in FIGS. 14 (a) and 14 (b), the height of the top 52 a of the protrusion 52 measured from the back surface 17 b of the connecting bar 17 is higher than the inter-terminal region Ra (height ha). , The terminal outer region Rb (height h b ) is higher ( ha <h b ) . As a result, it is possible to strengthen the region outside the terminal Rb, which is a portion of the connecting bar 17 where deformation is likely to occur, and it is possible to prevent the connecting bar 17 from being deformed. The top portion 52a of the protrusion 52 may be formed so that the height gradually increases as it approaches the intersection 42 from the central portion side in the length direction.

また、本実施の形態において、突起部５２の頂部５２ａの高さは、リード連結部１８よりも、リード非連結部１９の方が高くなっていることが好ましい。これにより、リード部１６が連結されておらず、変形が生じやすい箇所であるリード連結部１８における強度を向上させることができ、コネクティングバー１７の変形を防止することができる。 Further, in the present embodiment, it is preferable that the height of the top portion 52a of the protrusion 52 is higher in the lead non-connecting portion 19 than in the lead connecting portion 18. As a result, it is possible to improve the strength of the lead connecting portion 18, which is a portion where the lead portion 16 is not connected and is likely to be deformed, and it is possible to prevent the connecting bar 17 from being deformed.

なお、図１３および図１４（ａ）（ｂ）において、各コネクティングバー１７に形成される突起部５２は２本以上であっても良い。また、図１３および図１４（ａ）（ｂ）に示すコネクティングバー１７を、図１乃至図１２に示す各リードフレーム１０に適用しても良い。 In addition, in FIGS. 13 and 14 (a) and 14 (b), the number of protrusions 52 formed on each connecting bar 17 may be two or more. Further, the connecting bars 17 shown in FIGS. 13 and 14 (a) and 14 (b) may be applied to the lead frames 10 shown in FIGS. 1 to 12.

図９乃至図１４に示す各変形例においても、図１乃至図８に示す実施の形態と同様、ソーイング加工時におけるバリの発生を抑えつつ、コネクティングバー１７の変形を防止することができる。 In each of the modified examples shown in FIGS. 9 to 14, it is possible to prevent the connecting bar 17 from being deformed while suppressing the generation of burrs during the sewing process, as in the embodiment shown in FIGS. 1 to 8.

１０ リードフレーム
１４ リードフレーム要素
１５ ダイパッド
１６ リード部
１７ コネクティングバー
１８ リード連結部
１９ リード非連結部
２０ 半導体装置
２１ 半導体素子
２２ ボンディングワイヤ（導電部）
２４ 封止樹脂部
５１ 薄肉部
５２ 突起部 10 Lead frame 14 Lead frame element 15 Die pad 16 Lead part 17 Connecting bar 18 Lead connecting part 19 Lead non-connecting part 20 Semiconductor device 21 Semiconductor element 22 Bonding wire (conductive part)
24 Sealing resin part 51 Thin-walled part 52 Protruding part

Claims (7)

半導体装置用のリードフレームにおいて、
それぞれ半導体素子を載置するダイパッドと、前記ダイパッドの周囲に設けられた複数のリード部とを含む、複数のリードフレーム要素を備え、
隣接する前記リードフレーム要素間において、対応する一対の前記リード部がコネクティングバーを介して連結され、
前記ダイパッドは、前記ダイパッドから延びる吊りリードと、前記吊りリードに連結された連結部材とを介して、前記コネクティングバーに連結され、
前記コネクティングバーと前記連結部材との連結部分は、一方の面側から他方の面側に向けて薄肉化された薄肉部を有し、
前記連結部分の前記薄肉部に、突起部が形成され、
前記突起部の頂部は、前記リードフレームの厚みの２．５％～５０％だけ前記一方の面よりも前記他方の面側に位置する、リードフレーム。 In lead frames for semiconductor devices
Each includes a plurality of lead frame elements including a die pad on which a semiconductor element is placed and a plurality of lead portions provided around the die pad.
Between the adjacent lead frame elements, the corresponding pair of the lead portions is connected via a connecting bar.
The die pad is connected to the connecting bar via a suspension lead extending from the die pad and a connecting member connected to the suspension lead.
The connecting portion between the connecting bar and the connecting member has a thin-walled portion that is thinned from one surface side to the other surface side .
A protrusion is formed on the thin portion of the connecting portion.
A lead frame in which the top of the protrusion is located on the other surface side of the one surface by 2.5% to 50% of the thickness of the lead frame. 前記コネクティングバーは、前記コネクティングバーに直交する方向に延びる他のコネクティングバーに交差部において連結されている、請求項１記載のリードフレーム。 The lead frame according to claim 1, wherein the connecting bar is connected to another connecting bar extending in a direction orthogonal to the connecting bar at an intersection. 前記コネクティングバーは、その長手方向に終端する終端部を有し、前記コネクティングバーの前記終端部は、前記連結部材に連結されている、請求項１記載のリードフレーム。 The lead frame according to claim 1, wherein the connecting bar has a terminal portion that terminates in the longitudinal direction thereof, and the terminal portion of the connecting bar is connected to the connecting member. 複数の前記連結部材によって囲まれた開口領域が形成され、前記コネクティングバーの前記終端部が、前記開口領域の周縁に配置されている、請求項３記載のリードフレーム。 The lead frame according to claim 3, wherein an opening region surrounded by the plurality of connecting members is formed, and the end portion of the connecting bar is arranged on the peripheral edge of the opening region. 前記連結部分の前記薄肉部に、一対の突起部が形成されている、請求項１乃至４のいずれか一項記載のリードフレーム。 The lead frame according to any one of claims 1 to 4, wherein a pair of protrusions is formed on the thin portion of the connecting portion. 前記一対の突起部は、前記コネクティングバーの幅方向中央部に対して対称に配置されている、請求項５記載のリードフレーム。 The lead frame according to claim 5, wherein the pair of protrusions are arranged symmetrically with respect to the central portion in the width direction of the connecting bar. 前記一対の突起部の間に中央溝が形成され、前記中央溝は、前記連結部分の裏面方向に向けて湾曲するように凹んでいる、請求項５又は６記載のリードフレーム。 The lead frame according to claim 5 or 6, wherein a central groove is formed between the pair of protrusions, and the central groove is recessed so as to be curved toward the back surface of the connecting portion.
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