JP7034752B2

JP7034752B2 - 昇圧方法、昇圧システム、昇圧装置および昇圧プログラム

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Publication number: JP7034752B2
Application number: JP2018024981A
Authority: JP
Inventors: 賢治渡辺; 涼田島; 健一末松; 努狩俣
Original assignee: Ebara Corp
Current assignee: Ebara Corp
Priority date: 2018-02-15
Filing date: 2018-02-15
Publication date: 2022-03-14
Anticipated expiration: 2038-02-15
Also published as: JP2019140063A

Description

本発明は、真空チャンバ内に設置された電極に印加する電圧を昇圧する昇圧方法、昇圧システム、昇圧装置および昇圧プログラムに関する。

真空チャンバ内に設置された電極に電圧を印加する際、耐圧設計を行っていたとしても立ち上げ初期などに、電圧を目標値まで昇圧する前に放電が発生することがある。

図１は、電極５２に電圧を印加する様子を模式的に示す図である。より詳しくは、真空下において絶縁体５１を挟んで配置された陽極５２ａと陰極５２ｂ（陽極５２ａと陰極５２ｂを総称して電極５２と呼ぶ）との間に高電圧（例えば数十ｋＶ）が印加される。

このとき、絶縁体５１の表面に傷がある場合などに、絶縁体５１の表面に沿って陽極５２ａから陰極５２ｂに向かう放電（図１の実線矢印、いわゆる「沿面放電」）が発生することがある。また。陽極５２ａあるいは陰極５２ｂにバリなどがある場合には、真空中を陽極５２ａから陰極５２ｂに向かう放電（図１の破線矢印、いわゆる「空間放電」）が発生することがある。いずれの放電も電極５２の異常として検知すべきである。

特開２０１６－１３４３０６号公報

本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、本発明の課題は、電極の異常を検知可能な昇圧方法、昇圧システム、昇圧装置および昇圧プログラムを提供することである。

本発明の一態様によれば、真空チャンバ内に設置された電極に印加する電圧を昇圧する昇圧方法であって、前記電極に印加する電圧を変更した後、前記真空チャンバ内の圧力に基づいて放電が発生したか否かを判定し、発生していないと判定された場合には前記電極に印加する電圧を高くし、発生したと判定された場合には前記電極に印加する電圧を低くすることを繰り返し、所定回連続して放電が発生したと判定されると、前記電極に異常があると判断する、昇圧方法が提供される。

前記電極に印加する電圧が目標電圧に達すると、前記電極に印加する電圧を前記目標電圧より高くすることなく、前記真空チャンバ内の圧力に基づいて放電が発生したか否かの判定を所定時間行い、放電が発生したと判定されない場合には、前記電極に異常はないと判断するのが望ましい。

前記電極に印加する電圧を高くする場合、前記電極に印加している電圧が閾値電圧以下である場合の電圧上昇幅は、前記電極に印加している電圧が前記閾値電圧より高い場合の電圧上昇幅に比べて大きいのが望ましい。

前記電極に印加する電圧の時間変化と、前記真空チャンバ内の圧力の時間変化とを表示させるのが望ましい。
沿面放電が発生しているか、空間放電が発生しているかを出力するのが望ましい。

放電が発生したと連続して所定回判定される場合には、沿面放電が発生していることを出力し、放電が発生したと判定された後、前記電極に印加する電圧を低くすると放電が発生しないと判定される場合には、空間放電が発生していることを出力するのが望ましい。

また、本発明の別の態様によれば、真空チャンバ内に設置された電極に印加する電圧を昇圧する昇圧システムであって、前記電極に印加する電圧を設定する電圧設定部と、前記電圧設定部による設定に基づいて前記電極に電圧を印加する電源と、前記真空チャンバ内の圧力を検知するセンサと、前記センサの検知結果に基づいて、前記真空チャンバ内の圧力に応じた電圧値を出力する圧力計と、前記電圧値からの電圧値に基づいて前記真空チャンバ内の圧力を取得する圧力取得部と、前記真空チャンバ内の圧力に基づいて放電が発生したか否かを判定する放電判定部と、を備え、前記電圧設定部が前記電極に印加する電圧を変更した後、前記放電判定部は前記真空チャンバ内の圧力に基づいて放電が発生したか否かを判定し、発生していないと判定された場合には前記電圧設定部が前記電極に印加する電圧を高くし、発生したと判定された場合には前記電圧設定部が前記電極に印加する電圧を低くすることを繰り返し、前記放電判定部は、所定回連続して放電が発生したと判定されると、前記電極に異常があると判断する、昇圧システムが提供される。

前記電圧設定部と前記電源、および、前記圧力計と前記圧力取得部の間に設けられた絶縁アンプを備えるのが望ましい。

また、本発明の別の態様によれば、真空チャンバ内に設置された電極に印加する電圧を昇圧する昇圧装置であって、前記電極に印加する電圧を設定する電圧設定部と、前記真空チャンバ内の圧力を取得する圧力取得部と、前記真空チャンバ内の圧力に基づいて放電が発生したか否かを判定する放電判定部と、を備え、前記電圧設定部が前記電極に印加する電圧を変更した後、前記放電判定部は前記真空チャンバ内の圧力に基づいて放電が発生したか否かを判定し、発生していないと判定された場合には前記電圧設定部が前記電極に印加する電圧を高くし、発生したと判定された場合には前記電圧設定部が前記電極に印加する電圧を低くすることを繰り返し、前記放電判定部は、所定回連続して放電が発生したと判定されると、前記電極に異常があると判断する、昇圧装置が提供される。

また、本発明の別の態様によれば、真空チャンバ内に設置された電極に印加する電圧を昇圧する昇圧プログラムであって、コンピュータを、前記電極に印加する電圧を設定する電圧設定部と、前記真空チャンバ内の圧力を取得する圧力取得部と、前記真空チャンバ内の圧力に基づいて放電が発生したか否かを判定する放電判定部と、として機能させ、前記電圧設定部が前記電極に印加する電圧を変更した後、前記放電判定部は前記真空チャンバ内の圧力に基づいて放電が発生したか否かを判定し、発生していないと判定された場合には前記電圧設定部が前記電極に印加する電圧を高くし、発生したと判定された場合には前記電圧設定部が前記電極に印加する電圧を低くすることを繰り返し、前記放電判定部は、所定回連続して放電が発生したと判定されると、前記電極に異常があると判断する、昇圧プログラム。が提供される。

電極の異常を検知できる。

電極５２に電圧を印加する様子を模式的に示す図。図２は、一実施形態に係る昇圧システムの概略構成を示すブロック図。出力制御部１３４によって表示されるＧＵＩ（Graphical User Interface）画面の一例を示す図。本実施形態に係る昇圧の手順を示すフローチャート。電極５２に印加する電圧を昇圧した結果の一例を示すグラフ。電極５２に印加する電圧を昇圧した結果の別の例を示すグラフ。電極５２に印加する電圧を昇圧した結果のまた別の例を示すグラフ。

以下、本発明に係る実施形態について、図面を参照しながら具体的に説明する。

図２は、一実施形態に係る昇圧システムの概略構成を示すブロック図である。この昇圧システムは、真空チャンバ５０内に設置された電極５２に印加する電圧を昇圧するものである。昇圧システムは、昇圧装置１と、２チャンネル絶縁アンプ２と、高圧電源３と、センサ４と、圧力計５とを備えている。

昇圧装置１は、例えばパーソナルコンピュータであり、入力インターフェース１１と、出力インターフェース１２と、制御部１３と、ＡＤ／ＤＡ変換ボード１４とを有する。

入力インターフェース１１は、典型的にはキーボード、マウス、タッチパネルなどであり、ユーザから制御部１３に対する種々の入力を受け付ける。

出力インターフェース１２は、典型的にはディスプレイであり、制御部１３による処理結果を表示する。出力インターフェース１２は、プリンタやスピーカなど、他の手法で制御部１３による処理結果を出力してもよい。以下、出力インターフェース１２がディスプレイであるとして説明を行う。

制御部１３は、電圧設定部１３１と、圧力取得部１３２と、放電判定部１３３と、出力制御部１３４とを有する。これら各部の一部または全部は、パーソナルコンピュータのプロセッサが所定のプログラムを実行することによって実現される機能部であってもよいし、ハードウェアで構成されてもよい。

電圧設定部１３１は電極５２に印加する電圧を設定する。圧力取得部１３２は真空チャンバ５０内の圧力を取得する。放電判定部１３３は、真空チャンバ５０内の圧力に基づいて、真空チャンバ５０内で放電が発生したか否かを判定するとともに、放電の発生状況に基づいて電極５２に異常があるか否かを判断する。出力制御部１３４は、出力インターフェース１２への出力、すなわち、ディスプレイにどのような画面を表示するかを制御する。

ＡＤ／ＤＡ変換ボード１４は電圧設定部１３１からの設定（デジタル値）をアナログ値に変換し、２チャンネル絶縁アンプ２に供給する。また、２チャンネル絶縁アンプ２からの出力（アナログ値）をデジタル値に変換して、圧力取得部１３２に供給する。なお、ＡＤ変換ボードとＤＡ変換ボードとを別個に設けてもよい。

２チャンネル絶縁アンプ２は、昇圧装置１におけるＡＤ／ＤＡ変換ボード１４と、高圧電源３及び圧力計５との間に設けられる。すなわち、２チャンネル絶縁アンプ２は、電圧設定部１３１と高圧電源３との間に設けられ、電圧設定部１３１からの出力は２チャンネル絶縁アンプ２を介して高圧電源３に供給される。また、２チャンネル絶縁アンプ２は、圧力計５と圧力取得部１３２との間に設けられ、圧力計５からの出力は２チャンネル絶縁アンプ２を介して圧力取得部１３２に到達する。２チャンネル絶縁アンプ２を設けることで、放電によるサージ電流が高圧電源３のグランドを介してＡＤ／ＤＡ変換ボード１４を破壊するのを防止できる。

高圧電源３は、ＡＤ／ＤＡ変換ボード１４および２チャンネル絶縁アンプ２を介して電圧設定部１３１からの設定を受け取る。そして、高圧電源３は電圧設定部１３１からの設定に応じた電圧を電極５２に印加する。高圧電源３は数十ｋＶまで昇圧可能である。

センサ４はフィラメントなどから構成され、真空チャンバ５０内に設けられて真空チャンバ５０内の圧力（真空度）を検知する。検知結果は圧力計５に供給される。

圧力計５は真空チャンバ５０の外部に設けられ、センサ４の検知結果に基づいて、真空チャンバ５０内の圧力を示す電圧値（アナログ値）を出力する。一例として、圧力計５は、真空チャンバ５０内の圧力が１０^-8［Ｐａ］であれば０［Ｖ］を出力し、圧力が１０^-4［Ｐａ］であれば５［Ｖ］を出力し、圧力が１０^-2［Ｐａ］であれば１０［Ｖ］を出力する。圧力計５が出力する電圧は、ＡＤ／ＤＡ変換ボード１４によってデジタル値に変換されて、圧力取得部１３２に供給される。これにより、圧力取得部１３２は真空チャンバ５０内の圧力を取得できる。

図３は、出力制御部１３４によって表示されるＧＵＩ（Graphical User Interface）画面の一例を示す図である。

このＧＵＩ画面は電極５２に印加される目標電圧を設定するためのラジオボタン群７１を含む。具体的には、使用する高圧電源３を選択することにより、目標電圧として１０ｋＶ，２０ｋＶおよび３０ｋＶのいずれかが選択可能である。後述するように、ここで設定した目標電圧まで、電極５２に印加される電圧が昇圧される。

また、このＧＵＩ画面は目標電圧に達するまでの時間を設定するためのテキスト入力欄７２を含む。

さらに、このＧＵＩ画面は放電判定圧力を設定するためのテキスト入力欄７３を含む。後述するように、真空チャンバ５０内の圧力がこの放電判定圧力を超えた場合に、放電判定部１３３は放電が発生したと判定する。

そして、このＧＵＩ画面は、昇圧を開始するための開始ボタン７４と、昇圧を終了するための終了ボタン７５とを含む。

また、このＧＵＩ画面は、現在の状態を示す欄８１を含む。この欄には、昇圧開始を示す「Ｓｔａｒｔ」、待機状態を示す「Ｗａｉｔ」、放電を示す「Ｄｉｓｃｈａｒｇｅ」、昇圧終了をしめす「Ｅｎｄ」のいずれかが表示される。さらに、このＧＵＩ画面は、現在電極５２に印加されている電圧（電圧設定部１３１の設定から把握される）を示す欄８２を含む。そして、このＧＵＩ画面は、放電発生回数（放電判定部１３３の判定結果から把握される）を示す欄８３を含む。

また、このＧＵＩ画面は、経過時間に対する電圧および圧力のログを示すログ表示欄８４を含む。より詳細には、ログ表示欄８４には、昇圧開始からの経過時間、現在電極５２に印加されている電圧、および、現在の真空チャンバ５０内の圧力（圧力取得部１３２の取得結果から把握される）が示される。加えて、このＧＵＩ画面は、現在の真空チャンバ５０内の圧力を示すバー８５と、電圧到達割合を示すバー８６とを含む。

なお、図３に示すＧＵＩ画面はあくまで一例にすぎず、種々の変更が可能である。例えば、目標電圧、目標電源までの時間および放電判定圧力の少なくとも一部を固定値としてもよい。また、ログなどを他の態様で表示してもよい。

本昇圧システムにおける大まかな昇圧手順は次のとおりである。電圧設定部１３１が電極５２に印加する電圧を変更した後、放電判定部１３３は真空チャンバ５０内の圧力に基づいて真空チャンバ５０内で放電が発生したか否かを判定する。放電が発生していないと判定された場合、電圧設定部１３１は電極５２に印加する電圧を高くする。一方、放電が発生したと判定された場合、電圧設定部１３１は電極５２に印加する電圧を低くする。以上を繰り返す。

繰り返しの過程において、放電判定部１３３によって所定回連続して放電が発生したと判定された場合、放電判定部１３３は電極５２に異常があると判断する。

一方、電圧を高くしていき、電極５２に印加する電圧が目標電圧に達すると、電極５２に印加する電圧を目標電圧より高くすることなく、放電判定部１３３は真空チャンバ５０内の圧力に基づいて放電が発生したか否かの判定を所定の待機時間、繰り返し行う。待機時間中、放電が発生したと判定されない場合、放電判定部１３３は電極５２に異常はないと判断する。放電が発生したと判定された場合、電圧設定部１３１は電極５２に印加する電圧を低くする。

より詳細には以下のとおりである。
図４は、本実施形態に係る昇圧の手順を示すフローチャートである。

予め、出力制御部１３４は図３に示すＧＵＩ画面を表示し、ユーザから入力インターフェース１１を介して目標電圧、目標電圧までの時間、放電判定圧力の設定を受け付けておく。そして、開始ボタン７４が押されると、昇圧システムによって自動的に以下の手順が実行される。

まず、電圧設定部１３１は電極５２に設定する電圧を初期電圧（例えば０Ｖ）とする。この設定に応じて、高圧電源３は電極５２に初期電圧を印加する（ステップＳ１）。

次いで、放電判定部１３３は真空チャンバ５０内で放電が発生したか否かを判定する（ステップＳ２）。より詳しくは、放電判定部１３３は、圧力取得部１３２によって取得された真空チャンバ５０内の圧力を示す電圧値に相当する圧力と、放電判定圧力とを比較する。その結果、前者が高い場合には放電が発生したと判定され、後者が高い場合には放電が発生していないと判定される。

放電が発生していないと判定された場合（ステップＳ２のＮＯ）、電極５２に印加する電圧が目標電圧に達していなければ（ステップＳ３のＮＯ）、電圧設定部１３１は電極５２に印加する電圧を１段階高くする（ステップＳ４）。電圧を１段階でどの程度高くするかは、目標電圧および目標電圧までの時間に応じて定められる。より具体的な例は後述する。

一方、放電が発生したと判定された場合（ステップＳ２のＹＥＳ）、そのように連続して判定された回数が規定値に達していなければ（ステップＳ５のＮＯ）、電圧設定部１３１は電極５２に印加する電圧を１段階低くする（ステップＳ６）。電圧をどの程度高くするかは任意だが、例えば、ステップＳ４における電圧１段階と等しくてもよいし、その９０％程度であってもよい。

以上のステップＳ２～Ｓ６が繰り返し行われる。そして、電極５２に印加する電圧が目標電圧に達する前に、放電が発生したと連続して判定された回数が規定値に達した場合（ステップＳ５のＹＥＳ）、放電判定部１３３は電極５２に異常があると判断し（ステップＳ７）、処理は終了する。

一方、異常と判断されることなく電極５２に印加する電圧が目標電圧に達した場合（ステップＳ３のＹＥＳ）、それ以上電極５２に印加する電圧を高くしない。そして、放電判定部１３３は、所定の待機時間、真空チャンバ５０内の圧力に基づいて放電が発生したか否かを所定時間間隔で判定する（ステップＳ８）。

放電が発生したと判定された場合（ステップＳ８のＹＥＳ）、ステップＳ６に戻り、電圧設定部１３１は電極５２に印加する電圧を低くする。

放電が発生したと判定されることなく待機時間が経過した場合（ステップＳ９のＹＥＳ）、放電判定部１３３は電極５２に異常はないと判断し（ステップＳ１０）、処理を終了する。

図５は、電極５２に印加する電圧を昇圧した結果の一例を示すグラフである。横軸は経過時間であり、縦軸は電極５２に印加されている電圧（破線）および真空チャンバ５０内の圧力（実線）である。出力制御部１３４は、例えば表計算ソフトを利用することにより、電極５２に印加する電圧の時間変化と、真空チャンバ５０内の圧力の時間変化とを表示させる。なお、本例では、目標電圧をＶｔとし、放電判定圧力をＰｔｈとしている。

本例では、電極５２に印加している電圧に応じて、１段階の昇圧（図４のステップＳ４）における電圧上昇幅が異なる。より具体的には、電極５２に印加している電圧がＶｔｈ０未満の場合（時間ｔ０～ｔ１）には１段階でＶ０ずつ昇圧し、電極５２に印加している電圧がＶｔｈ０～Ｖｔｈ１未満の場合（時間ｔ１～ｔ２）には１段階でＶ１（＜Ｖ０）ずつ昇圧し、電極５２に印加している電圧がＶｔｈ１～Ｖｔの場合（時間ｔ２～ｔ３）には１段階でＶ２（＜Ｖ１）ずつ昇圧してもよい。電圧が低い場合、短時間で大きく昇圧しても放電が発生しにくいためである。

図５では電圧上昇幅が３段階で変化する例を示しているが、２段階あるいは４段階以上で変化してもよい。あるいは、電極５２に印加している電圧が高くなるほど、曲線的に電圧上昇幅を小さくしてもよい。

図５では、時間ｔ３が経過した時点で目標電圧Ｖｔに達し（図４のステップＳ３のＹＥＳ）、放電が発生することなく（真空チャンバ５０内の圧力が放電判定圧力Ｐｔｈを超えることなく）待機時間（ｔ３～ｔ４）経過しており（ステップＳ８のＮＯ、ステップＳ９のＹＥＳ）、電極５２に異常はないと判断される（ステップＳ１０）。

図６は、電極５２に印加する電圧を昇圧した結果の別の例を示すグラフである。この例では、時間ｔ１１が経過した時点で真空チャンバ５０内の圧力が放電判定圧力Ｐｔｈを超え、放電が発生したと判定される（図４のステップＳ２のＹＥＳ）。よって、電極５２に印加する電圧は降圧される（ステップＳ６）。その結果、真空チャンバ５０内の圧力が低下し、放電は発生していない。

昇圧の結果、時間ｔ１２，ｔ１３が経過した時点でも放電は発生しているが、電極５２に印加する電圧を降圧することで放電は止まる。放電が発生しなかった場合には昇圧を行い、時間ｔ１４が経過した時点で目標電圧Ｖｔに達している。その後は放電が発生することなく待機時間経過しており、電極５２に異常はないと判断される。このように、放電が発生したとしても一旦降圧することで放電が発生しなくなるのであれば、異常なしと判断できる。

ただし、このような放電が発生している場合、言い換えると、真空チャンバ５０内の圧力が放電判定圧力Ｐｔｈを超えても、降圧するとすぐに真空チャンバ５０内の圧力が放電判定圧力Ｐｔｈを下回る場合、電極５２に形成されたバリなどにより空間放電が発生している可能性が高い。そのため、出力制御部１３４は空間放電が発生している旨を出力してもよい。この場合、耐圧設計の見直しとして、陽極５２ａや陰極５２ｂの面取りを行ったり、空間距離を見直したりするのが望ましい。

図７は、電極５２に印加する電圧を昇圧した結果のまた別の例を示すグラフである。この例では、時間ｔ２１が経過した時点で真空チャンバ５０内の圧力が放電判定圧力Ｐｔｈを超え、放電が発生したと判定される（図４のステップＳ２のＹＥＳ）。よって、電極５２に印加する電圧は降圧される（ステップＳ６）。しかしながら、真空チャンバ５０内の圧力は放電判定圧力Ｐｔｈより低くならず、放電が発生していると判定される（ステップＳ２のＹＥＳ）。降圧を繰り返しても放電が発生し続け、時刻ｔ２２において放電が発生したとの連続判定回数が規定値に達している（ステップＳ５のＹＥＳ）。この場合、電極５２に異常があると判断される。

このように、放電が発生したと連続して判定される場合、言い換えると、真空チャンバ５０内の圧力が放電判定圧力Ｐｔｈを超え続けている場合、沿面放電が発生している可能性が高い。そのため、出力制御部１３４は沿面放電が発生している旨を出力してもよい。この場合、耐圧設計の見直しとして、沿面のキズを修復したり、トリプルジャンクション距離を適切にしたりするのが望ましい。

以上説明したように、本実施形態によれば、電極５２に印加する電圧を変更する度に、真空チャンバ５０内で放電が発生したか否かを判定する。そして、放電が発生していなければ昇圧し、放電が発生していれば降圧する。これにより、効率よく電極５２の異常を検知できる。

上述した実施形態は、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者が本発明を実施できることを目的として記載されたものである。上記実施形態の種々の変形例は、当業者であれば当然になしうることであり、本発明の技術的思想は他の実施形態にも適用しうることである。したがって、本発明は、記載された実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲によって定義される技術的思想に従った最も広い範囲とすべきである。

１昇圧装置
１１入力インターフェース
１２出力インターフェース
１３制御部
１３１電圧設定部
１３２圧力取得部
１３３放電判定部
１３４出力制御部
１４ＡＤ／ＤＡ変換ボード
２２チャンネル絶縁アンプ
３高圧電源
４センサ
５圧力計
５０真空チャンバ
５１絶縁体
５２電極
５２ａ陽極
５２ｂ陰極

Claims

真空チャンバ内に設置された電極に印加する電圧を昇圧する昇圧方法であって、
前記電極に印加する電圧を変更した後、前記真空チャンバ内の圧力に基づいて放電が発生したか否かを判定し、発生していないと判定された場合には前記電極に印加する電圧を高くし、発生したと判定された場合には前記電極に印加する電圧を低くすることを繰り返し、
所定回連続して放電が発生したと判定されると、前記電極に異常があると判断し、
前記電極に印加する電圧が目標電圧に達すると、前記電極に印加する電圧を前記目標電圧より高くすることなく、前記真空チャンバ内の圧力に基づいて放電が発生したか否かの判定を所定時間行い、放電が発生したと判定されない場合には、前記電極に異常はないと判断し、
前記電極に印加する電圧を高くする場合、前記電極に印加している電圧が閾値電圧以下である場合の電圧上昇幅は、前記電極に印加している電圧が前記閾値電圧より高い場合の電圧上昇幅に比べて大きい、昇圧方法。
前記電極に印加する電圧の時間変化と、前記真空チャンバ内の圧力の時間変化とを表示させる、請求項１に記載の昇圧方法。
沿面放電が発生しているか、空間放電が発生しているかを出力する、請求項１または２に記載の昇圧方法。
放電が発生したと連続して所定回判定される場合には、沿面放電が発生していることを出力し、
放電が発生したと判定された後、前記電極に印加する電圧を低くすると放電が発生しないと判定される場合には、空間放電が発生していることを出力する、請求項３に記載の昇圧方法。
真空チャンバ内に設置された電極に印加する電圧を昇圧する昇圧システムであって、
前記電極に印加する電圧を設定する電圧設定部と、
前記電圧設定部による設定に基づいて前記電極に電圧を印加する電源と、
前記真空チャンバ内の圧力を検知するセンサと、
前記センサの検知結果に基づいて、前記真空チャンバ内の圧力に応じた電圧値を出力する圧力計と、
前記電圧値からの電圧値に基づいて前記真空チャンバ内の圧力を取得する圧力取得部と、
前記真空チャンバ内の圧力に基づいて放電が発生したか否かを判定する放電判定部と、
を備え、
前記電圧設定部が前記電極に印加する電圧を変更した後、前記放電判定部は前記真空チャンバ内の圧力に基づいて放電が発生したか否かを判定し、発生していないと判定された場合には前記電圧設定部が前記電極に印加する電圧を高くし、発生したと判定された場合には前記電圧設定部が前記電極に印加する電圧を低くすることを繰り返し、
前記放電判定部は、所定回連続して放電が発生したと判定されると、前記電極に異常があると判断し、
前記電極に印加する電圧を高くする場合、前記電極に印加している電圧が閾値電圧以下である場合の電圧上昇幅は、前記電極に印加している電圧が前記閾値電圧より高い場合の電圧上昇幅に比べて大きい、昇圧システム。
前記電圧設定部と前記電源、および、前記圧力計と前記圧力取得部の間に設けられた絶縁アンプを備える、請求項５に記載の昇圧システム。
真空チャンバ内に設置された電極に印加する電圧を昇圧する昇圧装置であって、
前記電極に印加する電圧を設定する電圧設定部と、
前記真空チャンバ内の圧力を取得する圧力取得部と、
前記真空チャンバ内の圧力に基づいて放電が発生したか否かを判定する放電判定部と、を備え、
前記電圧設定部が前記電極に印加する電圧を変更した後、前記放電判定部は前記真空チャンバ内の圧力に基づいて放電が発生したか否かを判定し、発生していないと判定された場合には前記電圧設定部が前記電極に印加する電圧を高くし、発生したと判定された場合には前記電圧設定部が前記電極に印加する電圧を低くすることを繰り返し、
前記放電判定部は、所定回連続して放電が発生したと判定されると、前記電極に異常があると判断し、
前記電極に印加する電圧を高くする場合、前記電極に印加している電圧が閾値電圧以下である場合の電圧上昇幅は、前記電極に印加している電圧が前記閾値電圧より高い場合の電圧上昇幅に比べて大きい、昇圧装置。
真空チャンバ内に設置された電極に印加する電圧を昇圧する昇圧プログラムであって、
コンピュータを、
前記電極に印加する電圧を設定する電圧設定部と、
前記真空チャンバ内の圧力を取得する圧力取得部と、
前記真空チャンバ内の圧力に基づいて放電が発生したか否かを判定する放電判定部と、として機能させ、
前記電圧設定部が前記電極に印加する電圧を変更した後、前記放電判定部は前記真空チャンバ内の圧力に基づいて放電が発生したか否かを判定し、発生していないと判定された場合には前記電圧設定部が前記電極に印加する電圧を高くし、発生したと判定された場合には前記電圧設定部が前記電極に印加する電圧を低くすることを繰り返し、
前記放電判定部は、所定回連続して放電が発生したと判定されると、前記電極に異常があると判断し、
前記電極に印加する電圧を高くする場合、前記電極に印加している電圧が閾値電圧以下である場合の電圧上昇幅は、前記電極に印加している電圧が前記閾値電圧より高い場合の電圧上昇幅に比べて大きい、昇圧プログラム。