JP7033333B2 - 検査機器の薬液供給機器 - Google Patents

Description

本発明は、検査装置の補機であって薬液ボトルから検査装置に薬液を供給する薬液供給機器に関する。

検査機器が検査のための薬液を持ちいることがある。
検査装置は、クリーンルームの内部で検査を行う。
クリーンルームでおこなう作業では、高度なコンタミネーション管理を要求される。
例えば、検査機器が半導体の母材であるシリコン基板等の基板を検査する装置である場合、検査機器はクリーンルームの中に薬液を貯める薬液タンクを持つ。
薬液は捻じ込みキャップと内蓋とで口部を閉じられた薬液ボトルにより運搬される。

検査装置の薬液タンクが空になりかけると、作業員が薬液の入った薬液ボトルの捻じ込みキャップと内蓋を取り外し、薬液ボトルを傾けて口部から薬液タンクに薬液を注ぐ。

作業に習熟していない作業員がこの作業を行うとき、薬液を薬液タンクの外に漏らしてしまうことがある。
または、飛沫による人体への危険もさけなけれならない。
一般に、薬液は腐食性の高いものが多くあり、薬液を漏らすと、検査装置を清掃する作業が増えてしまう。

薬液ボトルの内部の薬液を吸引パイプで吸引して薬液タンクに移すことが考えられが、雰囲気の埃が検査機器の中に入る恐れがある。
また、その作業の際に雰囲気の埃が薬液ボトルに入る恐れがある。

発明者は、上記の問題点を解決するための、コンタミネーションを抑制するのが容易な薬液供給機器を考案した。

本発明は以上に述べた問題点に鑑み案出されたもので、検査装置の補機であって、薬液ボトルから検査装置に薬液を供給する薬液供給機器を提供しようとする。

上記目的を達成するため、本発明に係る検査装置の補機であって薬液を充填される容器であり頭頂部に外周に雄ネジを形成される口部を持つ薬液ボトルから検査装置に薬液を供給する薬液供給機器を、薬液ボトルを支持できる支持架台と、薬液ボトルの内部に充填された薬液を口部を通過して吸引するための機器である吸引機器と、前記吸引機器の姿勢を薬液ボトルから薬液を吸引する姿勢である吸引姿勢と薬液ボトルを交換する姿勢である交換姿勢との間で変化させることができる姿勢変化機器と、前記吸引機器で吸引された薬液を検査装置に送る薬液送り機器と、を備え、前記吸引機器が、薬液ボトル内の薬液を吸引する吸引パイプと、前記吸引パイプを固定する固定具と、前記固定具に支持され下に向いた面である下向き面を形成されるカバー具と、を有し、姿勢が前記交換姿勢であるとき前記吸引パイプがその最下端部を口部から上に位置する様に薬液ボトルの内部から引き出され、姿勢が前記吸引姿勢であるとき前記カバー具の前記下向き面が口部の開口を覆い且つ口部の上端部に接触しない様に第一隙間を空ける、ものとした。

上記本発明の構成により、支持架台は、薬液ボトルの底部を支持できる。吸引機器は、薬液ボトルの内部に充填された薬液を口部を通過して吸引するための機器である。姿勢変化機器は、前記吸引機器の姿勢を薬液ボトルから薬液を吸引する姿勢である吸引姿勢と薬液ボトルを交換する姿勢である交換姿勢との間で変化させることができる。薬液送り機器は、前記吸引機器で吸引された薬液を検査装置に送る機器である。前記吸引機器が、吸引パイプと固定具とカバー具と有する。吸引パイプは、薬液ボトル内の薬液を吸引する。固定具は、前記吸引パイプを固定する。カバー具は、前記固定具に支持され下に向いた面である下向き面を形成される。姿勢が前記交換姿勢であるとき前記吸引パイプがその最下端部を口部から上に位置する様に薬液ボトルの内部から引き出される。姿勢が前記吸引姿勢であるとき前記カバー具の前記下向き面が口部の開口を覆い且つ口部の上端部に接触しない様に第一隙間を空ける。
その結果、交換姿勢で薬液ボトルを容易に交換でき、吸引姿勢で薬液ボトルから薬液を吸引するとき雰囲気が前記カバー具の前記下向き面と口部の上端部との間にできた隙間を通って薬液ボトルに入るので、雰囲気の微小な埃が侵入しにくく薬液ボトルの内部のコンタミネーションを抑制できる。

以下に、本発明の実施形態に係る薬液供給機器を説明する。本発明は、以下に記載した実施形態のいずれか、またはそれらの中の二つ以上が組み合わされた態様を含む。

本発明の実施形態に係る薬液供給機器は、前記カバー具が前記下向き面の外周に隙間なく繋がり下方に下がる内側面を形成され、姿勢が前記吸引姿勢であるとき前記カバー具の前記下向き面が口部の開口を覆い、且つ口部の上端部に接触しない様に第一隙間を空け、
姿勢が前記吸引姿勢であるとき、前記カバー具の前記内側面が口部の外周を囲い、且つ口部の外周に接触しない様に第二隙間を空け、前記第一隙間の寸法ｄ１が前記第二隙間の最大寸法ｄ２より小さい。
上記の実施形態の構成により、前記カバー具が前記下向き面の外周に隙間なく繋がり下方に下がる内側面を形成される。姿勢が前記吸引姿勢であるとき前記カバー具の前記下向き面が口部の開口を覆い、且つ口部の上端部に接触しない様に第一隙間を空ける。姿勢が前記吸引姿勢であるとき、前記カバー具の前記内側面が口部の外周を囲い、且つ口部の外周に接触しない様に第二隙間を空ける。前記第一隙間の寸法ｄ１が前記第二隙間の最大寸法ｄ２より小さい。
その結果、吸引姿勢で薬液ボトルから薬液を吸引するとき雰囲気が前記カバー具の内側面と口部の外周の間にできた前記第二隙間と前記カバー具の前記下向き面と口部の上端部との間にできた前記第一隙間とを順に通って薬液ボトルに入るので、雰囲気の微小な埃が侵入しにくく薬液ボトルの内部のコンタミネーションを抑制できる。

本発明の実施形態に係る薬液供給機器は、前記カバー具が前記下向き面の外周に隙間なく繋がり下方に下がる前記内側面と前記内側面の下端部に隙間なく繋がり下方に向いた面を形成する下端面との円周状の交差箇所に隅部を形成され、姿勢が吸引姿勢であるときに、前記カバー具の前記隅部が口部の外周に接触しない様に第三隙間を空け、前記第三隙間の寸法ｄ３が前記第二隙間の最大寸法ｄ２より小さい。
上記の実施形態の構成により、前記カバー具が前記下向き面の外周に隙間なく繋がり下方に下がる前記内側面と前記内側面の下端部に隙間なく繋がり下方に向いた面を形成する下端面との円周状の交差箇所に隅部を形成される。姿勢が吸引姿勢であるときに、前記カバー具の前記隅部が口部の外周に接触しない様に第三隙間を空ける。前記第三隙間の寸法ｄ３が前記第二隙間の最大寸法ｄ２より小さい。
その結果、吸引姿勢で薬液ボトルから薬液を吸引するとき雰囲気が前記カバー具の隅部と口部の外周との間にできる第三隙間と前記カバー具の内側面と口部の外周の間にできる第二隙間と前記カバー具の前記下向き面と口部の上端部との間にできた第一隙間とを順に通って薬液ボトルに入るので、雰囲気の微小な埃が侵入しにくく薬液ボトルの内部のコンタミネーションを抑制できる。

本発明の実施形態に係る薬液供給機器は、口部が下部にフランジ状に外側へ張りだしたリングを形成され、姿勢が吸引姿勢であるときに、前記カバー具の前記隅部が口部のリングに接触しない様に第三隙間を空ける。
上記の実施形態の構成により、口部が下部にフランジ状に外側へ張りだしたリングであるロックリングを形成される。姿勢が吸引姿勢であるときに、前記カバー具の前記隅部が口部のロックリングに接触しない様に第三隙間を空ける。前記第三隙間の寸法Ｄ３が前記第二隙間の最大寸法Ｄ２より大きい、
その結果、吸引姿勢で薬液ボトルから薬液を吸引するとき雰囲気が前記カバー具の隅部と口部のリングとの間にできる第三隙間と前記カバー具の内側面と口部の外周の間にできる第二隙間と前記カバー具の前記下向き面と口部の上端部との間にできる第一隙間とを順に通って薬液ボトルに入るので、雰囲気の微小な埃が侵入しにくく薬液ボトルの内部のコンタミネーションを抑制できる。

本発明の実施形態に係る薬液供給機器は、前記支持架台が回転中心で回転可能に支持される回転テーブルと該回転テーブルを回転中心回りに回転させるテーブル回転機器とを有し、前記回転テーブルが複数の薬液ボトルを前記回転中心を中心とする環状の箇所に円周上等ピッチに支持できる。
上記の実施形態の構成により、前記支持架台が回転中心で回転可能に支持される回転テーブルと該回転テーブルを回転中心回りに回転させるテーブル回転機器とを有する。前記回転テーブルが複数の薬液ボトルを前記回転中心を中心とする環状の箇所に円周上等ピッチに支持できる。
その結果、交換姿勢で、吸引パイプの下に位置する薬液ボトルを交換できる。

以上説明したように、本発明に係る薬液供給機器は、その構成により、以下の効果を有する。
支持架台に底部を支持される薬液ボトルのなかの薬液を吸引パイプで薬液ボトルの口部を通過して吸引し検査装置に送る薬液供給機器において、前記吸引パイプがその最下端部を口部から上に位置する様に薬液ボトルの内部から引き出される交換姿勢と前記カバー具の前記下向き面が口部の開口を覆い且つ口部の上端部に接触しない様に隙間を空ける吸引威勢との間で姿勢を変化させる様にしたので、交換姿勢で薬液ボトルを容易に交換でき、吸引姿勢で薬液ボトルから薬液を吸引するとき雰囲気が前記カバー具の前記下向き面と口部の上端部との間にできた第一隙間を通って薬液ボトルに入るので、雰囲気の微小な埃が侵入しにくく薬液ボトルの内部のコンタミネーションを抑制できる。
また、カバー具が前記下向き面の外周に隙間なく繋がり下方に下がる内側面を形成され、吸引姿勢において前記カバー具の前記内側面が口部の外周を囲い、且つ口部の外周に接触しない様に隙間を空ける様にしたので、吸引姿勢で薬液ボトルから薬液を吸引するとき雰囲気が前記カバー具の内側面と口部の外周の間にできた第二隙間と前記カバー具の前記下向き面と口部の上端部との間にできた第一隙間とを順に通って薬液ボトルに入るので、雰囲気の微小な埃が侵入しにくく薬液ボトルの内部のコンタミネーションを抑制できる。
また、前記カバー具が前記内側面と前記内側面の下端部に隙間なく繋がり下方に向いた面を形成する下端面との交差箇所に形成される円周状の隅部を形成され吸引姿勢において前記カバー具の前記隅部が口部の外周に接触しない様に隙間を空ける様にしたので、吸引姿勢で薬液ボトルから薬液を吸引するとき雰囲気がカバー具の隅部と口部の外周との間にできる第三隙間とカバー具の内側面と口部の外周の間にできる第二隙間と前記カバー具の前記下向き面と口部の上端部との間にできた第一隙間とを順に通って薬液ボトルに入るので、雰囲気の微小な埃が侵入しにくく薬液ボトルの内部のコンタミネーションを抑制できる。
また、口部がネジ部の下部にフランジ状に外側へ張りだしたリングを形成され、吸引姿勢において前記カバー具の前記隅部が口部のリングに接触しない様に隙間を空ける様にしたので、吸引姿勢で薬液ボトルから薬液を吸引するとき雰囲気がカバー具の隅部と口部のリングとの間にできる第三隙間と前記カバー具の内側面と口部の外周の間にできる第二隙間と前記カバー具の前記下向き面と口部の上端部との間にできる第一隙間とを順に通って薬液ボトルに入るので、雰囲気の微小な埃が侵入しにくく薬液ボトルの内部のコンタミネーションを抑制できる。
また、複数の薬液ボトルを前記回転中心を中心とする環状の箇所に円周上等ピッチに支持できる前記回転テーブルを回転中心回りに回転できる様にしたので、交換姿勢で、吸引パイプの下に位置する薬液ボトルを交換できる。

本発明の実施形態に係る検査装置の概念図である。 本発明の実施形態に係る薬液供給機器の平面図である。 本発明の実施形態に係る薬液供給機器の側面図である。 本発明の実施形態に係る薬液供給機器の作動図である。 本発明の実施形態に係る薬液供給機器の部分拡大図である。 本発明の実施形態に係る薬液供給機器の作用説明図である。 本発明の他の実施形態に係る薬液供給機器の部分拡大図である。

以下、本発明を実施するための形態を、図面を参照して説明する。
本発明の実施形態にかかる薬液供給機器２００は、検査装置５０の補機である。
図１は、本発明の実施形態に係る検査装置５０の概念図である。
検査装置５０は検査機器５１と薬液タンク５２とで構成される。
検査機器５１は、薬液タンク４２の中の薬液を用いて検査する。
例えば、検査装置５０がシリコンウエハーに含まれる微量な金属原子の量を計測する装置である場合、検査機器５１は薬液タンク５２に入れられているフッ化水素、その他の薬液を用いてシリコン基板を検査する。

本発明の実施形態にかかる薬液供給機器１００は、薬液ボトル２００から検査装置に薬液を供給する機器である。
薬液ボトル２００は、薬液を充填される容器であり、口部２１０とボトル本体２２０とで構成される。
口部２１０は、薬液を出す貫通穴がもうけられる。
口部２１０は、頭頂部に外周に雄ネジを形成される突起部分であってもよい。
口部２１０は、頭頂部に外周に雄ネジを形成され捻じ込みキャップを雄ネジに脱着可能な突起部分であってもよい。

口部２１０は、上端部２１１と外周部２１２とを形成される。
口部２１０は、上端部２１１と外周部２１２とリング２１３とで形成されてもよい。
口部２１０は、上端部２１１と外周部２１２とリング２１３と絞り部２１４とで形成されてもよい。

上端部２１１は、口部２１０の上端の上に向く部分である。
外周部２１２は、口部２１０の横に向く部分である。
一般に外周部２１２には雄ねじが形成される。
リング２１３は、下部に位置しフランジ状に外側へ張りだした部分である。
一般に、リング２１３は外周部２１２に形成される雄ねじの下に位置する。
絞り部２１４は、上端部２１１の外周部分である。
絞り部２１４は、横から見て外周部２１２より絞られた形状をもつ。

本発明の実施形態に係る薬液供給機器１００は、支持架台１１０と吸引機器１２０と姿勢変化機器１３０と薬液送り機器１４０とで構成される。
以下に、本発明の実施形態に係る薬液供給機器１００を、図を基に、説明する。
図２は、本発明の実施形態に係る薬液供給機器の平面図である。図３は、本発明の実施形態に係る薬液供給機器の側面図である。図４は、本発明の実施形態に係る薬液供給機器の作動図である。図５は、本発明の実施形態に係る薬液供給機器の部分拡大図である。

支持架台１１０は、薬液ボトル２００を支持できるものである。
支持架台１１０は、薬液ボトル２００を底部を支えて支持できてもよい。
支持架台１１０は、回転テーブル１１１とテーブル回転機器１１２とテーブル回転モータ１１２とで構成されてもうよい。

回転テーブル１１１は、回転中心で回転可能に支持されるテーブルである。
回転テーブル１１１は、複数の薬液ボトル２００を回転中心を中心とする環状の箇所に円周上等ピッチに支持できる。
回転テーブル１１１は、テーブル板１１１ａと位置決め具１１１ｂとで構成されてもうよい。
テーブル板１１１ａは、円盤状の板である。
位置決め具１１１ｂは、テーブル板１１１ａの上で薬液ボトル２２０を位置決めするものである。
例えば、２個の位置決め具１１１ｂは、円管状の部材であって、テーブル板１１１ａの上面に固定される。
２個の位置決め具１１１ｂの円管状の中心が回転中心を境にして一定の距離だけ離れる箇所に一致する。
この様にすると、回転テーブル１１１が回転中心を中心として１８０度回転すると、２個の薬液ボトル２００の位置を入れ換えることができる。

テーブル回転機器１１２は、回転テーブル１１１を回転中心を中心として回転自在に支持する機器である。

テーブル回転モータ１１３は、テーブル回転機器１１２を介して回転テーブル１１１を回転させるモータである。
例えば、テーブル回転モータ１１３は、テーブル回転機器１１２を介して回転テーブル１１１を半回転させると、回転テーブル１１１に支持される薬液ボトル２００が円周上を１８０度だけ移動する。

吸引機器１２０は、薬液ボトル２００の内部に充填された薬液を口部２１０を通過して吸引するための機器である。
吸引機器１２０は、薬液ボトル２００の内部に充填された薬液を口部２１０に形成された貫通穴を通過して吸引するための機器であってもよい。
吸引機器１２０は、吸引パイプ１２１と固定具１２２とカバー具１２３とで構成される。

吸引パイプ１２１は、薬液ボトル２００内の薬液を吸引する円管である。
例えば、吸引パイプ１２１は、薬液ボトル２００内の薬液を吸引する上下に延びる円管である。

固定具１２２は、吸引パイプ１２１を固定する部材である。
固定具１２２は、吸引パイプ１２１の上下に延びる部分の途中を固定してもよい。
固定具１２２は、後述する姿勢変化機器１３０に支持される。

カバー具１２３は、固定具１２２に支持され下に向いた面である下向き面１２３ａを形成される部材である。
吸引パイプ１２１が、カバー具１２３を上下に貫通する。
カバー部１２３は、下向き面１２３ａを形成される。
下向き面１２３ａは下から見て円形であってもよい。
貫通穴が、下向き面１２３ａの中心部に位置する様にカバー部１２３に設けられる。
カバー具１２３は、下向き面１２３ａと内側面１２３ｂとを形成されてもよい。
カバー具１２３は、下向き面１２３ａと内側面１２３ｂと隅部１２３ｃとを形成されてもよい。
カバー具１２３は、下向き面１２３ａと内側面１２３ｂと隅部１２３ｃと下端面１２３ｄとを形成されてもよい。
内側面１２３ｂは、下向き面１２３ａの外周に隙間なく繋がり下方に下がる面である。
隅部１２３ｃは、内側面１２３ｂと下端面１２３ｄとの円周状の交差箇所に形成される部分である。
下端面１２３ｄは、内側面１２３ｂの下端部に隙間なく繋がり下方に向いた面を形成する。
例えば、カバー具１２３が、中心部に吸引パイプ１２１が貫通する貫通穴をもつ円柱状の外観をもち、下に向いて開放した穴が形成される。
穴の天井部が、下向き面１２３ａに相当する。
穴の内側周囲が、内側面１２３ｂに相当する。
穴の開口の縁が、隅部１２３ｃに相当する。

姿勢変化機器１３０は、吸引機器１２０の姿勢を吸引姿勢と交換姿勢との間で変化させることができる機器である。
吸引姿勢は、薬液ボトル２００から薬液を吸引する姿勢である。
交換姿勢は、薬液ボトル２００を交換する姿勢である。
姿勢変化機器１３０は、固定具支持部材１３１とリニアガイド１３２とリニア駆動アクチエータ１３３とで構成される、

固定具支持部材１３１は、固定具１２２を支持する部材である。
リニアガイド１３２は、固定具支持部材１３１を上下方向に移動自在に支持する部材である。
リニア駆動アクチエータ１３３は、リニアガイド１３２に案内される固定具支持部材１３１を上下方向に駆動するアクチエータである。

例えば、リニア駆動アクチエータ１３３が駆動して固定具支持部材１３１をリニアガイド１３２で案内される最上端に位置するときの姿勢が交換姿勢である。
例えば、リニア駆動アクチエータ１３３が駆動して固定具支持部材１３１をリニアガイド１３２で案内される最下端に位置するときの姿勢が交換姿勢である。

姿勢が交換姿勢であるとき吸引パイプ１２１がその最下端部を口部から上に位置する様に薬液ボトル２００の内部から引き出される。

姿勢が吸引姿勢であるときカバー具１２３の下向き面１２３ａが口部２１０の開口を覆い且つ口部２１０の上端部２１１に接触しない様に第一隙間Ｘ１を空ける、

姿勢が吸引姿勢であるとき、カバー具１２３の内側面１２３ｂが口部の外周を囲い、且つ口部の外周に接触しない様に第二隙間Ｘ２を空けてもよい。
第一隙間Ｘ１の寸法ｄ１が第二隙間Ｘ２の最大寸法ｄ２より小さい。
ここで、隙間の寸法とは対向し隙間を形成する部分の対向する向きに沿った離間寸法である。
例えば、隙間の寸法とは隙間を形成する部分の対向する箇所に挟まれた空隙の巾寸法である。

姿勢が吸引姿勢であるときに、カバー具１２３の隅部１２３ｃが口部の外周に接触しない様に第三隙間Ｘ３を空けてもよい。
第三隙間Ｘ３の寸法ｄ３が第二隙間Ｘ２の最大寸法ｄ２より小さい。

姿勢が吸引姿勢であるときに、カバー具１２３の隅部１２３ｃが口部２１０のリング２１３に接触しない様に第三隙間Ｘ３を空けてもよい。
第三隙間Ｘ３の寸法ｄ３が第二隙間Ｘ２の最大寸法ｄ２より小さい。

例えば、第二隙間Ｘ２の最大寸法ｄ２は、カバー具１２３の内側面１２３ｂと口部２１０のネジ山底部２１２ｂとの離間距離である。
例えば、第二隙間Ｘ２の最大寸法ｄ２は、カバー具１２３の内側面１２３ｂと口部２１０の最頂部に形成される絞り部２１４との離間距離である。

薬液送り機器１４０は、吸引した薬液を検査機器５１に送る機器である。
例えば、薬液送り機器１４０は、薬液ホース１４１と薬液ポンプ１４２とで構成される。
薬液ポンプ１４２が作動すると、薬液が薬液ホース１４１を介して薬液タンク５２へ送られる。

次に、本発明の実施形態にかかる薬液供給機器１００の作用を、図を基に、説明する。
図４（Ａ）は、姿勢が吸引姿勢である状態を示す。
図４（Ｂ）は、姿勢が交換姿勢である状態を示す、
図４（Ａ）に示す吸引姿勢であるとき、操作員が吸引パイプ１２１が挿入されていない薬液ボトル２００を、空ボトルから満ボトルに交換する。
空ボトルは空状態の薬液ボトルである。
満ボトルが満状態の薬液ボトルである。
吸引パイプ１２１が挿入されている薬液ボトル２００が空になると、姿勢変化機器１３０が作動して姿勢を吸引姿勢から交換姿勢に変化させる。
姿勢が交換姿勢になると、支持架台１１０が、回転テーブル１１１を回転させて、空ボトルと満ボトルとを交換する。
満ボトルが吸引パイプ１２１の下に位置すると、姿勢変化機器１３０が作動して姿勢を交換姿勢から吸引姿勢に変化させる。
一連の動作は、マニュアル操作により行われても良い。
また、一連の動作は、制御機器による自動操作により行われてもよい。
また、一連の動作は、コンピュータ制御機器による自動操作により行われてもよい。
例えば、光センサにより薬液ボトルが空ボトルになるのを検知して、自動制御によりリニア駆動アクチエータ１３３とテーブル回転モータ１１３を作動させてもよい。

図６は、姿勢が供給姿勢であるときのカバー具１２３と口部２１０との隙間の状態を示す。
薬液送り機器１４０が作動すると、吸引機器１２０により薬液ボトル２００の中の薬液が吸い出される。
薬液ボトル２００の中の薬液のレベルが下がり、一時的に薬液ボトルの中の圧力が雰囲気の圧力より下がる。
雰囲気が、第三隙間Ｘ３、第二隙間Ｘ２、第一隙間Ｘ１の順に流れて、薬液ボトルの中に流れる。
雰囲気が第三隙間Ｘ３を流れて第二隙間Ｘ２に入ると、雰囲気の流速が下がり隙間を形成する壁面の影響で乱流状態になり渦をまく。雰囲気に微小埃が混じっているとき、微小埃も同時に渦に乗って停留する。
さらに、雰囲気が第二隙間Ｘ２を流れてネジ山頂部２１２ａとネジ山底部２１２ｂとで形成されるでこぼこの隙間を流れ、壁面の影響で乱流状態になり渦をまく。雰囲気に微小埃が混じっているとき、微小埃も同時に渦に乗って停滞する。
その結果、微小埃が薬液ボトル２００に入りにくくなり、薬液ボトル２００のコンタミネーションを抑制できる。

以上説明したように、本発明の実施形態に係る薬液供給機器１００は、その構成により、以下の効果を有する。
支持架台110に底部を支持される薬液ボトル２００のなかの薬液を吸引パイプ１２１で薬液ボトル２００の口部２１０を通過して吸引し検査装置５０に送る薬液供給機器１００において、吸引パイプ１２１がその最下端部を口部２１０から上に位置する様に薬液ボトル２００の内部から引き出される交換姿勢とカバー具１２３の下向き面１２３ａが口部２１０の開口を覆い且つ口部２１０の上端部２１１に接触しない様に僅かな隙間を空ける吸引威勢との間で姿勢を変化させる様にしたので、交換姿勢で薬液ボトル２００を容易に交換でき、吸引姿勢で薬液ボトル２００から薬液を吸引するとき雰囲気がカバー具１２３の下向き面１２３ａと口部２１０の上端部２１１との間にできた第一隙間Ｘ１を通って薬液ボトル２００に入るので、雰囲気の微小な埃が侵入しにくく薬液ボトル２００の内部のコンタミネーションを抑制できる。
また、カバー具１２３が下向き面１２３ａの外周に隙間なく繋がり下方に下がる内側面１２３ｂを形成され、吸引姿勢においてカバー具１２３の内側面１２３ｂが口部２１０の外周を囲い、且つ口部２１０の外周に接触しない様に隙間を空ける様にしたので、吸引姿勢で薬液ボトル２００から薬液を吸引するとき雰囲気がカバー具１２３の内側面１２３ｂと口部２１０の外周の間にできた第二隙間Ｘ２とカバー具１２３の下向き面１２３ａと口部２１０の上端部２１１との間にできた第一隙間Ｘ１とを順に通って薬液ボトル２００に入るので、雰囲気の微小な埃が侵入しにくく薬液ボトル２００の内部のコンタミネーションを抑制できる。
また、カバー具１２３が内側面１２３ｂと内側面１２３ｂの下端部に隙間なく繋がり下方に向いた面を形成する下端面との交差箇所に円周状の隅部を形成され吸引姿勢においてカバー具１２３の隅部が口部２１０の外周に接触しない様に僅かな第三隙間Ｘ３を空ける様にしたので、吸引姿勢で薬液ボトル２００から薬液を吸引するとき雰囲気がカバー具１２３の隅部と口部２１０の外周との間にできる第三隙間Ｘ３とカバー具１２３の内側面１２３ｂと口部２１０の外周の間にできた第二隙間Ｘ２とカバー具１２３の下向き面１２３ａと口部２１０の上端部２１１との間にできた第一隙間Ｘ１とを順に通って薬液ボトル２００に入るので、雰囲気の微小な埃が侵入しにくく薬液ボトル２００の内部のコンタミネーションを抑制できる。
また、口部２１０がネジ部の下部にフランジ状に外側へ張りだしたリングを形成され、
吸引姿勢においてカバー具１２３の隅部が口部２１０のリングに接触しない様に僅かな隙間を空ける様にしたので、吸引姿勢で薬液ボトル２００から薬液を吸引するとき雰囲気が
カバー具１２３の隅部と口部２１０のリングとの間にできる第三隙間Ｘ３とカバー具１２３の内側面１２３ｂと口部２１０の外周の間にできた第二隙間Ｘ２とカバー具１２３の下向き面１２３ａと口部２１０の上端部２１１との間にできた第一隙間Ｘ１とを順に通って
薬液ボトル２００に入るので、雰囲気の微小な埃が侵入しにくく薬液ボトル２００の内部のコンタミネーションを抑制できる。
また、複数の薬液ボトル２００を回転中心を中心とする環状の箇所に円周上等ピッチに支持できる回転テーブル１１１を回転中心回りに回転できる様にしたので、交換姿勢で、吸引パイプ１２１の下に位置する薬液ボトル２００を交換できる。

本発明は以上に述べた実施形態に限られるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で各種の変更が可能である。
カバー部の隅部が口部のリングとの間に隙間を形成する形式を説明したが、カバー部の高さがより低くてもよい。例えば、図７に示す様に、カバー部１２３の隅部１２３ｃが口部２１０のネジ山頂部２１２ｂとの間に隙間を形成してもよい。この場合でも、第三隙間Ｘ３の寸法ｄ３が第二隙間Ｘ２の最大寸法ｄ２より小さくなる。

ｄ１ 第一隙間の寸法
ｄ２ 第二隙間の最大寸法
ｄ３ 第三隙間の寸法
Ｘ１ 第一隙間
Ｘ２ 第二隙間
Ｘ３ 第三隙間
５０ 検査装置
５１ 検査機器
５２ 薬液タンク
１００ 薬液供給機器
１１０ 支持架台
１１１ 回転テーブル
１１１ａ テーブル板
１１１ｂ 位置決め具
１１２ テーブル回転機器
１１３ テーブル回転モータ
１２０ 吸引機器
１２１ 吸引パイプ
１２２ 固定具
１２３ カバー具
１２３ａ 下向き面
１２３ｂ 内側面
１２３ｃ 隅部
１２３ｄ 下端面
１３０ 姿勢変化機器
１３１ 固定具支持部材
１３２ リニアガイド
１３３ リニア駆動アクチエータ
１４０ 薬液送り機器
１４１ 薬液ホース
１４２ 薬液ポンプ
２００ 薬液ボトル
２１０ 口部
２１１ 上端部
２１２ 外周部
２１２ａ ネジ山頂部
２１２ｂ ネジ山底部
２１３ リング
２１４ 絞り部
２２０ ボトル本体

特開平５－５８５９５号 特開昭５０－５１０８７号

Claims (5)

1. 検査装置の補機であって薬液を充填される容器であり頭頂部に口部を持つ薬液ボトルから検査装置に薬液を供給する薬液供給機器であって、
   薬液ボトルを支持できる支持架台と、
   薬液ボトルの内部に充填された薬液を口部を通過して吸引するための機器である吸引機器と、
   前記吸引機器の姿勢を薬液ボトルから薬液を吸引する姿勢である吸引姿勢と薬液ボトルを交換する姿勢である交換姿勢との間で変化させることができる姿勢変化機器と、
   前記吸引機器で吸引された薬液を検査装置に送る薬液送り機器と、
   を備え、
   前記吸引機器が、
   薬液ボトル内の薬液を吸引する吸引パイプと、
   前記吸引パイプを固定する固定具と、
   前記固定具に支持され下に向いた面である下向き面を形成されるカバー具と、
   を有し、
   姿勢が前記交換姿勢であるとき前記吸引パイプがその最下端部を口部から上に位置する様に薬液ボトルの内部から引き出され、
   姿勢が前記吸引姿勢であるとき前記カバー具の前記下向き面が口部の開口を覆い且つ口部の上端部に接触しない様に第一隙間を空け、
   前記カバー具が前記下向き面の外周に隙間なく繋がり下方に下がる内側面を形成され、
   姿勢が前記吸引姿勢であるとき、前記カバー具の前記内側面が口部の外周を囲い、且つ口部の外周に接触しない様に第二隙間を空ける、
   ことを特徴とする薬液供給機器。
2. 前記第一隙間の寸法ｄ１が前記第二隙間の最大寸法ｄ２より小さい、
   ことを特徴とする請求項１に記載の薬液供給機器。
3. 前記カバー具が前記内側面と前記内側面の下端部に隙間なく繋がり下方に向いた面を形成する下端面との円周状の交差箇所に位置する隅部を形成され、
   姿勢が吸引姿勢であるときに、前記カバー具の前記隅部が口部の外周に接触しない様に第三隙間を空ける、
   ことを特徴とする請求項１または請求項２のうちの一つに記載の薬液供給機器。
4. 前記第三隙間の寸法ｄ３が前記第二隙間の最大寸法ｄ２より小さい、
   ことを特徴とする請求項３に記載の薬液供給機器。
5. 口部が下部にフランジ状に外側へ張りだしたリングを形成され、
   姿勢が吸引姿勢であるときに、前記カバー具の前記隅部が口部のリングに接触しない様に第三隙間を空ける、
   ことを特徴とする請求項３または請求項４のうちの一つに記載の薬液供給機器。

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