JP7031538B2 - 超純水製造装置の運転方法 - Google Patents
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Description
本発明に係る運転方法について詳細に説明するに当たり、まず当該運転方法を実施するために用いられる超純水製造装置について説明する。当該超純水製造装置は、原水を除濁するための前処理システムと、前処理水に含まれるイオン成分やTOC成分などの不純物を除去するための一次純水システムと、一次純水に含まれる極微量の微粒子等を除去し、より純度の高い超純水を製造するためのサブシステムとを備える。図1は、本発明に係る運転方法に使用する超純水製造装置が備えるサブシステムの一例を示すブロック図である。
図1に示すサブシステム100は、一次純水W2に含まれる極微量の微粒子や微量イオン、特に低分子の微量有機物のような不純物を除去し、より純度の高い超純水W3を製造するためのものであって、サブタンク1、熱交換器2、膜式脱気装置3、紫外線酸化装置(UV装置)4、イオン交換装置5及び、膜ろ過装置としての限外ろ過膜装置(UF装置)6を主に備える。
次に、上述した超純水製造装置の運転方法について、図1及び図2を参照しつつ、詳説する。なお、図2では図面の簡略化のため、符号の表示を一部省略している。また、図2において、開閉バルブ8、9及び10については、全開状態(徐々に開放する場合又は徐々に閉鎖する場合を含む)を白抜きで、全閉状態を黒の塗りつぶしで、微開状態をグレーの塗りつぶしで、それぞれ示している。
図3に示すサブシステム101を備える超純水製造装置を用いて、上述の運転方法により、超純水の製造を行い、製造された超純水に含まれる微粒子を測定した。具体的には、超純水製造装置の定期メンテナンスによる稼働と停止の切り替えに当たって、装置の稼働前には、開閉バルブ81及び開閉バルブ82を共に微開状態、開閉バルブ9を全開状態、開閉バルブ10を全閉状態とする準備工程を行い、装置の稼働時には、開閉バルブ10を全開状態になるまで徐々に開放するとともに、サブポンプ71及びブースターポンプ72によって供給ラインL1の流量を徐々に増加させる運転工程を行った。そして、装置の停止時には、開閉バルブ10を全閉状態になるまで徐々に閉鎖するとともに、サブポンプ71及びブースターポンプ72によって供給ラインL1の流量を徐々に減少させる停止工程を行った。
超純水製造装置の稼働時に製造された超純水に含まれる微粒子数は、粒子径>0.05μmが0.25個/mL、粒子径>0.1μmが0.03個/mLであったのに対して、定期メンテナンスによる停止後の再稼働時に製造された超純水に含まれる微粒子数は、粒子径>0.05μmが0.21個/mL、粒子径>0.1μmが0.01個/mLであった。
1 サブタンク
2 熱交換器
3 膜式脱気装置
4 UV装置
5 イオン交換装置
6 膜ろ過装置(UF装置)
7 給水ポンプ
71 サブポンプ
72 ブースターポンプ
8、9、10 開閉バルブ
L1 供給ライン
R1 第一返送ライン
R2 第二返送ライン
W2 一次純水
W3 超純水
POU ユースポイント
Claims (2)
- 一次純水システムと、この一次純水システムで製造された一次純水を処理して超純水を製造するサブシステムとを備え、
前記サブシステムが、
前記一次純水を貯留するサブタンクと、
前記サブタンクとユースポイントとを連通する供給ラインと、
前記供給ラインの最下流に設けられる膜ろ過装置と、
前記ユースポイントで使用されない超純水を前記サブタンクに返送するための第一返送ラインと、
前記膜ろ過装置から排出される濃縮水を前記サブタンクに返送するための第二返送ラインとを備え、
前記供給ラインには、前記サブタンクと前記膜ろ過装置との間に給水ポンプ及びこれに続く第一開閉バルブが、前記膜ろ過装置の超純水の排出側に第二開閉バルブがそれぞれ設けられ、
前記第二返送ラインには、前記膜ろ過装置の濃縮水の排出側に第三開閉バルブが設けられている超純水製造装置において、
前記第一開閉バルブを微開状態、前記第二開閉バルブを全開状態、前記第三開閉バルブを全閉状態とする準備工程と、
前記準備工程後、前記第三開閉バルブを全開状態になるまで徐々に開放するとともに、前記給水ポンプによって前記供給ラインの流量を徐々に増加させる運転工程と、
前記運転工程後、前記第三開閉バルブを全閉状態になるまで徐々に閉鎖するとともに、前記給水ポンプによって前記供給ラインの流量を徐々に減少させる停止工程と
を備える超純水製造装置の運転方法。 - 前記運転工程及び前記停止工程において、前記給水ポンプによる前記供給ラインの流量の制御を、インバータ制御により行う請求項1に記載の超純水製造装置の運転方法。
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