JP7028418B2 - 貫通孔を有するガラス基板製造方法および表示装置製造方法 - Google Patents

貫通孔を有するガラス基板製造方法および表示装置製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP7028418B2
JP7028418B2 JP2020078019A JP2020078019A JP7028418B2 JP 7028418 B2 JP7028418 B2 JP 7028418B2 JP 2020078019 A JP2020078019 A JP 2020078019A JP 2020078019 A JP2020078019 A JP 2020078019A JP 7028418 B2 JP7028418 B2 JP 7028418B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
glass substrate
main surface
recess
hole
etching
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2020078019A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2021172562A (ja
Inventor
宏隆 羽鳥
悠介 森本
陽照 大山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NSC Co Ltd
Original Assignee
NSC Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NSC Co Ltd filed Critical NSC Co Ltd
Priority to JP2020078019A priority Critical patent/JP7028418B2/ja
Priority to PCT/JP2021/016066 priority patent/WO2021220890A1/ja
Priority to TW110114864A priority patent/TW202209927A/zh
Publication of JP2021172562A publication Critical patent/JP2021172562A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7028418B2 publication Critical patent/JP7028418B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C15/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by etching
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C23/00Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09FDISPLAYING; ADVERTISING; SIGNS; LABELS OR NAME-PLATES; SEALS
    • G09F9/00Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09FDISPLAYING; ADVERTISING; SIGNS; LABELS OR NAME-PLATES; SEALS
    • G09F9/00Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements
    • G09F9/30Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B33/00Electroluminescent light sources
    • H05B33/02Details
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B33/00Electroluminescent light sources
    • H05B33/10Apparatus or processes specially adapted to the manufacture of electroluminescent light sources
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/80Constructional details
    • H10K59/87Passivation; Containers; Encapsulations
    • H10K59/871Self-supporting sealing arrangements

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Description

本発明は、貫通孔が形成された薄型ガラス基板および表示装置の製造方法に関する。
近年、ガラス基板に微細孔を形成する方法が盛んに研究されている。貫通孔が形成されたガラス基板の用途として、インターポーザ基板がある。インターポーザ基板は、半導体チップ等のICチップを実装するための基板である。ガラスインターポーザは、従来のシリコン基板等のインターポーザ基板よりも放熱性が高い等の利点があるため、近年積極的に採用されている。
また、貫通孔を有するガラス基板の他の用途としては、液晶パネルがある。アレイ基板として使用されるガラス基板に貫通孔を形成することで、アレイ基板にICチップを直接配置することが可能になり、液晶パネルの狭額縁化が可能になるとされている(例えば、特許文献1参照)。
ガラス基板に貫通孔を形成する方法としては、レーザ処理とエッチング処理を組み合わせる方法があった(例えば、特許文献2参照)。ガラス基板にレーザを照射し、貫通孔を形成するか、ガラス基板の内部に改質領域を形成した後にガラス基板をエッチングすることにより貫通孔を形成することができるとされている。
特開2018-017984 特開2016-049542
しかしながら、300μm以下の板厚の薄型ガラス基板に貫通孔を形成する場合、ガラス基板の取り扱いが困難であった。これは、薄型ガラス基板の強度が低いため、貫通孔の形成プロセスや後工程の成膜プロセス等において破損することがあるためである。ガラス基板や液晶パネルの製造は、大型基板を用いた方が製造効率が良いことが多いが、薄型ガラス基板は、前述のように取り扱いが難しいため、小型のガラス基板を使用せざるを得なかった。
また、液晶パネルへの貫通孔の形成においてエッチング処理が行われているが、貫通孔の形成時にエッチング液が液晶パネルの内部に侵入するおそれがあった。また、エッチング液が液晶パネル内部に侵入すると、薄膜トランジスタや液晶が汚損してしまうため、保護層を形成する等のプロセスが必要になる。このため、製造プロセスが一層複雑になっていた。
本発明の目的は、貫通孔が形成されたガラス基板の製造方法および表示装置の製造方法を提供することである。
本発明に係る貫通孔を有するガラス基板の製造方法は、凹部形成ステップおよび薄型化ステップを含む。凹部形成ステップは、ガラス基板よりも板厚が厚いガラス母材の第1の主面において、貫通孔形成予定領域に凹部を形成する工程である。薄型化ステップは、凹部が、第1の主面と対向する第2の主面まで貫通するようにガラス母材の第2の主面をエッチングする工程である。
この製造方法は、ガラス母材に一方の主面に有底孔である凹部を形成した後に、凹部が貫通するまでガラス母材の他方の主面を薄型化することによって貫通孔を形成している。製造すべきガラス基板の目標板厚よりも板厚が厚いガラス母材を使用しているため、製造プロセス中にガラス母材が破損することが防止される。また、エッチング処理で貫通孔が形成されているため、ガラス基板の主面および貫通孔内の微小な傷も消失させることが可能になる。
また、薄型化ステップの前に、少なくとも凹部を被覆する保護層を形成する基板処理ステップを含むことが好ましい。さらに、薄型化ステップは、保護層が第2の主面側に露出するようにエッチング処理を行う。薄型化ステップの前に、凹部を保護層で被覆することにより、凹部の寸法が薄型化ステップのエッチング中に変化することが防止され、貫通孔の寸法制御が容易になる。凹部の被覆は、第1の主面上に保護層を設けたり、凹部内にエッチング液に耐性を有する物質を充填したりすれば良い。また、ここでの露出とは、第2の主面側から保護層を確認できることを意味する。
また、凹部形成ステップは、改質ステップおよびエッチングステップを含むことが好ましい。改質ステップは、第1の主面から所定の深さまでエッチング液でエッチングされやすい性質を有する改質領域を形成する工程である。エッチングステップは、改質領域をエッチングする工程である。改質領域を形成した後に、エッチングすることにより、微細で、かつ、孔径が深さ方向においてほとんど変化のない凹部を形成することが可能になる。
また、本発明に係る表示装置の製造方法は、凹部形成ステップ、導電層形成ステップ、積層ステップおよび薄型化ステップを含んでいる。なお、本発明に係る表示装置は、ガラス基板およびガラス基板と対向する対向基板を有している。凹部形成ステップは、ガラス基板の第1の主面に凹部を形成する工程である。導電層形成ステップは、少なくとも凹部に導電層を形成する工程である。積層ステップは、導電層形成ステップの後に、ガラス基板の第1の主面が対向基板と対向するようにガラス基板と対向基板を貼り合わせる工程である。薄型化ステップは、導電層がガラス基板の第2の主面側に露出するようにガラス基板をエッチングする工程である。
この発明によれば、貫通孔が形成されたガラス基板の製造方法および表示装置の製造方法を提供することが可能になる。
本発明の一実施形態に係るガラス基板の構成を示す図である。 ガラス母材に貫通孔を形成するプロセスを示す図である。 ガラス基板をエッチングするエッチング装置を示す図である。 本発明の他の実施形態に係るガラス母材の薄型化プロセスを示す図である。 本発明の他の実施形態に係るガラス母材の薄型化プロセスを示す図である。 本発明の一実施形態に係る液晶パネルおよび製造工程を示す図である。
ここから、図面を用いて本発明の一実施形態に係るガラス基板の製造方法について説明する。図1(A)および図1(B)は、本発明の一実施形態に係るガラス基板10の構成を示す図である。ガラス基板10は、複数の貫通孔12を備えたガラスインターポーザ基板である。ガラス基板10としては、ソーダガラス、ほうけい酸ガラス、無アルカリガラス、アルミノシリケートガラス等の各種ガラス基板を使用することが可能である。ガラス基板10の寸法は、特に限定されないが、例えば縦横が100~920mm程度であり、板厚が50~300μm程度に設定される。
貫通孔12は、ガラス基板10の第1の主面20から第2の主面22に貫通するように形成された微細孔である。貫通孔12は、ガラス基板10の全域にマトリクス状に形成されているが、貫通孔12の形成位置は、特に限定されない。貫通孔12の孔径としては、20~300μm程度に調整される。貫通孔12は、図1(B)に示すように、ガラス基板10の板厚方向にわたってほぼ均一な孔径であり、平面視略円形形状である。
ここから、ガラス基板10の製造方法について説明する。ガラス基板10の製造方法は、凹部形成ステップおよび薄型化ステップを含む。凹部形成ステップは、ガラス母材100の第1の主面20に有底孔である凹部を形成する工程である。ガラス母材100は、ガラス基板10となる矩形状のガラス板であり、少なくともガラス基板10よりも板厚が厚いものが選択される。ガラス母材100の板厚は、300~1100μm程度であり、目標とするガラス基板の板厚に応じて調整される。
凹部形成ステップは、改質ステップおよびエッチングステップを含む。改質ステップは、図2(A)および図2(B)に示すように、貫通孔が形成される領域にエッチング液でエッチングされやすい性質の改質領域24を形成する工程である。
改質領域24は、ガラス母材100の板厚方向に沿って複数のフィラメント241が形成された領域である。改質領域24は、レーザビームによって形成することが可能である。レーザビームを照射するレーザ装置としては、ガラス母材100の板厚方向に沿って複数の焦点を同時に形成することが可能なパルスレーザ装置が使用される。フィラメント241は、レーザ装置から照射されたレーザビームが、ガラス基板20の内部で焦点を結ぶことによって形成される。レーザビームの焦点は、対物レンズ等のレーザ装置の光学部材により形成位置が調整される。フィラメント241は、ガラス母材101の板厚方向において所定の間隔で複数形成される。
改質領域24は、少なくともガラス基板10の設定板厚以上の長さになるように形成されることが好ましく、設定板厚と同程度に形成することがさらに好ましい。本実施形態の改質領域24は、第1の主面20から垂直方向に100μmの深さまで形成される。改質領域24の深さやフィラメント241の形成数は、ガラス基板10の板厚や貫通孔の寸法に応じて適宜調整される。
エッチングステップは、改質領域24をエッチングすることにより、凹部を形成する工程である。エッチング処理は、ガラス母材100にエッチング液を接触させることにより行われる。エッチング処理は、例えば、図3(A)および図3(B)に示すエッチング装置40により行われる。
エッチング装置40は、搬送ローラで搬送されているガラス母材100に対してエッチング液を噴射するように構成されるスプレイエッチング装置である。エッチング装置40は、エッチング液を噴射する複数のエッチングチャンバ42を備えている。エッチングチャンバ42は、水平方向に搬送されているガラス母材100に対して上下方向からエッチング液を噴射するように構成される。なお、エッチングチャンバ42の後段には、ガラス母材100に付着したエッチング液を洗い流すための洗浄チャンバ44が設けられているため、ガラス母材100はエッチング液が取り除かれた状態でエッチング装置40から排出される。エッチング液は、少なくともフッ酸が含まれており、塩酸や硫酸等の無機酸や界面活性剤が含まれていても良い。
また、上述のスプレイエッチング方式以外にも、エッチング液が収容されたエッチング槽にカセットに保持されたガラス基板を浸漬する浸漬エッチング方式を採用しても良い。
ガラス母材100がエッチング液と接触することにより、フィラメント241が形成された改質領域24では、周辺領域よりも板厚方向にエッチングが進行しやすくなり、図2(C)に示すように、凹部26が形成される。凹部26は、平面視円形の有底孔である。また、凹部26の深さは、少なくとも目標とするガラス基板10の板厚以上に形成することが好ましく、本実施形態では、凹部26の深さが100μmになるようにエッチング処理を行った。
なお、凹部の形成方法は、上述には限定されない。例えば、ガラス母材にレーザビームを照射して凹部を形成することも可能である。このレーザビームは、ガラス母材を改質するのではなく、ガラス母材を溶融して凹部を形成するように構成される。また、レーザビームで凹部を形成した後にエッチング処理を行っても良い。
薄型化ステップは、ガラス母材100の第2の主面22にエッチング液を接触させ、凹部26が板厚方向に貫通するまでガラス母材100を薄型化する工程である(図2(D)参照)。第2の主面22が凹部26の底面まで薄型化されると、凹部26が第2の主面22まで貫通して、貫通孔12となる。薄型化ステップは、前述のエッチングステップと同様にエッチング装置40を使用することが可能である。また、薄型化ステップは、エッチングステップと連続して行うことも可能である。この場合は、凹部26の孔径が薄型化ステップ中に拡大してしまうため、貫通孔の目標寸法よりも凹部26の開口径を小さく形成しておくが好ましい。本実施形態では、ガラス母材100の板厚が100μmになるまでエッチングすることにより、凹部26を板厚方向に貫通させて、貫通孔12を形成した。
この製造方法は、目標とする板厚よりも板厚が厚いガラス母材100を薄型化しながら貫通孔12を形成している。このため、貫通孔の形成プロセスにおいてガラス基板が破損することが防止される。さらに、板厚が比較的厚いガラス母材100を使用することによって、大判ガラスでの製造が可能になり、ガラス基板10の生産効率が向上する。なお、大判ガラスは、貫通孔形成後に、所望の寸法にカットしても良い。
また、凹部26や第1の主面20をエッチングしたくない場合は、図4(A)~図4(C)に示すように、エッチング液に耐性を有する保護層28を第1の主面20に被覆しても良い。保護層28は、例えば自己粘着型フィルムやレジスト材を使用することが可能である。第1の主面20の全域に保護層28を被覆(必要に応じて、ガラス母材100の端面にも被覆)することにより、第2の主面22側からのみガラス母材100をエッチングすることが可能になる。これにより、凹部26の寸法に影響を与えることなく貫通孔12が形成されるので、貫通孔12の寸法制御が容易になる。
また、本発明の他の実施形態を図5(A)~図5(C)を用いて説明する。この実施形態は、薄型化ステップの前に導電層形成ステップを含むものである。導電層形成ステップは、ガラス母材100の第1の主面20側に導電層30を形成する工程である。
ガラス母材100に形成される導電層30は、第1の主面20および凹部26に形成される金属層である。導電層30は、図5(A)に示すように、所望の厚みで第1の主面20上に形成されるとともに、凹部26内に充填される。この際、凹部26の深さは、目標とするガラス基板の板厚と同程度になるように、凹部形成ステップにて調整して形成される。本実施形態では、導電層30として銅を含む金属層が形成されるが、導電層30は銅以外にも銀、ニッケル、モリブデン合金、タングステンまたは白金等の金属材料やカーボンナノチューブ等の導電材料を使用することが可能である。導電層30は、めっき処理やスパッタリング処理で形成したり、金属ペーストを塗布したりすることで形成される。また、導電層30を第1の主面20上には形成せずに、凹部26内のみに形成しても良い。また、主面間の導通が取れるのであれば貫通孔全体に金属が充填されている構成だけでなく、貫通孔の内周面全体に金属層が形成されている構成を採用しても良い。
導電層30を形成した後に、ガラス母材100をエッチング処理により薄型化する。銅を含む導電層30は、エッチング液による影響をほとんど受けないため、第1の主面20側に保護層等を設けずにエッチングすることが可能である。なお、導電層がエッチング処理により汚損する場合には、保護層等で導電層30を被覆すれば良い。薄型化処理は、図5(C)に示すように、第2の主面22側に導電層30が露出するまで行われる。
導電層30をあらかじめ形成しておくことにより、貫通孔12内に導電層30が充填された状態のガラス基板10を製造することが可能になる。さらに、導電層30を形成することにより、凹部26の寸法の拡大が防止される。また、凹部26をガラス基板の目標板厚となるように形成しておくことで、導電層30が露出すると同時にエッチング処理を完了させることが可能になる。導電層30を設けることにより、第1の主面20と第2の主面22を電気的に接続することが可能になるため、インターポーザのような電子部品としてガラス基板10を使用することができる。
また、ここから本発明の一実施形態に係る液晶パネルの製造方法を図6(A)~図6(C)を用いて説明する。本実施形態に係る液晶パネル50は、アレイ基板52、カラーフィルタ基板54および液晶層56を備えている。液晶パネル50は、公知のアクティブマトリクス方式の液晶パネルであり、アレイ基板52およびカラーフィルタ基板54で液晶層56を挟持するように構成される。アレイ基板52およびカラーフィルタ基板64は、シール材68を介して接合されている。シール材68は、液晶パネル10の周縁部に設けられており、液晶層56を保持するように構成される。
アレイ基板52は、カラーフィルタ基板54と対向する第1の主面20に電極層60を備えている。電極層60は、ゲート電極、ソース電極等の駆動電極や薄膜トランジスタ等を有するアクティブマトリクス方式の電極層である。また、アレイ基板52は、板厚方向に貫通する貫通孔62を備えている。貫通孔62内は、銅を含む導電層64が充填されている。導電層64は、電極層60とアレイ基板52の第2の主面22に設けられたICチップ66を電気的に接続するように構成される。ICチップ66は、外部からの信号を制御し、液晶パネルに伝達するように構成される。
ここから、液晶パネル50の製造方法について説明する。液晶パネル50の製造方法は、凹部形成ステップ、配線ステップ、貼り合わせステップおよび薄型化ステップを含んでいる。なお、本実施形態において特に言及のない製造プロセスは、公知の液晶パネルの製造方法が適用される。
凹部形成ステップは、アレイ基板52となるガラス母材101の第1の主面20に凹部26を形成する工程である。ガラス母材101は、アレイ基板52となるガラス基板であり、アレイ基板52の目標板厚よりも板厚が厚いものが使用される。凹部26は、上述の実施形態と同様にレーザ処理およびエッチング処理によって形成される。凹部26の深さは、アレイ基板52の目標板厚と同程度になるように形成される。本実施形態では、凹部26の深さが100μmになるように形成した。
配線ステップは、ガラス母材101に電極層60および導電層64を形成する工程である。導電層64は、凹部26内に導電部材を充填することによって形成される。本実施形態では、無電解めっきによって銅を含む導電層64を凹部26内に形成した。導電層64を形成した後に、第1の主面20に電極層60を形成する。電極層60は、スパッタリングやパターニング処理等を用いた公知の方法で形成することが可能である。
貼り合わせステップは、ガラス母材101とカラーフィルタ基板54を貼り合わせる工程である。なお、カラーフィルタ基板54は、あらかじめカラーフィルタ層が形成される。貼り合わせ工程では、ガラス母材101の周縁部にシール材68を設けて、ガラス母材101の第1の主面20がカラーフィルタ基板54と対向するように貼り合わせる。ガラス母材101およびカラーフィルタ基板54が積層された状態で、両基板の間隙に液晶を注入し、液晶層56を形成する。
薄型化ステップは、ガラス母材101の第2の主面22にエッチング液を接触させて、ガラス母材101を薄型化するステップである。エッチング処理は、図3に示すエッチング装置40で行うことが可能である。なお、本実施形態では、カラーフィルタ基板54をガラス母材101と同時に薄型化したが、カラーフィルタ基板54をエッチングする必要がない場合は、カラーフィルタ基板54の主面に保護層を被覆すれば良い。保護層によりカラーフィルタ基板54がエッチング液から保護され、ガラス母材101のみをエッチングすることが可能になる。
ガラス母材101は、エッチング液と接触することにより、図6(C)に示すように、第2の主面22側が薄型化されていく。ガラス母材101の板厚が薄くなると、凹部26内に形成された導電層64が第2の主面22側に露出することによって貫通孔62が形成される。導電層64が露出したタイミングでエッチング処理を終了することにより、アレイ基板52の板厚の制御が容易になる。
貫通孔62内に充填された導電層64は、フッ酸を含むエッチング液では短時間では溶解されにくいため、貫通孔62が形成されてもエッチング液が液晶パネル50の内部に侵入することが防止される。さらに、電極層60等を保護する構成を別途設ける必要がないため、製造工程の簡略化が図れる。
ガラス母材101を薄型化した後に、第2の主面側22にICチップ66を配置すれば良い。ICチップ66を第2の主面22に直接配置することにより、液晶パネルの狭額縁化や構造の簡素化を図ることが可能になる。
また、本実施形態は、液晶パネルを例に説明したが、本発明に係る表示装置の製造方法は、例えば、有機ELディスプレイやマイクロLEDディスプレイ等のガラス基板が使用される貼り合わせパネルに適用することが可能である。この場合、導電層が設けられるガラス基板と対向する基板は、ガラス基板以外にも樹脂基板等が使用されても良い。
上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
10-ガラス基板
12-貫通孔
20-第1の主面
22-第2の主面
24-改質領域
26-凹部
30-導電層
40-エッチング装置
50-液晶パネル
52-アレイ基板
54-カラーフィルタ基板
62-貫通孔

Claims (3)

  1. 貫通孔を有するガラス基板製造方法であって、
    前記ガラス基板よりも板厚が厚いガラス母材の第1の主面において、貫通孔形成予定領域に、前記ガラス基板の板厚以上の深さの有底孔である凹部を形成する凹部形成ステップと、
    前記凹部が、前記第1の主面と対向する第2の主面まで貫通するように前記ガラス母材の前記第2の主面を前記凹部の底面までエッチングする薄型化ステップと、
    を少なくとも含み、
    前記凹部形成ステップは、
    レーザビームを照射することによって、前記第1の主面から前記深さまでエッチング液でエッチングされやすい性質を有する改質領域を形成する改質ステップと、
    前記改質領域をエッチングするエッチングステップと、
    を含むことを特徴とする貫通孔を有するガラス基板製造方法。
  2. 前記薄型化ステップの前に、少なくとも前記凹部を被覆する保護層を形成する基板処理ステップと、
    をさらに含み、
    前記薄型化ステップは、前記保護層が前記第2の主面側に露出するようにエッチングすることを特徴とする請求項1に記載の貫通孔を有するガラス基板製造方法。
  3. ガラス基板および前記ガラス基板と対向する対向基板を備える表示装置製造方法であって、
    前記ガラス基板の第1の主面に凹部を形成する凹部形成ステップと、
    少なくとも前記凹部に導電層を形成する導電層形成ステップと、
    前記導電層形成ステップの後に前記ガラス基板の前記第1の主面が前記対向基板と対向するように前記ガラス基板と前記対向基板を貼り合わせる積層ステップと、
    前記導電層が前記ガラス基板の第2の主面側に露出するように前記ガラス基板をエッチングする薄型化ステップと、
    を含む表示装置製造方法。
JP2020078019A 2020-04-27 2020-04-27 貫通孔を有するガラス基板製造方法および表示装置製造方法 Active JP7028418B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020078019A JP7028418B2 (ja) 2020-04-27 2020-04-27 貫通孔を有するガラス基板製造方法および表示装置製造方法
PCT/JP2021/016066 WO2021220890A1 (ja) 2020-04-27 2021-04-20 貫通孔を有するガラス基板製造方法および表示装置製造方法
TW110114864A TW202209927A (zh) 2020-04-27 2021-04-26 具有貫通孔的玻璃基板製造方法及顯示裝置製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020078019A JP7028418B2 (ja) 2020-04-27 2020-04-27 貫通孔を有するガラス基板製造方法および表示装置製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2021172562A JP2021172562A (ja) 2021-11-01
JP7028418B2 true JP7028418B2 (ja) 2022-03-02

Family

ID=78279485

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020078019A Active JP7028418B2 (ja) 2020-04-27 2020-04-27 貫通孔を有するガラス基板製造方法および表示装置製造方法

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP7028418B2 (ja)
TW (1) TW202209927A (ja)
WO (1) WO2021220890A1 (ja)

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006290630A (ja) 2005-02-23 2006-10-26 Nippon Sheet Glass Co Ltd レーザを用いたガラスの加工方法
JP2008209483A (ja) 2007-02-23 2008-09-11 Seiko Epson Corp 電気光学装置の製造方法、及びガラス基板の製造方法
JP2013147404A (ja) 2012-01-23 2013-08-01 Kiso Micro Kk 貫通穴付きガラス基板の製造方法
WO2016051781A1 (ja) 2014-10-03 2016-04-07 日本板硝子株式会社 貫通電極付ガラス基板の製造方法及びガラス基板
JP2017190285A (ja) 2016-04-06 2017-10-19 旭硝子株式会社 貫通孔を有するガラス基板の製造方法およびガラス基板に貫通孔を形成する方法
JP2018018007A (ja) 2016-07-29 2018-02-01 株式会社ジャパンディスプレイ 電子機器
JP2018024571A (ja) 2016-08-05 2018-02-15 旭硝子株式会社 孔を有するガラス基板の製造方法
JP2018531205A (ja) 2015-10-09 2018-10-25 コーニング インコーポレイテッド ビアを有するガラス系基板およびそれを形成するプロセス
JP2019152706A (ja) 2018-03-01 2019-09-12 パナソニック液晶ディスプレイ株式会社 表示装置及び表示装置の製造方法

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006290630A (ja) 2005-02-23 2006-10-26 Nippon Sheet Glass Co Ltd レーザを用いたガラスの加工方法
JP2008209483A (ja) 2007-02-23 2008-09-11 Seiko Epson Corp 電気光学装置の製造方法、及びガラス基板の製造方法
JP2013147404A (ja) 2012-01-23 2013-08-01 Kiso Micro Kk 貫通穴付きガラス基板の製造方法
WO2016051781A1 (ja) 2014-10-03 2016-04-07 日本板硝子株式会社 貫通電極付ガラス基板の製造方法及びガラス基板
JP2018531205A (ja) 2015-10-09 2018-10-25 コーニング インコーポレイテッド ビアを有するガラス系基板およびそれを形成するプロセス
JP2017190285A (ja) 2016-04-06 2017-10-19 旭硝子株式会社 貫通孔を有するガラス基板の製造方法およびガラス基板に貫通孔を形成する方法
JP2018018007A (ja) 2016-07-29 2018-02-01 株式会社ジャパンディスプレイ 電子機器
JP2018024571A (ja) 2016-08-05 2018-02-15 旭硝子株式会社 孔を有するガラス基板の製造方法
JP2019152706A (ja) 2018-03-01 2019-09-12 パナソニック液晶ディスプレイ株式会社 表示装置及び表示装置の製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2021172562A (ja) 2021-11-01
TW202209927A (zh) 2022-03-01
WO2021220890A1 (ja) 2021-11-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9293517B2 (en) Array substrate and manufacturing method thereof, and display panel
KR100337401B1 (ko) 액정표시장치를 위한 가용성 시일, 가용성 시일을 사용하는 액정표시장치 및 그 제조방법
JP6347946B2 (ja) 表示素子およびその製造方法
JP6405073B1 (ja) フレキシブルoledデバイスの製造方法および製造装置
JP7210573B2 (ja) 保護材料を使用したガラス貫通ビアの製造
KR20100070730A (ko) 플렉서블 표시장치의 제조 방법
JP2007201260A (ja) 封止構造体及び封止構造体の製造方法及び半導体装置及び半導体装置の製造方法
KR20200140856A (ko) 비아 형성 동안 기판 표면 파괴를 감소시키기 위한 시스템들 및 방법들
US11121068B2 (en) Array substrate, display device, method for manufacturing them, and spliced display device
CN114078372A (zh) 盖窗的制造方法及柔性显示装置的制造方法
TW201545218A (zh) 玻璃構件之製造方法、玻璃構件、及玻璃中介層
JP7028418B2 (ja) 貫通孔を有するガラス基板製造方法および表示装置製造方法
TW202004710A (zh) 顯示裝置及其製造方法
WO2020207273A1 (zh) 显示母板及其制造和切割方法、显示基板及装置
JP6883275B2 (ja) 表示装置形成用基板、表示装置および表示装置の製造方法
JP7240624B2 (ja) 表示装置形成用基板、表示装置及び表示装置の製造方法
JP6885099B2 (ja) 表示装置の製造方法および光照射装置
JP6556298B2 (ja) フレキシブルoledデバイスの製造方法および製造装置
JP2006165286A (ja) 半導体基板の製造方法、半導体基板、半導体素子の製造方法、半導体素子及び電気光学装置の製造方法
JP7287637B2 (ja) 液晶パネル製造方法
JP2005183031A (ja) 基板接合体、基板接合体の製造方法、電気光学装置、及電子機器
JP2005108471A (ja) 接点機構デバイス及びその製造方法
JP2004193517A (ja) 半導体チップ、半導体チップの製造方法、半導体実装基板、電子デバイスおよび電子機器
JP3657596B2 (ja) 半導体集積回路の作製方法
JP2005114917A (ja) 基板接合体、基板接合体の製造方法、電気光学装置、及び電気光学装置の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20210420

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20210720

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20210825

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20220111

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20220120

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20220208

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20220208

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7028418

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150