JP7023555B1 - 光造形装置および３次元造形物の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】造形物の搬送性が好適に確保される光造形装置を提供する。【解決手段】制御手段が、それぞれが露光済みのスラリー膜である複数のスラリー膜の積層体である造形物がフィルムの上に載置されている状態で、搬送手段にフィルムを造形テーブルから補助テーブルへと搬送させ、エア供給手段に、造形テーブルおよび補助テーブルの複数のエア供給口を介したエアの供給を、搬送手段による搬送状態に応じて選択的に行わせることにより、造形物を、フィルムの一部または全部とともに造形テーブルおよび補助テーブルから浮上させた状態で造形テーブルから補助テーブルへと搬送する、ようにした。【選択図】図１

Description

本発明は、光造形装置および３次元造形物の製造方法に関する。

３次元造形法は、複雑な３次元形状を直接造形加工できる点に大きな優位性を有する加工方法であり、従来の切削加工法による３次元立体加工物を得る方法に比べて自由度が非常に高く、その優位性は近年大きな注目を浴びている。

３次元造形法の一つである３次元光造形法の先行事例としては、自由液面法と呼ばれる方法が広く知られており、レーザビームとガルバノミラーの走査露光系で実現されている。また、光硬化性材料の入った容器の底面側からガラス越しに、ＤＭＤによる一括露光により１層分造形し、次に必要厚み分、造形物を吊り上げて造形物の下に材料を充填する、という態様にて露光と吊り上げとを繰り返すことにより造形を行う、規制液面法と呼ばれる裏面露光方式なども公知である（例えば、特許文献１参照）。

しかしながら、近時、３次元光造形法としては、光硬化性樹脂を平面に塗布し、その上からレーザ走査により露光する方法が主流となっている。例えば、光硬化性モノマー樹脂（液体）にセラミックス粉体などを混錬したスラリーと呼ばれるペースト状の材料を造形テーブル上に薄く塗布し、その上からレーザ走査により必要な領域を露光して樹脂を硬化させることを繰り返して、３次元造形物を得る方法が、すでに公知である（例えば、特許文献２参照）。

特開２０１７－１２４６３１号公報 特許第６４３８９１９号公報

３次元光造形法の優位性が広く認識されるにつれて、造形物の大型化、大面積化のニーズが高まっている。造形物のサイズが大きくなるほど、造形処理に要する時間が増大することになるため、生産性向上の観点からは当然に、造形処理の効率化のための方策が求められる。

もう一つ、係る大型化、大面積化に伴い造形物が重量化することにより顕在化する事項として、造形物の搬送性の問題がある。すなわち、完成した造形物を造形装置から取り出し、後段の処理のために他所へと搬送する際には、破損などが生じないよう、安全かつ確実・迅速に搬送を行う必要があるが、例えば数十ｋｇ程度にまで重量化した造形物においてこれを実現することは容易ではない。特許文献１および特許文献２のいずれにも、大型化、大面積化した造形物の搬送性の改善に関する特段の開示はみられない。

なお、特許文献２に開示されている光造形装置のように、造形に際してテーブルの保護のために保護フィルム（シート）を敷くことがある。造形物が軽ければ、この保護フィルムを引っ張ることによる搬送という手法も採用の余地はあるが、保護フィルムの耐荷重には限界があり、数十ｋｇ程度の造形物に対して係る手法を適用するのは妥当ではない。

本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、造形物が大型化、大面積化した場合であっても造形物の搬送性が好適に確保される光造形装置を提供することを、目的とする。

上記課題を解決するため、請求項１の発明は、３次元造形物を得るための光造形装置であって、上面に複数のエア供給口を有する造形テーブルと、上面に複数のエア供給口を有する補助テーブルと、前記造形テーブルに載置された前記フィルムの上にスラリーを吐出可能な吐出手段と、前記フィルムの上に吐出された前記スラリーを掃引し、所定の厚みのスラリー膜を形成する掃引手段と、３次元形状データに基づいてあらかじめ作成された露光パターンに従って前記スラリー膜を露光する露光手段と、前記造形テーブルに載置された前記フィルムを前記造形テーブルから前記補助テーブルへと搬送可能な搬送手段と、前記造形テーブルおよび前記補助テーブルの前記複数のエア供給口を介してエアを供給可能なエア供給手段と、少なくとも前記搬送手段および前記エア供給手段を制御する制御手段と、を備え、前記制御手段が、前記搬送手段に、それぞれが露光済みの前記スラリー膜である複数のスラリー膜の積層体である造形物が前記フィルムの上に載置されている状態で、前記フィルムを前記造形テーブルから前記補助テーブルへと搬送させ、前記複数のエア供給口のうち前記エア供給手段からの前記エアの供給に使用されるエア供給口を、前記搬送手段による造形物の移動状態に応じて順次に切り替えさせることにより、前記造形物を、前記フィルムの一部または全部とともに前記造形テーブルおよび前記補助テーブルから浮上させた状態で前記造形テーブルから前記補助テーブルへと搬送する、ことを特徴とする。

請求項２の発明は、請求項１に記載の光造形装置であって、前記補助テーブルを着脱自在に支持する固定部を更に備え、前記補助テーブルは、前記造形物および前記フィルムが載置された状態で前記固定部から取り外して搬送可能とされてなる、ことを特徴とする。

請求項３の発明は、請求項１または請求項２に記載の光造形装置であって、前記造形テーブルに前記フィルムを吸着固定可能な吸着手段を更に備え、前記制御手段は、前記吸着手段を制御して、前記吸着手段に、少なくとも前記スラリーの掃引の間、前記フィルムを前記造形テーブルに吸着固定させる、ことを特徴とする。

請求項４の発明は、請求項３に記載の光造形装置であって、前記吸着手段は、前記造形テーブルの前記複数のエア供給口に接続され、当該複数のエア供給口に負圧を与えることによって前記フィルムを吸着固定可能なことを特徴とする。

請求項５の発明は、請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の光造形装置であって、前記制御手段は、前記搬送手段が前記フィルム上に載置された前記造形物を搬送する際、前記エア供給手段に、前記造形物の位置に対応するゾーンのエア供給口から前記エアを供給させ、前記ゾーンから外れたエア供給口からの前記エアの供給を停止させる、ことを特徴とする。

請求項６の発明は、請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の光造形装置であって、前記搬送手段は、前記補助テーブルに載置されたフィルムを吸着して前記造形テーブルに搬送可能な吸着搬送手段を含み、前記吸着搬送手段が前記露光手段に対しピン嵌合にて合体可能とされてなり、前記吸着搬送手段が前記露光手段に合体した状態で前記露光手段を移動させることにより、前記吸着搬送手段が移動する、ことを特徴とする。

請求項７の発明は、請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の光造形装置であって、前記搬送手段は、前記フィルムを把持して搬送する把持搬送手段を含み、前記把持搬送手段が前記掃引手段に対しピン嵌合にて合体可能とされてなり、前記把持搬送手段が前記掃引手段に合体した状態で前記掃引手段を移動させることにより、前記把持搬送手段が移動する、ことを特徴とする。

請求項８の発明は、請求項１ないし請求項７のいずれかに記載の光造形装置であって、前記露光手段が、ＤＭＤ露光を行う、ことを特徴とする。

請求項９の発明は、３次元造形物の製造方法であって、上面に複数のエア供給口を有する造形テーブルに載置されたフィルムの上にスラリーを吐出する吐出工程と、前記フィルムの上に吐出された前記スラリーを掃引し、所定の厚みのスラリー膜を形成する掃引工程と、３次元形状データに基づいてあらかじめ作成された露光パターンに従って前記スラリー膜を露光する露光工程と、それぞれが露光済みの前記スラリー膜である複数のスラリー膜の積層体である造形物が載置されている前記フィルムを前記造形テーブルから上面に複数のエア供給口を有する補助テーブルへと搬送することにより、前記造形物を搬送する搬送工程と、を備え、前記搬送工程においては、前記造形テーブルおよび前記補助テーブルの複数のエア供給口のうち前記フィルムの裏面に対し前記エアを供給するエア供給口を、前記造形物の移動状態に応じて順次に切り替えることにより、前記造形物を、前記フィルムの一部または全部とともに前記造形テーブルおよび前記補助テーブルから浮上させた状態で前記造形テーブルから前記補助テーブルへと搬送する、ことを特徴とする。

請求項１０の発明は、請求項９に記載の３次元造形物の製造方法であって、少なくとも前記掃引工程の間、前記フィルムを前記造形テーブルに吸着固定させる、ことを特徴とする。
請求項１１の発明は、３次元造形物を得るための光造形装置であって、上面に複数のエア供給口を有する造形テーブルと、上面に複数のエア供給口を有する補助テーブルと、前記造形テーブルに載置されたフィルムの上にスラリーを吐出可能な吐出手段と、前記フィルムの上に吐出された前記スラリーを掃引し、所定の厚みのスラリー膜を形成する掃引手段と、３次元形状データに基づいてあらかじめ作成された露光パターンに従って前記スラリー膜を露光する露光手段と、前記造形テーブルに載置された前記フィルムを前記造形テーブルから前記補助テーブルへと搬送可能な搬送手段と、前記造形テーブルおよび前記補助テーブルの前記複数のエア供給口を介してエアを供給可能なエア供給手段と、少なくとも前記搬送手段および前記エア供給手段を制御する制御手段と、を備え、前記搬送手段は、前記補助テーブルに載置されたフィルムを吸着して前記造形テーブルに搬送可能な吸着搬送手段を含み、前記制御手段が、前記搬送手段に、それぞれが露光済みの前記スラリー膜である複数のスラリー膜の積層体である造形物が前記フィルム上に載置されている状態で、前記フィルムを前記造形テーブルから前記補助テーブルへと搬送させ、前記エア供給手段に、前記造形テーブルおよび前記補助テーブルの前記複数のエア供給口を介した前記エアの供給を、前記搬送手段による搬送状態に応じて選択的に行わせることにより、前記造形物を、前記フィルムの一部または全部とともに前記造形テーブルおよび前記補助テーブルから浮上させた状態で前記造形テーブルから前記補助テーブルへと搬送する、ことを特徴とする。

請求項１ないし請求項１１の発明によれば、大型の造形物を作成する場合であっても、その取り出しが容易かつ確実に行える。

光造形装置１の概略的な構成を示す斜視図である。 光造形装置１の要部についての機能ブロック図である。 光造形装置１における主たる構成要素の配置関係を示す側面図である。 光造形装置１の一連の動作を示すフローチャートである。 光造形装置１の一連の動作を示すフローチャートである。 光造形装置１の一連の動作を示すフローチャートである。 光造形装置１における造形途中の様子を模式的に示す側面図である。 光造形装置１における造形途中の様子を模式的に示す側面図である。 光造形装置１における造形途中の様子を模式的に示す側面図である。 光造形装置１における造形途中の様子を模式的に示す側面図である。 光造形装置１における造形途中の様子を模式的に示す側面図である。 光造形装置１における造形途中の様子を模式的に示す側面図である。 光造形装置１における造形途中の様子を模式的に示す側面図である。 光造形装置１における造形途中の様子を模式的に示す側面図である。 光造形装置１における造形途中の様子を模式的に示す側面図である。 光造形装置１における造形途中の様子を模式的に示す側面図である。 光造形装置１における造形途中の様子を模式的に示す側面図である。 光造形装置１における造形途中の様子を模式的に示す側面図である。 光造形装置１における造形途中の様子を模式的に示す側面図である。 光造形装置１における造形途中の様子を模式的に示す側面図である。 光造形装置１における造形途中の様子を模式的に示す側面図である。

＜装置の概要＞
図１は、本実施の形態に係る光造形装置１の概略的な構成を示す斜視図である。図２は、光造形装置１の要部についての機能ブロック図である。図３は、光造形装置１における主たる構成要素の配置関係を示す側面図である。

本実施の形態に係る光造形装置１は、概略、光硬化性モノマー樹脂（液体）にセラミックス粉体（例えばアルミナ）などを混錬したスラリーと呼ばれるペースト状の材料を造形テーブル上に薄く塗布し、得られたスラリー膜（層）に対しその上からレーザ、ＬＥＤ等の光を照射して必要な領域を露光して樹脂を硬化させることを、順次に積層されるスラリー膜に対し繰り返して、３次元造形物（積層体）を得る装置である。なお、以降においては、光造形装置１において行われる、露光用のパターンデータに基づく露光のことを、描画とも称する。

光造形装置１は、造形テーブル１１と、補助テーブル１２と、露光ユニット２０と、リコートユニット３０と、スラリー吐出ポンプ４０と、コントローラＣ（図２）とを、主として備える。なお、図１においては、補助テーブル１２から造形テーブル１１へと向かう向きをｙ軸正方向とし、鉛直方向上向きをｚ軸正方向とする右手系のｘｙｚ座標を付している（以降においても同様の座標系を用いる）。

造形テーブル１１は、その上面において造形が行われる平面視矩形状のテーブルである。造形テーブル１１は、矢印ＡＲ１にて示すようにｚ軸方向に昇降自在とされてなる。係る昇降動作は、ｚ軸昇降機構１１Ｍ（図２）により実現される。具体的には、図３に示すように、初期位置１１ａ（高さｈ１）と、吐出・露光位置１１ｂ（高さｈ２）と、リコート位置１１ｃ（高さｈ３）との間で主に移動させられる。

概略的にいえば、造形テーブル１１は、スラリーの塗布とこれに続く露光の際には初期位置１１ａから上昇させられ、造形物の形成が進行する都度（各層の形成が完了する都度）、必要量下降させられる。

造形テーブル１１は、大型の造形物を造形可能とするべく、少なくとも６００ｍｍ×６００ｍｍ以上の造形エリアを有するのが好ましく、６５０ｍｍ×６５０ｍｍ以上の造形エリアを有するのがより好ましい。

また、造形テーブル１１は、その上面に複数の吸着溝（溝部）１１ｇを備える。複数の吸着溝１１ｇは、造形に際して造形テーブル１１の上面に敷設されるフィルム（例えば保護フィルム）を固定する際に使用される。複数の吸着溝１１ｇは、造形エリア全般に渡って設けられる。より具体的には、複数の吸着溝１１ｇはエア吸着吹出機構１１ＡＲ（図２）と連通しており、コントローラＣ（本開示の制御手段の一例）の制御により、フィルムが敷設された状態でエア吸着吹出機構１１ＡＲが複数の吸着溝１１ｇに対し負圧を与えることで、フィルムが真空吸着される。

なお、造形物が完成した後の搬送時には、コントローラＣの制御により、係る真空吸着は解除され、代わって、エア吸着吹出機構１１ＡＲから吸着溝１１ｇへとエアが供給される。これにより、造形物はフィルムともども造形テーブル１１からわずかに浮き上がるので、後述するフィルムグリッパ５２によりフィルムを把持してその上の造形物ごと搬送することが、容易となる。

補助テーブル１２は、フィルムの準備や完成した造形物の搬送に用いられる平面視矩形状のテーブルである。補助テーブル１２は、造形テーブル１１と略同一の平面サイズを有する。補助テーブル１２は、固定部（サポート）１２Ｆに載置支持され、かつ、図３に示すように、造形テーブル１１の初期位置１１ａと同じ高さｈ１に備わっている。補助テーブル１２は、固定部１２Ｆともども、矢印ＡＲ２にて示すようにｙ軸方向に進退自在とされてなる。具体的には、通常位置１２ａと、初期位置１１ａにある造形テーブル１１とｙ軸方向正側において面一に隣接する隣接位置１２ｂとの間で進退移動するようになっている。係る進退動作は、固定部１２Ｆに備わるｙ軸移動機構１２Ｍ（図２）により実現される。ｙ軸移動機構１２Ｍは、アクチュエータを備えている。

また、補助テーブル１２も、その上面に複数の吸着溝（溝部）１２ｇを備える。複数の吸着溝１２ｇは、造形に際して造形テーブル１１の上面に敷設されるフィルムを、係る敷設に先立っていったん固定する際に使用される。より具体的には、複数の吸着溝１２ｇは固定部１２Ｆを通じてエア吸着吹出機構１１ＡＲ（図２）と連通しており、フィルムが敷設された状態でエア吸着吹出機構１１ＡＲが複数の吸着溝１２ｇに対し負圧を与えることで、フィルムが真空吸着される。補助テーブル１２にいったん敷設されたフィルムは、後述する吸着パッドユニット５１によって造形テーブル１１へと搬送される。

さらに、補助テーブル１２は、通常位置１２ａにおいて固定部１２Ｆから着脱自在とされてなる。すなわち、ｙ軸移動機構１２Ｍやエア吸着吹出機構１１ＡＲから分離して運搬することが可能な可搬性を有してなる。本実施の形態に係る光造形装置１においては、係る補助テーブル１２の可搬性を利用して、完成後、補助テーブル１２に移載された造形物を、補助テーブル１２ごと搬送できるようになっている。

エア吸着吹出機構１１ＡＲは、例えば、図３に示すように、真空ポンプ（本開示の吸着手段の一例）ＰＰ１と圧縮空気ポンプ（本開示のエア供給手段の一例）ＰＰ２と切替弁ＶＬＶ１およびＶＬＶ２とを備える。切替弁ＶＬＶ１およびＶＬＶ２はそれぞれ、造形テーブル１１および補助テーブル１２において真空ポンプＰＰ１による吸着と圧縮空気ポンプＰＰ２によるエアの吹出しとを切り替える切替装置として動作する。コントローラＣは、真空ポンプＰＰ１、圧縮空気ポンプＰＰ２、および切替弁ＶＬＶ１、ＶＬＶ２を制御し、フィルムの真空吸着／エア浮上を切り替える。

複数の吸着溝１１ｇは互いに独立な複数のゾーンｚｎに分散して設けられ、切替弁ＶＬＶ１およびＶＬＶ２も、それぞれのゾーンｚｎごとに真空ポンプＰＰ１による吸着と圧縮空気ポンプＰＰ２によるエアの吹出しとを切り替えるようになっている。搬送時には造形物のサイズおよび位置に応じて適宜のゾーンｚｎの吸着溝１１ｇが選択的に使用される。なお、図１においては、矩形状の吸着溝１１ｇおよび１２ｇが２次元的に配置されているが、これはあくまで例示であって、ストライプ状など他の配置態様にて複数の吸着溝１１ｇおよび１２ｇが備わる態様であってもよい。

露光ユニット（露光手段の一例）２０は、光を照射する一つないし複数のプロジェクタ２１を備えた光源である。プロジェクタ２１は、レーザ、ＬＥＤなどの発光素子を備える。露光ユニット２０は、矢印ＡＲ３にて示すようにｙ軸方向に進退自在とされてなる。係る進退動作は、図１においては図示を省略する、左右１対に設けられたリニアモータ２０Ｍ（図２）により、実現される。

プロジェクタ２１は、造形テーブル１１上に形成されたスラリー塗布膜に対しパターン露光（投影）を行う要素である。プロジェクタ２１による露光は、例えばＤＭＤ投影方式にて行われる。すなわち、プロジェクタ２１をステップ状にあるいは連続的にｙ軸方向に移動させつつ投影（露光）パターン（データ）を流し込み、パターンの投影を行うようにする。そして一の方向への移動が完了したプロジェクタ２１は、ｘ軸方向に所定距離だけ移動させられ、再びｙ軸方向を反対向きへと移動しつつ露光を行う。すなわち、本実施の形態においては、所定幅の領域毎に、ストリップ状に露光が実行される。各層において、全ての造形対象エリアについて露光が完了するまで、これらの動作が繰り返される。

より詳細には、プロジェクタ２１はｙ軸方向に対しわずかに傾斜させて配置されており、係る傾斜姿勢のまま移動させられる。それゆえ、本実施の形態に係る光造形装置１において行う方式を特に、傾斜露光方式とも称する。

プロジェクタ２１は、造形テーブル１１の吐出・露光位置１１ｂから所定のプロジェクタ作動距離（Proj_WD）だけｚ軸上方に離隔した高さに下端が位置するように、配置されてなる。

なお、図１に示す光造形装置１には、４つのプロジェクタ２１（２１ａ～２１ｄ）がｘ軸方向に等間隔に備わっており、これらが同期して露光を行うようになっている。

プロジェクタ２１のｙ軸方向の移動は、露光ユニット２０全体が移動することによって実現される。一方、矢印ＡＲ４にて示すｘ軸方向の移動は、ｘ軸移動機構２１Ｍ（図２）により実現される。ｘ軸移動機構２１Ｍはアクチュエータを備えている。

リコートユニット３０は、リコータ（本開示の掃引手段の一例）３１と、スラリー吐出ポンプ（本開示の吐出手段の一例）４０と、スクリュー４２とが一体となったユニットである。リコートユニット３０は、矢印ＡＲ６にて示すようにｙ軸方向に進退自在とされてなる。係る進退動作は、図１においては図示を省略する、左右１対に設けられたリニアモータ３０Ｍ（図２）により、実現される。好ましくは、リニアモータ３０Ｍのガイドレールは、露光ユニット２０を移動させるためのリニアモータ２０Ｍと共用される。

リコータ３１は、造形テーブル１１上に吐出されたスラリーを掃引塗布するブレード状の部材である。リコータ３１は、その長手方向をｘ軸方向に延在させる態様にてリコートユニット３０に付設されており、ｘ軸方向のサイズは、造形テーブル１１のｘ軸方向のサイズと略同一となっている。リコータ３１は、造形テーブル１１と所定の距離を保ちつつリコートユニット３０の移動によりｙ軸方向に移動し、造形テーブル１１上に吐出されたスラリーをｙ軸方向に拡げてスラリー膜を形成する。

使用後のリコータ３１は、清掃ユニット（クリーナー）３２により清掃される。清掃ユニット３２は、リコータ３１の一方端側の下方位置に、矢印ＡＲ７にて示すように、使用高さ３２ａ、造形時待機高さ３２ｂ、待機高さ３２ｃの間を昇降するように配置されている。加えて、清掃ユニット３２は、使用高さ３２ａにおいて、矢印ＡＲ８にて示すようにｘ軸方向に移動自在とされてなる。清掃ユニット３２は、ヘラ、ブラシ等を備えたものであってもよいし、他の構成を有するものであってもよい。

リコータ３１の使用後、使用高さ３２ａに配置された清掃ユニット３２がリコータ３１と接触しつつｘ軸方向に移動することで、リコータ３１に付着（残存）しているスラリーが除去される。これにより、リコータ３１は清掃される。

その後、スラリーの塗布が繰り返される場合、清掃ユニット３２は造形時待機高さ３２ｂにて待機する。塗布が全て終了した後は、次回の使用時まで、待機高さ３２ｃにて待機する。

矢印ＡＲ７にて示す清掃ユニット３２のｚ軸方向の移動は、ｚ軸昇降機構３１Ｍ１（図２）により実現される。矢印ＡＲ８にて示す清掃ユニット３２のｘ軸方向の移動は、ｘ軸移動機構３１Ｍ２（図２）により実現される。ｘ軸移動機構３１Ｍ２はアクチュエータを備えている。

スラリー吐出ポンプ４０は、内部に造形用のスラリーを貯留し、造形に際して該スラリーを造形テーブル１１上に吐出する機能を有するポンプである。スラリー吐出ポンプ４０はリコートユニット３０の移動によりｙ軸方句を移動するほか、ｘ軸移動機構４０Ｍ（図２）により矢印ＡＲ９にて示すようにｘ軸方向に移動可能とされてなる。ｘ軸移動機構４０Ｍはアクチュエータを備えている。

スラリー吐出ポンプ４０には、スラリーの吐出動作を担うスクリュー４２が付設されてなる。スクリュー４２は、スクリュー駆動モータ４２Ｍにて回転させられる。スラリー吐出ポンプ４０の内部でスクリュー４２が回転することにより、スラリー吐出ポンプ４０の下端部からスラリーが吐出される。スクリュー４２の回転数に応じてスラリー吐出ポンプ４０からのスラリーの吐出量が変化する。なお、スラリー吐出ポンプ４０の下端と、造形テーブル１１の吐出・露光位置１１ｂとの距離である吐出高さｈ４は、スラリーの材質等を勘案して適宜に設定される。

さらに、光造形装置１は、フィルムの移動を担う構成要素として、本開示の吸着搬送手段の一例である吸着パッドユニット（吸着キャリア）５１と、本開示の把持搬送手段の一例であるフィルムグリッパ５２とを備える。

吸着パッドユニット５１は、補助テーブル１２上にセットされたフィルムを吸着し、造形テーブル１１上へ移設するためのフィルム吸着機構である。吸着パッドユニット５１は、コントローラＣの制御により、常時は露光ユニット２０の待機位置の下方に設定された待機位置５１ａ（図３）にて待機し、使用時には、図示しないピン嵌合にて露光ユニット２０の下部に合体させられる。そして、露光ユニット２０の移動に伴いｙ軸負方向に移動し、隣接位置１２ｂに移動してきた補助テーブル１２のｙ軸正方向端部の上方位置である吸着位置５１ｂにて、補助テーブル１２上のフィルムのｙ軸正方向端部を吸着させる。係る吸着状態を保ちつつ、露光ユニット２０がｙ軸正方向に移動することにより、吸着パッドユニット５１は終端位置５１ｃまで移動し、これによりフィルムは造形テーブル１１へと搬送される。

フィルムの吸着および解除は、矢印ＡＲ５にて示すように吸着パッドユニット５１が上下動することにより行われる。係る上下動は、エアシリンダ５１ＡＳにより実現される。なお、駆動のエアは、露光ユニット２０に儲けられた図示しないジョイント口から供給される。

フィルムグリッパ５２は、完成した造形物を造形テーブル１１から補助テーブル１２へと搬送する際に使用される、一対のフィルム把持機構である。フィルムグリッパ５２は、コントローラＣの制御により、常時は、補助テーブル１２のｘ軸方向両側端部であってリコートユニット３０の待機位置の下方に設定された待機位置５２ａ（図３）にて待機し、使用時には、図示しないピン嵌合にてリコートユニット３０の下部に合体させられる。そして、リコートユニット３０の移動に伴いｙ軸正方向に移動し、造形テーブル１１のｙ軸方向負側の両側端部に設定された把持位置５２ｂにおいて、造形物ともどもエア浮上された状態のフィルムの両端を把持する。係る把持状態を保ちつつ、リコートユニット３０がｙ軸負方向に移動することにより、フィルムおよびその上面に載置されてなる造形物が、補助テーブル１２へと搬送される。その際には、圧縮空気ポンプＰＰ２からのエアの供給を受ける吸着溝１１ｇおよび１２ｇが属するゾーンｚｎが、造形物の移動に応じて順次に切り替えられる。すなわち、移動する造形物をエア浮上させるのに必要な吸着溝１１ｇおよび１２ｇのみが、順次にかつ選択的に使用される。

造形物の搬送の際、フィルムの直下に位置しない吸着溝１１ｇおよび１２ｇまたは造形物の直下に位置しない吸着溝１１ｇおよび１２ｇからのエア供給は停止してもよい。これにより、上方にフィルムまたは造形物が存在しない負荷の少ない吸着溝１１ｇおよび１２ｇから多量のエアが吹き出されることを防ぎ、造形物を浮上させるために必要な造形物の直下に位置する吸着溝１１ｇおよび１２ｇから十分なエアの吹き出しを行うことができる。コントローラＣは、フィルムの搬送距離に応じてエアを供給するゾーンを決定してもよいし、センサによりフィルムおよび／または造形物の位置を検出し、検出結果に応じてエアを供給するゾーンを決定してもよい。

その他、光造形装置１は、ファンフィルタユニット（ＦＦＵ）１５などをさらに備える。ＦＦＵ１５は、光造形装置１内の清浄度を維持ための機構である。

以上のような構成を有する光造形装置１の各部の動作は全て、コントローラＣ（図２）により制御される。コントローラＣは、汎用のもしくは専用のコンピュータによって実現可能である。

好ましくは、コントローラＣは、造形対象の３次元形状データ（ＣＡＤデータ）をプロジェクタ２１による１層ごとのストリップ状の露光に使用可能な投影（露光）パターンデータに変換する造形データ処理部Ｃ１を備える。係る造形データ処理部Ｃ１にて生成されるスライスデータが順次に、プロジェクタ２１によるパターン露光に使用される。

なお、造形データ処理部Ｃ１がコントローラＣとは別体のコンピュータとして備わる態様であってもよい。

＜光造形装置の動作＞
図４ないし図６は、光造形装置１において造形物が造形される際の、光造形装置１の一連の動作を示すフローチャートである。図７ないし図２１は、光造形装置１における造形途中の様子を模式的に示す側面図である。

まず、各部・ユニットが初期位置（待機位置）へと移動させられる（ステップＳ１）。具体的には、造形テーブル１１、補助テーブル１２、露光ユニット２０、リコートユニット３０が初期位置に配置される。

続いて、図７に示すように、補助テーブル１２の上に、作業者がフィルムＦ（保護シート、あるいは単にシートとも称する）を手作業で載置（積載）する（ステップＳ２）。フィルムＦは、補助テーブル１２の全面を覆うように載置される。載置されたフィルムＦは、エア吸着吹出機構１１ＡＲが複数の吸着溝１２ｇに対し負圧を与えることで、フィルムＦは補助テーブル１２に真空吸着される。また、フィルムＦが載置された補助テーブル１２は、図８に示すように、通常位置１２ａから隣接位置１２ｂへと移動させられる。

フィルムＦがセットされると、吸着パッドユニット５１がピン嵌合にて露光ユニット２０に合体される（ステップＳ３）。その際、ジョイント接続により露光ユニット２０側からエアシリンダ５１ＡＳに対しエアが供給される。

続いて、露光ユニット２０がｙ軸負方向へと移動することにより吸着パッドユニット５１が吸着位置５１ｂへと移動する（ステップＳ４）。吸着パッドユニット５１はエアシリンダＡＳにて駆動されて下降し、図９に示すように、フィルムＦを吸着する（ステップＳ５）。係る吸着に伴い、補助テーブル１２に対するフィルムＦの真空吸着は解除される。

吸着パッドユニット５１がフィルムＦを吸着した状態のまま、露光ユニット２０がｙ軸正方向へと移動する（ステップＳ６）。これにより、図１０に示すように、フィルムＦが造形テーブル１１上に搬送される。吸着パッドユニット５１が終端位置５１ｃまで移動し、フィルムＦが造形テーブル１１の全体を覆った時点で露光ユニット２０は停止する。

係る停止と同時に、エア吸着吹出機構１１ＡＲが複数の吸着溝１１ｇに対し負圧を与えることで、フィルムＦは造形テーブル１１に真空吸着される（ステップＳ７）。一方、吸着パッドユニット５１による吸着は解除される（ステップＳ８）。

続いて、露光ユニット２０は待機位置へと移動させられ、ピン嵌合が解除されることにより吸着パッドユニット５１が露光ユニット２０から分離される（ステップＳ９）。併せて、図１１に示すように、隣接位置１２ｂにあった補助テーブル１２は通常位置１２ａへと移動させられる（ステップＳ１０）。なお、作業者がフィルムＦを直接に造形テーブル１１上に載置してもよい。

次に、造形データ処理部Ｃ１において造形対象の３次元形状データ（ＣＡＤデータ）からストリップデータが生成され（ステップＳ１１）、さらには該ストリップデータに基づいて投影（露光）パターンデータが生成される（ステップＳ１２）。ここで、ストリップデータとは、プロジェクタ２１がｙ軸方向への一度の移動で露光を行う領域に対応した、３次元形状データの部分データである。

生成された投影（露光）パターンデータはプロジェクタ２１へと転送される（ステップＳ１３）。転送が行われている間（ステップＳ１４でＮＯ）に、スラリーの塗布処理が平行して行われる。

具体的には、補助テーブル１２の通常位置１２ａへの移動（ステップＳ１０）に続いて、フィルムＦが吸着固定された造形テーブル１１が高さｈ２の吐出・露光位置１１ｂへと上昇させられる（ステップＳ１５）。

続いて、リコートユニット３０がｙ軸正方向へと移動することで、スラリー吐出ポンプ４０が所定のスラリー吐出位置へと移動させられる。スラリー吐出位置は、造形対象物のサイズや面積などに応じて適宜に設定されてよいが、通常は、図１２に示すように、造形テーブル１１のｙ軸方向奥側に設定される。係るスラリー吐出位置にて、下端の吐出口４４が開状態とされたスラリー吐出ポンプ４０がｘ軸方向に移動しつつ、スクリュー４２を必要な回転数にて回転させられることで、所定量のスラリーが造形テーブル１１上にライン状に吐出される（ステップＳ１６）。

なお、吐出開始点と吐出終了点の組は一組だけではなく、ｙ軸方向に適宜の間隔Δｐを開けて複数組設定されてもよい。そのようなスラリーの吐出態様を、マルチライン吐出と称する。必要な量のスラリーが全て吐出されるまで、吐出動作は行われる（ステップＳ１７）。なお、マルチライン吐出が行われる場合、リコータ３１の先端が吐出されたスラリーに触れないように、スラリー吐出ポンプ４０の下端とリコータ３１の下端との距離が好適に設定されている。

スラリーの吐出が完了すると（ステップＳ１７でＹＥＳ）、吐出口４４はシャッター等により閉状態とされ、次いで、リコートユニット３０はリコート開始位置へと移動する（ステップＳ１８）。リコートユニット３０の移動に続き、造形テーブル１１が、吐出・露光位置１１ｂからリコート位置１１ｃへと上昇させられる（ステップＳ１９）。その際、リコート位置１１ｃとリコータ３１の下端との距離は、形成しようとするスラリー膜ＳＬＦの厚みに応じた塗布高さｈ５とされる。なお、リコート開始位置は、通常、リコータ３１がスラリーの吐出範囲よりもさらにｙ軸方向正側に位置するように設定される。

造形テーブル１１がリコート位置１１ｃに到達すると、リコートユニット３０はｙ軸負方向へと移動する。これにより、図１３に示すように、造形テーブル１１上に吐出されていたスラリーがリコータ３１にて掃引されて、所定厚みのスラリー膜ＳＬＦが形成される（ステップＳ２０）。

リコータ３１がｙ軸方向において所定距離移動することにより、造形テーブル１１の所定範囲にスラリー膜ＳＬＦが形成されると、リコートユニット３０はｙ軸負方向にさらに移動して、待機位置（リコータ清掃位置）に戻る（ステップＳ２１、ステップＳ２２でＮＯ）。

リコートユニット３０が待機位置（リコータ清掃位置）に到達すると（ステップＳ２２でＹＥＳ）、それまで待機高さ３２ｃにて待機していた清掃ユニット３２が、図１４に示すように清掃位置（使用高さ３２ａ）まで上昇する（ステップＳ２３）。清掃ユニット３２はｘ軸方向を往復移動し、これによってリコータ３１に付着（残存）しているスラリーは掻き落とされる（ステップＳ２４）。すなわち、リコータ３１が清掃される。

清掃完了後、清掃ユニット３２はｘ軸方向初期位置へと待避し（ステップＳ２５）、さらには造形時待機高さ３２ｂに待避する（ステップＳ２６）。

一方、リコータ３１によるスラリー膜ＳＬＦの形成が完了し、リコートユニット３０が清掃位置へと移動した後（ステップＳ２２でＹＥＳ）には、リコータ３１の清掃と平行して、プロジェクタ２１によるパターン露光が進行する。

具体的にはまず、スラリー膜ＳＬＦが形成されてなる造形テーブル１１がリコート位置１１ｃから吐出・露光位置１１ｂまで移動させられる（ステップＳ２８）。続いて、露光ユニット２０が露光開始位置に配置される（ステップＳ２９）。より詳細には、露光ユニット２０はｙ軸負方向を移動させられ、プロジェクタ２１のｘ軸方向における位置が調整される。

プロジェクタ２１が所定の露光開始位置に配置されると、あらかじめ転送済みの露光パターンデータに基づき、露光ユニット２０のｙ軸方向における連続往復移動と、プロジェクタ２１のｘ軸方向におけるステップ移動との組み合わせによって、図１５に示すように、スラリー膜ＳＬＦが、プロジェクタ２１から照射される露光用光ＥＬにて、ストリップ単位に露光される（ステップＳ３０）。

より詳細には、露光ユニット２０のｙ軸方向への一度の移動により１つのストリップについて露光が完了した地点で、露光（描画）対象たるストリップがまだ残っている場合（ステップＳ３１でＮＯ）、次のストリップを対象としたストリップデータの作成（ステップＳ１１）、露光パターンデータの生成（ステップＳ１２）、および露光パターンデータの転送（ステップＳ１３、ステップＳ１４）が行われる。その上で、プロジェクタ２１がｘ軸方向にステップ移動し、露光ユニット２０がｙ軸方向を直近の描画時とは反対向きに移動することによって、新たに生成された露光パターンデータに基づく露光が行われる。

全ストリップについて描画が完了すると（ステップＳ３１でＹＥＳ）、露光ユニット２０は待機位置へと待避する（ステップＳ３２）。その際には、プロジェクタ２１も初期位置に移動する。なお、通常は、全ストリップについて描画が完了するまでの時点で、リコータ３１の清掃（ステップＳ２４）は完了しており、清掃ユニット３２は造形時待機高さ３２ｂへと移動している（ステップＳ２７でＹＥＳ）。

以降、さらに別の層（スラリー膜ＳＬＦ）について描画の必要がある場合（ステップＳ３３でＮＯ）、ステップＳ１１以降の処理が繰り返される。つまりは、スラリー膜ＳＬＦの形成とパターン露光とが繰り返される。なお、係る場合においてスラリー膜ＳＬＦが形成されるのは、直近に露光が行われたスラリー膜ＳＬＦの上である。図１６は、全ての層の露光が完了することで、未露光部分に埋もれた形で造形物（スラリー膜ＳＬＦの積層体ＬＢ）が完成した状態を示している。

造形物が完成すると（ステップＳ３３でＹＥＳ）、未露光部分を除去して造形物を取り出すために、図１７に示すように、造形テーブル１１が初期位置１１ａまで下降させられる（ステップＳ３４）。また、併せて、それまで造形時待機高さ３２ｂに位置していた清掃ユニット３２が待機高さ３２ｃまで下降する（ステップＳ３５）。

さらに、待機位置５２ａに位置しているフィルムグリッパ５２がピン嵌合にてリコートユニット３０に合体される（ステップＳ３６）。続いて、リコートユニット３０がｙ軸正方向へと移動し、フィルムグリッパ５２を造形テーブル１１のｙ軸方向負側の両側端部の把持位置５２ｂに配置させる（ステップＳ３７）。フィルムグリッパ５２は、係る位置にて、造形テーブル１１において造形物の下に敷かれているフィルムＦの端部を把持する（ステップＳ３８）。

一方、係る把持と並行して、通常位置１２ａにて待機していた補助テーブル１２が隣接位置１２ｂにまで移動させられる（ステップＳ３９）。これにより、造形物およびフィルムＦが載置されてなる造形テーブル１１と補助テーブル１２とが面一となる。この状態で、エア吸着吹出機構１１ＡＲが負圧を与えることによるフィルムＦの造形テーブル１１に対する真空吸着は解除され、代わって、エア吸着吹出機構１１ＡＲは、造形物を浮上させるために必要なゾーンの吸着溝１１ｇさらには吸着溝１２ｇに対し順次にかつ選択的にエアを供給する（ステップＳ４０）。

図１８は、係るエア供給が行われている様子を示している。エア吸着吹出機構１１ＡＲはまず、コントローラＣの制御により、造形物の位置に対応するゾーンの吸着溝１１ｇに対しエアを供給する。エア供給が開始されると、それまで造形テーブル１１に接していたフィルムＦの裏面がエアにより上向きの力を受け、フィルムＦの全部または一部が造形物ともどもわずかに浮き上がる。これにより、フィルムＦの全部または一部および造形物は、造形テーブル１１と非接触の状態となるので、水平方向に力を加えての搬送が容易となる。なお、図１８の例では、まだ造形物が到達していない補助テーブル１２の吸着溝１２ｇからのエアの吹き出しは停止されている。

係る非接触状態が実現されたタイミングで、リコートユニット３０が移動することによってフィルムグリッパ５２がｙ軸負方向を待機位置５２ａに向けて移動する。フィルムグリッパ５２はエアによって浮き上がっているフィルムＦを把持しているので、フィルムグリッパ５２の移動に伴い、フィルムＦおよびその上の造形物が、造形テーブル１１の上から補助テーブル１２の上へと移動する（ステップＳ４１）。

図１９および図２０は、係る移動の様子を示している。図１９に示すように、フィルムＦ上に載置された造形物を搬送する際、コントローラＣは、エア吸着吹出機構１１ＡＲに、造形物の位置に対応するゾーンの吸着溝１１ｇおよび１２ｇからエアを供給させ、当該ゾーンから外れた吸着溝１１ｇおよび１２ｇからのエアの供給を停止させる。これにより、図２０に示すように、造形物をフィルムＦの一部または全部とともに造形テーブル１１および補助テーブル１２から浮上させた状態で搬送が行われる。

フィルムＦおよび造形物の補助テーブル１２への移動が完了すると、フィルムグリッパ５２によるフィルムＦの把持が解除される（ステップＳ４２）。続いて、フィルムグリッパ５２が合体してなるリコートユニット３０はｙ軸方向を移動させられて待機位置へと戻され（ステップＳ４３）、フィルムグリッパ５２のリコートユニット３０に対する合体が解除される（ステップＳ４４）。

さらに、造形物がフィルムＦともども載置された補助テーブル１２は、隣接位置１２ｂから通常位置１２ａへと戻される。補助テーブル１２は、係る通常位置１２ａにおいて固定部１２Ｆから着脱自在となっており、作業者は、図２１に示すように、補助テーブル１２を固定部から取り外し、造形物を前記補助テーブル１２ごとあらかじめ用意した搬送台ＣＶに移載し、光造形装置１の外部へと搬送する（ステップＳ４５）。これにより、造形物に直接に触れることなく搬送が行えるので、破損等のおそれが低減され、安定的な搬送が可能となる。

以上が、本実施の形態に係る光造形装置１において実現される、造形物の作成とその後の取り出しとの手順である。本実施の形態に係る光造形装置１は特に、大型の造形物を作成する場合であっても、その取り出しが容易かつ確実に行えるようになっている点で特徴的である。

具体的には、造形を行うための造形テーブル１１の表面に設けた、真空吸着用の複数の吸着溝に対し、エアを供給可能としてなる。また、造形テーブル１１とは別に、造形物の取り出し口として補助テーブル１２を設け、係る補助テーブル１２においても、造形テーブル１１と同様にエアを供給可能としてなる。これにより、大型化、大面積化した造形物であっても、エアにて浮上させ、造形テーブル１１および補助テーブル１２と非接触とすることができるので、その下に敷いたフィルムを把持しての造形物の水平搬送（移載）が容易となる。

加えて、補助テーブル１２は、固定部１２Ｆから着脱自在に設けられてなる。換言すれば、補助テーブル１２は、それ自体に可搬性を有する。それゆえ、造形テーブル１１から移載された造形物を、補助テーブル１２ごと外部へと搬送することができる。これにより、造形物に接触することなく搬送が行えるので、破損等のおそれが低減された安定的な搬送が可能となる。

＜他の実施の形態＞
上述した実施の形態では、光硬化性樹脂にセラミック粉体を混錬したスラリーを用いた。これに代えて、セラミック粉体を含まない光硬化性樹脂のみのスラリーを用いてもよいし、セラミック粉体に代えて金属粉体などの他の材料を含むスラリーを用いてもよい。

上述した実施の形態では、造形テーブル１１および補助テーブル１２の複数のエア供給口として複数の吸着溝１１ｇ、１２ｇを用いた。これに代えて、複数の吸着溝１１ｇ、１２ｇとは別に造形テーブル１１および／または補助テーブル１２に設けられた溝部または複数の孔を複数のエア供給口として用いてもよい。この場合、複数のエア供給口にエア吸着吹出機構１１ＡＲの圧縮空気ポンプが接続される。また、造形テーブル１１および／または補助テーブル１２において、真空吸着（およびエア供給）のための複数の吸着溝１１ｇ、１２ｇに代えて複数の吸着孔を用いてもよい。また、補助テーブル１２に別途複数のエア供給口があれば、複数の吸着溝１１ｇは無くてもよい。

上述した実施の形態では、フィルムを造形テーブル１１に吸着固定した。これに代えて、フィルムの両端をグリッパで把持して下方に引っ張ることにより造形テーブル１１に固定してもよい。

上述した実施の形態では、搬送手段として、吸着パッドユニット５１およびフィルムグリッパ５２を含む搬送装置（キャリア）を用いた。これに代えて、他の構成の保持装置（ホルダー）を備えた搬送装置を用いてもよい。また、搬送装置がフィルム搬送用のアクチュエータを備えていてもよい。また、上述した実施の形態において、補助テーブル１２に載置されたフィルムをグリッパで把持した状態で造形テーブル１１に搬送してもよい。また、造形テーブル１１に載置されたフィルムを吸着パッドで吸着した状態で補助テーブル１２に搬送してもよい。

上述した実施の形態では、露光手段として、プロジェクタ２１を備えた光源である露光ユニット２０を用いた。これに代えて、ガルバノミラーを用いたレーザスキャニング、液晶シャッター等の他の光源を用いてもよい。

１ 光造形装置
１１ 造形テーブル
１１ｇ、１２ｇ 吸着溝
１２ 補助テーブル
１２Ｆ （補助テーブルの）固定部
２０ 露光ユニット
２１ プロジェクタ
３０ リコートユニット
３１ リコータ
３２ 清掃ユニット
４０ スラリー吐出ポンプ
４２ スクリュー
４２Ｍ スクリュー駆動モータ
５１ 吸着パッドユニット
５２ フィルムグリッパ
Ｆ フィルム
ＬＢ 積層体
ＳＬＦ スラリー膜

Claims (11)

1. ３次元造形物を得るための光造形装置であって、
   上面に複数のエア供給口を有する造形テーブルと、
   上面に複数のエア供給口を有する補助テーブルと、
   前記造形テーブルに載置されたフィルムの上にスラリーを吐出可能な吐出手段と、
   前記フィルムの上に吐出された前記スラリーを掃引し、所定の厚みのスラリー膜を形成する掃引手段と、
   ３次元形状データに基づいてあらかじめ作成された露光パターンに従って前記スラリー膜を露光する露光手段と、
   前記造形テーブルに載置された前記フィルムを前記造形テーブルから前記補助テーブルへと搬送可能な搬送手段と、
   前記造形テーブルおよび前記補助テーブルの前記複数のエア供給口を介してエアを供給可能なエア供給手段と、
   少なくとも前記搬送手段および前記エア供給手段を制御する制御手段と、
   を備え、
   前記制御手段が、
   前記搬送手段に、それぞれが露光済みの前記スラリー膜である複数のスラリー膜の積層体である造形物が前記フィルム上に載置されている状態で、前記フィルムを前記造形テーブルから前記補助テーブルへと搬送させ、
   前記複数のエア供給口のうち前記エア供給手段からの前記エアの供給に使用されるエア供給口を、前記搬送手段による造形物の移動状態に応じて順次に切り替えさせることにより、
   前記造形物を、前記フィルムの一部または全部とともに前記造形テーブルおよび前記補助テーブルから浮上させた状態で前記造形テーブルから前記補助テーブルへと搬送する、
   ことを特徴とする、光造形装置。
2. 請求項１に記載の光造形装置であって、
   前記補助テーブルを着脱自在に支持する固定部を更に備え、
   前記補助テーブルは、前記造形物および前記フィルムが載置された状態で前記固定部から取り外して搬送可能とされてなる、
   ことを特徴とする光造形装置。
3. 請求項１または請求項２に記載の光造形装置であって、
   前記造形テーブルに前記フィルムを吸着固定可能な吸着手段を更に備え、
   前記制御手段は、前記吸着手段を制御して、前記吸着手段に、少なくとも前記スラリーの掃引の間、前記フィルムを前記造形テーブルに吸着固定させる、
   ことを特徴とする光造形装置。
4. 請求項３に記載の光造形装置であって、
   前記吸着手段は、前記造形テーブルの前記複数のエア供給口に接続され、当該複数のエア供給口に負圧を与えることによって前記フィルムを吸着固定可能なことを特徴とする、光造形装置。
5. 請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の光造形装置であって、
   前記制御手段は、前記搬送手段が前記フィルム上に載置された前記造形物を搬送する際、前記エア供給手段に、前記造形物の位置に対応するゾーンのエア供給口から前記エアを供給させ、前記ゾーンから外れたエア供給口からの前記エアの供給を停止させる、
   ことを特徴とする光造形装置。
6. 請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の光造形装置であって、
   前記搬送手段は、前記補助テーブルに載置されたフィルムを吸着して前記造形テーブルに搬送可能な吸着搬送手段を含み、
   前記吸着搬送手段が前記露光手段に対しピン嵌合にて合体可能とされてなり、前記吸着搬送手段が前記露光手段に合体した状態で前記露光手段を移動させることにより、前記吸着搬送手段が移動する、
   ことを特徴とする、光造形装置。
7. 請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の光造形装置であって、
   前記搬送手段は、前記フィルムを把持して搬送する把持搬送手段を含み、
   前記把持搬送手段が前記掃引手段に対しピン嵌合にて合体可能とされてなり、前記把持搬送手段が前記掃引手段に合体した状態で前記掃引手段を移動させることにより、前記把持搬送手段が移動する、
   ことを特徴とする、光造形装置。
8. 請求項１ないし請求項７のいずれかに記載の光造形装置であって、
   前記露光手段が、ＤＭＤ露光を行う、
   ことを特徴とする、光造形装置。
9. ３次元造形物の製造方法であって、
   上面に複数のエア供給口を有する造形テーブルに載置されたフィルムの上にスラリーを吐出する吐出工程と、
   前記フィルムの上に吐出された前記スラリーを掃引し、所定の厚みのスラリー膜を形成する掃引工程と、
   ３次元形状データに基づいてあらかじめ作成された露光パターンに従って前記スラリー膜を露光する露光工程と、
   それぞれが露光済みの前記スラリー膜である複数のスラリー膜の積層体である造形物が載置されている前記フィルムを前記造形テーブルから上面に複数のエア供給口を有する補助テーブルへと搬送することにより、前記造形物を搬送する搬送工程と、
   を備え、
   前記搬送工程においては、前記造形テーブルおよび前記補助テーブルの複数のエア供給口のうち前記フィルムの裏面に対し前記エアを供給するエア供給口を、前記造形物の移動状態に応じて順次に切り替えることにより、前記造形物を、前記フィルムの一部または全部とともに前記造形テーブルおよび前記補助テーブルから浮上させた状態で前記造形テーブルから前記補助テーブルへと搬送する、
   ことを特徴とする、３次元造形物の製造方法。
10. 請求項９に記載の３次元造形物の製造方法であって、
    少なくとも前記掃引工程の間、前記フィルムを前記造形テーブルに吸着固定させる、
    ことを特徴とする３次元造形物の製造方法。
11. ３次元造形物を得るための光造形装置であって、
    上面に複数のエア供給口を有する造形テーブルと、
    上面に複数のエア供給口を有する補助テーブルと、
    前記造形テーブルに載置されたフィルムの上にスラリーを吐出可能な吐出手段と、
    前記フィルムの上に吐出された前記スラリーを掃引し、所定の厚みのスラリー膜を形成する掃引手段と、
    ３次元形状データに基づいてあらかじめ作成された露光パターンに従って前記スラリー膜を露光する露光手段と、
    前記造形テーブルに載置された前記フィルムを前記造形テーブルから前記補助テーブルへと搬送可能な搬送手段と、
    前記造形テーブルおよび前記補助テーブルの前記複数のエア供給口を介してエアを供給可能なエア供給手段と、
    少なくとも前記搬送手段および前記エア供給手段を制御する制御手段と、
    を備え、
    前記搬送手段は、前記補助テーブルに載置されたフィルムを吸着して前記造形テーブルに搬送可能な吸着搬送手段を含み、
    前記制御手段が、
    前記搬送手段に、それぞれが露光済みの前記スラリー膜である複数のスラリー膜の積層体である造形物が前記フィルム上に載置されている状態で、前記フィルムを前記造形テーブルから前記補助テーブルへと搬送させ、
    前記エア供給手段に、前記造形テーブルおよび前記補助テーブルの前記複数のエア供給口を介した前記エアの供給を、前記搬送手段による搬送状態に応じて選択的に行わせることにより、
    前記造形物を、前記フィルムの一部または全部とともに前記造形テーブルおよび前記補助テーブルから浮上させた状態で前記造形テーブルから前記補助テーブルへと搬送する、
    ことを特徴とする、光造形装置。

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