JP7022340B2 - カメラのキャリブレーション方法、キャリブレーション装置及びキャリブレーション用ターゲット - Google Patents
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Description
図1に示すように、第一実施形態に係るボンディング装置1は、電子部品である半導体チップ(ダイ)2を基板3に位置合わせしてボンディング(接合)するダイボンディング装置である。なお、図1において、XYZは直交座標系であり、X方向及びY方向は水平方向であり、Z方向は鉛直方向である。
図4に示すように、第二実施形態に係るキャリブレーション装置及びキャリブレーション方法が、第一実施形態と相違するところは、ターゲット10の構成である。以下では、相違点のみを説明し、共通点については説明を省略する。
図5に示すように、第三実施形態に係るキャリブレーション装置及びキャリブレーション方法が、第一~第二実施形態と相違するところは、ターゲット10の構成である。以下では、相違点のみを説明し、共通点については説明を省略する。
図6に示すように、第四実施形態に係るキャリブレーション装置及びキャリブレーション方法が、第一~第三実施形態と相違するところは、ターゲット10の構成である。以下では、相違点のみを説明し、共通点については説明を省略する。
2 半導体チップ
3 基板
4 ボンディングヘッド
5 半導体チップ供給部
6 ボンディングステージ部
7 ボトムカメラ
8 トップカメラ
9 移動装置
10 ターゲット
11 制御部
12 結晶化ガラス板
13 マーク
Claims (7)
- カメラのキャリブレーション用ターゲットであって、
前記カメラの位置ずれ量を測定するためのマークが形成された結晶化ガラスを備え、
前記結晶化ガラスは、ガラス組成として、質量%で、SiO 2 55~75%、Al 2 O 3 20.5~27%、Li 2 O 2超~8%、TiO 2 1.5~3%、SnO 2 0.1~0.5%、TiO 2 +ZrO 2 3.8~5%、Li 2 O+0.741MgO+0.367ZnO 3.7~4.5%、SrO+1.847CaO 0.5%以下を含有し、30℃における長さをL、各温度における長さ(L t )と、30℃における長さ(L)との差をΔLとしたときに、-40℃~300℃における最大値ΔL max と最小値ΔL min との差をLで割った値(ΔL max -ΔL min )/Lが8×10 -6 以下であることを特徴とするカメラのキャリブレーション用ターゲット。 - 前記マークが、前記結晶化ガラスの表面に形成されたガラス面からなる凹部及び凸部の少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項1に記載のカメラのキャリブレーション用ターゲット。
- 前記マークが、前記結晶化ガラスの表面に形成されたガラス面からなる凹部を含み、前記凹部の内部に金属が埋設されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のカメラのキャリブレーション用ターゲット。
- 前記結晶化ガラスが、第一面と、前記第一面と反対側の第二面とを有し、前記第一面及び前記第二面のそれぞれに前記マークが形成されていることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載のカメラのキャリブレーション用ターゲット。
- 前記結晶化ガラスが、前記マークを表裏面のそれぞれに有する単一のガラス板であることを特徴とする請求項4に記載のカメラのキャリブレーション用ターゲット。
- 対象物を認識するためのカメラで、マークを有するターゲットを撮像する工程と、前記カメラで撮像された前記マークの位置に基づいて前記カメラの位置ずれ量を測定する工程とを備えたカメラのキャリブレーション方法であって、
前記ターゲットが、前記マークが形成された結晶化ガラスを備え、
前記結晶化ガラスは、ガラス組成として、質量%で、SiO 2 55~75%、Al 2 O 3 20.5~27%、Li 2 O 2超~8%、TiO 2 1.5~3%、SnO 2 0.1~0.5%、TiO 2 +ZrO 2 3.8~5%、Li 2 O+0.741MgO+0.367ZnO 3.7~4.5%、SrO+1.847CaO 0.5%以下を含有し、30℃における長さをL、各温度における長さ(L t )と、30℃における長さ(L)との差をΔLとしたときに、-40℃~300℃における最大値ΔL max と最小値ΔL min との差をLで割った値(ΔL max -ΔL min )/Lが8×10 -6 以下であることを特徴とするカメラのキャリブレーション方法。 - 対象物を認識するためのカメラで撮像可能な位置に配置されたマークを有するターゲットと、前記カメラで撮像された前記マークの位置に基づいて前記カメラの位置ずれ量を測定する制御部とを備えたカメラのキャリブレーション装置であって、
前記ターゲットが、前記マークが形成された結晶化ガラスを備え、
前記結晶化ガラスは、ガラス組成として、質量%で、SiO 2 55~75%、Al 2 O 3 20.5~27%、Li 2 O 2超~8%、TiO 2 1.5~3%、SnO 2 0.1~0.5%、TiO 2 +ZrO 2 3.8~5%、Li 2 O+0.741MgO+0.367ZnO 3.7~4.5%、SrO+1.847CaO 0.5%以下を含有し、30℃における長さをL、各温度における長さ(L t )と、30℃における長さ(L)との差をΔLとしたときに、-40℃~300℃における最大値ΔL max と最小値ΔL min との差をLで割った値(ΔL max -ΔL min )/Lが8×10 -6 以下であることを特徴とするカメラのキャリブレーション装置。
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