JP7022202B2 - 後方散乱粒子による埋め込みフィーチャの検出 - Google Patents
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Description
[0001] 本出願は、2017年9月26日に出願された米国出願番号第62/563,601号の優先権を主張する。これは援用により全体が本願に含まれる。
ステージと、
ステージ上に支持されたサンプルに荷電粒子のビームを誘導するよう構成された光学系と、
サンプルからのビーム内の荷電粒子の後方散乱粒子を検出するよう構成された信号検出器と、
を備え、信号検出器は角度分解能を有する、装置。
像に基づいて埋め込みフィーチャの存在又は位置を決定することと、
を含む方法。
Claims (16)
- 荷電粒子の放射源と、
ステージと、
前記ステージ上に支持されたサンプルに前記荷電粒子のビームを誘導するよう構成された光学系と、
前記荷電粒子のビームを誘導された前記サンプルの領域により後方散乱された前記ビーム内の前記荷電粒子である後方散乱粒子を検出するよう構成された信号検出器と、
前記信号検出器によって収集された、前記荷電粒子のビーム軸に対する複数の角度の後方散乱粒子の角度依存性に基づいて、前記サンプルの表面下のフィーチャを検出するよう構成されているプロセッサと、
を備える装置。 - 前記信号検出器は前記荷電粒子のビーム軸を中心として位置決めされている、請求項1に記載の装置。
- 前記信号検出器は後方散乱電子を検出するよう構成されている、請求項1に記載の装置。
- 前記信号検出器は第1の検出器コンポーネント及び第2の検出器コンポーネントを備え、前記第1の検出器コンポーネント及び前記第2の検出器コンポーネントは前記ビームの軸から異なる角度の後方散乱粒子を検出するよう構成されている、請求項1に記載の装置。
- 前記第1の検出器コンポーネント及び前記第2の検出器コンポーネントは環状であり、同軸上に位置決めされている、請求項4に記載の装置。
- 前記信号検出器は、前記ビームを前記サンプルに到達可能とするアパーチャを有する、請求項1に記載の装置。
- 荷電粒子のビームを誘導されたサンプルの領域により後方散乱された前記ビーム内の荷電粒子である後方散乱粒子の像を取得することであって、前記像は前記荷電粒子のビームの軸に対して異なる角度の後方散乱粒子によって形成される、ことと、
前記ビームの軸に対する複数の角度の前記後方散乱粒子の角度依存性に基づいて、埋め込みフィーチャの存在又は位置を決定することと、
を含む方法。 - 前記サンプル上の構造の設計から前記領域を識別することを更に含む、請求項7に記載の方法。
- 前記埋め込みフィーチャは埋め込みボイドである、請求項7に記載の方法。
- 前記埋め込みボイドは、前記サンプルの表面下の異なる深さにある2つの電気コンポーネントを接続するビア内に埋め込まれている、請求項9に記載の方法。
- 前記埋め込みフィーチャの存在又は位置を決定することは前記像を基準像と比較することを含む、請求項7に記載の方法。
- 前記基準像は、前記領域から、前記領域を含む同一のダイから、前記サンプルの別の領域から、又は異なるサンプルから取得される、請求項11に記載の方法。
- 前記基準像は前記ビームからの異なる角度の後方散乱粒子によって形成され、又は、前記基準像は、前記領域内の構造の設計から、もしくは前記構造が形成されるプロセス条件からシミュレーションされる、請求項11に記載の方法。
- 前記埋め込みフィーチャの存在又は位置を決定することは、前記埋め込みフィーチャの存在又は位置を出力する機械学習モデルに前記像を入力することを含み、又は、前記埋め込みフィーチャの存在又は位置を決定することは、前記像を処理することを含み、前記処理の結果に基づく、請求項7に記載の方法。
- 命令が記録されている非一時的コンピュータ可読媒体を含むコンピュータプログラム製品であって、前記命令はコンピュータによって実行された場合に請求項7に記載の方法を実施する、コンピュータプログラム命令。
- 前記プロセッサは、
前記信号検出器によって検出された後方散乱粒子に基づいて、前記サンプルの領域からの後方散乱粒子の像を取得し、
取得した後方散乱粒子の像を、基準像と比較する
ようにさらに構成されている、請求項1に記載の装置。
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