JP7018235B1 - 微分変換型スペクトル光電検知器及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
微分変換型広域スペクトル光電検知器は、上から下に順次配置された基板、半導体薄膜及び電極を含み、電極は半導体薄膜の上表面の両端に配置されている。
S1、高周波マグネトロンスパッタリング法を用いて基板の上に半導体薄膜をめっきする工程と、
S2、半導体薄膜表面の両端に電極として金属を堆積する工程とを含む。
図1を参照して、微分変換型広域スペクトル光電検知器は、上から下に順次配置された基板1、半導体薄膜2及び電極3を含み、電極3は半導体薄膜2の上表面の両端に配置されている。
p-Si/CuOヘテロ接合微分変換型広域スペクトル光電検知器の電流-電圧曲線は図3aに示すとおりである。
実施例2は、半導体薄膜2が酸化亜鉛(ZnO)薄膜であるという点で、実施例1とは異なる
Si/ZnOヘテロ接合微分変換型広域スペクトル光電検知器の電流-電圧曲線は図3bに示すとおりである。
実施例3は、半導体薄膜2が酸化スズ(SnO)薄膜であるという点で、実施例1とは異なる
Si/SnOヘテロ接合微分変換型広域スペクトル光電検知器の電流-電圧曲線は図3cに示すとおりである。
実施例4は、半導体薄膜2が酸化チタン(TiO)薄膜であるという点で、実施例1とは異なる
Si/TiOx,x=0.5~2ヘテロ接合微分変換型広域スペクトル光電検知器の電流-電圧曲線は図3dに示すとおりである。
Claims (9)
- 上から下に順次配置された基板、半導体薄膜及び電極を含み、電極は半導体薄膜の下表面の両端に配置されている、
基板はシリコンであり、半導体薄膜は酸化チタン薄膜、酸化銅薄膜、酸化亜鉛薄膜、酸化スズ薄膜の一種であり、電極は金薄膜である、ことを特徴とする微分変換型スペクトル光電検知器。 - 請求項1に記載の微分変換型スペクトル光電検知器に基づくスペクトル光電検知システムであって、光スペクトル光電検知素子、変調光源、信号発生器及びソースメータを含み、
ソースメータの両端はそれぞれ光スペクトル光電検知素子両端の電極に接続されており、変調光源は光スペクトル光電検知素子の半導体薄膜に正対しており、信号発生器は変調光源に接続されている、ことを特徴とするスペクトル光電検知システム。 - 変調光源はLED、レーザダイオード及びキセノン灯のうちの一種である、ことを特徴とする請求項2に記載のスペクトル光電検知システム。
- 請求項1に記載の微分変換型スペクトル光電検知器の製造方法は、
S1、高周波マグネトロンスパッタリング法を用いて基板の上に半導体薄膜をめっきする工程と、
S2、半導体薄膜表面の両端に電極として金属を堆積する工程とを含む、ことを特徴とする製造方法。 - ステップS1は、基板を洗浄し、基板表面の有機汚染物を除去する工程と、
基板をマグネトロンスパッタリング装置の真空キャビティに入れる工程と、
金属をターゲット材料とし、アルゴンガスでターゲット面を予備清掃する工程と、
中間周波数マグネトロンスパッタリング方法を用いて、基板に半導体薄膜を堆積成長する工程とを含む、ことを特徴とする請求項4に記載の製造方法。 - 半導体薄膜が酸化銅薄膜であり、抵抗値が0.001~0.1Ω・cmであるp型Siを成長基板とする場合、ステップS1は、
基板をそれぞれエタノール、アセント溶媒に入れ、超音波で3~10分間洗浄し、基板表面の有機汚染物を除去する工程と、
洗浄した基板をプラズマ洗浄機に入れて洗浄する工程と、
基板をマグネトロンスパッタリング装置の真空キャビティに入れ、バックグラウンド真空が10-3~10-6Paとする工程と、
金属銅をターゲット材料とし、まず、アルゴンガスでターゲット面を予備清掃してから、酸素に切り替え、圧力強度が0.1~5Paとする工程と、
中間周波数マグネトロンスパッタリング方法を用いて、基板に酸化銅薄膜を堆積成長する工程とを含み、
堆積温度は30~150℃であり、スパッタリング出力は30~150Wであり、薄膜厚さは10~200nmである、ことを特徴とする請求項5に記載の製造方法。 - 半導体薄膜が酸化亜鉛薄膜であり、真性Siを成長基板とする場合、ステップS1は、
基板をそれぞれエタノール、アセント溶媒に入れ、超音波で3~10分間洗浄し、基板表面の有機汚染物を除去する工程と、
洗浄した基板をプラズマ洗浄機に入れて洗浄する工程と、
基板をマグネトロンスパッタリング装置の真空キャビティに入れ、バックグラウンド真空が10-3~10-6Paとする工程と、
金属亜鉛をターゲット材料とし、まず、アルゴンガスでターゲット面を予備清掃してから、酸素に切り替え、圧力強度が0.1~5Paとする工程と、
中間周波数マグネトロンスパッタリング方法を用いて、基板にZnO2薄膜を堆積成長する工程とを含み、
堆積温度は30~150℃であり、スパッタリング出力は30~150Wであり、薄膜厚さは10~500nmである、ことを特徴とする請求項5に記載の製造方法。 - 半導体薄膜が酸化スズ薄膜であり、真性Siを成長基板とする場合、ステップS1は、
基板をそれぞれエタノール、アセント溶媒に入れ、超音波で3~10分間洗浄し、基板表面の有機汚染物を除去する工程と、
洗浄した基板をプラズマ洗浄機に入れて洗浄する工程と、
基板をマグネトロンスパッタリング装置の真空キャビティに入れ、バックグラウンド真空が10-3~10-6Paとする工程と、
金属スズをターゲット材料とし、まず、アルゴンガスでターゲット面を予備清掃してから、酸素に切り替え、圧力強度が0.1~5Paとする工程と、
中間周波数マグネトロンスパッタリング方法を用いて、基板に酸化スズ薄膜を堆積成長する工程とを含み、
堆積温度は30~150℃であり、スパッタリング出力は30~120Wであり、薄膜厚さは10~200nmである、ことを特徴とする請求項5に記載の製造方法。 - 半導体薄膜が酸化チタン薄膜であり、真性Siを成長基板とする場合、ステップS1は、
基板をそれぞれエタノール、アセント溶媒に入れ、超音波で3~10分間洗浄し、基板表面の有機汚染物を除去する工程と、
洗浄した基板をプラズマ洗浄機に入れて洗浄する工程と、
基板をマグネトロンスパッタリング装置の真空キャビティに入れ、バックグラウンド真空が10-3~10-6Paとする工程と、
金属チタンをターゲット材料とし、まず、アルゴンガスでターゲット面を予備清掃してから、酸素を注入し、酸素とアルゴンガスとの比例を1:5~1:30に調整し、圧力強度が0.1~5Paとする工程と、
中間周波数マグネトロンスパッタリング方法を用いて、基板に酸化チタン薄膜を堆積成長する工程とを含み、
堆積温度は30~150℃であり、スパッタリング出力は30~150Wであり、薄膜厚さは10~100nmである、ことを特徴とする請求項5に記載の製造方法。
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