JP7015362B2 - 弾性波モジュール - Google Patents

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Description

本発明は、弾性表面波（ＳＡＷ：Surface Acoustic Wave）等の弾性波を利用する弾性波モジュールに関する。
圧電基板と、圧電基板の主面上に設けられたＩＤＴ（InterDigital Transducer）電極とを有する弾性波素子が知られている（例えば特開２００７－０７４６９８号公報）。ＩＤＴ電極は、１対の櫛歯電極を有している。各櫛歯電極は、互いに並列に延びる複数の電極指を有している。１対の櫛歯電極は、互いの電極指が弾性波の伝搬方向に交互に配列されるように設けられている。すなわち、１対の櫛歯電極は互いに噛み合うように設けられている。
このような弾性波素子においては、圧電特性の非線形性によって歪信号が生じる。特開２００７－０７４６９８号公報は、弾性波素子の静電容量を変えずに分割する構成が開示されている。このような構成とすることにより、弾性波素子に印加される電圧を分割することで歪波を低減することが提案されている。
本発明の一態様に係る弾性波モジュールは、アンテナ端子と、弾性波素子と、前記弾性波素子を有する第１フィルタと、前記弾性波素子に入力される信号が前記弾性波素子への入力と同時に入力されるとみなせる態様で前記弾性波素子と接続された電子部品と、を有し、前記電子部品と前記第１フィルタとが前記アンテナ端子に対して直列に接続され、前記弾性波素子は、単結晶からなる第１圧電基板と、前記第１圧電基板上に位置し、互いに噛み合う第１櫛歯電極および第２櫛歯電極と、を有し、前記第１櫛歯電極から前記第２櫛歯電極への前記第１圧電基板の結晶方位に対する向きは、同一の信号に起因して前記弾性波素子及び前記電子部品のそれぞれで生じた偶数次の歪信号の位相が、前記弾性波素子と前記電子部品とで９０°以上２７０°以下の差で互いにずれる向きであり、前記アンテナ端子に接続されるアンテナ用ポートと、複数のフィルタ用ポートとを有し、前記複数のフィルタ用ポートを選択的に前記アンテナ用ポートに接続可能なスイッチ素子を有し、前記第１フィルタは、前記複数のフィルタ用ポートのうちの第１ポートに接続され、前記スイッチ素子は、前記電子部品である。また、本発明の一態様に係る弾性波モジュールは、アンテナ端子と、弾性波素子と、前記弾性波素子を有する第１フィルタと、前記弾性波素子に入力される信号が前記弾性波素子への入力と同時に入力されるとみなせる態様で前記弾性波素子と接続された電子部品と、を有し、前記電子部品と前記第１フィルタとが前記アンテナ端子に対して直列に接続され、前記弾性波素子は、単結晶からなる第１圧電基板と、前記第１圧電基板上に位置し、互いに噛み合う第１櫛歯電極および第２櫛歯電極と、を有し、前記第１櫛歯電極から前記第２櫛歯電極への前記第１圧電基板の結晶方位に対する向きは、同一の信号に起因して前記弾性波素子及び前記電子部品のそれぞれで生じた偶数次の歪信号の位相が、前記弾性波素子と前記電子部品とで９０°以上２７０°以下の差で互いにずれる向きであり、前記アンテナ端子に前記第１フィルタを介して接続されたアンプを有し、前記アンプは、前記電子部品である。
本発明の一態様に係る弾性波モジュールは、アンテナ端子と、弾性波素子と、前記アンテナ端子に接続されたフィルタと、を有し、前記フィルタは、前記弾性波素子を有し、前記弾性波素子に入力される信号が前記弾性波素子への入力と同時に入力されるとみなせる態様で前記弾性波素子と接続された電子部品と、を有し、前記電子部品は、前記アンテナ端子に対して前記フィルタと並列に接続されており、前記弾性波素子は、単結晶からなる第１圧電基板と、前記第１圧電基板上に位置し、互いに噛み合う第１櫛歯電極および第２櫛歯電極と、を有し、前記第１櫛歯電極から前記第２櫛歯電極への前記第１圧電基板の結晶方位に対する向きは、同一の信号に起因して前記弾性波素子及び前記電子部品のそれぞれで生じた偶数次の歪信号の位相が、前記弾性波素子と前記電子部品とで９０°以上２７０°以下の差で互いにずれる向きであり、前記電子部品は、前記第１圧電基板とは別個の第２圧電基板と、前記第２圧電基板上に位置し、互いに対向する第１電極および第２電極と、を有しており、前記第１電極および前記第２電極は、前記第２圧電基板の結晶方位のＺ軸成分を前記第２圧電基板上に投影した成分に平行な方向において互いに対向している。また、本発明の一態様に係る弾性波モジュールは、弾性波素子と、前記弾性波素子に入力される信号が前記弾性波素子への入力と同時に入力されるとみなせる態様で前記弾性波素子と接続された電子部品と、を有し、前記弾性波素子は、単結晶からなる第１圧電基板と、前記第１圧電基板上に位置し、互いに噛み合う第１櫛歯電極および第２櫛歯電極と、を有し、前記第１櫛歯電極から前記第２櫛歯電極への前記第１圧電基板の結晶方位に対する向きは、同一の信号に起因して前記弾性波素子及び前記電子部品のそれぞれで生じた偶数次の歪信号の位相が、前記弾性波素子と前記電子部品とで９０°以上２７０°以下の差で互いにずれる向きであり、前記電子部品は、前記第１圧電基板とは別個の第２圧電基板と、前記第２圧電基板上に位置し、互いに噛み合う第３櫛歯電極および第４櫛歯電極と、を有している。

上記の構成によれば、好適に歪信号を低減できる。
第１実施形態に係る通信モジュールの要部を示すブロック図である。 図１の通信モジュールの分波器の構成を示す回路図である。 図２の分波器の共振子の構造を示す平面図である。 図３の領域IVの拡大図である。 図５（ａ）は第２実施形態に係る分波モジュールの要部の構成を示す模式図であり、図５（ｂ）は図５（ａ）の分波モジュールの通過帯を示す模式図である。 第３実施形態に係る分波モジュールの要部の構成を示す模式図である。 図７（ａ）は第４実施形態に係る分波モジュールの要部の構成を示す模式図であり、図７（ｂ）は図７（ａ）の分波モジュールの通過帯を示す模式図である。 第５実施形態に係る分波モジュールの要部の構成を示す模式図である。 第６実施形態に係る分波モジュールの要部の構成を示す模式図である。 第７実施形態に係る分波モジュールの要部の構成を示す模式図である。
以下、本発明の実施形態に係るＳＡＷ装置について、図面を参照して説明する。なお、以下の説明で用いられる図は模式的なものであり、図面上の寸法比率等は現実のものとは必ずしも一致していない。
第２の実施形態以降において、既に説明された実施形態と同一または類似する構成については、既に説明された実施形態の構成に付された符号と同一の符号を用い、また、図示および説明を省略することがある。また、第２の実施形態以降において、既に説明された実施形態の構成と対応（類似）する構成について、既に説明された実施形態の構成に付した符号とは異なる符号を付した場合において、特に断りがない事項については、既に説明された実施形態の構成と同様である。
＜第１の実施形態＞
（基本的構成）
図１は、第１実施形態に係る通信モジュール１０１の要部を示すブロック図である。通信モジュール１０１は、電波を利用した無線通信を行うものである。通信モジュール１０１は、送信周波数の信号と受信周波数の信号とを分波する分波器１を有している。
通信モジュール１０１において、送信すべき情報を含むＴＩＳ（送信情報信号：Transmitting Information Signal）は、ＲＦ－ＩＣ（Radio Frequency Integrated Circuit）１０３によって変調および周波数の引き上げ（搬送波周波数の高周波信号への変換）がなされてＴＳ（送信信号：Transmitting Signal）とされる。ＴＳは、バンドパスフィルタ１０５によって送信用の通過帯以外の不要成分が除去され、増幅器１０７によって増幅されて分波器１に入力される。そして、分波器１は、入力されたＴＳから送信用の通過帯以外の不要成分を除去してアンテナ１０９に出力する。アンテナ１０９は、入力された電気信号（ＴＳ）を無線信号（電波）に変換して送信する。
また、通信モジュール１０１において、アンテナ１０９によって受信された無線信号（電波）は、アンテナ１０９によって電気信号（ＲＳ：受信信号，Receiving Signal）に変換されて分波器１に入力される。分波器１は、入力されたＲＳから受信用の通過帯以外の不要成分を除去して増幅器１１１に出力する。出力されたＲＳは、増幅器１１１によって増幅され、バンドパスフィルタ１１３によって受信用の通過帯以外の不要成分が除去される。そして、ＲＳは、ＲＦ－ＩＣ１０３によって周波数の引き下げおよび復調がなされてＲＩＳ（受信情報信号：Receiving Information Signal）とされる。
なお、ＴＩＳおよびＲＩＳは、適宜な情報を含む低周波信号（ベースバンド信号）でよく、例えば、アナログの音声信号もしくはデジタル化された音声信号である。無線信号の通過帯は、ＵＭＴＳ（Universal Mobile Telecommunications System）等の各種の規格に従ったものでよい。送信用の通過帯と、受信用の通過帯とは、通常、互いに重なっていない。変調方式は、位相変調、振幅変調、周波数変調もしくはこれらのいずれか２つ以上の組み合わせのいずれであってもよい。回路方式は、図１では、ダイレクトコンバージョン方式を例示したが、それ以外の適宜なものとされてよく、例えば、ダブルスーパーヘテロダイン方式であってもよい。また、図１は、要部のみを模式的に示すものであり、適宜な位置にローパスフィルタやアイソレータ等が追加されてもよいし、また、増幅器等の位置が変更されてもよい。
図２は、分波器１の構成を示す回路図である。
分波器１は、増幅器１０７からのＴＳが入力される送信端子３と、ＴＳから送信用の通過帯以外の不要成分を除去して出力する送信フィルタ５と、送信フィルタ５からの信号が入力されるアンテナ端子７とを有している。アンテナ端子７は、アンテナ１０９に接続される。
また、分波器１は、アンテナ１０９からアンテナ端子７を介して入力されたＲＳから受信用の通過帯以外の不要成分を除去して出力する受信フィルタ９と、受信フィルタ９からの信号が入力される受信端子１１とを有している。受信端子１１は、増幅器１１１に接続される。
なお、分波器１は、この他、送信フィルタ５、受信フィルタ９とアンテナ端子７の間に挿入される、インピーダンスマッチング用の回路等を有していてもよい。
上記から理解されるように、送信フィルタ５および受信フィルタ９は、アンテナ端子７に対して互いに並列に接続されている。別の観点では、送信フィルタ５および受信フィルタ９は、アンテナ端子７から延びるとともに、分岐して送信フィルタ５および受信フィルタ９に接続されたアンテナ側配線３１によって互いに接続されている。
送信フィルタ５は、例えば、ラダー型フィルタによって構成されている。すなわち、送信フィルタ５は、その入力側と出力側との間において直列に接続された１以上（本実施形態では３）の直列共振子１３Ａと、その直列のラインと基準電位部との間に設けられた１以上（本実施形態では２）の並列共振子１３Ｂとを有している。なお、個々の直列共振子１３A，並列共振子１３Bは、全く同一のものではなく、その配置位置，求めるフィルタ特性により、それぞれ個別の設計がなされるものである。
受信フィルタ９は、例えば、多重モード型フィルタ１５と、その入力側に直列に接続された補助共振子１３Ｃとを有している。なお、本実施形態において、多重モードは、２重モードを含むものとする。
図３は、直列共振子１３Ａ、並列共振子１３Ｂおよび補助共振子１３Ｃ（以下、これらを区別せずに、「共振子１３」ということがある。）の構造を示す平面図である。
なお、共振子１３は、いずれの方向が上方または下方とされてもよいものであるが、以下では、便宜的に、Ｄ１軸、Ｄ２軸およびＤ３軸からなる直交座標系を定義し、Ｄ３軸の正側（図３の紙面手前側）を上方として、上面等の語を用いることがあるものとする。また、図３では、図を見やすくするために、便宜的に、一部の部材の表面にハッチングを付している。
共振子１３は、例えば、１ポートＳＡＷ共振子として構成されており、圧電基板１７と、圧電基板１７の上面に設けられたＩＤＴ電極１９および反射器２１とを有している。なお、共振子１３は、上記の他、ＩＤＴ電極１９および反射器２１の上面に配置される付加膜、ＩＤＴ電極１９および反射器２１と圧電基板１７との間に介在する接着層、圧電基板１７の上面をＩＤＴ電極１９および反射器２１（または付加膜）の上から覆う保護層等を有していてもよい。
圧電基板１７は、Ｄ１軸およびＤ２軸に平行な（Ｄ３軸に直交する）上面を有する基板である。その平面形状および寸法は適宜に設定されてよい。また、圧電基板１７は、例えば、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）単結晶またはタンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ３）単結晶等の圧電性を有する単結晶からなる。そのカット角は、利用するＳＡＷの種類等に応じて適宜に設定されてよい。例えば、圧電基板１７は、回転ＹカットＸ伝搬のものである。すなわち、Ｘ軸は圧電基板１７の上面（Ｄ１軸）に平行であり、Ｙ軸は、圧電基板１７の上面の法線に対して所定の角度で傾斜している。
なお、本実施形態の説明において、Ｄ１軸、Ｄ２軸およびＤ３軸からなる直交座標系と、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸からなる直交座標系（すなわち結晶方位）との関係は一定であるものとする。従って、以下では、圧電基板１７の結晶方位の向きをＤ１軸、Ｄ２軸および／またはＤ３軸で示すことがある。
ＩＤＴ電極１９は、圧電基板１７の上面に形成された導電パターン（導電層）によって構成されており、正側櫛歯電極２３Ａおよび負側櫛歯電極２３Ｂを有している。なお、以下では、正側櫛歯電極２３Ａおよび負側櫛歯電極２３Ｂを単に「櫛歯電極２３」といい、これらを区別しないことがある。また、正側櫛歯電極２３Ａは、１対の櫛歯電極２３のうちＤ２軸の正側に位置する櫛歯電極２３を指し、負側櫛歯電極２３Ｂは、１対の櫛歯電極２３のうちＤ２軸の負側に位置する櫛歯電極２３を指すものとする（これらの名称は電位の正側・負側を指すものではない。）。すなわち、この例では、Ｚ軸を圧電基板１７の上面に投影したときの成分では、正側櫛歯電極２３Ａは負側に位置する櫛歯電極２３を指し、負側櫛歯電極２３Ｂは正側に位置する櫛歯電極２３を指す。
各櫛歯電極２３は、例えば、互いに対向する２本のバスバー２５と、各バスバー２５から他のバスバー２５側へ並列に延びる複数の電極指２７と、複数の電極指２７の間において各バスバー２５から他のバスバー２５側へ延びる複数のダミー電極２９と、を有している。そして、１対の櫛歯電極２３は、複数の電極指２７が互いに噛み合うように（交差するように）配置されている。
なお、ＳＡＷの伝搬方向は複数の電極指２７の向き等によって規定されるが、本実施形態では、便宜的に、ＳＡＷの伝搬方向を基準として、複数の電極指２７の向き等を説明することがある。
バスバー２５は、例えば、概ね一定の幅でＳＡＷの伝搬方向（Ｄ１軸方向、Ｘ軸方向）に直線状に延びる長尺状に形成されている。そして、１対のバスバー２５は、ＳＡＷの伝搬方向に交差（本実施形態では直交）する方向（Ｄ２軸方向）において対向している。また、１対のバスバー２５は、例えば、互いに平行であり、一対のバスバー２５間の距離は、ＳＡＷの伝搬方向において一定である。
複数の電極指２７は、例えば、概ね一定の幅でＳＡＷの伝搬方向に直交する方向（Ｄ２軸方向）に直線状に延びる長尺状に形成されており、ＳＡＷの伝搬方向（Ｄ１軸方向、Ｘ軸方向）に概ね一定の間隔で配列されている。１対の櫛歯電極２３の複数の電極指２７は、そのピッチｐ（例えば電極指２７の中心間距離）が、例えば、共振させたい周波数でのＳＡＷの波長λの半波長と同等となるように設けられている。波長λは、例えば、１．５μｍ～６μｍである。
複数の電極指２７の長さ（Ｄ２軸方向）は、例えば、互いに同等とされている。また、複数の電極指２７の幅（Ｄ１軸方向）は、例えば、互いに同等とされている。なお、これらの寸法は、共振子１３に要求される電気特性等に応じて適宜に設定されてよい。例えば、電極指２７の幅は、複数の電極指２７のピッチｐに対して０．４ｐ～０．７ｐである。
複数のダミー電極２９は、例えば、概ね一定の幅でＳＡＷの伝搬方向に直交する方向（Ｄ２軸方向）に直線状に延びる長尺状に形成されており、複数の電極指２７間の中央に配置されている（複数の電極指２７と同等のピッチで配列されている）。そして、一方の櫛歯電極２３のダミー電極２９の先端は、他方の櫛歯電極２３の電極指２７の先端とギャップＧを介して対向している。ダミー電極２９の幅（Ｄ１軸方向）は、例えば、電極指２７の幅と同等である。複数のダミー電極２９の長さ（Ｄ２軸方向）は、例えば、互いに同等である。
複数のギャップＧの数は、複数の電極指２７の本数と同数である。また、複数のギャップＧの幅（Ｄ１軸方向）は、複数の電極指２７の幅および複数のダミー電極２９の幅と同等であり、また、ギャップＧ同士で互いに同等である。複数のギャップＧの長さ（Ｄ２軸方向）は、ギャップＧ同士で互いに同一である。この長さは、共振子１３に要求される電気特性等に応じて適宜に設定されてよい。例えば、ギャップＧの長さは、０．１λ～０．６λである。
ＩＤＴ電極１９は、例えば、金属によって形成されている。この金属としては、例えば、ＡｌまたはＡｌを主成分とする合金（Ａｌ合金）が挙げられる。Ａｌ合金は、例えば、Ａｌ－Ｃｕ合金である。なお、ＩＤＴ電極１９は、複数の金属層から構成されてもよい。ＩＤＴ電極１９の厚みは適宜に設定されてよい。
ＩＤＴ電極１９によって圧電基板１７に電圧が印加されると、圧電基板１７の上面付近において上面に沿ってＤ１軸方向に伝搬するＳＡＷが誘起される。また、ＳＡＷは、電極指２７によって反射される。そして、電極指２７のピッチｐを半波長とする定在波が形成される。定在波は、当該定在波と同一周波数の電気信号に変換され、電極指２７によって取り出される。このようにして、共振子１３は、共振子もしくはフィルタとして機能する。
反射器２１は、圧電基板１７の上面に形成された導電パターン（導電層）によって構成されており、平面視において格子状に形成されている。すなわち、反射器２１は、ＳＡＷの伝搬方向に交差する方向において互いに対向する１対のバスバー（符号省略）と、これらバスバー間においてＳＡＷの伝搬方向に直交する方向（Ｄ２軸方向）に延びる複数の電極指（符号省略）とを有している。反射器２１の複数の電極指は、ＩＤＴ電極１９の複数の電極指２７と概ね同等のピッチで配列されている。
図２では、ＩＤＴ電極１９および反射器２１を模式的に示している。直列共振子１３Ａは、１対の櫛歯電極２３の一方がアンテナ端子７に直接または間接に接続され、他方が送信端子３に直接または間接に接続されている。並列共振子１３Ｂは、１対の櫛歯電極２３の一方がアンテナ端子７に直接または間接に接続され、他方が基準電位部に直接または間接に接続されている。補助共振子１３Ｃは、１対の櫛歯電極２３の一方がアンテナ端子７に直接または間接に接続され、他方が受信端子１１に間接に接続されている。
多重モード型フィルタ１５は、ＳＡＷの伝搬方向に配列された複数（図２では３つ）のＩＤＴ電極１９と、その両側に配置された１対の反射器２１とを有している。多重モード型フィルタ１５は、例えば、入力された不平衡信号を平衡信号に変換する機能も有しており、１対の受信端子１１に接続されている。ただし、多重モード型フィルタ１５は、そのような変換機能を有さず、１つの受信端子１１に接続されていてもよい。なお、不平衡信号は、基準電位との電位差を信号レベルとする信号であり、平衡信号は、２つの信号からなり、両者の電位差を信号レベルとする信号である。
（歪信号の発生）
図４は、歪信号の発生原理を説明するための模式図であり、具体的には、図３の領域IVの拡大図である。
ＩＤＴ電極１９によって圧電基板１７に印加される電場が比較的大きい場合等においては、圧電特性の非線形性に応じて歪信号が生じる。具体的には、以下のとおりである。
図４において、Ｄ１軸方向に平行な実線の矢印、および、Ｄ２軸方向に平行な実線の矢印は、ある瞬間におけるＤ１軸方向の電場Ｅ１およびＤ２軸方向の電場Ｅ２を示している。この例では、ＩＤＴ電極１９に電気信号が入力されて、正側櫛歯電極２３Ａの電位が負側櫛歯電極２３Ｂの電位よりも高くなっており、正側櫛歯電極２３Ａから負側櫛歯電極２３Ｂへ電場Ｅ１およびＥ２が形成されている。
１対の櫛歯電極２３の電極指２７（２種の電位の電極指２７）は、一定のピッチで交互に配列されていることから、各電極指２７のＤ１軸方向の両側には、各電極指２７に関して対称な電場Ｅ１が形成される。このため電場Ｅ１に起因する歪電流Ｉ１は相殺される。詳細には、各電極指２７の両側においては、大きさが同等で同一の向きの歪信号Ｉ１が生じる。従って、各電極指２７から見れば、歪信号Ｉ１を出力するとともに、それと同じ強さの歪信号Ｉ１が入力されることになるから、歪信号Ｉ１は相殺される。なお、１対の櫛歯電極２３のＤ１軸方向の端部においては、この限りではないが、その影響は比較的小さい。
電極指２７の先端のギャップＧにおいては、Ｄ２軸方向の電場Ｅ２が形成される。ここで、２次の歪信号（歪電流）の向きは、結晶方位で決定され、電場の向きによらないから、ギャップＧにおいては、大きさが同等で同一の向きの歪信号Ｉ２が生じる。各櫛歯電極２３から見ると、全てのギャップＧはＤ２軸方向の一方側に位置しており、Ｄ２軸方向の他方側においては歪信号Ｉ２を打ち消す歪信号は生じない。従って、この歪信号Ｉ２はＩＤＴ電極１９の出力に現れることになる。
なお、２次の歪信号を例に挙げたが、偶数次の歪信号は、２次の歪信号と同様に、その向きは、電場の向きによらず、結晶方位によって決定される。そして、ギャップＧにおいて生じた偶数次の歪信号は相殺されずにＩＤＴ電極１９の出力に現れる。また、電気的な歪に起因する歪信号を説明したが、機械的な歪に起因する歪信号も同様である。
また、上述のメカニズムより明白であるが、歪信号の向きは、高周波信号の向きにもよらない。
（歪信号の低減のための構成）
図２に戻って、分波器１は、上記の偶数次の歪信号（以下、「偶数次」を省略することがある。）を低減するための構成を有している。具体的には、例えば、以下のとおりである。
送信フィルタ５は、１つの圧電基板１７に、複数の直列共振子１３Ａおよび複数の並列共振子１３Ｂを構成するＩＤＴ電極１９および反射器２１が設けられることにより構成されている。また、受信フィルタ９は、送信フィルタ５の圧電基板１７とは別個の１つの圧電基板１７に、補助共振子１３Ｃおよび多重モード型フィルタ１５を構成するＩＤＴ電極１９および反射器２１が設けられることにより構成されている。
送信フィルタ５の圧電基板１７および受信フィルタ９の圧電基板１７は、例えば、同一材料の単結晶からなる。なお、ここでいう同一材料は、歪信号の観点からいうものであり、例えば、組成および構造（結晶構造等）が同一であることをいう。ただし、製造工程において意図せずに混入する不純物の差など、若干の差があっても構わない。また、送信フィルタ５の圧電基板１７および受信フィルタ９の圧電基板１７は、例えば、同一のカット角で切り出されたものである。
そして、図２に示したＤ２軸の向きから理解されるように、送信フィルタ５および受信フィルタ９は、これらを互いに接続するアンテナ側配線３１との接続（アンテナ端子７との接続）に関して、圧電基板１７の結晶方位が互いに逆向きとされている。
例えば、送信フィルタ５においては、全ての直列共振子１３Ａは、Ｄ２軸の正側に位置する正側櫛歯電極２３Ａがアンテナ端子７に直接または間接に電気的に接続され、Ｄ２軸の負側に負側櫛歯電極２３Ｂが送信端子３に直列または間接に電気的に接続されている。また、全ての並列共振子１３Ｂは、正側櫛歯電極２３Ａがアンテナ端子７に直接または間接に電気的に接続され、負側櫛歯電極２３Ｂが基準電位部に直接または間接に電気的に接続されている。
その一方で、例えば、受信フィルタにおいては、補助共振子１３Ｃは、負側櫛歯電極２３Ｂがアンテナ端子７に直接または間接に電気的に接続され、正側櫛歯電極２３Ａが多重モード型フィルタ１５に間接に電気的に接続されている。また、多重モード型フィルタ１５のＩＤＴ電極１９のうち、補助共振子１３Ｃを介してアンテナ端子７に接続されるＩＤＴ電極１９においては、負側櫛歯電極２３Ｂがアンテナ端子７に電気的に接続され、正側櫛歯電極２３Ａが基準電位部に電気的に接続されている。
すなわち、送信フィルタ５および受信フィルタ９は、一方のフィルタ（図２では送信フィルタ５）の正側櫛歯電極２３Ａと、他方のフィルタ（図２では受信フィルタ９）の負側櫛歯電極２３Ｂとがアンテナ側配線３１によって互いに接続されている。
ここで、既に述べたように、偶数次の歪信号の圧電基板１７に対する向きは、圧電基板１７の結晶方位によって決定され、電場の向きによらない。従って、送信フィルタ５および受信フィルタ９に同一の信号が入力されたと仮定し、ある瞬間に着目すると、その入力経路によらず、両フィルタにおいては、いずれにおいても、正側櫛歯電極２３Ａから負側櫛歯電極２３Ｂへ向かう歪信号（またはその逆向きの歪信号）が生じる。
従って、アンテナ側配線３１から見ると、送信フィルタ５において正側櫛歯電極２３Ａから負側櫛歯電極２３Ｂへ向かう歪信号が、アンテナ側配線３１から送信フィルタ５へ出力される一方で、受信フィルタ９において正側櫛歯電極２３Ａから負側櫛歯電極２３Ｂへ向かう歪信号が、受信フィルタ９からアンテナ側配線３１へ入力される。すなわち、送信フィルタ５および受信フィルタ９からアンテナ側配線３１へ互いに逆の位相の信号が入力され、互いに打ち消し合う。このようにして、歪信号が低減される。言い換えると、アンテナ端子７に対して並列に接続された送信フィルタ５と受信フィルタ９とにおいて、歪信号が互いに打ち消し合うものとなる。
なお、送信フィルタ５および受信フィルタ９の双方に（ほぼ）同時に入力され、両フィルタにおける歪信号の原因となる信号としては、例えば、アンテナ端子７に入力され、送信フィルタ５および受信フィルタ９に並列に入力される信号が挙げられる。この並列に入力される信号としては、例えば、図１に示した受信信号ＲＳ、および、アンテナ１０９によって受信した妨害信号（ノイズ）が挙げられる。また、他の例として、送信フィルタ５および受信フィルタ９の一方を通過して他方に入力される信号が挙げられる。このような一方を通過して他方に入力される信号としては、例えば、図１に示した送信信号ＴＳが挙げられる。送信信号ＴＳは、送信端子３に入力されて送信フィルタ５を通過した後、アンテナ端子７だけでなく、受信フィルタ９にも入力されるからである。本実施形態の分波器１は、上記の各種の信号に起因する歪信号を低減することができる。
特に、分波器１で問題となるのは、分波器１において比較的信号の強度が高い送信信号ＴＳと、アンテナ端子７からの妨害信号とに起因して、両信号の周波数を足し合わせた周波数を有する比較的強度が高い歪信号が生じ、その周波数が、受信信号の通過帯に含まれる現象である。本実施形態の分波器１は、そのような現象を低減することができる。
以上のとおり、本実施形態では、通信モジュール１０１は、第１弾性波素子（例えば直列共振子１３Ａ）と、第１弾性波素子と接続された第２弾性波素子（例えば補助共振子１３Ｃ）と、を有している。両共振子１３はそれぞれ、圧電基板１７と、圧電基板１７上に位置し、互いに噛み合う正側櫛歯電極２３Ａおよび負側櫛歯電極２３Ｂと、を有している。送信フィルタ５の正側櫛歯電極２３Ａと受信フィルタ９の負側櫛歯電極２３Ｂとが接続されており、送信フィルタ５における、正側櫛歯電極２３Ａから負側櫛歯電極２３Ｂへの圧電基板１７の結晶方位に対する向きと、受信フィルタ９における、負側櫛歯電極２３Ｂから正側櫛歯電極２３Ａへの圧電基板１７の結晶方位に対する向きとは互いに逆である。
第１弾性波素子の第１櫛歯電極から第２櫛歯電極への向きを第１方向とし、第２弾性波素子の第３櫛歯電極から第４櫛歯電極への向きを第２方向として、別の表現で説明する。この第１方向と第２方向とは、それぞれ圧電基板の結晶方位のＺ軸成分を有している。具体的には、Ｚ軸を圧電基板１７の上面に投影したときの上面と平行な投影成分を有している。この投影成分は、Ｄ２方向と平行である。さらに、上述の例では、Ｄ２方向の順方向（負側から正側）とＺ軸の投影成分の順方向（負側から正側）は逆である。
なお、第１方向とは、第１櫛歯電極のバスバー２５から第２櫛歯電極のバスバー２５へ向かう方向をいう。同様に、第２方向とは、第３櫛歯電極のバスバー２５から第４櫛歯電極のバスバー２５へ向かう方向をいう。
そして、この第１方向のＺ軸投影成分と第２方向のＺ軸投影成分との極性が互いに異なるようにする。
この例では、第１弾性波素子の第１櫛歯電極は正側櫛歯電極２３Ａであり、第２櫛歯電極は負側櫛歯電極２３Ｂである。このことから、第１方向は、－Ｄ２方向（正から負側）であり、Ｚ軸投影成分は順方向（負から正側）である。同様に、第２弾性波素子の第３櫛歯電極は負側櫛歯電極２３Ｂであり、第４櫛歯電極は正側櫛歯電極２３Ａである。このことから、第２方向は、＋Ｄ２方向（負から正側）であり、Ｚ軸投影成分は負方向（正から負側）である。
このように第１方向と第２方向とでは、Ｚ軸の投影成分の極性が異なる。このことから、第１弾性波素子で発生する歪信号の向きと第２弾性波素子で発生する歪信号の向きとが互いに打ち消し合うものとなる。なお、第１方向と第２方向とでは、Ｚ軸の投影成分の極性が異なればよく、完全な逆方向（１８０°異なるもの）でなくてもよい。ただし、この例のように逆方向とすれば効率的に第１弾性波素子で発生する歪信号と第２弾性波素子で発生する歪信号とを効率よく打ち消し合うことができる。
従って、上述のように、モジュールにおける、圧電基板１７を異にする電子部品（チップ）間において歪信号を打ち消し合うことができる。また、圧電基板１７上に、歪信号を低減するための特別な構成は不要であり、モジュールを簡素化できる。さらに、共振子の分割による面積の増大もないため、モジュールを小型化することができる。
なお、以上の実施形態において、通信モジュール１０１または分波器１は弾性波モジュールの一例である。送信フィルタ５の共振子１３それぞれは第１弾性波素子の一例であり、その正側櫛歯電極２３Ａは第１櫛歯電極の一例であり、負側櫛歯電極２３Ｂは第２櫛歯電極の一例である。受信フィルタ９の補助共振子１３Ｃは第２弾性波素子の一例であり、その負側櫛歯電極２３Ｂは第３櫛歯電極の一例であり、正側櫛歯電極２３Ａは第４櫛歯電極の一例である。また、多重モード型フィルタ１５も第２弾性波素子の一例であり、その中央のＩＤＴ電極１９において、負側櫛歯電極２３Ｂは第３櫛歯電極の一例であり、正側櫛歯電極２３Ａは第４櫛歯電極の一例である。
また、送信フィルタ５の共振子１3のそれぞれは、互いに接続される一方の共振子の負側櫛歯電極２３Ｂが他方の共振子の正側櫛歯電極２３Ａに電気的に接続されるようにする。受信フィルタ９の補助共振子１３Ｃと多重モード型フィルタ１５との電気的接続関係も同様である。
また、第１弾性波素子と第２弾性波素子とで、圧電基板の結晶方位に対する櫛歯電極の配置方向を異ならせるには、第１弾性波素子の第１圧電基板と第２弾性波素子の第２圧電基板とでカット角、圧電基板の表裏面の使用を異ならせてもよいし、同じカット角、同じ面の圧電基板を用いて櫛歯電極の配置方向を異ならせて実現してもよい。また、同じカット角、同じ面の圧電基板を用いて、一方を他方に対して向きを回転させて実現してもよい。
＜第２実施形態＞
図５（ａ）は、本発明の第２実施形態に係る分波モジュール２００の要部の構成を示す模式図である。
分波モジュール２００は、いわゆるＣＡ（Carrier Aggregation）に対応するものであり、複数（本実施形態では２つ）の周波数帯を同時に利用可能に構成されている。具体的には、例えば、以下のとおりである。
分波モジュール２００は、アンテナ端子７に接続されたスイッチ素子２３３と、スイッチ素子２３３に接続された第１分波器２０１Ａおよび第２分波器２０１Ｂ（以下、両者を区別せずに、単に「分波器２０１」ということがある。）とを有している。各分波器２０１のスイッチ素子２３３とは反対側には、送信端子３および受信端子１１が接続されている。
スイッチ素子２３３は、例えば、ＦＥＴ（Field effect transistor）等の電子式スイッチによって構成されている。スイッチ素子２３３は、例えば、アンテナ端子７に接続されるアンテナ用ポート２３５と、分波器２０１に接続される第１フィルタ用ポート２３７Ａ～第４フィルタ用ポート２３７Ｄ（以下、単に、「フィルタ用ポート２３７」といい、これらを区別しないことがある。）とを有している。
スイッチ素子２３３は、アンテナ用ポート２３５と、複数のフィルタ用ポート２３７とを選択的に接続可能である。スイッチ素子２３３は、アンテナ用ポート２３５に対して、複数のフィルタ用ポート２３７のうちの１つのみを接続可能であってもよいし、２つ以上を同時に接続可能であってもよいし、同時に接続可能な数を変更可能であってもよい。本実施形態では、スイッチ素子２３３は、第１フィルタ用ポート２３７Ａおよび第２フィルタ用ポート２３７Ｂの少なくとも一方と、第３フィルタ用ポート２３７Ｃおよび第４フィルタ用ポート２３７Ｄの少なくとも一方とを同時にアンテナ用ポート２３５に接続可能なものであるとして説明する。図５（ａ）では、想像線（２点鎖線）により、第１フィルタ用ポート２３７Ａおよび第４フィルタ用ポート２３７Ｄが同時にアンテナ用ポート２３５に接続されている場合を例示している。
分波器２０１は、概略、第１実施形態の分波器１と同様のものである。ただし、本実施形態においては、各分波器２０１において、送信フィルタ５および受信フィルタ９は、共通の圧電基板１７に設けられている。なお、図５（ａ）では、各受信フィルタ９に対して１つの受信端子１１が接続されているが、これは、図５（ａ）が図２よりも模式図であるからに過ぎない。すなわち、受信端子１１は、不平衡信号に対応して１つのみでもよいし、平衡信号に対応して２つであってもよい。後述する他の実施形態においても同様である。
スイッチ素子２３３および２つの分波器２０１は、例えば、それぞれチップ状に構成されており、不図示の回路基板に実装されることによって、当該回路基板の配線を介して互いに接続されている。なお、チップとして構成する範囲はこれに限定されず、例えば、スイッチ素子２３３および２つの分波器２０１が実装された回路基板がさらにチップとして構成されてもよいし、２つの分波器２０１が１つのチップとして構成され、回路基板に実装されてもよい。
図５（ｂ）は、分波モジュール２００が出力する信号の周波数帯を示す模式図である。横軸は、周波数ｆ（Ｈｚ）を示し、縦軸は、減衰量（ｄＢ、紙面上方側が０）を示している。
第１周波数帯Ｂ１は第１分波器２０１Ａが出力する信号の周波数帯を示し、第２周波数帯Ｂ２は第２分波器２０１Ｂが出力する信号の周波数帯を示している。第２周波数帯Ｂ２は、第１周波数帯Ｂ１よりも高く、両周波数帯は重なっていない。
また、第１周波数帯Ｂ１のうち、第１送信周波数帯Ｔ１は、第１分波器２０１Ａの送信フィルタ５の通過帯を示し、第１受信周波数帯Ｒ１は、第１分波器２０１Ａの受信フィルタ９の通過帯を示している。第１受信周波数帯Ｒ１が第１送信周波数帯Ｔ１よりも高いことにより（逆でもよい）、両周波数帯は重なっていない。
同様に、第２周波数帯Ｂ２のうち、第２送信周波数帯Ｔ２は、第２分波器２０１Ｂの送信フィルタ５の通過帯を示し、第２受信周波数帯Ｒ２は、第２分波器２０１Ｂの受信フィルタ９の通過帯を示している。第２受信周波数帯Ｒ２が第２送信周波数帯Ｔ２よりも高いことにより（逆でもよい）、両周波数帯は重なっていない。
図５（ａ）においてＤ２軸の向きによって示すように、第１分波器２０１Ａおよび第２分波器２０１Ｂは、スイッチ素子２３３（アンテナ端子７）に対する接続に関して、圧電基板１７の結晶方位が逆にされている。すなわち、第１分波器２０１Ａにおいては、正側櫛歯電極２３Ａがスイッチ素子２３３に接続され、第２分波器２０１Ｂにおいては、負側櫛歯電極２３Ｂがスイッチ素子２３３に接続されている（逆でもよい。）。従って、第１実施形態と同様に、ギャップＧ（図３および図４）で生じた歪信号を弾性波素子（共振子１３等）間で打ち消し合い、歪信号を低減することができる。言い換えると、アンテナ端子７を介して、第１分波器２０１Aと第２分波器２０１Bとが並列に接続されているものとなる。このため並列に接続されたもの同士で歪信号を打ち消し合うことができる。
例えば、図５（ａ）に示すように、第１分波器２０１Ａの送信フィルタ５と、第２分波器２０１Ｂの受信フィルタ９とが同時にアンテナ端子７に接続された場合、両フィルタにおいては、第１分波器２０１Ａに接続された送信端子３からの送信信号と、アンテナ端子７からの妨害信号とが入力され、両信号に起因する歪信号が生じる。この歪信号は、両フィルタから互いに逆の位相でスイッチ素子２３３側へ出力されることになり、互いに打ち消し合う。これにより、例えば、第１周波数帯Ｂ１と第２周波数帯Ｂ２との間における減衰特性を向上させ、ひいては、ＳＮ比を向上させることができる。
また、第１分波器２０１Aの送信フィルタ５と、第２分波器２０１Bの送信フィルタ５とが同時に接続されている場合には、複数の周波数の送信信号のそれぞれにより発生する歪信号が互いに打ち消し合う方向に発生するので、弾性波モジュール２００全体の歪信号を低減させることができる。
なお、本実施形態において、分波モジュール２００は弾性波モジュールの一例である。第１分波器２０１Ａの送信フィルタ５の共振子１３（図２）は第１弾性波素子の一例であり、その正側櫛歯電極２３Ａ（図２）は第１櫛歯電極の一例であり、負側櫛歯電極２３Ｂ（図２）は第２櫛歯電極の一例である。第２分波器２０１Ｂの受信フィルタ９の補助共振子１３Ｃ（図２）は第２弾性波素子の一例であり、その負側櫛歯電極２３Ｂ（図２）は第３櫛歯電極の一例であり、正側櫛歯電極２３Ａ（図２）は第４櫛歯電極の一例である。
＜第３実施形態＞
図６は、本発明の第３実施形態に係る分波モジュール３００の要部の構成を示す模式図である。
分波モジュール３００は、第２実施形態の分波モジュール２００と同様に、ＣＡに対応するものであり、互いに異なる周波数帯を通過帯とする第１分波器２０１Ａおよび第２分波器２０１Ｂを有している。この例でもアンテナ端子７に対して第１分波器２０１Aと第２分波器２０１Bとが並列接続されているものとなる。各分波器２０１が１つのチップとして構成されてよいこと等も第２実施形態と同様である。
ただし、本実施形態では、第２実施形態とは異なり、分波器２０１は、スイッチ素子を介さずにアンテナ端子７に接続されている。別の観点では、第１分波器２０１Ａおよび第２分波器２０１Ｂは、アンテナ側配線３１によって互いに接続されている。
また、本実施形態では、各分波器２０１においても、アンテナ端子７と、送信フィルタ５および受信フィルタ９との間にはスイッチ素子は設けられていない。従って、第１分波器２０１Ａの送信フィルタ５および受信フィルタ９、ならびに、第２分波器２０１Ｂの送信フィルタ５および受信フィルタ９の合計４つのフィルタは、アンテナ側配線３１によって互いに接続されている。
このような構成においても、Ｄ２軸の向きで示すように、第２実施形態と同様に、アンテナ端子７に対する接続に関して、圧電基板１７の結晶方位を第１分波器２０１Ａと第２分波器２０１Ｂとで逆にすることにより、両分波器２０１間において歪信号を打ち消し合い、歪信号を低減することができる。
なお、上述の第２実施形態、第３実施形態では、１つの分波器（２０１Ａまたは２０１Ｂ）に同じ周波数帯（第１周波数帯Ｂ１または第２周波数帯Ｂ２）を揃えた例を用いて説明したが、これに限定されない。例えば、第１周波数帯Ｂ１の第１受信周波数帯と第２周波数帯Ｂ２の第２送信周波数帯とが近接している場合には、これらを１つの分波器に配置してもよい。すなわち、異なる周波数帯の受信フィルタと送信フィルタを１つの分波器に纏めてもよい。
＜第４実施形態＞
図７（ａ）は、本発明の第４実施形態に係る分波モジュール４００の要部の構成を示す模式図である。
分波モジュール４００は、第２および第３実施形態の分波モジュールと同様に、ＣＡに対応するものであり、互いに異なる周波数帯を通過帯とする複数（図７では４つ）の分波器２０１（第１分波器２０１Ａ～第４分波器２０１Ｄ）を有している。各分波器２０１が１つのチップとして構成されてよいこと等は第２実施形態と同様である。
また、アンテナ端子７に対して並列に接続されている第１分波器２０１Ａ～第４分波器２０１Ｄとの間で、圧電基板１７の結晶方位を逆にする組み合わせを設けることで、歪電流を低減させることができる。
図７（ｂ）は、分波器２０１の通過帯を示す図５と同様の模式図である。第１分波器２０１Ａ～第４分波器２０１Ｄの通過帯は、第１周波数帯Ｂ１～第４周波数帯Ｂ４に対応しており、互いに重なっていない。例えば、４つの周波数帯の相互関係は、第１周波数帯Ｂ１＜第２周波数帯Ｂ２＜第３周波数帯Ｂ３＜第４周波数帯Ｂ４である。なお、各周波数帯において、送信用の周波数帯（Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３またはＴ４）および受信用の周波数帯（Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３またはＲ４）が含まれることは、第２実施形態と同様である。
分波モジュール４００においては、第２および第３実施形態とは異なり、アンテナ端子７と複数の分波器２０１との間に、上段分波器２３９が設けられている。上段分波器２３９と分波器２０１とは、アンテナ端子７に対して直列に接続されているものとなる。上段分波器２３９は、例えば、第１分波器２０１Ａおよび第２分波器２０１Ｂの通過帯（Ｂ１およびＢ２）を含む周波数帯の信号と、第３分波器２０１Ｃおよび第４分波器２０１Ｄの通過帯（Ｂ３およびＢ４）を含む周波数帯の信号とを分波して、前者を第１分波器２０１Ａおよび第２分波器２０１Ｂに出力し、後者を第３分波器２０１Ｃおよび第４分波器２０１Ｄに出力する。
その具体的な構成は適宜なものとされてよいが、例えば、上段分波器２３９は、アンテナ端子７に対して互いに並列になるように接続された低周波側フィルタ２４１および高周波側フィルタ２４３を有している。
低周波側フィルタ２４１は、第１分波器２０１Ａおよび第２分波器２０１Ｂの通過帯を含み、かつ、第３分波器２０１Ｃおよび第４分波器２０１Ｄの通過帯を含まない周波数帯を通過帯としている。第１分波器２０１Ａおよび第２分波器２０１Ｂは、低周波側フィルタ２４１を介してアンテナ端子７に接続されている。
高周波側フィルタ２４３は、第１分波器２０１Ａおよび第２分波器２０１Ｂの通過帯を含まず、かつ、第３分波器２０１Ｃおよび第４分波器２０１Ｄの通過帯を含む周波数帯を通過帯域としている。第３分波器２０１Ｃおよび第４分波器２０１Ｄは、高周波側フィルタ２４３を介してアンテナ端子７に接続されている。
低周波側フィルタ２４１および高周波側フィルタ２４３の構成は適宜なものとされてよい。例えば、いずれのフィルタも、送信フィルタ５と同様に、複数の１ポートＳＡＷ共振子（１３：圧電基板１７、ＩＤＴ電極１９および１対の反射器２１）からなるラダー型フィルタによって構成されている。なお、低周波側フィルタ２４１および高周波側フィルタ２４３は、図示のように同一の圧電基板１７に設けられてもよいし、別個の圧電基板１７に設けられてもよい。
上段分波器２３９と第１分波器２０１Ａとは、中間配線２４０によって互いにアンテナ端子７に対して直列に接続されているところ、Ｄ２軸の向きで示すように、両分波器の圧電基板１７の結晶方位の向きは逆となっている。
従って、本実施形態では、上段分波器２３９と第１分波器２０１Ａとの間で、ギャップＧにおいて生じた歪信号が打ち消し合う。これにより、分波モジュール４００全体として、歪信号が低減される。このように、アンテナ端子７に対して、直列接続された両分波器に対しては、信号の流れに対して、圧電基板１７の結晶方位の向きを逆にすることで、歪信号を打ち消し合うことができる。
なお、図７（ａ）では、第１分波器２０１Ａについてのみ、上段分波器２３９のＤ２軸と逆向きになるＤ２軸を示したが、他の分波器２０１についても、第１分波器２０１Ａと同様に、上段分波器２３９との間で歪信号を打ち消し合うように圧電基板１７の結晶方位が設定されてもよい。
また、既に述べたように、互いに並列に接続された分波器２０１間で歪信号が打ち消し合わされてもよい。この際、上段分波器２３９を介して互いに並列に接続された分波器２０１間で歪信号が打ち消し合わされてもよい。図７（ａ）では、第１分波器２０１Ａと第４分波器２０１Ｄとの間でＤ２軸が逆向きになる場合を例示している。なお、第１分波器２０１Ａのフィルタ（５又は９）および第４分波器２０１Ｄのフィルタ（５又は９）は、第１フィルタおよび第２フィルタの一例である。
＜第５実施形態＞
図８は、本発明の第５実施形態に係る分波モジュール５００の要部の構成を示す模式図である。
分波モジュール５００は、第２実施形態（図５）と同様に、アンテナ端子７と複数（図８では３つ）の分波器２０１（第１分波器２０１Ａ～第３分波器２０１Ｃ）との間にスイッチ素子２３３が介在する構成である。
なお、図８の例では、各分波器２０１において、送信フィルタ５および受信フィルタ９がスイッチ素子２３３の同一のポートに接続されている。ただし、第２実施形態と同様に、送信フィルタ５と受信フィルタ９とでスイッチ素子２３３の別個のポートに接続されていてもよい（後述する図９および図１０も同様）。逆に、第２実施形態において、本実施形態のように、分波器２０１毎にスイッチ素子２３３のポートに接続されていてもよい。
図８において矢印ｙ１およびｙ２によって示すように、本実施形態の分波モジュール５００は、スイッチ素子２３３において生じる歪信号と、複数の分波器２０１のうち少なくとも１つにおいて生じる歪信号とが打ち消し合うように構成されている。
ここで、スイッチ素子２３３の歪信号の位相は、分波器２０１のように圧電基板１７の結晶方位から特定することはできない。しかし、正側櫛歯電極２３Ａをスイッチ素子２３３に接続した分波器２０１と、負側櫛歯電極２３Ｂをスイッチ素子２３３に接続した分波器２０１とを考えた場合に、両分波器２０１は、歪信号の原因となる信号として互いに同一の位相の信号が入力されたときに、スイッチ素子２３３へ出力する歪信号の位相が互いに逆である。従って、一方の分波器２０１の歪信号は、スイッチ素子２３３において生じた歪信号との位相が９０°以上２７０°以下の範囲でずれる。
そこで、例えば、送信フィルタ５および受信フィルタ９のＩＤＴ電極１９および反射器２１等に対する圧電基板１７の結晶方位が互いに逆の２種の分波器２０１を試作し、各分波器２０１とスイッチ素子２３３とを接続して試験を行い、分波器２０１の歪信号の位相とスイッチ素子２３３の歪信号の位相とが９０°以上２７０°以下の範囲でずれる方の分波器２０１を採用する。これにより、スイッチ素子２３３と分波器２０１との間で歪信号が増加されることが避けられる。また、位相のずれが９０°超２７０°未満であれば、歪信号は多少なりとも打ち消し合う。その結果、分波モジュール５００全体として歪信号を低減できる。
なお、図８では、第１分波器２０１Ａについてのみ矢印ｙ１およびｙ２等を示したが、他の分波器２０１についても、第１分波器２０１Ａと同様に、スイッチ素子２３３との間で歪信号を打ち消し合うように圧電基板１７の結晶方位が設定されてもよい。
＜第６実施形態＞
図９は、本発明の第６実施形態に係る分波モジュール６００の要部の構成を示す模式図である。
本実施形態の分波モジュール６００の基本構成は、第５実施形態（図８）と同様である。ただし、分波モジュール６００は、矢印ｙ５およびｙ６で示すように、分波器２０１の歪信号と打ち消し合う歪信号を生じる歪低減素子６４５を有している。
歪低減素子６４５は、例えば、スイッチ素子２３３に分波器２０１と並列になるように接続されている。そして、歪低減素子６４５は、常時または必要に応じて、アンテナ端子７と接続され、ひいては、複数の分波器２０１のうちアンテナ端子７と選択的に接続された分波器２０１とスイッチ素子２３３を介して接続される。
歪低減素子６４５は、例えば、特に図示しないが、圧電基板１７と、圧電基板１７に対してＤ２軸方向において対向する１対の電極とを有して構成され、ＩＤＴ電極１９と同様の原理によって歪信号を生じる。１対の電極は、平行平板であってもよいし、ＩＤＴ電極１９と同様の構成のものであってもよい。そして、ＩＤＴ電極１９同士の歪信号の打ち消し合いと同様に、スイッチ素子２３３に対する接続に関して、圧電基板１７の結晶方位が逆になるようにスイッチ素子２３３に接続される。
このように、既存の電子素子間で歪信号を打ち消し合うのではなく、歪信号を低減するための歪低減素子６４５を追加して、歪信号を低減してもよい。ただし、歪低減素子６４５は、分波モジュール６００の容量を調整することにも用いられるなど、他の用途に兼用されてもよい。
なお、歪低減素子６４５は、複数の分波器２０１に対して共通に利用されるものであってもよいし、複数の分波器２０１のうちの一部（例えば１つ）の分波器２０１に対して利用されるものであってもよい。また、歪低減素子６４５は、分波器２０１毎に設けられるなど、複数設けられてもよい。
＜第７実施形態＞
図１０は、本発明の第７実施形態に係る分波モジュール７００の要部の構成を示す模式図である。
本実施形態の分波モジュール７００の基本構成は、第５実施形態（図８）と同様である。ただし、分波モジュール７００は、矢印ｙ７およびｙ８で示すように、分波器２０１と増幅器１０７（図１も参照）との間で歪信号を打ち消し合う。
その原理は、第５実施形態と同様である。すなわち、増幅器１０７との接続に関して、圧電基板１７の結晶方位が互いに逆向きの２種の分波器２０１（送信フィルタ５）のうち一方は、増幅器１０７側へ出力する歪信号の位相が、増幅器１０７が分波器２０１側へ出力する歪信号の位相に対して９０°以上２７０°以下の範囲でずれることから、その一方の分波器２０１を採用する。
なお、図１０では、増幅器１０７を１つのみ示しているが、実際には、増幅器１０７は、分波器２０１（送信フィルタ５）毎に設けられたり、複数の分波器２０１に共通に設けられたりしてよい。複数の分波器２０１に対して共通に増幅器１０７が設けられる場合、スイッチ素子が分波器２０１と増幅器１０７との間に介在してもよい。
本発明は、以上の実施形態に限定されず、種々の態様で実施されてよい。
例えば、第１～第７実施形態は、適宜に組み合わされてもよい。具体的には、例えば、第２～第７実施形態のように複数の分波器間または分波器と分波器以外の電子素子との間において歪信号を打ち消し合う態様においても、第１実施形態のように、送信フィルタと受信フィルタとを別個の圧電基板に設け、両フィルタ間で歪信号を打ち消し合うことを可能としてもよい。また、例えば、第４～第７実施形態のように、分波器とその分波器に直列に接続された電子素子との間、または、分波器と歪低減素子との間で歪信号を打ち消し合う態様においても、第２および第３実施形態のように、並列に接続された分波器間で歪信号を打ち消しあうことを可能としてもよい。
第１～第７実施形態から理解されるように、歪信号を打ち消し合う電子素子は、一方が弾性波素子を含み、他方が偶数次の歪信号を生じるものであれば、適宜に選択されてよい。すなわち、歪信号を打ち消し合う電子素子は、その種類（例えば、分波器、スイッチ素子または増幅器）、数および接続方法（歪信号の原因となる信号の経路に関して直列または並列等）は限定されない。
第１～第３実施形態（図１～図６）では、２つの圧電基板間で歪信号を低減する場合について説明した。別の観点では、全ての圧電基板において歪信号が打ち消し合うように構成された。ただし、例えば、アンテナ端子に対して並列に接続された複数の圧電基板のうち１つのみがアンテナ端子との接続に関して圧電基板の結晶方位が逆とされてもよい。このように、歪信号を打ち消すべく圧電基板の結晶方位が設定された弾性波素子が１つのみであっても、全ての圧電基板の結晶方位が同一とされている場合に比較すれば、歪信号は低減される。
さらに、上述の実施形態では、第１圧電基板と第２圧電基板とが同じ材料系からなる場合について説明したが、異なる材料系であっても歪信号の相殺効果はある。
１…ＳＡＷ装置（弾性波装置）、３ａ…第１主面（主面）、９…カバー（絶縁体）、１３…圧電基板、２９…励振電極、３１…容量素子。

Claims (9)

  1. アンテナ端子と、
    弾性波素子と、
    前記弾性波素子を有する第１フィルタと、
    前記弾性波素子に入力される信号が前記弾性波素子への入力と同時に入力されるとみなせる態様で前記弾性波素子と接続された電子部品と、
    を有し、
    前記電子部品と前記第１フィルタとが前記アンテナ端子に対して直列に接続され、
    前記弾性波素子は、
    単結晶からなる第１圧電基板と、
    前記第１圧電基板上に位置し、互いに噛み合う第１櫛歯電極および第２櫛歯電極と、
    を有し、
    前記第１櫛歯電極から前記第２櫛歯電極への前記第１圧電基板の結晶方位に対する向きは、同一の信号に起因して前記弾性波素子及び前記電子部品のそれぞれで生じた偶数次の歪信号の位相が、前記弾性波素子と前記電子部品とで９０°以上２７０°以下の差で互いにずれる向きであり、
    前記アンテナ端子に接続されるアンテナ用ポートと、複数のフィルタ用ポートとを有し、前記複数のフィルタ用ポートを選択的に前記アンテナ用ポートに接続可能なスイッチ素子を有し、
    前記第１フィルタは、前記複数のフィルタ用ポートのうちの第１ポートに接続され、
    前記スイッチ素子は、前記電子部品である、
    弾性波モジュール。
  2. 前記第１ポートに接続されている分波器を有しており、
    前記分波器は、
    前記第１フィルタと、
    前記第１ポートに接続され、前記第１フィルタの通過帯の外側に通過帯を有する第２フィルタと、を有している
    請求項１に記載の弾性波モジュール。
  3. 前記複数のフィルタ用ポートのうちの第２ポートに接続され、前記第１フィルタの通過帯の外側に通過帯を有する第２フィルタを有している
    請求項１に記載の弾性波モジュール。
  4. 前記第１フィルタは、当該第１フィルタから前記スイッチ素子を経由して前記アンテナ端子へ流れる送信信号をフィルタリングする送信フィルタであり、
    前記第２フィルタは、前記アンテナ端子から前記スイッチ素子を経由して当該第２フィルタへ流れる受信信号をフィルタリングする受信フィルタである
    請求項２又は３に記載の弾性波モジュール。
  5. アンテナ端子と、
    弾性波素子と、
    前記弾性波素子を有する第１フィルタと、
    前記弾性波素子に入力される信号が前記弾性波素子への入力と同時に入力されるとみなせる態様で前記弾性波素子と接続された電子部品と、
    を有し、
    前記電子部品と前記第１フィルタとが前記アンテナ端子に対して直列に接続され、
    前記弾性波素子は、
    単結晶からなる第１圧電基板と、
    前記第１圧電基板上に位置し、互いに噛み合う第１櫛歯電極および第２櫛歯電極と、
    を有し、
    前記第１櫛歯電極から前記第２櫛歯電極への前記第１圧電基板の結晶方位に対する向きは、同一の信号に起因して前記弾性波素子及び前記電子部品のそれぞれで生じた偶数次の歪信号の位相が、前記弾性波素子と前記電子部品とで９０°以上２７０°以下の差で互いにずれる向きであり、
    前記アンテナ端子に前記第１フィルタを介して接続されたアンプを有し、
    前記アンプは、前記電子部品である、
    弾性波モジュール。
  6. アンテナ端子と、
    弾性波素子と、
    前記アンテナ端子に接続されたフィルタと、
    を有し、
    前記フィルタは、前記弾性波素子を有し、
    前記弾性波素子に入力される信号が前記弾性波素子への入力と同時に入力されるとみなせる態様で前記弾性波素子と接続された電子部品と、
    を有し、
    前記電子部品は、前記アンテナ端子に対して前記フィルタと並列に接続されており、
    前記弾性波素子は、
    単結晶からなる第１圧電基板と、
    前記第１圧電基板上に位置し、互いに噛み合う第１櫛歯電極および第２櫛歯電極と、
    を有し、
    前記第１櫛歯電極から前記第２櫛歯電極への前記第１圧電基板の結晶方位に対する向きは、同一の信号に起因して前記弾性波素子及び前記電子部品のそれぞれで生じた偶数次の歪信号の位相が、前記弾性波素子と前記電子部品とで９０°以上２７０°以下の差で互いにずれる向きであり、
    前記電子部品は、
    前記第１圧電基板とは別個の第２圧電基板と、
    前記第２圧電基板上に位置し、互いに対向する第１電極および第２電極と、
    を有しており、
    前記第１電極および前記第２電極は、前記第２圧電基板の結晶方位のＺ軸成分を前記第２圧電基板上に投影した成分に平行な方向において互いに対向している、
    弾性波モジュール。
  7. 前記第１電極および前記第２電極は平行平板である
    請求項６に記載の弾性波モジュール。
  8. 弾性波素子と、
    前記弾性波素子に入力される信号が前記弾性波素子への入力と同時に入力されるとみなせる態様で前記弾性波素子と接続された電子部品と、
    を有し、
    前記弾性波素子は、
    単結晶からなる第１圧電基板と、
    前記第１圧電基板上に位置し、互いに噛み合う第１櫛歯電極および第２櫛歯電極と、
    を有し、
    前記第１櫛歯電極から前記第２櫛歯電極への前記第１圧電基板の結晶方位に対する向きは、同一の信号に起因して前記弾性波素子及び前記電子部品のそれぞれで生じた偶数次の歪信号の位相が、前記弾性波素子と前記電子部品とで９０°以上２７０°以下の差で互いにずれる向きであり、
    前記電子部品は、前記第１圧電基板とは別個の第２圧電基板と、前記第２圧電基板上に位置し、互いに噛み合う第３櫛歯電極および第４櫛歯電極と、を有している、
    弾性波モジュール。
  9. 前記歪信号は電流である
    請求項１乃至８のいずれか１項に記載の弾性波モジュール。
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