JP7015235B2 - 範囲に基づくリアルタイム走査電子顕微鏡非可視ビナー - Google Patents
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Description
本出願は、2015年8月5日に出願され譲渡されたインド仮特許出願第4069/CHE/2015号のインド仮特許出願に基づく優先権を主張し、また、2015年9月23日に出願され譲渡された米国特許出願第62/222,647号の仮特許出願に基づく優先権を主張し、それらの開示は参照により本出願に組み込まれる。
を含み得る。多くの異なるタイプのそのような層が当技術分野で公知であり、本明細書で用いるウェハという用語は、全てのタイプのそのような層を含むウェハを包含することを意図している。
Claims (15)
- 欠陥レビューツールを備え、前記欠陥レビューツールは、ウェハを固締するように構成されたステージを有し、
さらに、前記欠陥レビューツールと通信するように構成されたコントローラを備え、前記コントローラは、前記ウェハの複数の層上の非可視欠陥を、単一の分類器を用いて識別するように構成されており、
前記コントローラは、前記単一の分類器を用いて前記複数の層上の前記非可視欠陥を識別して、トポグラフィカルな欠陥、強度属性またはエネルギー属性のうち少なくとも1つをフィルタリングし、前記トポグラフィカルな欠陥は粒子またはスクラッチを含み、前記強度属性は残渣またはスカムを含み、前記エネルギー属性はボイドを含む、
システム。 - 前記コントローラは、前記欠陥レビューツールと通信するように構成されたプロセッサと、分類器を包含するプロセッサと電子的に通信する記憶デバイスと、前記欠陥レビューツールと通信するために前記プロセッサと電子的に通信する通信ポートを備えている、請求項1に記載のシステム。
- 前記欠陥レビューツールは走査電子顕微鏡(SEM)である、請求項1に記載のシステム。
- 前記非可視欠陥はSEM非可視欠陥(SNV)である、請求項1に記載のシステム。
- 欠陥レビューツールを用いて、ウェハ上の層の画像を生成し、
プロセッサを用いて、単一の分類器を用いて画像の少なくとも1つの属性を評価し、
プロセッサを用いて、前記単一の分類器を用いてウェハの複数の層上の非可視欠陥を識別することを含み、
前記プロセッサは、前記単一の分類器を用いて前記複数の層上の前記非可視欠陥を識別して、トポグラフィカルな欠陥、強度属性またはエネルギー属性のうち少なくとも1つをフィルタリングし、前記トポグラフィカルな欠陥は粒子またはスクラッチを含み、前記強度属性は残渣またはスカムを含み、前記エネルギー属性はボイドを含む、
方法。 - さらに、プロセッサを用いて、非可視欠陥の上限と下限を規定することを含み、識別される非可視欠陥は上限と下限の間にある、請求項5に記載の方法。
- 前記分類器は、トポグラフィカルな欠陥をフィルタリングする、請求項5に記載の方法。
- 前記分類器は、強度属性をフィルタリングする、請求項5に記載の方法。
- 前記分類器は、エネルギー属性をフィルタリングする、請求項5に記載の方法。
- 前記生成は走査電子顕微鏡(SEM)を用いる、請求項5に記載の方法。
- 前記非可視欠陥はSEM非可視欠陥(SNV)である、請求項5に記載の方法。
- 前記比較と識別は、生成と同時に実行されてもよい、請求項5に記載の方法。
- 前記分類器は、前記トポグラフィカルな欠陥をフィルタリングする、請求項1に記載のシステム。
- 前記分類器は、前記強度属性をフィルタリングする、請求項1に記載のシステム。
- 前記分類器は、前記エネルギー属性をフィルタリングする、請求項1に記載のシステム。
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