JP7012157B2 - Adhesive members and vacuum processing equipment - Google Patents
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Description
本発明は、例えばスパッタリング装置等の真空処理装置に用いる防着部材の技術に関する。 The present invention relates to a technique for a protective member used in a vacuum processing device such as a sputtering device.
従来、この種の真空処理装置においては、スパッタリング等の真空処理を行う際に真空槽内の壁面等に対する成膜材料等の付着を防止するため、板状の防着部材が設けられている。
この防着部材は、例えばスパッタリング装置のようなプラズマ処理を行う放電空間の基板の近傍に設けられている。Conventionally, in this type of vacuum processing apparatus, a plate-shaped protective member is provided in order to prevent the film forming material or the like from adhering to the wall surface or the like in the vacuum chamber when performing vacuum processing such as sputtering.
This adhesion-proof member is provided in the vicinity of a substrate in a discharge space for performing plasma processing, such as a sputtering device.
この場合、防着部材は真空槽内において基板と平行な方向に向けて例えば枠状の保持部材に取り付けられる。
従来、このような防着部材は、多数のボルトを用いて保持部材に取り付けられている。In this case, the adhesive member is attached to, for example, a frame-shaped holding member in a vacuum chamber in a direction parallel to the substrate.
Conventionally, such a protective member is attached to a holding member by using a large number of bolts.
しかし、保持部材に取り付けられた防着部材においては、種々の課題がある。
すなわち、スパッタリング等の成膜時には防着部材に対しても成膜材料が付着する。その際にはボルトの表面にも成膜材料が付着してパーティクル発生の原因になる。このため、各ボルトに対して成膜材料の付着を防止するためのキャップを取り付けるようにしているが、このキャップに付着した成膜材料もパーティクルの発生の原因になる。However, there are various problems in the adhesive member attached to the holding member.
That is, the film-forming material adheres to the adhesion-proof member at the time of film formation such as sputtering. At that time, the film-forming material also adheres to the surface of the bolt and causes particles to be generated. For this reason, a cap is attached to each bolt to prevent the film forming material from adhering to each bolt, but the film forming material adhering to the cap also causes the generation of particles.
また、防着部材は保持部材に対して多数のボルトを用いて放電空間側から取り付けられているので、放電の際の熱による防着部材の伸びに起因して保持部材との間で擦れが生じ、これによりパーティクルが発生してしまう。 Further, since the adhesive member is attached to the holding member from the discharge space side by using a large number of bolts, there is friction with the holding member due to the elongation of the adhesive member due to heat during discharge. It is generated, which causes particles to be generated.
本発明は、このような従来の技術の課題を考慮してなされたもので、その目的とするところは、真空処理の際に放電空間に配置される防着部材から発生するパーティクルを抑制することができる技術を提供することにある。 The present invention has been made in consideration of such problems of the prior art, and an object of the present invention is to suppress particles generated from an adhesive member arranged in a discharge space during vacuum processing. Is to provide technology that can be used.
上記目的を達成するためになされた本発明は、真空処理の際に発生する物質の真空槽内への付着を防止する防着部材であって、枠状の防着本体部材と、前記防着本体部材を保持する保持部材とを備え、前記防着本体部材は、処理対象物の周囲に設けられる複数の板状の構成部材を有するとともに、前記複数の構成部材は、前記真空槽内の放電空間に対向する面と反対側の面に、前記保持部材に設けられた複数のフック部に引っ掛けて装着するための引っ掛け部がそれぞれ設けられている防着部材である。
本発明では、前記防着本体部材の各構成部材は細長形状に形成され、当該各構成部材の引っ掛け部は、当該防着本体部材が前記保持部材に保持された状態で、前記各構成部材が長手方向に移動しないように前記保持部材のフック部に設けられた固定用フックに引っ掛かる固定用引っ掛け部と、前記各構成部材が長手方向に移動可能な状態で前記保持部材のフック部に設けられた移動用フックに引っ掛かる移動用引っ掛け部とを有し、前記固定用引っ掛け部が当該各構成部材の中央部分に設けられるとともに、前記移動用引っ掛け部が前記固定用引っ掛け部に対して当該構成部材の両端部側に設けられている場合にも効果的である。
本発明では、前記防着本体部材の各構成部材の周縁部に、前記真空槽の放電空間に対向する面側に延びるプラズマ遮蔽用の壁部が設けられている場合にも効果的である。
本発明では、前記防着本体部材の各構成部材の周縁部に、前記プラズマ遮蔽用の壁部に対して外方側に延びるように、前記保持部材に対する取付部が設けられている場合にも効果的である。
また、本発明は、真空槽と、前記真空槽内に設けられ、真空処理の際に発生する物質の真空槽内への付着を防止する防着部材とを備え、前記防着部材は、枠状の防着本体部材と、前記防着本体部材を保持する保持部材とを有し、前記防着本体部材は、処理対象物の周囲に設けられる複数の板状の構成部材を有し、前記複数の構成部材は、前記真空槽内の放電空間に対向する面と反対側の面に、前記保持部材に設けられた複数のフック部に引っ掛けて装着するための引っ掛け部がそれぞれ設けられ、前記防着部材の近傍に配置された処理対象物に対して所定の真空処理を行うように構成されている真空処理装置である。
本発明では、スパッタリングターゲットが配置される前記真空槽を有し、前記防着部材の近傍に配置される処理対象物に対してスパッタリングを行うように構成されている場合にも効果的である。The present invention made in order to achieve the above object is an anti-adhesion member for preventing the adhesion of a substance generated during vacuum processing into a vacuum chamber, and is a frame-shaped anti-adhesion main body member and the above-mentioned anti-adhesion. The protective main body member includes a holding member for holding the main body member, the anti-adhesion main body member has a plurality of plate-shaped constituent members provided around the object to be processed, and the plurality of constituent members are discharged in the vacuum chamber. A protective member provided with hooking portions for hooking and mounting on a plurality of hook portions provided on the holding member on a surface opposite to a surface facing the space.
In the present invention, each component of the anti-adhesion body member is formed in an elongated shape, and the hooking portion of each component is such that each component is held by the holding member. A fixing hook portion that is hooked on a fixing hook provided on the hook portion of the holding member so as not to move in the longitudinal direction, and a fixing hook portion provided on the hook portion of the holding member in a state where each component member can be moved in the longitudinal direction. It has a moving hook portion that is hooked on the moving hook, the fixing hook portion is provided in the central portion of each of the constituent members, and the moving hook portion is provided with respect to the fixing hook portion. It is also effective when it is provided on both ends of the.
The present invention is also effective when a wall portion for shielding plasma extending toward the surface facing the discharge space of the vacuum chamber is provided on the peripheral edge of each constituent member of the protective main body member.
In the present invention, even when a mounting portion for the holding member is provided on the peripheral edge portion of each constituent member of the protective body member so as to extend outward with respect to the wall portion for shielding the plasma. It is effective.
Further, the present invention includes a vacuum chamber and an anti-adhesion member provided in the vacuum chamber to prevent substances generated during vacuum processing from adhering to the vacuum chamber, and the anti-adhesion member is a frame. It has a shape-shaped protective body member and a holding member that holds the protective body member, and the protective body member has a plurality of plate-shaped constituent members provided around the object to be processed, and the above-mentioned The plurality of constituent members are provided with hooking portions for hooking and mounting on the plurality of hook portions provided on the holding member on the surface opposite to the surface facing the discharge space in the vacuum chamber. It is a vacuum processing apparatus configured to perform a predetermined vacuum processing on an object to be processed arranged in the vicinity of the adhesive member.
The present invention is also effective when it has the vacuum chamber in which the sputtering target is arranged and is configured to perform sputtering on the object to be processed arranged in the vicinity of the adhesion-proof member.
本発明にあっては、防着本体部材の複数の板状の構成部材における、真空槽内の放電空間に対向する面と反対側の面に、保持部材に設けられた複数のフック部に引っ掛けて装着するための引っ掛け部がそれぞれ設けられていることから、防着本体部材を保持部材に保持させるために従来技術のように多数のカバー付きのボルトを用いる必要がない。 In the present invention, in the plurality of plate-shaped constituent members of the anti-adhesion main body member, hooks are hooked on a plurality of hook portions provided on the holding member on the surface opposite to the surface facing the discharge space in the vacuum chamber. Since the hooking portions are provided for mounting the protective body members, it is not necessary to use a large number of bolts with covers as in the prior art to hold the protective body member to the holding member.
その結果、本発明によれば、防着部材の放電空間側の面の凹凸部を減らしてその表面積を小さくすることができるので、真空処理の際に付着した成膜材料等の防着部材の表面からの剥離に起因するパーティクルの発生を抑制することができる。 As a result, according to the present invention, the uneven portion of the surface of the adhesive member on the discharge space side can be reduced to reduce the surface area of the adhesive member. It is possible to suppress the generation of particles due to peeling from the surface.
本発明において、防着本体部材の各構成部材は細長形状に形成され、当該各構成部材の引っ掛け部は、当該防着本体部材が保持部材に保持された状態で、各構成部材が長手方向に移動しないように保持部材のフック部に設けられた固定用フックに引っ掛かる固定用引っ掛け部と、各構成部材が長手方向に移動可能な状態で保持部材のフック部に設けられた移動用フックに引っ掛かる移動用引っ掛け部とを有し、固定用引っ掛け部が当該各構成部材の中央部分に設けられるとともに、移動用引っ掛け部が固定用引っ掛け部に対して当該構成部材の両端部側に設けられている場合には、スパッタリング等の真空処理の際の熱によって複数の構成部材が伸長した場合に、防着本体部材の移動用引っ掛け部は、保持部材の移動用フックに引っ掛けた状態で複数の構成部材の長手方向にそれぞれ移動することができる。 In the present invention, each component of the anti-adhesion body member is formed in an elongated shape, and each component is held in the longitudinal direction in a state where the anti-adhesion body member is held by the holding member. It is hooked on the fixing hook provided on the hook portion of the holding member so as not to move, and on the moving hook provided on the hook portion of the holding member in a state where each constituent member can be moved in the longitudinal direction. It has a moving hook portion, and a fixing hook portion is provided in the central portion of each of the constituent members, and a moving hook portion is provided on both ends of the constituent member with respect to the fixing hook portion. In some cases, when a plurality of constituent members are stretched due to heat during vacuum processing such as sputtering, the moving hook portion of the anticorrosion main body member is hooked on the moving hook of the holding member and the plurality of constituent members are in a state of being hooked. Can be moved in the longitudinal direction of each.
その結果、本発明によれば、真空処理の際に生じた熱によって複数の構成部材がそれぞれ伸長する場合に、各構成部材の中央部分を基準として両端部側に均等に伸長するので、真空処理の際の防着部材の反りやゆがみを抑制することができる。 As a result, according to the present invention, when a plurality of constituent members are each stretched by the heat generated during the vacuum treatment, they are evenly stretched toward both ends with respect to the central portion of each constituent member, so that the vacuum treatment is performed. It is possible to suppress the warp and distortion of the adhesive member at the time of.
また、本発明において、防着本体部材の各構成部材の周縁部に、真空槽の放電空間に対向する面側に延びるプラズマ遮蔽用の壁部が設けられている場合には、防着部材の放電空間側の面に付着する成膜材料等の物質の量を減少させることができるので、当該物質の防着部材の表面からの剥離に起因するパーティクルの発生をより抑制することができる。 Further, in the present invention, when a wall portion for shielding plasma extending toward the surface facing the discharge space of the vacuum chamber is provided on the peripheral edge of each constituent member of the protective body member, the protective member is provided. Since the amount of a substance such as a film forming material adhering to the surface on the discharge space side can be reduced, it is possible to further suppress the generation of particles due to the separation of the substance from the surface of the adhesive member.
さらに、本発明において、防着本体部材の各構成部材の周縁部に、プラズマ遮蔽用の壁部から外方側に延びるように、保持部材に対する取付部が設けられている場合には、取付部においてねじを用いて防着本体部材を保持部材に取り付けた場合であっても、真空処理の際に生ずる物質が防着本体部材に設けたプラズマ遮蔽用の壁部によって遮られ、防着本体部材の取付部への付着を防止することができるので、当該物質の防着部材の表面からの剥離に起因するパーティクルの発生をより抑制することができる。 Further, in the present invention, when a mounting portion for the holding member is provided on the peripheral edge portion of each constituent member of the protective main body member so as to extend outward from the wall portion for plasma shielding, the mounting portion. Even when the anti-adhesion body member is attached to the holding member using screws, the substance generated during vacuum processing is blocked by the plasma shielding wall provided on the anti-adhesion body member, and the anti-adhesion body member is shielded. Since it is possible to prevent the substance from adhering to the mounting portion, it is possible to further suppress the generation of particles due to the peeling of the substance from the surface of the adhesive member.
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
図1は、本発明に係る真空処理装置の例であるスパッタリング装置の内部構成を示す概略構成図である。Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an internal configuration of a sputtering apparatus which is an example of the vacuum processing apparatus according to the present invention.
図2(a)(b)は、本発明に係る防着部材の防着本体部材の例を示す概略構成図で、図2(a)は、放電空間側から見た正面図、図2(b)は、放電空間側の反対側から見た正面図である。 2 (a) and 2 (b) are schematic configuration views showing an example of an anti-adhesion main body member of an anti-adhesion member according to the present invention, and FIG. 2 (a) is a front view and FIG. 2 (a) seen from the discharge space side. b) is a front view seen from the opposite side of the discharge space side.
また、図3(a)は、同防着本体部材の例を示す概略構成図で、図3(a)は、放電空間側から見た正面図、図3(b)は、図3(a)のA-A線断面図である。 3 (a) is a schematic configuration diagram showing an example of the protective main body member, FIG. 3 (a) is a front view seen from the discharge space side, and FIG. 3 (b) is FIG. 3 (a). ) Is a cross-sectional view taken along the line AA.
図1に示すように、本例の防着本体部材10は、真空処理装置であるスパッタリング装置40に用いる防着部材30を構成するもので、真空槽6内の基板8(処理対象物)の近傍において後述する保持部材20に保持された状態で配置される。
As shown in FIG. 1, the adhesion
ここで、本例では、基板8及びスパッタリングターゲット(以下、「ターゲット」という。)7を概ね鉛直方向に向けて対向配置し、防着本体部材10は、基板8とターゲット7との間の放電空間9とに対向するように設けられる。
Here, in this example, the substrate 8 and the sputtering target (hereinafter referred to as “target”) 7 are arranged so as to face each other in a substantially vertical direction, and the
このような構成を有するスパッタリング装置40では、基板8とターゲット7の間にスパッタガスを導入し、ターゲット7に負電圧を印加してプラズマ放電を生じさせる。
これにより、負電荷にされたターゲット7がプラズマ中のイオンによってスパッタされ、ターゲット7表面から飛び出したスパッタ粒子によって基板8上に膜が形成される。In the
As a result, the negatively charged
図2(a)は、防着本体部材10の表側面を示すものであり、図2(b)には、防着本体部材10の裏側面が示されている。
図2(a)(b)に示すように、本例の防着本体部材10は、例えば直線板状の第1~第4構成部材1~4を有し、開口部10aを有する矩形枠状に形成されている。FIG. 2A shows the front side surface of the
As shown in FIGS. 2A and 2B, the
本例の防着本体部材10は、例えばアルミニウム(Al)、ステンレス、チタン(Ti)からなり、通常は鉛直方向に向けた状態で配置される。
ここで、防着本体部材10は、上下側に配置され水平方向に延びる第1構成部材1及び第2構成部材2と、第1構成部材1及び第2構成部材2の間において左右側に配置され鉛直方向に延びる第3構成部材3及び第4構成部材4とを有している。The
Here, the
以下、防着本体部材10の第1構成部材1及び第2構成部材2の長手方向を適宜「X軸方向」といい、第3構成部材3及び第4構成部材4の長手方向を適宜「Z軸方向」という。
Hereinafter, the longitudinal direction of the first
これら第1~第4構成部材1~4は、真空処理時における熱による伸長を考慮して、隣接する部材の両端部同士に若干の隙間を設けて配置される。
第1~第4構成部材1~4のうち第1構成部材1と第2構成部材2、並びに、第3構成部材3と第4構成部材4は、防着本体部材10の中心点を通る直線に関して線対称の形状に形成され配置される。The first to fourth
Of the first to fourth
そして、第1~第4構成部材1~4は、後述する機構によって保持部材20に引っ掛けられて保持される。
なお、第1~第4構成部材1~4のそれぞれの周縁部には、第1~第4構成部材1~4の図1に示す放電空間9側(表面側)に向って例えば垂直に延びるように形成されたプラズマ遮蔽壁(プラズマ遮蔽用の壁部)1c、2c、3c、4cが設けられている。Then, the first to fourth
It should be noted that each peripheral edge portion of the first to fourth
本例の第1~第4構成部材1~4の裏側面には、第1~第4構成部材1~4をそれぞれ保持部材20に引っ掛けて保持させるための引っ掛け部1A、2A、3A、4Aが設けられている。
On the back surface of the first to fourth
ここで、第1及び第2構成部材1、2の引っ掛け部1A、2Aは、後述する固定用引っ掛け部1aと移動用引っ掛け部1bをそれぞれ有し、これら固定用引っ掛け部1aと移動用引っ掛け部1bは、第1及び第2構成部材1、2の長手方向(X軸方向)に沿って例えば直線状に一列に並べて設けられている。
Here, the hooking
一方、第3及び第4構成部材3、4の引っ掛け部3A、4Aは、後述する固定用引っ掛け部1aと、上方側移動用引っ掛け部1baと、下方側移動用引っ掛け部1bbとをそれぞれ有し、これら固定用引っ掛け部1aと、上方側移動用引っ掛け部1baと、下方側移動用引っ掛け部1bbは、第3及び第4構成部材3、4の長手方向(Z軸方向)に沿って例えば直線状に一列に並べて設けられている。On the other hand, the hooking
本発明においては、それぞれ第1及び第2構成部材1、2の中央部分に固定用引っ掛け部1aを設けるとともに、この固定用引っ掛け部1aに対して第1及び第2構成部材1、2の両端部側に移動用引っ掛け部1bを設けることが好ましい。
In the present invention, the
また、本発明においては、それぞれ第3及び第4構成部材3、4の中央部分に固定用引っ掛け部1aを設けるとともに、この固定用引っ掛け部1aに対して第3及び第4構成部材3、4の両端部側に上方側移動用引っ掛け部1ba、下方側移動用引っ掛け部1bbを設けることが好ましい。Further, in the present invention, the
本発明の場合、特に限定されることはないが、防着部材30の反りを防止する観点及び固定位置に対して各端部の移動量を少なくする観点からは、第1~第4構成部材1~4の中央部分に設けられる固定用引っ掛け部1aに対し、それぞれ第1~第4構成部材1~4の長手方向と直交する直線(図示せず)に関して線対称となるように複数の移動用引っ掛け部1b(上方側移動用引っ掛け部1ba、下方側移動用引っ掛け部1bb)を設けることが好ましい。In the case of the present invention, the first to fourth constituent members are not particularly limited, but from the viewpoint of preventing the
本例では、それぞれ第1~第4構成部材1~4の中央部分に一つの固定用引っ掛け部1aが設けられるとともに、固定用引っ掛け部1aに対して第1~第4構成部材1~4の両端部側の当該線対称となる位置に複数(本例ではそれぞれ二つ)の移動用引っ掛け部1b(上方側移動用引っ掛け部1ba、下方側移動用引っ掛け部1bb)が設けられている。In this example, one
なお、第1~第4構成部材1~4に設けられた固定用引っ掛け部1a及び移動用引っ掛け部1b(上方側移動用引っ掛け部1ba、下方側移動用引っ掛け部1bb)は、例えば長方体形状に形成され、それぞれ同等の幅及び長さを有している。The
一方、第1~第4構成部材1~4の周縁部には、第1~第4構成部材1~4を保持部材20に例えばボルトを用いて取り付けるための複数の取付部5が、それぞれプラズマ遮蔽壁1c~4cから外方側に延びる(突出する)ように設けられている。
On the other hand, on the peripheral edges of the first to fourth
図4は、本発明に用いる保持部材の例を示す正面図で、放電空間側から見たものである。
本例では、保持部材20は、図1に示すスパッタリング装置40内に固定され、保持部材20の放電空間9側に防着本体部材10の第1~第4構成部材1~4が取り付けられる。FIG. 4 is a front view showing an example of the holding member used in the present invention, and is viewed from the discharge space side.
In this example, the holding
図4に示すように、本例の保持部材20は、矩形枠状に形成されている。
この保持部材20は、剛性の高い板材を用いて一体的に形成され、上述した防着本体部材10の外径より若干大きい外径を有するとともに、防着本体部材10の開口部10aより若干大きい内径を有する開口部20aが設けられている。As shown in FIG. 4, the holding
The holding
保持部材20は、防着本体部材10の第1~第4構成部材1~4に対応する第1~第4枠部11~14から構成されている。すなわち、保持部材20の上下に水平方向に延びる第1枠部11及び第2枠部12が設けられ、第1枠部11及び第2枠部12の間において保持部材20の左右に鉛直方向に延びる第3枠部13及び第4枠部14が設けられている。
The holding
以下、保持部材20の第1枠部11及び第2枠部12の長手方向を適宜「X軸方向」といい、第3枠部13及び第4枠部14の長手方向を適宜「Z軸方向」という。
Hereinafter, the longitudinal direction of the
保持部材20の第1~第4枠部11~14の図1に示す放電空間9側の面即ち表側面には、防着本体部材10の第1~第4構成部材1~4の引っ掛け部1A~4Aに対応する第1~第4フック部11A~14Aが設けられている。
本例では、保持部材20の上側の第1枠部11に第1フック部11Aが設けられるとともに、下側の第2枠部12に第2フック部12Aが設けられている。On the surface of the holding
In this example, the
一方、保持部材20の図1に示す放電空間9側から見て左側の第3枠部13には第3フック部13Aが設けられるとともに、同放電空間9側から見て右側の第4枠部14には第4フック部14Aが設けられている。
On the other hand, the
保持部材20の第1~第4フック部11A~14Aは、後述する固定用フック11aと移動用フック11bをそれぞれ有し、これら固定用フック11aと移動用フック11bは、保持部材20の第1~第4枠部11~14の長手方向に沿って例えば直線状に一列に並べて設けられている。
The first to
本発明においては、それぞれ保持部材20の第1~第4枠部11~14の中央部分に固定用フック11aを設けるとともに、この固定用フック11aに対して第1~第4枠部11~14の両端部側に移動用フック11bを設けることが好ましい。
In the present invention, the fixing hooks 11a are provided at the central portions of the first to
本発明の場合、特に限定されることはないが、防着部材30の反りを防止する観点からは、上述した第1~第4枠部11~14の中央部分に設けられる固定用フック11aに対し、それぞれ第1~第4枠部11~14の長手方向と関して線対称となるように複数の移動用フック11bを設けることが好ましい。
In the case of the present invention, there is no particular limitation, but from the viewpoint of preventing the
本例では、それぞれ第1~第4枠部11~14の中央部分に一つの固定用フック11aが設けられるとともに、固定用フック11aに対して第1~第4枠部11~14の両端部側の当該線対称となる位置に複数(本例ではそれぞれ二つ)の移動用フック11bが設けられている。
In this example, one fixing
これら固定用フック11aと移動用フック11bは、上述した防着本体部材10の固定用引っ掛け部1a及び移動用引っ掛け部1b(上方側移動用引っ掛け部1ba、下方側移動用引っ掛け部1bb)に対応する位置にそれぞれ設けられている。These fixing hooks 11a and moving
図5(a)は、防着本体部材の第1及び第2構成部材における固定用引っ掛け部と保持部材の第1及び第2枠部における固定用フックの構成を示す説明図で、図5(b)は、防着本体部材の第1及び第2構成部材における移動用引っ掛け部と保持部材の第1及び第2枠部における移動用フックの構成を示す説明図である。 FIG. 5A is an explanatory view showing the configuration of the fixing hook portion in the first and second constituent members of the anti-adhesion main body member and the fixing hook in the first and second frame portions of the holding member, FIG. 5 (a). b) is an explanatory diagram showing the configuration of the moving hook portion in the first and second constituent members of the anti-adhesion main body member and the moving hook portion in the first and second frame portions of the holding member.
図6(a)~(d)は、防着本体部材の第1及び第2構成部材を保持部材の第1及び第2枠部に保持させる場合の要部の構成及び動作を示す断面図である。 6 (a) to 6 (d) are cross-sectional views showing the configuration and operation of the main parts when the first and second constituent members of the protective body member are held by the first and second frame portions of the holding member. be.
図4及び図5(a)(b)に示すように、本例においては、保持部材20の第1及び第2枠部11、12における固定用フック11aと移動用フック11bは、保持部材20の第1及び第2枠部11、12に設けられた、固定用フック用凹部21aと移動用フック用凹部21b内にそれぞれ配置されている。
As shown in FIGS. 4 and 5 (a) and 5 (b), in this example, the fixing
これら固定用フック用凹部21aと移動用フック用凹部21bは、保持部材20の第1及び第2枠部11、12のそれぞれのX軸方向の長さについて、いずれも上方側の部分の長さより下方側の部分の長さの方が長くなるように形成されている。
The lengths of the fixing
そして、固定用フック11aと移動用フック11bは、共に固定用フック用凹部21aと移動用フック用凹部21bの下方側の部分に配置されている。
なお、第1及び第2枠部11、12の固定用フック11aは、例えば長方体形状に形成され、その上部に、例えば固定用フック用凹部21aの底部側に向って高さが低くなるように傾斜させた平面状の支持面11a1が形成されている(図6(a)参照)。The fixing
The fixing hooks 11a of the first and
また、第1及び第2枠部11、12の移動用フック11bは、例えば長方体形状に形成され、その上部に、例えば移動用フック用凹部21bの底部から離れる側の部分に上方に突出させたフック突部11b1が形成されている(図6(b)参照)。
なお、この移動用フック11bのフック突部11b1と移動用フック用凹部21bの底部との間には、平坦な支持部11b2が形成されている。Further, the moving
A
本例では、防着本体部材10の第1及び第2構成部材1、2における固定用引っ掛け部1aと移動用引っ掛け部1bは、防着本体部材10を保持部材20に保持させた場合に、保持部材20の第1及び第2枠部11、12において、共に固定用フック用凹部21aと移動用フック用凹部21bの上方側の部分に配置されるように構成されている(図5(a)(b)参照)。
In this example, the
ここで、防着本体部材10の第1及び第2構成部材1、2の固定用引っ掛け部1aは、図5(a)に示すように、そのX軸方向の長さ(d1)が、保持部材20の第1及び第2構成部材1、2における固定用フック用凹部21aの上方側の部分でX軸方向の長さ(d)以下で、それぞれ固定用フック用凹部21a内に挿入(圧入)可能となるように設定されている(d1≦d)。
Here, as shown in FIG. 5A, the
これにより、防着本体部材10の第1及び第2構成部材1、2の固定用引っ掛け部1aは、保持部材20の第1及び第2枠部11、12の固定用フック用凹部21a内にそれぞれ配置された場合に、固定用フック用凹部21aのX軸方向の両側の壁部21ahにそれぞれ密着した状態で接触し、これにより固定用フック用凹部21a内においてX軸方向にそれぞれ移動できない状態になる。
As a result, the fixing
ここで、防着本体部材10の第1及び第2構成部材1、2の固定用引っ掛け部1aは、その下部分に上記第1及び第2枠部11、12の固定用フック11aの支持面11a1と密着可能な平面状の当接面1a1が設けられている(図6(a)参照)。Here, the fixing hooks 1a of the first and second
一方、上述した防着本体部材10の第1及び第2構成部材1、2の移動用引っ掛け部1bは、図5(b)に示すように、そのX軸方向の長さ(d2)が、保持部材20の第1及び第2枠部11、12における移動用フック用凹部21bの上方側の部分のX軸方向の長さ(D)よりそれぞれ小さくなるように設定されている(d2<D)。
On the other hand, as shown in FIG. 5B, the moving hooking
これにより、防着本体部材10の第1及び第2構成部材1、2の移動用引っ掛け部1bは、保持部材20の第1及び第2枠部11、12の移動用フック用凹部21b内に配置された場合に、各移動用引っ掛け部1bのX軸方向の両端部と移動用フック用凹部21b上方側の両側の壁部21bhとの間に隙間21hが形成されるので、移動用フック用凹部21bのX軸方向の両側の壁部21bhにはそれぞれ接触せず、移動用フック用凹部21b内においてX軸方向にそれぞれ移動することが可能な状態になる。
As a result, the moving hooking
ここで、防着本体部材10の第1及び第2構成部材1、2の移動用引っ掛け部1bは、その下部分に上記第1及び第2枠部11、12の移動用フック11bのフック突部11b1と噛み合うことが可能な突出部1b1が設けられている(図6(b)参照)。Here, the moving
なお、防着本体部材10の第1及び第2構成部材1、2の移動用引っ掛け部1bは、後述するように、保持部材20の第1及び第2枠部11、12の移動用フック11bに引っ掛けた状態であっても、X軸方向にそれぞれ移動可能な状態になるように構成されている。
The moving
このような構成において、防着本体部材10の第1及び第2構成部材1、2を保持部材20の第1及び第2枠部11、12に保持させる場合には、以下の動作を行う。
まず、例えば図6(a)に示すように、防着本体部材10の裏側面と保持部材20の表側面とを対向させ、図6(c)に示すように、防着本体部材10の第1及び第2構成部材1、2の裏側面の各固定用引っ掛け部1aを、保持部材20の第1及び第2枠部11、12の表側面の固定用フック用凹部21a内に挿入し、それぞれの当接面1a1を固定用フック11aの支持面11a1に当接させて引っ掛ける。In such a configuration, when the first and second
First, for example, as shown in FIG. 6A, the back side surface of the
ここでは、防着本体部材10の第1及び第2構成部材1、2の各固定用引っ掛け部1aの当接面1a1が、保持部材20の第1及び第2枠部11、12の固定用フック11aの傾斜された支持面11a1に密着状態で支持されるようにする。Here, the
この場合、上述したように、保持部材20の第1及び第2枠部11、12の固定用フック用凹部21a内にそれぞれ配置された防着本体部材10の第1及び第2構成部材1、2の固定用引っ掛け部1aは、図5(a)に示すように、固定用フック用凹部21aのX軸方向の両側の壁部21ahに密着状態で接触しているから、固定用フック用凹部21a内においてX軸方向にそれぞれ移動できない状態になる。
In this case, as described above, the first and second
さらに、上述した動作と同時に、図6(b)に示すように、防着本体部材10の裏側面と保持部材20の表側面とを対向させ、図6(d)に示すように、防着本体部材10の第1及び第2構成部材1、2の裏側面の各移動用引っ掛け部1bを、保持部材20の第1及び第2枠部11、12の表側面の移動用フック用凹部21b内に挿入し、それぞれの移動用引っ掛け部1bを移動用フック11bに引っ掛ける。
Further, at the same time as the above-mentioned operation, as shown in FIG. 6 (b), the back side surface of the anti-adhesion
この場合、防着本体部材10の第1及び第2構成部材1、2の各移動用引っ掛け部1bの突出部1b1が、保持部材20の第1及び第2枠部11、12の移動用フック11bの移動用フック用凹部21bの底部との間に入り込むようにし、防着本体部材10の移動用引っ掛け部1bの突出部1b1と、保持部材20の移動用フック11bのフック突部11b1とが噛み合うようにする(後述する図9及び図10参照)。In this case, the protruding
なお、この状態では、防着本体部材10の第1及び第2構成部材1、2の移動用引っ掛け部1bの突出部1b1の先端部は、保持部材20の第1及び第2枠部11、12の移動用フック11bの支持部11b2に接触しても接触していなくてもよい。
以上の工程により、防着本体部材10の第1及び第2構成部材1、2を保持部材20の第1及び第2枠部11、12に保持させる工程が終了する。In this state, the tip of the protruding
By the above steps, the steps of holding the first and second
図7(a)は、防着本体部材の第3及び第4構成部材における固定用引っ掛け部と保持部材の第3及び第4枠部における固定用フックの構成を示す説明図で、図7(b)は、防着本体部材の第3及び第4構成部材における移動用引っ掛け部と保持部材の第3及び第4枠部における移動用フックの構成を示す説明図である。 FIG. 7A is an explanatory view showing the configuration of the fixing hook portion in the third and fourth constituent members of the anti-adhesion main body member and the fixing hook in the third and fourth frame portions of the holding member, FIG. 7 (a). b) is an explanatory diagram showing the configuration of the moving hook portion in the third and fourth constituent members of the anti-adhesion main body member and the moving hook portion in the third and fourth frame portions of the holding member.
図8(a)~(d)は、防着本体部材の第3及び第4構成部材を保持部材の第3及び第4枠部に保持させる場合の要部の構成及び動作を示す断面図である。
図9は、本発明に係る防着部材の例を示す正面図で、放電空間側から見たものであり、図10は、図9のB-B線斜視断面図である。8 (a) to 8 (d) are cross-sectional views showing the configuration and operation of the main parts when the third and fourth constituent members of the anticorrosion main body member are held by the third and fourth frame portions of the holding member. be.
FIG. 9 is a front view showing an example of the adhesive member according to the present invention, which is viewed from the discharge space side, and FIG. 10 is a perspective sectional view taken along line BB of FIG.
図4及び図7(a)(b)に示すように、本例においては、保持部材20の第3及び第4枠部13、14における固定用フック11aと移動用フック11bは、保持部材20の第3及び第4枠部13、14に設けられた、固定用フック用凹部21aと移動用フック用凹部21b内にそれぞれ配置されている。
As shown in FIGS. 4 and 7 (a) and 7 (b), in this example, the fixing
本例の場合、保持部材20の第3及び第4枠部13、14に設けられた固定用フック11aは、保持部材20の第1及び第2枠部11、12に設けられた固定用フック11aと同一の基本構成を有している。
In the case of this example, the fixing
第3及び第4枠部13、14の固定用フック用凹部21aと移動用フック用凹部21bは、保持部材20の第3及び第4枠部13、14のそれぞれのX軸方向の長さについて、いずれも上方側の部分の長さより下方側の部分の長さの方が長くなるように形成されている。
The fixing
そして、固定用フック11aと移動用フック11bは、共に固定用フック用凹部21aと移動用フック用凹部21bの下方側の部分に配置されている。
なお、第3及び第4枠部13、14の固定用フック11aは、例えば長方体形状に形成され、その上部に、例えば固定用フック用凹部21aの底部側に向って高さが低くなるように傾斜させた平面状の支持面11a1が形成されている(図8(a)参照)。The fixing
The fixing hooks 11a of the third and
また、第3及び第4枠部13、14の移動用フック11bは、例えば長方体形状に形成され、その上部に、例えば移動用フック用凹部21bの底部から離れる側の部分に上方に突出させたフック突部11b1が形成されている(図8(b)参照)。
なお、この移動用フック11bのフック突部11b1と移動用フック用凹部21bの底部との間には、平坦な支持部11b2が形成されている。Further, the moving
A
本例では、防着本体部材10の第3及び第4構成部材3、4における固定用引っ掛け部1aと上方側移動用引っ掛け部1ba、下方側引っ掛け部1bbは、防着本体部材10を保持部材20に保持させた場合に、保持部材20の第3及び第4枠部13、14において、共に固定用フック用凹部21aと移動用フック用凹部21bのZ軸上方側の部分に配置されるように構成されている(図7(a)(b)及び図9参照)。In this example, the
ここで、防着本体部材10の第3及び第4構成部材3、4の固定用引っ掛け部1aは、図7(a)に示すように、そのX軸方向の長さ(d1)が、保持部材20の第3及び第4枠部13、14における固定用フック用凹部21aの上方側の部分でX軸方向の長さ(d)以下で、それぞれ固定用フック用凹部21a内に挿入(圧入)可能な長さとなるように設定されている(d1≦d)。
Here, as shown in FIG. 7A, the
これにより、防着本体部材10の第3及び第4構成部材3、4の固定用引っ掛け部1aは、保持部材20の第3及び第4枠部13、14の固定用フック用凹部21a内にそれぞれ配置された場合に、固定用フック用凹部21aのX軸方向の両側の壁部21ahにそれぞれ密着状態で接触し、これにより固定用フック用凹部21a内においてX軸方向にそれぞれ移動できない状態になる。
As a result, the fixing
ここで、防着本体部材10の第3及び第4構成部材3、4の固定用引っ掛け部1aは、その下部分に保持部材20の第3及び第4枠部13、14の固定用フック11aの支持面11a1と密着可能な平面状の当接面1a1が設けられている(図8(a)参照)。Here, the fixing hooks 1a of the third and fourth
なお、本例では、防着本体部材10の第3及び第4構成部材3、4の固定用引っ掛け部1aの当接面1a1が、保持部材20の第3及び第4枠部13、14の固定用フック11aの支持面11a1に密着して支持された場合に、防着本体部材10の第3及び第4構成部材3、4の全荷重が保持部材20の第3及び第4枠部13、14の固定用フック11aによってそれぞれ支えられるように構成されている。In this example, the
一方、本例の防着本体部材10の第3及び第4構成部材3、4の上方側移動用引っ掛け部1ba及び下方側移動用引っ掛け部1bbは、図7(b)に示すように、そのX軸方向の長さ(d2)が、保持部材20の第3及び第4枠部13、14における移動用フック用凹部21bの上方側の部分でX軸方向の長さ(d)以下で移動用フック用凹部21b内に挿入(圧入)可能な長さとなるように設定されている(d2≦d)。On the other hand, the hooking
したがって、本例の場合、防着本体部材10の第3及び第4構成部材3、4の上方側移動用引っ掛け部1ba及び下方側移動用引っ掛け部1bbは、保持部材20の第3及び第4枠部13、14の移動用フック用凹部21b内にそれぞれ配置された場合に、移動用フック用凹部21bのX軸方向の両側の壁部21bhにそれぞれ密着した状態で接触し、これにより移動用フック用凹部21b内においてX軸方向にそれぞれ移動できない状態になる。Therefore, in the case of this example, the hooking
一方、本例においては、スパッタリング等の真空処理の際に熱が加わった場合、防着本体部材10の第3及び第4構成部材3、4の中央部に位置する固定用引っ掛け部1aはZ軸方向に殆ど伸長せず影響がないが、防着本体部材10の第3及び第4構成部材3、4はZ軸方向に伸長することから、これを考慮して次のような構成が採用されている。
On the other hand, in this example, when heat is applied during vacuum processing such as sputtering, the fixing
まず、防着本体部材10の上方側及び下方側移動用引っ掛け部1ba、1bbを保持部材20の移動用フック11bに引っ掛けた場合には、図8(d)に示すように、防着本体部材10の第3及び第4構成部材3、4の上方側及び下方側移動用引っ掛け部1ba、1bbの突出部1b1が、保持部材20の第3及び第4枠部13、14の移動用フック11bの移動用フック用凹部21bの底部との間にそれぞれ入り込み、上方側及び下方側移動用引っ掛け部1ba、1bbの突出部1b1と、保持部材20の移動用フック11bのフック突部11b1とが噛み合う。First, when the upper and lower moving
このような状態で真空処理の際の熱が防着本体部材10の第3及び第4構成部材3、4に加わると、第3及び第4構成部材3、4の中央部に対して上方側の部分がZ軸上方側に伸長し、これにより上方側移動用引っ掛け部1baもZ軸上方側に伸長する。In such a state, when heat during vacuum processing is applied to the third and fourth
その結果、防着本体部材10の上方側移動用引っ掛け部1baの突出部1b1の先端部が、保持部材20の移動用フック11bの支持部11b2から離間してこれらの間隔が拡がる。As a result, the tip of the protruding
したがって、本例では、防着本体部材10に対して熱が加わらない状態において、上方側移動用引っ掛け部1baの突出部1b1の先端部が保持部材20の移動用フック11bの支持部11b2に対して接触する構成又は離間する構成のいずれも採用することができる。Therefore, in this example, the tip of the protruding
ただし、防着本体部材10に対して熱が加わった場合に上方側移動用引っ掛け部1baの突出部1b1が、保持部材20の移動用フック11bのフック突部11b1との噛み合いが外れないように、防着本体部材10の上方側移動用引っ掛け部1baの突出部1b1と、保持部材20の移動用フック11bのフック突部11b1の形状・寸法を適切に設定しておくことが好ましい。However, when heat is applied to the
一方、防着本体部材10に対して熱が加わった場合には、第3及び第4構成部材3、4の中央部に対して下方側の部分がZ軸下方側に伸長し、これにより下方側移動用引っ掛け部1bbもZ軸下方側に伸長することによって、その先端部がZ軸下方に移動する。On the other hand, when heat is applied to the
したがって、本例では、防着本体部材10に対して熱が加わった場合に下方側移動用引っ掛け部1bbの突出部1b1の先端部が保持部材20の移動用フック11bの支持部11b2に当接してこれを押圧しないように、防着本体部材10に対して熱が加わらない状態において、下方側移動用引っ掛け部1bbの突出部1b1の先端部が保持部材20の移動用フック11bの支持部11b2に対して所定距離だけ離間するように、防着本体部材10の下方側移動用引っ掛け部1bbの突出部1b1と、保持部材20の移動用フック11bのフック突部11b1と支持部11b2の形状・寸法を適切に設定しておくことが好ましい。Therefore, in this example, when heat is applied to the
このような構成において、防着本体部材10の第3及び第4構成部材3、4を保持部材20の第3及び第4枠部13、14に保持させる場合には、以下の動作を行う。
まず、例えば図8(a)に示すように、防着本体部材10の裏側面と保持部材20の表側面とを対向させ、図8(c)に示すように、防着本体部材10の第3及び第4構成部材3、4の裏側面の各固定用引っ掛け部1aを、保持部材20の第3及び第4枠部13、14の表側面の固定用フック用凹部21a内に挿入し、それぞれの当接面1a1を固定用フック11aの支持面11a1に当接させて引っ掛ける。In such a configuration, when the third and fourth
First, for example, as shown in FIG. 8A, the back side surface of the
ここでは、防着本体部材10の第3及び第4構成部材3、4の各固定用引っ掛け部1aの当接面1a1が、保持部材20の第3及び第4枠部13、14の固定用フック11aの傾斜した支持面11a1に密着状態で支持されるようにする。Here, the
この場合、上述したように、保持部材20の第3及び第4枠部13、14の固定用フック用凹部21a内にそれぞれ配置された防着本体部材10の第3及び第4構成部材3、4の固定用引っ掛け部1aは、図7(a)に示すように、固定用フック用凹部21aのX軸方向の両側の壁部21ahに密着状態で接触しているから、固定用フック用凹部21a内においてX軸方向にそれぞれ移動できない状態となっている。
In this case, as described above, the third and fourth
さらに、上述した動作と同時に、図8(b)に示すように、防着本体部材10の裏側面と保持部材20の表側面とを対向させ、図8(d)に示すように、防着本体部材10の第3及び第4構成部材3、4の裏側面の上方側及び下方側移動用引っ掛け部1ba、1bbを、保持部材20の第3及び第4枠部13、14の表側面の移動用フック用凹部21b内に挿入し、それぞれの上方側及び下方側移動用引っ掛け部1ba、1bbを移動用フック11bに引っ掛ける。Further, at the same time as the above-mentioned operation, as shown in FIG. 8 (b), the back side surface of the anti-adhesion
この場合、防着本体部材10の第3及び第4構成部材3、4の上方側及び下方側移動用引っ掛け部1ba、1bbの突出部1b1が、保持部材20の第3及び第4枠部13、14の移動用フック11bの移動用フック用凹部21bの底部との間にそれぞれ入り込み、防着本体部材10の上方側及び下方側移動用引っ掛け部1ba、1bbの突出部1b1が、保持部材20の移動用フック11bのフック突部11b1に噛み合うようにする。In this case, the hooking
以上の工程により、防着本体部材10の第3及び第4構成部材3、4を保持部材20の第3及び第4枠部13、14に保持させる工程が終了する。
その後、防着本体部材10の取付部5において、例えばねじ(図示せず)の締結によって防着本体部材10を保持部材20に密着固定させて保持させる。
これにより、図9に示すように、本実施の形態の防着部材30が得られる。By the above steps, the steps of holding the third and fourth
After that, in the mounting
As a result, as shown in FIG. 9, the
以上述べた本実施の形態にあっては、防着本体部材10の第1~第4構成部材1~4における、真空槽6内の放電空間9に対向する面と反対側の面に、保持部材20に設けられた第1~第4フック部11A~14Aに引っ掛けて装着するための第1~第4引っ掛け部1A~4Aがそれぞれ設けられていることから、防着本体部材10を保持部材20に保持させるために従来技術のように多数のカバー付きのボルトを用いる必要がない。
In the present embodiment described above, it is held on the surface of the first to fourth
その結果、本実施の形態によれば、防着部材30の放電空間9側の面の凹凸部を減らしてその表面積を小さくすることができるので、真空処理の際に付着した成膜材料等の防着部材30の表面からの剥離に起因するパーティクルの発生を抑制することができる。
As a result, according to the present embodiment, the uneven portion of the surface of the
本実施の形態においては、防着本体部材10の第1~第4構成部材1~4が細長形状に形成され、第1~第4構成部材1~4の第1~第4引っ掛け部1A~4Aが、防着本体部材10が保持部材20に保持された状態で、第1~第4構成部材1~4が長手方向に移動しないように保持部材20の第1~第4フック部11A~14Aに設けられた固定用フック11aに引っ掛かる固定用引っ掛け部1aと、第1~第4構成部材1~4が長手方向に移動可能な状態で保持部材20の第1~第4フック部11A~14Aに設けられた移動用フック11bに引っ掛かる移動用引っ掛け部1b(上方側移動用引っ掛け部1ba、下方側移動用引っ掛け部1bb)とを有し、固定用引っ掛け部1aが第1~第4構成部材1~4の中央部分に設けられるとともに、移動用引っ掛け部1b(上方側移動用引っ掛け部1ba、下方側移動用引っ掛け部1bb)が固定用引っ掛け部1aに対して第1~第4構成部材1~4の両端部側に設けられていることから、スパッタリング等の真空処理の際の熱によって第1~第4構成部材1~4が伸長した場合に、防着本体部材10の移動用引っ掛け部1b(上方側移動用引っ掛け部1ba、下方側移動用引っ掛け部1bb)は、保持部材20の移動用フック11bに引っ掛けた状態で第1~第4構成部材1~4の長手方向にそれぞれ移動することができる。In the present embodiment, the first to fourth
その結果、本実施の形態によれば、真空処理の際に生じた熱によって第1~第4構成部材1~4がそれぞれ伸長する場合に、それぞれ第1~第4構成部材1~4の中央部分を基準として両端部側に均等に伸長するので、真空処理の際の防着部材30の反りやゆがみを抑制することができる。
As a result, according to the present embodiment, when the first to fourth
また、本実施の形態において、防着本体部材10の第1~第4構成部材1~4の周縁部に、真空槽6の放電空間9に対向する面側に延びるプラズマ遮蔽用の壁部1c~4cが設けられていることから、防着部材30の放電空間9側の面に付着する成膜材料等の物質の量を減少させることができるので、当該物質の防着部材30の表面からの剥離に起因するパーティクルの発生をより抑制することができる。
Further, in the present embodiment, a
さらに、本実施の形態において、防着本体部材10の各構成部材の周縁部に、プラズマ遮蔽壁1c~4cから外方側に延びるように、保持部材20に対する取付部5が設けられていることから、取付部5においてねじを用いて防着本体部材10を保持部材20に取り付けた場合であっても、真空処理の際に生ずる物質が防着本体部材10に設けたプラズマ遮蔽壁1c~4cによって遮られ、防着本体部材10の取付部5への付着を防止することができるので、当該物質の防着部材30の表面からの剥離に起因するパーティクルの発生をより抑制することができる。
Further, in the present embodiment, a mounting
なお、本発明は上記実施の形態に限られず、種々の変更を行うことができる。例えば、防着本体部材10の固定用引っ掛け部1aの形状、並びに、移動用引っ掛け部1b、上方側移動用引っ掛け部1ba、下方側移動用引っ掛け部1bbの形状及び数については、上記実施の形態のものには限られず、適宜変更することができる。The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made. For example, the shape and number of the
また、保持部材20の固定用フック11aの形状、並びに、移動用フック11bの形状及び数についても、上記実施の形態のものには限られず、適宜変更することができる。
さらに、上記実施の形態はスパッタリング装置に適用した場合を例にとって説明したが、本発明はこれに限られず、種々の真空処理装置に適用することができる。Further, the shape of the fixing
Further, although the above embodiment has been described by taking the case of being applied to a sputtering apparatus as an example, the present invention is not limited to this, and can be applied to various vacuum processing apparatus.
1……第1構成部材
1A…引っ掛け部
1a…固定用引っ掛け部
1b…移動用引っ掛け部
1ba…上方側移動用引っ掛け部
1bb…下方側移動用引っ掛け部
1c…プラズマ遮蔽壁(プラズマ遮蔽用の壁部)
2……第2構成部材
2A…引っ掛け部
2c…プラズマ遮蔽壁
3……第3構成部材
3A…引っ掛け部
3c…プラズマ遮蔽壁
4……第4構成部材
4A…引っ掛け部
4c…プラズマ遮蔽壁
5……取付部
6……真空槽
7……スパッタリングターゲット
8……基板(処理対象物)
10…防着本体部材
11…第1枠部
11a…固定用フック
11b…移動用フック
11A…第1フック部
12…第2枠部
12A…第2フック部
13…第3枠部
13A…第3フック部
14…第4枠部
14A…第4フック部
20…保持部材
21a…固定用フック用凹部
21b…移動用フック用凹部
30…防着部材
40…スパッタリング装置(真空処理装置) 1 ...
2 ...
10 ...
Claims (5)
枠状の防着本体部材と、
前記防着本体部材を保持する保持部材とを備え、
前記防着本体部材は、処理対象物の周囲に設けられる複数の板状の構成部材を有するとともに、前記複数の構成部材は、前記真空槽内の放電空間に対向する面と反対側の面に、前記保持部材に設けられた複数のフック部に引っ掛けて装着するための引っ掛け部がそれぞれ設けられ、
前記防着本体部材の各構成部材の周縁部に、前記真空槽の放電空間に対向する面側に延びるプラズマ遮蔽用の壁部が設けられている防着部材。 An anti-adhesive member that prevents substances generated during vacuum processing from adhering to the vacuum chamber.
Frame-shaped protective body member and
A holding member for holding the adhesive body member is provided.
The anti-adhesion main body member has a plurality of plate-shaped constituent members provided around the object to be treated, and the plurality of constituent members are on a surface opposite to a surface facing the discharge space in the vacuum chamber. , A hooking portion for hooking and mounting on a plurality of hook portions provided on the holding member is provided .
A protective member provided with a wall portion for plasma shielding extending toward a surface facing the discharge space of the vacuum chamber on the peripheral edge of each constituent member of the protective main body member.
前記真空槽内に設けられ、真空処理の際に発生する物質の真空槽内への付着を防止する防着部材とを備え、
前記防着部材は、枠状の防着本体部材と、前記防着本体部材を保持する保持部材とを有し、
前記防着本体部材は、処理対象物の周囲に設けられる複数の板状の構成部材を有し、
前記複数の構成部材は、前記真空槽内の放電空間に対向する面と反対側の面に、前記保持部材に設けられた複数のフック部に引っ掛けて装着するための引っ掛け部がそれぞれ設けられ、
前記防着本体部材の各構成部材の周縁部に、前記真空槽の放電空間に対向する面側に延びるプラズマ遮蔽用の壁部が設けられ、
前記防着部材の近傍に配置された処理対象物に対して所定の真空処理を行うように構成されている真空処理装置。 With a vacuum tank,
A protective member provided in the vacuum chamber to prevent substances generated during vacuum processing from adhering to the vacuum chamber is provided.
The anti-adhesion member has a frame-shaped anti-adhesion main body member and a holding member for holding the anti-adhesion main body member.
The anti-adhesion main body member has a plurality of plate-shaped constituent members provided around the object to be treated, and has a plurality of plate-shaped constituent members.
The plurality of constituent members are provided with hooking portions for hooking and mounting on the plurality of hook portions provided on the holding member on the surface opposite to the surface facing the discharge space in the vacuum chamber.
A wall portion for plasma shielding extending toward the surface facing the discharge space of the vacuum chamber is provided on the peripheral edge of each component of the anti-adhesion main body member.
A vacuum processing apparatus configured to perform a predetermined vacuum treatment on a processing object arranged in the vicinity of the adhesion-proof member.
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