JP7006578B2 - 電子部品の検査装置及び検査方法 - Google Patents
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図1は、実施の形態1に係る電子部品の検査装置を示す断面図である。図2は、実施の形態1に係るステージを示す上面図である。図1は図2のI-IIに沿った断面図に対応する。
図5は、実施の形態2に係る電子部品の検査装置を示す断面図である。図6は、実施の形態2に係るステージを示す上面図である。図5は図6のI-IIに沿った断面図に対応する。図7は、実施の形態2に係る検査装置で電子部品を検査している状態を示す断面図である。
図8は、実施の形態3に係るステージを示す上面図である。図9は、実施の形態3に係るステージを示す側面図である。本実施の形態では、導体3の平坦部6と第2の曲げ部7bに切り込み16が設けられて複数に分割されている。分割された導体3が個別して曲がるので、被接触導体8の凹凸に倣って弾性変形して面接触し易くなる。また、並列接続になるので接触抵抗を小さくできる。その他の構成及び効果は実施の形態2と同様である。
図10は、実施の形態4に係る電子部品の検査装置を示す断面図である。図11は、実施の形態4に係るステージを示す上面図である。図10は図11のI-IIに沿った断面図に対応する。図12は、実施の形態4に係る検査装置で電子部品を検査している状態を示す断面図である。
図13は、実施の形態5に係るステージを示す上面図である。導体3の平坦部6と第2の曲げ部7bに切り込み16が設けられて複数に分割されている。分割された導体3が個別して曲がるので、被接触導体8の凹凸に倣って弾性変形して面接触し易くなる。また、並列接続になるので接触抵抗を小さくできる。その他の構成及び効果は実施の形態4と同様である。
図14は、実施の形態6に係る電子部品の検査装置を示す断面図である。図15は、実施の形態6に係るステージを示す上面図である。図14は図15のI-IIに沿った断面図に対応する。図16は、実施の形態6に係る検査装置で電子部品を検査している状態を示す断面図である。
Claims (9)
- 電子部品が載せられ、前記電子部品に電気的に接続される導電性のステージと、
前記ステージに固定された固定部と、平坦部と、前記固定部と前記平坦部の間に設けられた曲げ部とを有する導体と、
前記平坦部の下面に荷重を付加する弾性体と、
前記平坦部の上面に接触する被接触導体と、
前記ステージ、前記導体及び前記被接触導体を介して前記電子部品に電流を供給する電源と、
前記電子部品の電気特性を測定する電気特性測定装置とを備え、
前記平坦部の厚さは前記曲げ部の厚さよりも薄いことを特徴とする電子部品の検査装置。 - 前記曲げ部は、第1の曲げ部と、前記第1の曲げ部と前記平坦部の間に設けられ前記第1の曲げ部よりも厚さが薄い第2の曲げ部とを有することを特徴とする請求項1に記載の電子部品の検査装置。
- 前記曲げ部に貫通穴が設けられていることを特徴とすることを特徴とする請求項1又は2に記載の電子部品の検査装置。
- 前記曲げ部にくびれが設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の電子部品の検査装置。
- 前記導体に切り込みが設けられて複数に分割されていることを特徴とする請求項1~4の何れか1項に記載の電子部品の検査装置。
- 前記弾性体の先端に設けられ、前記平坦部の前記下面に接触する絶縁部を更に備えることを特徴とする請求項1~5の何れか1項に記載の電子部品の検査装置。
- 前記絶縁部は球形であることを特徴とする請求項6に記載の電子部品の検査装置。
- 前記ステージと前記弾性体との間に設けられた断熱体を更に備えることを特徴とする請求項1~7の何れか1項に記載の電子部品の検査装置。
- 請求項1~8の何れか1項に記載の検査装置を用いた電子部品の検査方法であって、
前記被接触導体を前記導体の前記平坦部に接触させて前記弾性体を圧縮し、前記電源から前記ステージ、前記導体及び前記被接触導体を介して前記電子部品に電流を供給して前記電気特性測定装置により前記電子部品の電気特性を測定することを特徴とする電子部品の検査方法。
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