JP7005401B2 - 真空貼り合わせ装置 - Google Patents
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前記下チャンバーに設けられ、前記成形基板材から離間した状態で前記貼り合わせ用基板材を保持し、前記ダイヤフラム弾性シートによる押し圧を受けると収縮し、前記貼り合わせ用基板材の保持状態を解除して前記成形基板材の表面上に載置する保持用弾性伸縮治具を備えることを特徴とする。
本実施の形態による真空貼り合わせ装置全体の概略構成について、図1を参照して説明する。
本実施の形態による真空貼り合わせ装置1が備える保持用弾性伸縮治具23には、貼り合わせ用基板材3を載置した状態で保持する載置保持用弾性伸縮治具23Aと、貼り合わせ用基板材3を挟んだ状態で保持する挟み保持用弾性伸縮治具23Bとがある。
挟み保持用弾性伸縮治具23Bは、所定の曲率を有する3次元曲面形状の成形基板材2に対して貼り合わせ用基板材3を貼り合わせる際に用いられる。
2:成形基板材
3:貼り合わせ用基板材
10:上チャンバー
11:押し圧プレス用ダイヤフラム弾性シート
20:下チャンバー
21:基盤部
22:保持治具部
23:保持用弾性伸縮治具
23A:載置保持用弾性伸縮治具
23a:上下可動部
23b:弾性部
23c:外筒
23d:ストッパー用穴
23e:載置保持部
23B:挟み保持用弾性伸縮治具
24:ストッパー材
25:弾性部
26:カバー
27:伸縮ガイドピン
30:挟み保持部
30a:上挟み部
30b:下挟み部
Claims (7)
- 上チャンバーに設けられたダイヤフラム弾性シートによる押し圧により貼り合わせ用基板材を押し下げ、下チャンバーに保持された成形基板材に貼り合わせる真空貼り合わせ装置において、
前記下チャンバーに設けられ、前記成形基板材から離間した状態で前記貼り合わせ用基板材を保持し、前記ダイヤフラム弾性シートによる押し圧を受けると収縮し、前記貼り合わせ用基板材の保持状態を解除して前記成形基板材の表面上に載置する保持用弾性伸縮治具を備え、
前記保持用弾性伸縮治具は、前記貼り合わせ用基板材を保持するため複数設けられており、
前記真空貼り合わせ装置は、さらに、
前記下チャンバーにおいて、前記貼り合わせ用基板材の水平方向の位置決めを行うため、前記貼り合わせ用基板材の外周に沿って配置され、前記ダイヤフラム弾性シートの押し圧により下降する伸縮ガイドピンを備えることを特徴とする真空貼り合わせ装置。 - 前記保持用弾性伸縮治具は、前記貼り合わせ用基板材を載置した状態で保持し、
前記保持用弾性伸縮治具は、
前記ダイヤフラム弾性シートによる押し圧を受けると収縮する弾性部と、
前記貼り合わせ用基板材を載置した状態で保持し、前記弾性部の収縮に伴い下降する上下可動部と、
を有し、
前記弾性部が収縮すると前記上下可動部が下降し、前記上下可動部が前記貼り合わせ用基板材を保持した状態が解除され、前記貼り合わせ用基板材が前記成形基板材の表面上に載置されることを特徴とする請求項1に記載された真空貼り合わせ装置。 - 前記保持用弾性伸縮治具は、さらに、
前記上下可動部が、前記貼り合わせ用基板材を保持した状態を解除すべき所定位置まで下降すると、前記上下可動部の位置を保持するストッパー部を有することを特徴とする請求項2に記載された真空貼り合わせ装置。 - 前記ストッパー部は、
前記上下可動部に設けられたストッパー用穴と、
前記下チャンバーに設けられ、前記上下可動部が下降して前記ストッパー用穴の位置が下降すると、前記ストッパー用穴の内部に入って前記上下可動部の下降を停止させるストッパー材と、
を有することを特徴とする請求項3に記載された真空貼り合わせ装置。 - 前記保持用弾性伸縮治具は、前記貼り合わせ用基板材を挟んだ状態で保持し、
前記保持用弾性伸縮治具は、
前記ダイヤフラム弾性シートによる押し圧を受けると収縮する弾性部と、
前記弾性部の収縮に伴い下降する上下可動部と、
前記上下可動部に設けられ、前記貼り合わせ用基板材を挟んだ状態で保持する挟み保持部と、
を有し、
前記弾性部が収縮すると前記上下可動部が下降して前記挟み保持部が下降し、前記挟み保持部が前記貼り合わせ用基板材を挟んだ状態が解除され、前記貼り合わせ用基板材が前記成形基板材の表面上に載置されることを特徴とする請求項1に記載された真空貼り合わせ装置。 - 前記挟み保持部は、上挟み部と下挟み部とを有し、前記上挟み部と前記下挟み部との間に前記貼り合わせ用基板材を挟んだ状態で保持し、
前記弾性部の収縮に伴い前記挟み保持部が下降し、前記上挟み部と前記下挟み部とが挟んで保持していた前記貼り合わせ用基板材が前記成形基板材の表面に接触し前記成形基板材に張力が作用すると、前記上挟み部と前記下挟み部とが挟んで保持していた状態が解除され、前記貼り合わせ用基板材が前記成形基板材の表面上に載置されることを特徴とする請求項5に記載された真空貼り合わせ装置。 - 前記保持用弾性伸縮治具は、前記成形基板材に対して所定の傾き角度を有するように前記下チャンバーに設けられていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載された真空貼り合わせ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2018051550A JP7005401B2 (ja) | 2018-03-19 | 2018-03-19 | 真空貼り合わせ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2018051550A JP7005401B2 (ja) | 2018-03-19 | 2018-03-19 | 真空貼り合わせ装置 |
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JP2019162758A JP2019162758A (ja) | 2019-09-26 |
JP7005401B2 true JP7005401B2 (ja) | 2022-01-21 |
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ID=68065168
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2018051550A Active JP7005401B2 (ja) | 2018-03-19 | 2018-03-19 | 真空貼り合わせ装置 |
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JP (1) | JP7005401B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102292292B1 (ko) | 2020-02-04 | 2021-08-23 | 최석영 | 소재 성형 장치 및 소재 성형 방법 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003005145A (ja) | 2001-06-25 | 2003-01-08 | Sharp Corp | 基板貼付装置および基板貼付方法 |
JP2003036564A (ja) | 2001-01-30 | 2003-02-07 | Sony Corp | 光ディスクの製造装置および光ディスクの製造方法 |
JP2010064419A (ja) | 2008-09-12 | 2010-03-25 | Three Bond Co Ltd | ラミネート装置及びラミネート方法 |
JP2017174977A (ja) | 2016-03-24 | 2017-09-28 | 東レ株式会社 | 貼付ユニットそれを用いた真空ラミネーター、並びにそれらを用いた貼付方法および発光装置の製造方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH081898B2 (ja) * | 1988-11-02 | 1996-01-10 | 三菱電機株式会社 | ウエハ貼付装置 |
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2018
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JP2003036564A (ja) | 2001-01-30 | 2003-02-07 | Sony Corp | 光ディスクの製造装置および光ディスクの製造方法 |
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JP2010064419A (ja) | 2008-09-12 | 2010-03-25 | Three Bond Co Ltd | ラミネート装置及びラミネート方法 |
JP2017174977A (ja) | 2016-03-24 | 2017-09-28 | 東レ株式会社 | 貼付ユニットそれを用いた真空ラミネーター、並びにそれらを用いた貼付方法および発光装置の製造方法 |
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---|---|
JP2019162758A (ja) | 2019-09-26 |
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