JP7005120B2 - 面取り基板の製造方法及びそれに用いられる面取り装置 - Google Patents
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Description
図6はガラスパネルWの上面を加工している状態を示す側面図であり、チャックテーブル73に向かって外周精研スピンドル71が送られたとき、研削溝74の右上端部の上面斜面72uがガラスパネルWの上面、図6で右上端部が当接して加工が開始され、その後、チャックテーブル73に保持されたガラスパネルWがY軸方向に一定速度で移動して面取りが行われる。
Claims (11)
- 平面形状に円形以外の直線部を有する板状の被加工材の端面を研削砥石の研削溝で研削する面取り基板の製造方法であって、
前記被加工材の平面を厚さ方向に、前記被加工材の外周形状よりも小さいチャックテーブルで吸着し、
前記被加工材の平面に垂直となる前記厚さ方向の軸に対して前記研削砥石の回転軸を傾け、前記研削溝を前記被加工材の端面に垂直方向より押し付けて当接し、
前記研削溝の幅は、前記研削溝の幅を前記研削砥石の回転軸を傾けたときの前記直線部の見掛け厚みよりも大きくすると共に、前記研削砥石を傾けた状態で前記研削溝の上面斜面及び下面斜面を面取り角度と一致させ、
前記被加工材の上部の面取り部が前記上面斜面に接触し、前記被加工材の下部の面取り部が前記下面斜面に接触しないようにして前記上部の面取り部を前記上面斜面で研削することを前記被加工材の端面の角部を含む全周に対して行い、
その後、前記研削砥石を前記被加工材に対して相対的に前記厚さ方向に上昇させて前記被加工材の下部の面取り部が前記下面斜面に接触し、前記上部の面取り部が前記上面斜面に接触しないようにして前記下部の面取り部を前記下面斜面で研削することを前記被加工材の端面の角部を含む全周に対して行い、
あるいは、前記被加工材の下部の面取り部が前記下面斜面に接触し、前記被加工材の上部の面取り部が前記上面斜面に接触しないようにして前記下部の面取り部を前記下面斜面で研削することを前記被加工材の端面の角部を含む全周に対して行い、
その後、前記研削砥石を前記被加工材に対して相対的に前記厚さ方向に下降させて前記被加工材の上の面取り部が前記上面斜面に接触し、前記下部の面取り部が前記下面斜面に接触しないようにして前記上部の面取り部を前記上面斜面で研削することを前記被加工材の端面の角部を含む全周に対して行うことを特徴とする面取り基板の製造方法。 - 請求項1に記載の面取り基板の製造方法であって、
前記チャックテーブルは、前記被加工材の外周形状よりも0.6~0.8倍小さくしたことを特徴とする面取り基板の製造方法。 - 請求項1又は2に記載の面取り基板の製造方法であって、
前記被加工材の端面の上部あるいは下部を全周に渡って前記研削溝で1周するように研削し、その後、前記研削砥石を前記被加工材に対して相対的に前記厚さ方向に上昇あるいは下降させて、さらに1周研削することを特徴とする面取り基板の製造方法。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の面取り基板の製造方法であって、
前記研削砥石の回転軸を3~15°傾けることを特徴とする面取り基板の製造方法。 - 請求項1から4のいずれか1項に記載の面取り基板の製造方法であって、
前記被加工材の端面の加工は、それぞれ前記被加工材の端面の上部の研削、中央部の研削、下部の研削とで行われることを特徴とする面取り基板の製造方法。 - 請求項5に記載の面取り基板の製造方法であって、
前記上部の研削、中央部の研削、下部の研削は、それぞれ前記被加工材の端面を全周に渡って前記研削溝で1周するように行われることを特徴とする面取り基板の製造方法。 - 平面形状に円形以外の直線部を有する板状の被加工材の端面を研削砥石の研削溝で面取り加工する面取り装置において、
前記被加工材の平面を厚さ方向に吸着し、前記被加工材の外周形状よりも小さいチャックテーブルと、
前記被加工材の平面に垂直となる前記厚さ方向の軸に対して回転軸を傾け、前記研削溝を前記被加工材の端面に垂直方向より押し付けて当接し、前記研削溝の幅は、前記研削溝の幅を前記研削砥石の回転軸を傾けたときの前記直線部の見掛け厚みよりも大きくすると共に、前記研削砥石を傾けた状態で前記研削溝の上面斜面及び下面斜面が面取り角度と一致した前記研削砥石と、を備え、
前記被加工材の上部の面取り部が前記上面斜面に接触し、前記被加工材の下部の面取り部が前記下面斜面に接触しないようにして前記上部の面取り部を前記上面斜面で研削することを前記被加工材の端面の角部を含む全周に対して行い、
その後、前記研削砥石を前記被加工材に対して相対的に前記厚さ方向に上昇させて前記被加工材の下部の面取り部が前記下面斜面に接触し、前記上部の面取り部が前記上面斜面に接触しないようにして前記下部の面取り部を前記下面斜面で研削することを前記被加工材の端面の角部を含む全周に対して行い、
あるいは、前記被加工材の下部の面取り部が前記下面斜面に接触し、前記被加工材の上部の面取り部が前記上面斜面に接触しないようにして前記下部の面取り部を前記下面斜面で研削することを前記被加工材の端面の角部を含む全周に対して行い、
その後、前記研削砥石を前記被加工材に対して相対的に前記厚さ方向に下降させて前記被加工材の上の面取り部が前記上面斜面に接触し、前記下部の面取り部が前記下面斜面に接触しないようにして前記上部の面取り部を前記上面斜面で研削することを前記被加工材の端面の角部を含む全周に対して行うことを特徴とする面取り装置。 - 請求項7に記載の面取り装置において、
前記チャックテーブルは、前記被加工材の外周形状よりも0.6~0.8倍小さくしたことを特徴とする面取り装置。 - 請求項7又は8に記載の面取り装置において、
前記被加工材の端面の上部あるいは下部を全周に渡って前記研削溝で1周するように研削し、その後、前記研削砥石を前記被加工材に対して相対的に前記厚さ方向に上昇あるいは下降させて、さらに1周研削することを特徴とする面取り装置。 - 請求項7から9のいずれか1項に記載の面取り装置において、
前記研削砥石の回転軸は3~15°傾けられたことを特徴とする面取り装置。 - 請求項7に記載の面取り装置において、
前記被加工材の端面の加工は、端面の上部の研削と、中央部の研削と、下部の研削とをそれぞれ行うことを特徴とする面取り装置。
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