JP7003182B2 - 光電子測定装置 - Google Patents

Description

関連出願の相互参照
本願は２０１９年５月３１日に出願された台湾特許出願第１０８１１８９６６号の優先権を主張するものであり、その内容の全体を参照によって本願に援用する。

本発明は電子ユニットのための測定装置に関し、より詳しくは、光電子機器の特性を検出するための光電子測定装置に関する。

光電子技術の進歩に伴い、現在ではレーザを幾つかの媒質で生成できることがよく知られている。例えば、レーザはガス、化学物質、又は半導体等により生成できる。現在、市場では、概してレーザダイオードと呼ばれる半導体によりレーザを生成することが一般的である。実際には、レーザダイオードの製造が完了すると、その後、レーザの品質の安定性を確保するために、多くの光検出が必要となる。しかしながら、レーザダイオードにより発せられるレーザ光ビームを検出する際、幾つかの測定では対物レンズの対物面又は結像レンズの結像面を頻繁に移動させなければならない。これらの測定は、ビームの特性、例えばビームウエスト、発散角度、及び開口数（ＮＡ：ｎｕｍｅｒｉｃａｌ ａｐｅｒｔｕｒｅｓ）等に関する近接場パラメータであり得る。当業者にとっては、対物レンズ又は結像レンズを頻繁に移動させると、光学構成において測定が不安定となり、測定エラーが発生しやすいことが理解できる。

それに加えて、レーザダイオードの測定の多くは、前記レーザビーム、ビームウエスト、発散角度、及び開口数等の前記近接場パラメータを検出するためのものを含めたそれぞれのテストステーションを必要とする。現実には、これらの測定は輝度－電流－電圧（ＬＩＶ）測定のためのテストステーションと一体化されていない。一般的に、多くのテストステーションがあり、出荷ルートが複雑であるため、レーザダイオードの移動中に予想外の損傷が生じやすく、また、現実には、それが大きい工場スペースを占め得る。そこで、業界では、測定プロセス中の対物レンズと結像レンズの安定性を保つだけでなく、多くの測定を統合して工場スペースを節約するような、光電子ユニットを測定するための新たな機器が求められている。

本発明は、レーザダイオードの複数の測定値を検出し、それと同時に測定プロセス中の対物レンズ及び結像レンズの安定性を保持する光電子測定装置を提供する。

本発明は、光電子測定装置を開示しており、これは、対物レンズと、結像レンズと、カメラと、光路調整モジュールと、を含む。対物レンズは、第一の試験光を受け取り、第一の試験光を第二の試験光に変換するために、第一の光路上に設置される。結像レンズは、第二の試験光を受け取り、第二の試験光を第三の試験光に変換するために、第一の光路上に設置される。カメラは、第三の試験光のビーム特性を測定するために、第一の光路上に設置される。光路調整モジュールは、第一の光路上の結像レンズとカメラとの間に設置され、光路調整モジュールは、第一の光路上に設置されたミラーを含み、ミラーは試験コマンドに応じて結像レンズに対して相対的に移動し、第一の光路上の結像レンズとカメラとの間の距離を第一の光学距離又は第二の光学距離となるように調整する。ミラーは第三の試験光を垂直に反射する。

１つの実施形態において、カメラが第三の試験光のビーム特性を測定する場合、カメラは第三の試験光のビームウエスト、発散角度、及び開口数を測定してよい。さらに、光路調整モジュールが試験コマンドに応じて移動する場合、結像レンズとカメラとの間の相対位置は変化しないままである。

１つの実施形態において、光電子測定装置は、第二の試験光の光強度を低減させるために、第一の光路上の対物レンズと結像レンズとの間に設置される第一のフィルタをさらに含む。さらに、カメラは概して第一の光路上の結像レンズの光射出側の焦点面に設置されてよい。代替的に、第一の試験光はレーザダイオードから発せられてよく、レーザダイオードは第一の光路上の対物レンズの光入射側の焦点面に設置される。

１つの実施形態において、光電子測定装置は、第一のビームスプリッタと、輝度－電流－電圧試験モジュールと、をさらに含む。第一のビームスプリッタは第一の光路上に設置されて、第二の試験光を第四の試験光に分割する。輝度－電流－電圧試験モジュールは、第四の試験光について輝度－電流－電圧試験を行い、レーザダイオードの動作特性を特定するように構成される。

上記に基づき、本発明において提供される光電子測定装置は、結像レンズとカメラとの間の距離を、光路調整モジュールを調整することによって変更でき、それによって対物レンズ又は結像レンズを移動させる必要がなくなり、光学構成の安定性が保たれる。それに加えて、レーザダイオードにより発せられるレーザ光ビームの強度は非常に高いことから、現実には、レーザ光ビームのほとんどが光学構成から除去されて、カメラの露光過剰が回避される。特に、本発明において提供される光電子測定装置は、フィルタ処理により除去されることになるレーザ光ビームを利用し、このようなレーザ光ビームを輝度－電流－電圧試験モジュールへと向けてよく、それによって複数の測定を統合する目的を実現する。

本発明のある実施形態による光電子測定装置の概略的構成図である。 本発明の他の実施形態による光電子測定装置の概略的構成図である。

本発明の特徴、目的、及び機能を以下にさらに開示する。しかしながら、以下は本発明の考え得る実施形態のうちのわずかにすぎず、本発明の範囲はそれに限定されず、すなわち、本発明の特許請求の範囲に従って行われる同等の変更及び改良も依然として本発明の主旨のままである。本発明の主題と範囲から逸脱することなく、これも本発明のさらなる実施可能形態と考えられるべきである。

図１の本発明のある実施形態による光電子測定装置の概略的構成図を参照されたい。図１に示されるように、本実施形態の光電子測定装置１は光電子ユニットの特性を測定するために使用される。光電子ユニットは、図１ではレーザダイオード２であってよい。本実施形態は光電子ユニットの種類を限定せず、これはガスレーザユニット又は化学レーザユニットであってもよい。光電子測定装置１は、レーザダイオード２のビーム特性を測定するために使用されてよく、特にレーザダイオード２から発せられるレーザ光ビームの近接場パラメータを測定するために使用されてよい。例えば、光電子測定装置１は、近接場パラメータ、例えばレーザ光ビームのビームウエスト（Ｗ０）、発散角度（θ）、及び開口数（ＮＡ）等を測定するために使用されてよい。一般に、レーザダイオード２の測定には、走査中に対物レンズ又は結像レンズを特定の範囲内で移動させる必要があるが、本実施形態は、対物レンズ又は結像レンズの移動を必要としない光学構成を提供する。図１に示される光電子測定装置１は対物レンズ１０と、結像レンズ１２と、ビームスプリッタ１４と、光路調整モジュール１６と、カメラ１８と、を含み、対物レンズ１０、結像レンズ１２、ビームスプリッタ１４、光路調整モジュール１６、及びカメラ１８は第一の光路上に設置される。第一の光路上に設置されたユニットを、それぞれ以下のように説明する。

対物レンズ１０は、第一の光路上に設置されて、レーザダイオード２から発せられたレーザ光（すなわち、第一の試験光）を受け取る。図１において、レーザダイオード２と対物レンズ１０との間の一点鎖線は、第一の光路に沿って光電子測定装置１へと伝搬する第一の試験光を示すために使用されている。本実施形態は、対物レンズ１０とレーザダイオード２の大きさ及び、レーザダイオード２が第一の試験光を発出する角度を限定していない。レーザダイオード２に適当なレンズがまだ取り付けられていないため、レーザダイオード２から発せられたレーザ光ビーム（すなわち、第一の試験光）は平行光ではなく、これは既に組立てられたレーザエミッタとは異なる。当業者であれば、光源が凸レンズの焦点面の片側に設置されている場合、凸レンズの光学特性に従って、光源から発せられる光は平行光に変換されてから、凸レンズの反対側から発せられ得ることがわかるであろう。他の実施形態では、対物レンズ１０は凸レンズであってよく、レーザダイオード２は対物レンズ１０の光入射側の焦点面に設置されてよく、それによって非平行レーザ光ビーム（すなわち、第一の試験光）は平行レーザ光ビーム（すなわち、第二の試験光）に変換され得る。換言すれば、対物レンズ１０は第一の試験光を平行な光特性を有する第二の試験光に変換してよい。

それに加えて、結像レンズ１２もまた第一の光路上に設置され、対物レンズ１０から発せられた平行レーザ光ビーム（すなわち、第二の試験光）を受け取る。図１に示されるように、対物レンズと結像レンズ１２との間の一点鎖線は、第二の試験光が第一の光路に沿って結像レンズ１２へと伝搬することを示すために使用されている。現実には、結像レンズ１２はチューブレンズであってよい。本実施形態では、結像レンズ１２の種類は限定されない。追加的に、レーザ光ビームが平行レーザ光ビームに変換されると、理論的には、そのような平行レーザ光ビームはその直線的経路に沿って何れの距離にも伝搬してよく、すなわち、第一の光路の長さは延長される。例えば、第一の光路の延長は、対物レンズ１０と結像レンズ１２との間の距離の増大とみなされてよく、したがって、対物レンズ１０と結像レンズ１２との間に複数の異なる種類の光学ユニットを設置することが可能となる。しかしながら、当業者であれば、平行光は集束しない（すなわち、焦点を持たない）ため、像を結ばないことがわかるであろう。したがって、結像レンズ１２は焦点面を有する凸レンズであってよく、平行レーザ光ビームが結像レンズ１２を通って伝搬した後、平行レーザ光ビームは非平行レーザ光ビーム（すなわち、第三の試験光）に変換されてよく、これは像を結び、測定可能である。

図１は、結像レンズ１２から伝送された第三の試験光を受け取るように構成されたビームスプリッタ１４を示しており、入射した第三の試験光は光路調整モジュール１６へと透過してよい。第三の試験光は、光路調整モジュール１６で反射された後、当初の経路に沿って反対方向に辿り、ビームスプリッタ１４に戻ってよい。図１に示されるように、結像レンズ１２とビームスプリッタ１４との間の一点鎖線は、第三の試験光が第一の光路に沿ってビームスプリッタ１４へと伝搬することを示すために使用されており、この一点鎖線はさらに、ビームスプリッタ１４から光路調整モジュール１６へと貫通している。一点鎖線は、光路調整モジュール１６で反射すると、再び光路調整モジュール１６からビームスプリッタ１４へと伝送される。現実には、第三の試験光はすでに非平行レーザ光ビームであり、これは光ビームの伝搬に沿って集束され得るため、光路調整モジュール１６が第三の試験光を反射させると、第三の試験光の断面積は結像レンズ１２から発せられるものより小さくなることがわかる。すると、ビームスプリッタ１４が光路調整モジュール１６で反射した第三の試験光を受け取ると、ビームスプリッタ１４は反射した第三の試験光をカメラ１８へと向けてよい。１つの実施形態において、光路調整モジュール１６はミラー１６０と、ミラー１６０を調節するためのモータ又はプラットフォームとを含んでいてよく、ミラー１６０は第三の試験光を反射するように構成されてよい。本実施形態において、ミラー１６０の形状又は光路調整モジュール１６内のミラー１６０の位置は限定されず、ミラー１６０が第三の試験光を反射するように構成され得るかぎり、ミラー１６０は本実施形態の範囲に含まれる。

カメラ１８も第一の光路上に設置されて、ビームスプリッタ１４から発せられた第三の試験光のビーム特性を測定する。図１に示されるように、ビームスプリッタ１４とカメラ１８との間の一点鎖線は、光路調整モジュール１６のミラー１６０により反射された第三の試験光がビームスプリッタ１４からカメラ１８へと発せられることを示すために使用されている。特筆すべき点として、本実施形態ではビームスプリッタ１４は不要であり得る。例えば、結像レンズ１２から発せられる第三の試験光は光路調整モジュール１６のミラー１６０により直接反射されてもよい。当業者であれば、ビームスプリッタ１４がある場合、ミラー１６０の法線は第三の試験光の入射方向の正反対であり得、それによってミラー１６０への第三の試験光の入射角はゼロであってよく、第三の試験光は当初の入射方向の１８０°反対方向に反射されてよいことがわかるであろう。それに加えて、ビームスプリッタ１４が利用できない場合、ミラー１６０への第三の試験光の入射角と射出角を計算し、カメラ１８を適当な箇所に位置付けることによって、光路調整モジュール１６のミラー１６０により反射される第三の試験光は容易に受け取れるはずである。本実施形態を理解しやすくするために、図１に示される光電子測定装置１のビームスプリッタ１４は以下において依然として、説明のために使用されている。

１つの実施形態において、カメラ１８は結像レンズ１２の光射出側の焦点面に設置されてよく、すなわち、第一の光路上の結像レンズ１２とカメラ１８との間の距離は結像レンズ１２の焦点距離であってよい。換言すれば、第三の試験光はカメラ１８の位置で合焦するため、カメラ１８上で像が結ばれてよく、それによってカメラ１８は第三の試験光のビーム特性を測定するように構成されてよい。例えば、カメラ１８は第三の試験光のビームウエスト、発散角度、及び開口数等の近接場パラメータを測定してよい。

より実践的な例では、ビームウエストの測定において、第一の光路（すなわち、第三の試験光の光路）上の結像レンズ１２とカメラ１８との間の距離は、ビームウエスト、発散角度、及び開口数等の近接場パラメータを得るために、わずかに調整されてよい。図１に描かれている例に示されるように、第三の試験光の光路は第一の光路上の結像レンズ１２とカメラ１８との間の距離である。図１は、第三の試験光が結像レンズ１２からビームスプリッタ１４まで伝送される距離Ｄ１、第三の試験光がビームスプリッタ１４から光路調整モジュール１６のミラー１６０まで伝送される距離Ｄ２、及び第三の試験光がビームスプリッタ１４からカメラ１８まで伝送される距離Ｄ３を含む。第三の試験光は、ミラー１６によってビームスプリッタ１４へと反射される場合、再び距離Ｄ２を通過する点に留意されたい。すなわち、第三の試験光の光路は、単純にＤ１＋２Ｄ２＋Ｄ３で単純に示されてよい。

第一の光路上の結像レンズ１２とカメラ１８との間の距離を変化させるために、光路調整モジュール１６のミラー１６０は試験コマンドに従って結像レンズ１２に対して相対的に移動してよい。例えば、ミラー１６０は結像レンズ１２に向かって距離ｄだけ、又は結像レンズ１２から離れるよう距離ｄだけ移動してよい。ミラー１６０が結像レンズ１２に向かって距離ｄだけ移動すると、第三の試験光がビームスプリッタ１４から光路調整モジュール１６まで伝送される距離はｄだけ短くなり、それゆえ、第三の試験光の光路はさらに、Ｄ１＋２（Ｄ２－ｄ）＋Ｄ３として示されてよい（例えば、第一の光路と呼ばれてよい）。これに対して、ミラー１６０が結像レンズ１２から離れるよう距離ｄだけ移動すると、第三の試験光がビームスプリッタ１４から光路調整モジュール１６まで伝送される距離はｄだけ長くなり、それゆえ、第三の試験光の光路はさらにＤ１＋２（Ｄ２＋ｄ）＋Ｄ３として示されてよい（例えば、第二の光路と呼ばれてよい）。

当業者であれば、光学イメージングの原理に従って、レンズの焦点距離が変わらなければ結像面からレンズまでの距離（すなわち、結像距離）を能動的に変化させれば、対物面からレンズまでの距離（すなわち、対物距離）も同時に変化することがわかるであろう。換言すれば、対物レンズ１０と結像レンズ１２の焦点距離が変化しない本実施形態において、走査中のレーザダイオード２の深度（すなわち、対物距離）は、第三の試験光の光路（すなわち、結像距離）を変化させるためにミラー１６０を移動させることによって相応に変化させられてよい。ここで、本実施形態の動作原理は、以下の結像式により簡単に説明されてよい：

上の結像式の中で、ｆは対物レンズ１０と結像レンズ１２の合成焦点距離を示す。Ｓは、図１に示されるように対物レンズ１０の結像面距離Ｓである対物距離を示し、結像面距離Ｓはレーザダイオード２の走査距離を示す。Ｄは、結像レンズ１２とカメラ１８との間の光路である結像距離（すなわち、前述のＤ１＋２Ｄ２＋Ｄ３）を示す。本実施形態では、対物レンズ１０と結像レンズ１２の合成焦点距離は一定であるため、ＳとＤとの間に連鎖関係があることがわかる。上記を例と考えると、ミラー１６０が結像レンズ１２に向かって距離ｄだけ移動すると、上述の式中のＤはＤ１＋２（Ｄ２－ｄ）＋Ｄ３に置き換えることができ、ｆとＤは既にわかっているため、結像面距離Ｓを計算して、Ｓ１と表すことができる。ミラー１６０が結像レンズ１２から離れるよう距離ｄだけ移動すると、上述の式中のＤはＤ１＋２（Ｄ２＋ｄ）＋Ｄ３に置き換えることができ、同様に、ｆとＤは既にわかっているため、結像面距離Ｓを計算して、Ｓ２と表すことができる。明らかに、Ｓ１とＳ２は同じではなく、Ｓ１とＳ２との間の距離の差は光電子測定装置１が走査できる垂直方向の結像面深度である。

追加的に、上述の説明によれば、第一の試験光上の結像レンズ１２とカメラ１８との間の光路の変更可能範囲は、ミラー１６０の移動距離ｄの４倍であってよい（すなわち、変更可能範囲は＋２ｄから－２ｄであり得る）。確実に、この前後移動は本実施形態において例として記載されているが、ミラー１６０は対称移動に限定されない。また、レーザダイオード２から発せられるレーザビームの強度は非常に高いものであり得るため、カメラ１８内の露光過剰を回避するために、光電子測定装置１は１つ又は多くのフィルタをさらに含んでいてよく、このような１つ又は多くのフィルタは、例えば対物レンズ１０と結像レンズ１２との間に設置されるが、これは本実施形態において限定されない。

特筆すべき点として、従来、レーザダイオードの特定の走査深度を実現するためには、光学構成全体を移動させて対物レンズとレーザダイオードとの間の対物距離を変更する必要があり、すなわち、上記を例にとって、結像レンズとカメラが第一の光路に４ｄ（すなわち、＋２ｄから－２ｄ）の光路の変更可能範囲をもたらすようにするために、結像レンズ又はカメラを全体で４ｄだけ移動させて、対物距離を４ｄ（すなわち、＋２ｄから－２ｄ）だけ変化させる必要があり得る。しかしながら、本実施形態では、ビームスプリッタ１４から光路調整モジュール１６のミラー１６０までの距離はＤ２であるため、ミラー１６０からビームスプリッタ１４へと反射される距離もＤ２であり、それゆえ、第一の試験光についての結像レンズ１２とカメラ１８との間の光路の＋２ｄから－２ｄの変更可能範囲は、ミラー１６０を距離２ｄ（すなわち、＋ｄから－ｄ）だけ移動させるだけで達成され得る。したがって、ミラー１６０の移動距離の短縮により、本実施形態では対物レンズ１０と結像レンズ１２の移動が不要であるだけでなく、測定速度も従来の方法よりはるかに速い。それに加えて、ミラー１６０の重量はかなり軽く、その体積はかなり小さくてよいため、本実施形態は、ミラー１６０を非常に高い精度で移動させる制御プラットフォームをより利用できるようになり、それによって測定の正確さもさらに向上する。

他方で、本実施形態は、光路内の輝度－電流－電圧（ＬＩＶ）を測定するための測定機器とさらに統合されてよい。図２の、本発明の他の実施形態による光電子測定装置の概略的構成図を参照されたい。図１と同様に、図２に示される光電子測定装置３もまた、対物レンズ３０と、結像レンズ３２と、ビームスプリッタ３３と、光路調整モジュール３４と、カメラ３５と、を含む。対物レンズ３０、結像レンズ３２、ビームスプリッタ３３、光路調整モジュール３４、及びカメラ３５は第一の光路上に設置される。追加的に、対物レンズ３０は同様に、レーザダイオード２により発せられたレーザ光ビーム（すなわち、第一の試験光）を受け取り、非平行レーザ光ビーム（すなわち、第一の試験光）を平行レーザ光ビーム（すなわち、第二の試験光）に変換するために使用されてよい。結像レンズ３２もまた、対物レンズ３０により発せられた平行レーザ光ビームを受け取り、平行レーザ光ビームを非平行レーザ光ビーム（すなわち、第三の試験光）に変換するように構成されてよい。

さらに、ビームスプリッタ３３もまた、結像レンズ３２により伝送された第三の試験光を受け取るために使用されてよく、入射した第三の試験光は光路調整モジュール３４へと透過してよい。光路調整モジュール３４は、第三の試験光を反射させるように構成されたミラー３４０を含んでいてよく、同様に、ミラー３４０も試験コマンドに従って結像レンズ３２に対して相対的に移動してよい。カメラ３５も同様に、第三の試験光のビーム特性、例えば第三の試験光のビームウエスト、発散角度、及び開口数等を含む近接場パラメータを測定するために使用されてよい。対物レンズ３０、結像レンズ３２、ビームスプリッタ３３、光路調整モジュール３４、及びカメラ３５のその他の説明は、前の実施形態で説明した対物レンズ１０、結像レンズ１２、ビームスプリッタ１４、光路調整モジュール３６、及びカメラ１８を参照されたく、これらはここでは繰り返さない。

図１と異なり、図２に示される光電子測定装置３は、ビームスプリッタ３１（すなわち、第一のビームスプリッタ）と輝度－電流－電圧試験モジュール３６をさらに含む。ビームスプリッタ３２は、第一の光路上の対物レンズ３０と結像レンズ３２との間に設置される。前述のように、レーザダイオード２から発せられたレーザ光ビームの強度は非常に高いため、光電子測定装置３は、１つ又は複数のフィルタ（図示せず）を含むだけでなく、ビームスプリッタ３１を使ってレーザ光ビームの特定の比を第一の光路の外へと向けても（すなわち、レーザ光ビームを第四の試験光へと分割しても）よい。それゆえ、第一の光路上に設置されるフィルタの数を減らしてよく、又はより軽いフィルタを設置してよい。一例において、ビームスプリッタ３１は、レーザ光ビームの第一の光路上の部分を減らすのに役立ち得るだけでなく、第一の光路の外へと向けられるレーザ光ビームは輝度－電流－電圧試験モジュール３６によっても受け取られてよい。実践において、輝度－電流－電圧試験モジュール３６は、第一の光路の外へと向けられるレーザ光ビームに基づいて輝度－電流－電圧試験を行って、レーザダイオード２の動作特性を特定してよい。例えば、輝度－電流－電圧試験は、閾値電流（Ｉ_ｔｈ）、動作電圧（Ｖ_ｏ）、又は動作電流（Ｉ_ｏｐ）等の測定を含んでいてよい。

換言すれば、ビームスプリッタ３１により分離された第一の光路上のレーザ光ビームは、単に第一の光路上でフィルタ処理により除去されるというよりも、輝度－電流－電圧試験モジュール３６によって他の測定値を得るためにも使用されてよい。光電子測定装置３は、より有効にレーザ光ビームを利用し、エネルギーの不必要な浪費を回避し得、これは実際の使用における省エネルギーにとって有意義であることがわかるであろう。それに加えて、それぞれレーザ光ビームの近接場パラメータとレーザダイオード２の動作特性を測定するために２つのテストステーションが必要な従来の構成と異なり、本実施形態の光電子測定装置３は、カメラ３５によってレーザ光ビームの近接場パラメータを測定し得るだけではなく、レーザダイオード２の動作特性も輝度－電流－電圧試験モジュール３６により測定され得、工場スペースがさらに有効に利用される。

要約すれば、本発明において提供される光電子測定装置はまた、結像レンズとカメラレンズとの間の距離を光路調整モジュールの調整によって変化させることができ、それによって対物レンズ又は結像レンズを移動させる必要がなく、また、光学構成の安定性が保持される。それに加えて、レーザダイオードにより発せられるレーザ光ビームの強度は非常に高いため、実践では、レーザ光ビームのほとんどが光学構成から除去されて、カメラの露光過剰が回避される。特に、本発明において提供される光電子測定装置は、フィルタ処理により除去されることになるレーザ光ビームを利用し、このようなレーザ光ビームを輝度－電流－電圧試験モジュールへと向けてよく、それによって複数の測定を統合する目的が達成される。

Claims (7)

1. 光電子測定装置であって、
   第一の試験光を受け取り、前記第一の試験光を第二の試験光に変換するための、第一の光路上に設置される対物レンズと、
   前記第二の試験光を受け取り、前記第二の試験光を第三の試験光に変換するための、前記第一の光路上に設置される結像レンズと、
   前記第三の試験光のビーム特性を測定するための、前記第一の光路上に設置されるカメラと、
   前記第一の光路上の前記結像レンズと前記カメラとの間に設置される光路調整モジュールであって、前記第一の光路上に設置されたミラーを含み、前記ミラーは試験コマンドに応じて前記結像レンズに対して相対的に移動し、前記第一の光路上の前記結像レンズと前記カメラとの間の距離を変化させる光路調整モジュールと、
   を含み、
   前記ミラーは前記第三の試験光を垂直に反射させる、光電子測定装置。
2. 前記カメラが前記第三の試験光の前記ビーム特性を測定する場合、前記カメラは前記第三の試験光のビームウエスト、発散角度、及び開口数を測定することをさらに含む、請求項１に記載の光電子測定装置。
3. 前記光路調整モジュールが前記試験コマンドに応じて移動する場合、前記結像レンズと前記カメラとの間の相対位置は変化しないままである、請求項１に記載の光電子測定装置。
4. 前記第二の試験光の光強度を低減させるために、前記第一の光路上の前記対物レンズと前記結像レンズとの間に設置される第一のフィルタをさらに含む、請求項１に記載の光電子測定装置。
5. 前記カメラは概して前記第一の光路上の前記結像レンズの光射出側の焦点面に設置される、請求項１に記載の光電子測定装置。
6. 前記第一の試験光はレーザダイオードから発せられ、前記レーザダイオードは前記第一の光路上の前記対物レンズの光入射側の焦点面に設置される、請求項１に記載の光電子測定装置。
7. 前記第二の試験光を第四の試験光に分離するための、前記第一の光路上に設置された第一のビームスプリッタと、
   前記第四の試験光について輝度－電流－電圧試験を行い、レーザダイオードの動作特性を特定するための輝度－電流－電圧試験モジュールと、
   をさらに含む、請求項１に記載の光電子測定装置。

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