JP6999805B2 - データ取得装置 - Google Patents
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Description
光源と、第1のビームスプリッタと、所定のビームスプリッタと、第1の光偏向素子と、第2の光偏向素子と、第1の測定ユニットと、第2の測定ユニットと、第2のビームスプリッタと、光検出器と、を備え、
光源と光検出器との間に、第1の測定光路と、第2の測定光路と、参照光路と、が位置し、
第1のビームスプリッタ、所定のビームスプリッタ、及び第2のビームスプリッタは、各々、光学膜が形成された光学面を有し、
第1のビームスプリッタでは、光学膜によって、入射した光から、第1の方向に進む光と、第2の方向に進む光と、が生成され、
第1の方向に、第2の測定光路が位置し、
第2の方向に、参照光路が位置し、
所定のビームスプリッタは、第2の測定光路に配置されるか、又は参照光路に配置され、
所定のビームスプリッタと光検出器との間に、第1の測定光路が位置し、
第1の測定光路に、第1の光偏向素子と、第1の測定ユニットと、が配置され、
第2の測定光路に、第2の光偏向素子と、第2の測定ユニットと、が配置され、
第1の測定光路と第2の測定光路とが交差していることを特徴とする。
π/2<sin-1NA1+sin-1NA2 (1)
ここで、
NA1は、照明側対物レンズの開口数、
NA2は、結像側対物レンズの開口数、
である。
0.71<NA (2)
ここで、
NAは、照明側対物レンズの開口数、
である。
2 光源
3 第1のビームスプリッタ
3a 光学面
4 第1の光偏向素子
5 第2の光偏向素子
6 第1の測定ユニット
6a、6d、7a、7d 結像レンズ
6b、6c、7b、7c 対物レンズ
7 第2の測定ユニット
8 第2のビームスプリッタ
8a 光学面
9 光検出器
10、20 標本
11 ミラー
12 ビームスプリッタ
13 ミラー
14、15 所定のビームスプリッタ
14a 光学面
21 球
22、24、26 測定光
23、25、27 曲線
30、31、32、33 領域
40、50、60、70、80、90 データ取得装置
41、81、92 ミラー
42、61、62、73 ビームスプリッタ
51、52 遮光部材
63 光検出器
71 第3の光偏向素子
72 第4の光偏向素子
91 ビームエキスパンダー
92、93 レンズ
94 ミラー
100、110、120 データ取得装置
101、102,111 光源
112、113 偏光素子
121、122、123、129 ビームスプリッタ
124、125、126、127、128 ミラー
130 第5の光偏向素子
131 第3の測定ユニット
131a、131d 結像レンズ
131b、131c 対物レンズ
132 第6の光偏向素子
133 ミラー
140、141 容器
OP1 第1の測定光路
OP2 第2の測定光路
OP3 第3の測定光路
OPr 参照光路
P 交点
Lref、Lref’ 参照光
Lme1、Lme1’、Lme2、Lme2’、Lme3、Lme3’ 測定光
Claims (14)
- 光源と、第1のビームスプリッタと、所定のビームスプリッタと、第1の光偏向素子と、第2の光偏向素子と、第1の測定ユニットと、第2の測定ユニットと、第2のビームスプリッタと、光検出器と、を備え、
前記光源と前記光検出器との間に、第1の測定光路と、第2の測定光路と、参照光路と、が位置し、
前記第1のビームスプリッタ、前記所定のビームスプリッタ、及び前記第2のビームスプリッタは、各々、光学膜が形成された光学面を有し、
前記第1のビームスプリッタでは、前記光学膜によって、入射した光から、第1の方向に進む光と、第2の方向に進む光と、が生成され、
前記第1の方向に、前記第2の測定光路が位置し、
前記第2の方向に、前記参照光路が位置し、
前記所定のビームスプリッタは、前記第2の測定光路に配置されるか、又は前記参照光路に配置され、
前記所定のビームスプリッタと前記光検出器との間に、前記第1の測定光路が位置し、
前記第1の測定光路に、前記第1の光偏向素子と、前記第1の測定ユニットと、が配置され、
前記第2の測定光路に、前記第2の光偏向素子と、前記第2の測定ユニットと、が配置され、
前記第1の測定光路と前記第2の測定光路とが交差していることを特徴とするデータ取得装置。 - 前記所定のビームスプリッタは、前記第2の測定光路に配置され、
前記所定のビームスプリッタの反射側に、前記第1の測定光路が位置し、
前記所定のビームスプリッタの透過側に、前記第2の測定光路が位置していることを特徴とする請求項1に記載のデータ取得装置。 - 前記所定のビームスプリッタは、前記参照光路に配置され
前記第1の光偏向素子は、前記所定のビームスプリッタを有し、
前記所定のビームスプリッタの透過側に、前記参照光路が位置し、
前記所定のビームスプリッタの反射側に、前記第1の測定光路が位置していることを特徴とする請求項1に記載のデータ取得装置。 - 前記第1の光偏向素子の光学面と前記第2の光偏向素子の光学面は、各々、前記第1の測定光路と前記第2の測定光路との交点と共役であり、
前記第1の光偏向素子と前記第2の光偏向素子は、各々、ガルバノメータースキャナであることを特徴とする請求項1から3の何れか一項に記載のデータ取得装置。 - 第3の光偏向素子と、第4の光偏向素子と、を有し、
前記第3の光偏向素子は、前記第1の測定ユニットと前記光検出器との間に配置され、
前記第4の光偏向素子は、前記第2の測定ユニットと前記光検出器との間に配置され、
前記第3の光偏向素子の光学面と前記第4の光偏向素子の光学面は、各々、前記第1の測定光路と前記第2の測定光路との交点と共役であり、
前記第3の光偏向素子と前記第4の光偏向素子は、各々、ガルバノメータースキャナであることを特徴とする請求項1から4の何れか一項に記載のデータ取得装置。 - 前記第2のビームスプリッタから前記光検出器までの間で、前記第1の測定光路と前記第2の測定光路は、各々、前記参照光路に対して平行に位置していることを特徴とする請求項1から5の何れか一項に記載のデータ取得装置。
- 前記光源とは別の光源を有し、
前記別の光源から出射する光の波長帯域は、前記光源から出射する光の波長帯域と異なることを特徴とする請求項1から6の何れか一項に記載のデータ取得装置。 - 前記第1の測定光路を進行する光、前記第2の測定光路を進行する光、及び参照光路を進行する光が、同時に前記光検出器で検出されることを特徴とする請求項1から7の何れか一項に記載のデータ取得装置。
- 第1の偏光素子と、第2の偏光素子と、を有し、
前記第1の偏光素子は、前記第1の測定光路に配置され、
前記第2の偏光素子は、前記第2の測定光路に配置され、
前記第1の偏光素子の偏光方向と、前記第2の偏光素子の偏光方向は異なり、
前記参照光路における偏光方向は、前記第1の偏光素子の偏光方向と前記第2の偏光素子の偏光方向の両方と異なることを特徴とする請求項1から8の何れか一項に記載のデータ取得装置。 - 前記第1の光偏向素子と前記第2の光偏向素子は、各々、光学面を有し、
前記第1の光偏向素子の光学面と前記第2の光偏向素子の光学面の少なくとも一方に、前記光学膜が形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のデータ取得装置。 - 前記光源と前記光検出器との間に、第3の測定光路が位置し、
前記第3の測定光路は、前記第1の測定光路と前記第2の測定光路の両方と交差することを特徴とする請求項1から10の何れか一項に記載のデータ取得装置。 - 前記第1の測定ユニットと前記第2の測定ユニットの少なくとも一方は、標本を保持する容器を含むことを特徴とする請求項1から11の何れか一項に記載のデータ取得装置。
- 前記第1の測定ユニットと前記第2の測定ユニットは、各々、一対の対物レンズを有し、
前記一対の対物レンズは、照明側対物レンズと、結像側対物レンズと、からなり、
以下の条件式(1)を満足することを特徴とする請求項1から12の何れか一項に記載のデータ取得装置。
π/2<sin-1NA1+sin-1NA2 (1)
ここで、
NA1は、前記照明側対物レンズの開口数、
NA2は、前記結像側対物レンズの開口数、
である。 - 前記第1の測定ユニットと前記第2の測定ユニットは、各々、一対の対物レンズを有し、
前記一対の対物レンズは、照明側対物レンズと、結像側対物レンズと、からなり、
照明側対物レンズの開口数と、結像側対物レンズの開口数は等しく、
以下の条件式(2)を満足することを特徴とする請求項1から13の何れか一項に記載のデータ取得装置。
0.71<NA (2)
ここで、
NAは、前記照明側対物レンズの開口数、
である。
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Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001228123A (ja) | 2000-02-17 | 2001-08-24 | Japan Science & Technology Corp | 試料の物理的性質の測定装置 |
JP2009223348A (ja) | 1995-02-03 | 2009-10-01 | Regents Of The Univ Of California | 解像深度が強化された3次元顕微鏡法のための方法及び装置 |
JP2012533746A (ja) | 2009-07-23 | 2012-12-27 | ラフバロー ユニバーシティ | 干渉法により二次元光路分布の絶対測定を行う装置 |
JP2013145199A (ja) | 2012-01-16 | 2013-07-25 | Nikon Corp | 光干渉観察装置 |
US20140307249A1 (en) | 2011-07-11 | 2014-10-16 | Facultes Universitaires Notre-Dame De La Paix | Method for high resolution sum-frequency generation and infrared microscopy |
WO2016121248A1 (ja) | 2015-01-30 | 2016-08-04 | 浜松ホトニクス株式会社 | 干渉観察装置 |
JP2017026596A (ja) | 2015-07-20 | 2017-02-02 | コリア アドバンスド インスティチュート オブ サイエンス アンド テクノロジィ | 三次元屈折率測定方法および三次元屈折率測定装置 |
WO2018049476A1 (en) | 2016-09-15 | 2018-03-22 | La Trobe University | Determining complex refractive index values of a sample in three dimensions |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08159726A (ja) * | 1994-12-01 | 1996-06-21 | Nikon Corp | パターン検出装置 |
JPH08159717A (ja) * | 1994-12-01 | 1996-06-21 | Nikon Corp | 走査光学装置 |
JP2008157710A (ja) * | 2006-12-22 | 2008-07-10 | Naohiro Tanno | 光コヒーレンストモグラフィー装置 |
JP5106369B2 (ja) * | 2008-12-15 | 2012-12-26 | オリンパス株式会社 | 光学装置 |
WO2011121523A2 (en) | 2010-03-28 | 2011-10-06 | Ecole Polytechnique Federale De Lausanne (Epfl) | Complex index refraction tomography with sub √6-resolution |
EP2634551B1 (en) * | 2010-10-28 | 2021-05-19 | FOSS Analytical A/S | Interferometer and fourier-transform spectroscopic analyzer |
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CN106292238B (zh) * | 2015-05-20 | 2019-03-05 | 华中科技大学 | 一种反射式离轴数字全息显微测量装置 |
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP2001228123A (ja) | 2000-02-17 | 2001-08-24 | Japan Science & Technology Corp | 試料の物理的性質の測定装置 |
JP2012533746A (ja) | 2009-07-23 | 2012-12-27 | ラフバロー ユニバーシティ | 干渉法により二次元光路分布の絶対測定を行う装置 |
US20140307249A1 (en) | 2011-07-11 | 2014-10-16 | Facultes Universitaires Notre-Dame De La Paix | Method for high resolution sum-frequency generation and infrared microscopy |
JP2013145199A (ja) | 2012-01-16 | 2013-07-25 | Nikon Corp | 光干渉観察装置 |
WO2016121248A1 (ja) | 2015-01-30 | 2016-08-04 | 浜松ホトニクス株式会社 | 干渉観察装置 |
JP2017026596A (ja) | 2015-07-20 | 2017-02-02 | コリア アドバンスド インスティチュート オブ サイエンス アンド テクノロジィ | 三次元屈折率測定方法および三次元屈折率測定装置 |
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