JP6993998B2 - 半導体デバイスの製造中にシリコン-ゲルマニウム/ゲルマニウムスタックからシリコン-ゲルマニウム合金を選択的に除去するためのエッチング溶液 - Google Patents
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Description
本出願は35U.S.C.§119(e)に基づいて2018年3月9日に出願された米国仮特許出願第62/641,168号に対する優先権を主張し、その全体を参照により本明細書に取り込む。
本発明は半導体デバイスの製造に使用されるエッチング水溶液に関する。より具体的には、本発明は、シリコン-ゲルマニウム/ゲルマニウム複合半導体デバイスにおいて、ゲルマニウム膜よりもシリコン-ゲルマニウム合金膜の高いエッチング選択性を示すエッチング水溶液を提供する。
1つの態様において、本発明は、マイクロエレクトロニクスデバイスからゲルマニウムよりもシリコン-ゲルマニウムを選択的に除去するのに適したエッチング溶液であって、水、酸化剤、水混和性有機溶媒、フッ化物イオン源、腐食防止剤、及び、場合により以下のうちの1種以上:界面活性剤、キレート剤及び緩衝剤(緩衝剤系又は緩衝剤組成物とも呼ばれる)を含むエッチング溶液を提供する。好ましい組成物において、シリコン-ゲルマニウムのゲルマニウムに対するエッチング選択比は、約2超、又は約2.5超、又は約3超、又は約3.5超、又は約4超、又は約4.5超、又は約5超である。さらに、好ましい組成物において、Geのエッチング速度は25Å/分未満、又は20Å/分未満、又は15Å/分未満、又は13Å /分未満、又は12Å/分未満である。
本明細書に引用された刊行物、特許出願及び特許を含む全ての参考文献は、あたかも各参考文献が個別にかつ具体的に参照により取り込まれたかのように示され、その全体が本明細書に示されたかのように同程度に参照により本明細書に取り込まれる。
本開発のエッチング組成物は水性であり、したがって水を含む。本発明において、水は、例えば、成分のキャリアとして、残留物の除去の補助剤として、組成物の粘度調整剤としてそして希釈剤として、組成物の1つ以上の成分を溶解するなどの様々な様式で機能する。好ましくは、クリーニング組成物に使用される水は脱イオン(DI)水である。
本発明のエッチング組成物は、「オキシダイザー」とも呼ばれる酸化剤を含む。オキシダイザーは、主に、シリコン-ゲルマニウム合金と共に対応する酸化物を形成することによって、シリコン-ゲルマニウム合金をエッチングするように機能する。酸化剤は、シリコン-ゲルマニウム合金とともに酸化物を形成しないいかなる適切な酸化剤であってもよい。適切な酸化剤としては、1,4-ベンゾキノン、1,2-ベンゾキノン、1,4-ナフトキノン及び9,10-アントラキノンなどのキノンのような弱酸化剤が挙げられる。
本開示のエッチング組成物はまた、1種以上のフッ化物イオン源を含む。フッ化物イオンは主に酸化されたSiGeの除去を助けるために機能する。本発明によるフッ化物イオン源を提供する典型的な化合物は、フッ化水素酸、フッ化アンモニウム、第四級フッ化アンモニウム、例えばフッ化ホウ酸塩、フルオロホウ酸、テトラブチルアンモニウムテトラフルオロボレート、六フッ化アルミニウム、及び、下記式を有する脂肪族第一級、第二級又は第三級アミンのフッ化物塩である。
R1NR2R3R4F
上式中、R1、R2、R3及びR4は、個別にH又は(C1~C4)アルキル基を表す。典型的には、R1、R2、R3及びR4基中の総炭素原子数は12個以下の炭素原子である。脂肪族第一級、第二級又は第三級アミンのフッ化物塩の例は、例えば、テトラメチルアンモニウムフルオリド、テトラエチルアンモニウムフルオリド、メチルトリエチルアンモニウムフルオリド及びテトラブチルアンモニウムフルオリドなどである。
本発明のエッチング組成物は1種以上の水混和性溶媒を含む。用いることができる水混和性有機溶媒の例は、エチレングリコール、プロピレングリコール、ブチルジグリコール、1,4-ブタンジオール、トリプロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールプロピルエーテル、ジエチレングリコールn-ブチルエーテル(例えば、商品名Dowanol DBで市販)、ヘキシルオキシプロピルアミン、ポリ(オキシエチレン)ジアミン、ジメチルアセトアミド(DMAC)、ジメチルスルホキシド、テトラヒドロフルフリルアルコール、グリセロール、アルコール、ピロリドン、例えばn-メチルピロリドン、硫黄含有溶媒、例えばスルホキシド、例えばジメチルスルホキシド(DMSO)、スルホラン、スルホレン、スルホン又はそれらの混合物である。1つの実施形態において、好ましい溶媒は硫黄含有溶媒であり、単独で又は1種を超える硫黄含有溶媒の混合物で、あるいは1種以上の硫黄含有溶媒と1種以上の非硫黄含有溶媒との混合物で用いられる。
腐食防止剤
エッチング組成物の別の成分はゲルマニウムを保護するように機能する腐食防止剤である。有用な腐食防止剤としては、カテコール、メチルカテコール、エチルカテコール及びtert-ブチルカテコールなどの(C1~C6)アルキルカテコール、ベンゾトリアゾール、(C1~C10)アルキルベンゾトリアゾール、1,2,3-トリアゾール、1,2,4-トリアゾール、ベンゾトリアゾール、(C1~C10)アルキルベンゾトリアゾールなどのトリアゾール、ベンゾトリアゾール-5-カルボン酸、イミダゾール、クエン酸、酒石酸、グルコン酸、サッカリン酸、グリセリン酸、シュウ酸、フタル酸、マレイン酸、マンデル酸、マロン酸、乳酸、サリチル酸、没食子酸、没食子酸メチル及び没食子酸プロピルなどの没食子酸エステル、システイン、メチルビス(1-ジメチルアミノエチル)アミン(polycat 5)、1-オクチルアミン、キノリン及びキノリン誘導体、例えば8-ヒドロキシキノリンなどのヒドロキシ置換キノリン、2-メチルキノリン及び4-メチルキノリンなどのアルキル置換キノリン、臭化セチルトリメチルアンモニウム(CTAB)、11-メルカプトウンデカン酸、n-メチル-n-オクチルアミンが挙げられる。好ましいのは、8-ヒドロキシキノリン、臭化セチルトリメチルアンモニウム(CTAB)、1-メルカプトウンデカン酸及びn-メチル-n-オクチルアミンである。
エッチング組成物の別の成分は、溶液中に金属を保持しそして金属残留物の溶解を促進する組成物の能力を増大させるように機能することができるキレート剤である。この目的に有用なキレート剤の典型例は、以下の有機酸及びそれらの異性体及び塩である:エチレンジアミン四酢酸(EDTA)、ブチレンジアミン四酢酸、(1,2-シクロヘキシレンジアミン)四酢酸(CyDTA)、ジエチレントリアミン五酢酸(DETPA)、エチレンジアミンテトラプロピオン酸、(ヒドロキシエチル)エチレンジアミン三酢酸(HEDTA)、N,N,N',N'-エチレンジアミンテトラ(メチレンホスホン)酸(EDTMP)、トリエチレンテトラアミン六酢酸(TTHA)、1,3-ジアミノ-2-ヒドロキシプロパン-N,N,N,N’-四酢酸(DHPTA)、メチルイミノ二酢酸、プロピレンジアミン四酢酸及びニトロ三酢酸(NTA)。好ましいキレート剤は、EDTA、CyDTAなどのアミノカルボン酸及びEDTMPなどのアミノホスホン酸である。
本発明のエッチング組成物は、場合により、少なくとも1種の界面活性剤を含む。界面活性剤はシリコンをエッチングから保護するように機能する。本明細書に記載の組成物に使用するための界面活性剤としては、限定するわけではないが、両性塩、カチオン性界面活性剤、アニオン性界面活性剤、双性イオン性界面活性剤、非イオン性界面活性剤及びそれらの組み合わせが挙げられ、そして限定するわけではないが、ビス(2-エチルヘキシル)ホスフェート、ペルフルオロヘプタン酸、デカン酸、プレフルオロデカン酸、トリフルオロメタンスルホン酸、ホスホノ酢酸、ドデセニルコハク酸、リン酸水素ジオクタデシル、リン酸二水素オクタデシル、ドデシルアミン、ドデセニルコハク酸モノジエタノールアミド、ラウリン酸、パルミチン酸、オレイン酸、ビャクシン酸、12ヒドロキシステアリン酸、リン酸ドデシルが挙げられる。
エッチング組成物は、場合により、緩衝剤組成物を含む。緩衝剤組成物は、以下に詳述するようなアミン化合物及び多官能有機酸を含み、それらから本質的になり、又はそれらからなることができる。
幾つかの実施形態において、本開示のエッチング組成物の任意成分の緩衝剤組成物は、第二級又は第三級有機アミンを含む。第二級又は第三級有機アミンは主に緩衝剤の共役塩基成分を提供するように機能する。
幾つかの実施形態において、本開示のエッチング組成物の任意成分の緩衝剤組成物は、主に緩衝剤の共役酸部分として機能する1種以上の多官能有機酸を含む。本明細書で使用されるときに、用語「多官能有機酸」は、1個より多くのカルボキシレート基を有する酸又は多酸を指し、限定するわけではないが、(i)ジカルボキシレート酸(例えば、マロン酸、リンゴ酸など)、芳香族部分を有するジカルボン酸(例えば、フタル酸など)及びそれらの組み合わせ、及び、(ii)トリカルボン酸(例えば、クエン酸など)、芳香族部分を有するトリカルボン酸(例えば、トリメリット酸など)及びそれらの組み合わせが挙げられる。酸が組成物中に存在する場合に、それは腐食防止剤と同様に緩衝剤成分としても作用し得るなど、1つより多くの目的を果たすことができる。
本発明のエッチング組成物はまた、1種以上の下記の添加剤:化学改質剤、染料、殺生物剤及び他の添加剤を含み得る。添加剤は、それらが組成物の性能に悪影響を及ぼさない範囲で添加することができる。
別の態様において、ゲルマニウム及びシリコン-ゲルマニウムを含む複合半導体デバイス上で、シリコン-ゲルマニウムのゲルマニウムに対するエッチング速度を選択的に向上させる方法は提供され、該方法は、水、酸化剤、水混和性有機溶媒、フッ化物イオン源、腐食防止剤及び、場合により緩衝剤及び/又は界面活性剤及び/又はキレート剤を含む水性組成物と、ゲルマニウム及びシリコン-ゲルマニウムを含む複合半導体デバイスを接触させる工程、及び、シリコン-ゲルマニウムが少なくとも部分的に除去された後に複合半導体デバイスをすすぐ工程を含み、ここで、シリコンゲルマニウムのゲルマニウムに対するエッチングの選択比は約2より大きい、又は約3より大きい、又は約10より大きい、又は約15より大きい、又は約20より大きい、又は約25より大きい、又は約30より大きい、又は約35より大きい、又は約40より大きい。追加の乾燥工程もまた、該方法に含まれてもよい。「少なくとも部分的に除去される」とは、材料の少なくとも50%の除去、好ましくは少なくとも80%の除去を意味する。最も好ましくは、本開発の組成物を用いてシリコン-ゲルマニウムの100%除去が達成される。
クリーニング組成物を調製するための一般的な手順
本実施例の主題である全ての組成物は、1インチのテフロン(登録商標)でコーティングされた攪拌棒を有する250mLビーカー中で成分を混合することによって調製された。典型的には、ビーカーに添加された最初の材料は脱イオン(DI)水であり、次いで、他の成分を不特定の順序で添加した。典型的には、酸化剤は使用直前に添加される。
図1は、実施例において本発明の方法によって処理(エッチング)された試験基板100の概略図を示す。図1のA側はエッチング前の基板であり、図1のB側は処理(エッチング)後の基板である。図1のA側に示される基板を作製するために、SiGe/Ge多層をSiウエハ14上にヘテロエピタキシによって堆積した。SiGe/Ge多層堆積は、Si基板14上の厚いSiGe(70%)層12から始めた。SiGe(70%)層12の後に、10nm(又は他の試験では15nm)厚の層でSiGe(65%)18及びGe16を交互に作製し、図示のようにGe/SiGe多層堆積19を形成した。酸化シリコン25及び窒化シリコン27ハードマスク(HM)を、30%Si及び70%Geからなる合金を意味するSiGe(70%)の上に堆積させ、Siウエハ基板14上で平行FINにパターン化した。A側のウエハ上に存在するSiGe/GeナノワイヤFIN18を、その後、本発明の方法及び組成物を用いて選択的にエッチングし(図1の矢印は方法工程を示す)、B側のウエハ上にGeナノワイヤ16を形成した200。
エッチング試験を、400rpmに設定された1/2インチ丸型テフロン(登録商標)攪拌棒を備えた250mlビーカー中の100gのエッチング組成物を用いて行った。エッチング組成物をホットプレート上で約35℃、又は30~45℃の温度に加熱した。試験クーポンを、撹拌しながら約5分間又は3~5分間組成物に浸漬した。
この例は、選択された酸化剤がSiGeのエッチング速度に影響を及ぼし得ることを示している。
量は成分のwt%である。報告されたGe及びSiGeエッチング速度の単位はA/分である。結果は、酸化剤が存在しない場合に、SiGeが効果的にエッチングされないことを示している。
例2
この実施例は、エッチング速度に対する異なる溶媒の影響を示す。
TACはクエン酸トリアンモニウムであり、
8HQは8-ヒドロキシキノリンであり、
DMSOはジメチルスルホキシドであり、
NMPはN-メチル-2-ピロリドンであり、
DMACはジメチルアセトアミドである。
量は成分のwt%である。報告されたGe、SiGe及びTEOSエッチング速度の単位はA/分である。
以下の組成物を調製して、Geを保護する際の腐食防止剤に対する効果を決定した。
CTABは臭化セチルトリメチルアンモニウムであり、
Polycat 5はメチルビス(2-ジメチルアミノエチル)アミン又はPMDETAであり、
SAS10はアニオン界面活性剤である。
量は成分のwt%である。
報告されたGeエッチング速度の単位はA/分である。
本発明の組成物で処理した後に撮影されたAFM画像は、Geブランケットウエハの表面粗さを減少させた。
処理されたブランケットウエハ上に残っている化学的残留物のオージェ特性は、本発明の組成物で処理した後に、薬品及び腐食防止剤がDIWすすぎ工程において完全に除去されたことを示した。
本開示は以下も包含する。
[1] マイクロエレクトロニクスデバイスからゲルマニウムよりもシリコン-ゲルマニウム合金を選択的に除去するのに適したエッチング溶液であって、
水、
酸化剤、
水混和性有機溶媒、
フッ化物イオン源、
腐食防止剤、
場合により、界面活性剤、
場合により、緩衝剤、及び、
場合により、キレート剤、
を含む、エッチング溶液。
[2] 前記酸化剤はキノンである、上記態様1記載のエッチング溶液。
[3] 前記酸化剤は1,4-ベンゾキノン、1,2-ベンゾキノン、1,4-ナフトキノン及び9,10-アントラキノンからなる群より選ばれる、上記態様1記載のエッチング溶液。
[4] 組成物は過酸化物を実質的に含まない、上記態様1記載のエッチング溶液。
[5] 前記水混和性溶媒はエチレングリコール、プロピレングリコール、ブチルジグリコール、1,4-ブタンジオール、トリプロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールプロピルエーテル、ジエチレングリコールn-ブチルエーテル、ヘキシルオキシプロピルアミン、ポリ(オキシエチレン)ジアミン、ジメチルスルホキシド、テトラヒドロフルフリルアルコール、グリセロール、アルコール、スルホキシド、ジメチルアセトアミド、ピロリドン、硫黄含有溶媒又はそれらの混合物からなる群より選ばれる、上記態様1記載のエッチング組成物。
[6] 前記水混和性溶媒はスルホキシド、スルホラン、スルホレン、スルホン又はそれらの混合物からなる群より選ばれる、上記態様1記載のエッチング組成物。
[7] 前記水混和性溶媒はスルホラン、ジメチルスルホキシド、n-メチルピロリドン、ポリエチレングリコール及びジメチルアセトアミド又はそれらの混合物からなる群より選ばれる、上記態様1記載のエッチング組成物。
[8] 前記腐食防止剤はカテコール、(C 1 ~C 6 )アルキルカテコール、トリアゾール、イミダゾール、没食子酸、没食子酸エステル、システイン、メチルビス(1-ジメチルアミノエチル)アミン(polycat 5)、1-オクチルアミン、キノリン、キノリン誘導体、臭化セチルトリメチルアンモニウム(CTAB)、11- メルカプトウンデカン酸及びn-メチル-n-オクチルアミンからなる群より選ばれる、上記態様1記載のエッチング組成物。
[9] 前記腐食防止剤はメチルカテコール、エチルカテコール及びtert-ブチルカテコール、ベンゾトリアゾール、(C 1 ~C 10 )アルキルベンゾトリアゾール、1,2,3-トリアゾール、1,2,4-トリアゾール、ベンゾトリアゾール、(C 1 ~C 10 )アルキルベンゾトリアゾール、ベンゾトリアゾール-5-カルボン酸、没食子酸メチル、没食子酸プロピル、ヒドロキシ置換キノリン、8-ヒドロキシキノリン、アルキル置換キノリン、2-メチルキノリン及び4-メチルキノリンからなる群より選ばれる、上記態様1記載のエッチング組成物。
[10] 前記腐食防止剤は8-ヒドロキシキノリン、臭化セチルトリメチルアンモニウム(CTAB)、1-メルカプトウンデカン酸及びn-メチル-n-オクチルアミンからなる群より選ばれる、上記態様1記載のエッチング組成物。
[11] 前記腐食防止剤はキノリンを含む、上記態様1記載のエッチング組成物。
[12] 前記緩衝剤は組成物中に存在する、上記態様1記載のエッチング組成物。
[13] 前記緩衝剤はクエン酸及びクエン酸トリアンモニウムを含む、上記態様12記載のエッチング組成物。
[14] 前記緩衝組成物はアミン化合物及び多官能有機酸を含む、上記態様12記載のエッチング組成物。
[15] 前記アミン化合物はアルカノールアミンであり、そして前記多官能有機酸は少なくとも3つのカルボン酸基を有する多塩基酸である、上記態様14記載のエッチング組成物。
[16] 前記多塩基酸はクエン酸、2-メチルプロパン-1,2,3-トリスカルボン酸、ベンゼン-1,2,3-トリカルボン酸[ヘミメリット酸]、プロパン-1,2,3-トリカルボン酸[トリカルバリル酸]、1,シス-2,3-プロペントリカルボン酸[アコニット酸]、例えばブタン-1,2,3,4-テトラカルボン酸、シクロペンタンテトラ-1,2,3,4-カルボン酸、ベンゼン-1,2,4,5-テトラカルボン酸[ピロメリット酸]、ベンゼンペンタカルボン酸及びベンゼンヘキサカルボン酸[メリット酸]及びそれらの混合物からなる群より選ばれる、上記態様15記載のエッチング組成物。
[17] 前記フッ化物イオン源は、フッ化水素酸、フッ化アンモニウム、第四級アンモニウムフッ化物、例えば、フルオロボレート、フルオロホウ酸、テトラブチルアンモニウムテトラフルオロボレート、六フッ化アルミニウム、及び、
R 1 NR 2 R 3 R 4 F
(上式中、R 1 、R 2 、R 3 及びR 4 は、個別にH又は(C 1 ~C 4 )アルキル基を表す)
を有する、脂肪族第一級、第二級又は第三級アミンのフッ化物塩からなる群より選ばれる、上記態様1記載のエッチング組成物。
[18] 前記フッ化物イオン源はフッ化アンモニウム、二フッ化アンモニウム、フッ化テトラメチルアンモニウム、フッ化テトラエチルアンモニウム、フッ化メチルトリエチルアンモニウム及びフッ化テトラブチルアンモニウムからなる群より選ばれる、上記態様17記載のエッチング組成物。
[19] 前記フッ化物イオン源はフッ化アンモニウムである、上記態様17記載のエッチング組成物。
[20] 前記組成物は前記キレート剤を含む、上記態様1記載のエッチング組成物。
[21] 組成物は前記界面活性剤を含む、上記態様1記載のエッチング組成物。
[22] ゲルマニウム及びシリコン-ゲルマニウムを含む半導体デバイス上のシリコン-ゲルマニウムのゲルマニウムに対するエッチング速度を選択的に向上させる方法であって、
水、酸化剤、水混和性有機溶媒、フッ化物イオン源及び腐食防止剤、場合により界面活性剤、場合によりキレート剤及び場合により緩衝剤を含む水性組成物と、シリコン及びシリコン-ゲルマニウムを含む半導体デバイスを接触させる工程、及び、
シリコン-ゲルマニウムが少なくとも部分的に除去された後に複合半導体デバイスをすすぐ工程を含み、シリコン-ゲルマニウムのゲルマニウムに対するエッチングの選択比は約2より大きい、方法。
[23] 前記半導体デバイスを乾燥する工程をさらに含む、上記態様22記載の方法。
[24] シリコン-ゲルマニウムのゲルマニウムに対するエッチングの選択比は2.5より大きい、上記態様22記載の方法。
[25] 前記接触工程は約25℃~約60℃の温度で行われる、上記態様22記載の方法。
Claims (20)
- マイクロエレクトロニクスデバイスからゲルマニウムよりもシリコン-ゲルマニウム合金を選択的に除去するのに適したエッチング溶液であって、
水、
0.001質量%~40質量%の酸化剤、
7質量%~65質量%の水混和性有機溶媒、
0.01質量%~8質量%のフッ化物イオン源、
0.1質量%~10質量%の腐食防止剤、
緩衝剤、
場合により、界面活性剤、及び
場合により、キレート剤、
を含む、エッチング溶液であって、
前記酸化剤がキノンであり、
前記水混和性有機溶媒はエチレングリコール、プロピレングリコール、ブチルジグリコール、1,4-ブタンジオール、ポリエチレングリコール、トリプロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールプロピルエーテル、ジエチレングリコールn-ブチルエーテル、ヘキシルオキシプロピルアミン、ポリ(オキシエチレン)ジアミン、ジメチルスルホキシド、テトラヒドロフルフリルアルコール、グリセロール、アルコール、スルホキシド、スルホラン、スルホレン、スルホン、ジメチルアセトアミド、ピロリドン、n-メチルピロリドン、硫黄含有溶媒又はそれらの混合物からなる群より選ばれ、
前記フッ化物イオン源は、フッ化水素酸、フッ化アンモニウム、第四級アンモニウムフッ化物、フルオロボレート、フルオロホウ酸、テトラブチルアンモニウムテトラフルオロボレート、六フッ化アルミニウム、及び、
R1NR2R3R4F
(上式中、R1、R2、R3及びR4は、個別にH又は(C1~C4)アルキル基を表す)
を有する、脂肪族第一級、第二級又は第三級アミンのフッ化物塩からなる群より選ばれ、
前記腐食防止剤は、キノリン、キノリン誘導体、臭化セチルトリメチルアンモニウム、11-メルカプトウンデカン酸及びn-メチル-n-オクチルアミンからなる群より選ばれる、エッチング溶液。 - 前記酸化剤は1,4-ベンゾキノン、1,2-ベンゾキノン、1,4-ナフトキノン及び9,10-アントラキノンからなる群より選ばれる、請求項1記載のエッチング溶液。
- 前記エッチング溶液は過酸化物を含まない、請求項1又は2記載のエッチング溶液。
- 前記水混和性溶媒はスルホキシド、スルホラン、スルホレン、スルホン又はそれらの混合物からなる群より選ばれる、請求項1~3のいずれか一項記載のエッチング溶液。
- 前記水混和性溶媒はスルホラン、ジメチルスルホキシド、n-メチルピロリドン、ポリエチレングリコール及びジメチルアセトアミド又はそれらの混合物からなる群より選ばれる、請求項1~3のいずれか一項記載のエッチング溶液。
- 前記腐食防止剤はヒドロキシ置換キノリン、8-ヒドロキシキノリン、アルキル置換キノリン、2-メチルキノリン及び4-メチルキノリンからなる群より選ばれる、請求項1~5のいずれか一項記載のエッチング溶液。
- 前記腐食防止剤は8-ヒドロキシキノリン、臭化セチルトリメチルアンモニウム(CTAB)、11-メルカプトウンデカン酸及びn-メチル-n-オクチルアミンからなる群より選ばれる、請求項1~5のいずれか一項記載のエッチング溶液。
- 前記腐食防止剤はキノリンを含む、請求項1~5のいずれか一項記載のエッチング溶液。
- 前記緩衝剤はクエン酸及びクエン酸トリアンモニウムを含む、請求項1~8のいずれか一項記載のエッチング溶液。
- 前記緩衝剤はアミン化合物及び多官能有機酸を含む、請求項1~9のいずれか一項記載のエッチング溶液。
- 前記アミン化合物はアルカノールアミンであり、そして前記多官能有機酸は少なくとも3つのカルボン酸基を有する多塩基酸である、請求項10記載のエッチング溶液。
- 前記多塩基酸はクエン酸、2-メチルプロパン-1,2,3-トリスカルボン酸、ベンゼン-1,2,3-トリカルボン酸[ヘミメリット酸]、プロパン-1,2,3-トリカルボン酸[トリカルバリル酸]、1,シス-2,3-プロペントリカルボン酸[アコニット酸]、ブタン-1,2,3,4-テトラカルボン酸、シクロペンタンテトラ-1,2,3,4-カルボン酸、ベンゼン-1,2,4,5-テトラカルボン酸[ピロメリット酸]、ベンゼンペンタカルボン酸及びベンゼンヘキサカルボン酸[メリット酸]及びそれらの混合物からなる群より選ばれる、請求項11記載のエッチング溶液。
- 前記フッ化物イオン源はフッ化アンモニウム、二フッ化アンモニウム、フッ化テトラメチルアンモニウム、フッ化テトラエチルアンモニウム、フッ化メチルトリエチルアンモニウム及びフッ化テトラブチルアンモニウムからなる群より選ばれる、請求項1~12のいずれか一項記載のエッチング溶液。
- 前記フッ化物イオン源はフッ化アンモニウムである、請求項13記載のエッチング溶液。
- 前記エッチング溶液は前記キレート剤を含む、請求項1~14のいずれか一項記載のエッチング溶液。
- 前記エッチング溶液は前記界面活性剤を含む、請求項1~15のいずれか一項記載のエッチング溶液。
- ゲルマニウム及びシリコン-ゲルマニウムを含む半導体デバイス上のシリコン-ゲルマニウムのゲルマニウムに対するエッチング速度を選択的に向上させる方法であって、
請求項1~16のいずれか一項記載のエッチング溶液と、シリコン及びシリコン-ゲルマニウムを含む半導体デバイスを接触させる工程、及び、
シリコン-ゲルマニウムが少なくとも部分的に除去された後に複合半導体デバイスをすすぐ工程を含み、シリコン-ゲルマニウムのゲルマニウムに対するエッチングの選択比は2より大きい、方法。 - 前記半導体デバイスを乾燥する工程をさらに含む、請求項17記載の方法。
- シリコン-ゲルマニウムのゲルマニウムに対するエッチングの選択比は2.5より大きい、請求項17又は18記載の方法。
- 前記接触工程は25℃~60℃の温度で行われる、請求項17~19のいずれか一項記載の方法。
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